JP2015138888A - プローバ及びプローブカードの針先研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10 プローバ
11 ステージ
16 プローブカード
17 プローブ針
24 針先研磨ユニット
27 サポートメンバ
28 WAPP
29 ラッピングシート
30,34,40 底面
31,37,45,47,48,53 凹部
32,36,43 天井面
33,35,42,46,49,55 凸部
38,50 下方当接部
39,51 上方当接部
41,54 突起
44,52 係合穴
Claims (6)
- 基板を載置するステージと、該ステージに対向するプローブカードとを備え、前記プローブカードは前記載置された基板に向けて突出する複数のプローブ針を有するプローバであって、
前記複数のプローブ針の針先を研磨する針先研磨装置を備え、
前記針先研磨装置は、前記針先に接触する針先接触部と、該針先接触部を支持する支持部とを有し、
前記針先接触部における前記針先と接触する部分には前記針先を研磨する針先研磨面が設けられ、
前記針先接触部は、前記プローブカード及び前記支持部の間に介在するとともに、前記針先接触部が前記針先に接触しない待避位置及び前記針先接触部が前記針先に接触する接触位置の間を移動し、
前記針先接触部は前記支持部に対向する第1の対向面を有し、
前記支持部は前記針先接触部に対向する第2の対向面を有し、
前記針先接触部及び前記支持部は、前記針先接触部が前記接触位置へ移動して前記針先から反力を受ける際、前記第1の対向面及び前記第2の対向面が互いに離間した位置を維持するように機械的に係合する係合部を有することを特徴とするプローバ。 - 前記係合部は、前記第1の対向面及び前記第2の対向面の一方に形成された凹部と、前記第1の対向面及び前記第2の対向面の他方に形成された凸部からなり、
前記針先接触部が前記待避位置へ移動したとき、前記凸部は前記凹部へ嵌合し、
前記針先接触部が前記接触位置へ移動したとき、前記凸部の頂部は前記第1の対向面又は前記第2の対向面へ当接することを特徴とする請求項1記載のプローバ。 - 前記係合部は、前記第1の対向面及び前記第2の対向面の一方に形成された凹部と、前記第1の対向面及び前記第2の対向面の他方に形成された凸部からなり、
前記凸部は前記凹部と嵌合し、
前記凹部は、前記凸部の頂部と当接する第1の当接部と、該第1の当接部よりも前記針先接触部の近くに形成されて前記凸部の頂部と当接する第2の当接部とを有し、
前記針先接触部が前記待避位置へ移動したとき、前記凸部の頂部は前記第1の当接部と当接し、
前記針先接触部が前記接触位置へ移動したとき、前記凸部の頂部は前記第2の当接部と当接することを特徴とする請求項1記載のプローバ。 - 前記係合部は、前記第1の対向面及び前記第2の対向面の一方に形成された凹部と、前記第1の対向面及び前記第2の対向面の他方に形成された凸部からなり、
前記凸部は前記凹部と嵌合し、
前記凹部は側面に形成された係合穴を有するともに、前記凸部は前記側面へ向けて突出する係合突起を有し、
前記針先接触部が前記接触位置へ移動したとき、前記係合突起は前記係合穴へ進入して係合することを特徴とする請求項1記載のプローバ。 - 前記針先研磨装置は、前記ステージへ固定され、前記ステージが前記プローブカードへ向けて移動する際に前記ステージとともに前記プローブカードへ向けて移動することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のプローバ。
- プローブカードにおいて基板に向けて突出する複数のプローブ針の針先を研磨する針先研磨装置であって、
前記針先に接触する針先接触部と、該針先接触部を支持する支持部とを有し、
前記針先接触部における前記針先と接触する部分には前記針先を研磨する針先研磨面が設けられ、
前記針先接触部は、前記プローブカード及び前記支持部の間に介在するとともに、前記針先接触部が前記針先に接触しない待避位置及び前記針先接触部が前記針先に接触する接触位置の間を移動し、
前記針先接触部は前記支持部に対向する第1の対向面を有し、
前記支持部は前記針先接触部に対向する第2の対向面を有し、
前記針先接触部及び前記支持部は、前記針先接触部が前記接触位置へ移動して前記針先から反力を受ける際、前記第1の対向面及び前記第2の対向面が互いに離間した位置を維持するように機械的に係合する係合部を有することを特徴とすることを特徴とする針先研磨装置。
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