KR101287236B1 - 카세트 스테이지 및 이를 포함하는 발광 소자 검사 장치 - Google Patents

Abstract

카세트 스테이지와 이를 포함하는 발광 소자 검사 장치에 있어서, 상기 카세트 스테이지는 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 카세트를 지지하는 서포트 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 일측에 장착되며 웨이퍼 이송 로봇에 의해 상기 카세트로부터 인출된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 이송 로봇의 로봇암 상에서 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 한 쌍의 정렬 블록을 포함한다. 상기 웨이퍼 이송 로봇은 상기 발광 소자 검사 장치 내에 배치되며, 상기 웨이퍼의 정렬은 상기 로봇암 상의 웨이퍼가 상기 정렬 블록들에 닿은 후 상기 기 설정된 위치까지 밀리도록 하는 상기 웨이퍼 이송 로봇의 동작에 의해 이루어진다. 상기 웨이퍼의 정렬이 웨이퍼의 인출 이후에 일차적으로 수행되기 때문에 상기 웨이퍼의 검사 공정에 소요되는 시간이 단축될 수 있다.

Description

카세트 스테이지 및 이를 포함하는 발광 소자 검사 장치{Cassette stage and apparatus for inspecting light-emitting devices including the same}

본 발명의 실시예들은 카세트 스테이지에 관한 것이다. 보다 상세하게는 발광 다이오드(light-emitting diode; LED) 칩들과 같은 발광 소자들이 형성된 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 카세트를 지지하기 위한 카세트 스테이지에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 LED 칩들과 같은 발광 소자들은 다이싱 공정을 통하여 개별화된 후 다이 본딩 공정 등을 통하여 리드 프레임 등과 같은 기판 상에 부착될 수 있으며 이어서 상기 발광 소자들에 대하여 개별적으로 전기적 및 광학적 검사 공정이 수행될 수 있다.

상기 발광 소자들에 대한 검사 공정은 다수의 탐침들을 이용하여 상기 발광 소자들에 전기적인 신호를 인가함으로써 수행될 수 있다. 즉, 탐침들에 의한 통전 검사 즉 상기 발광 소자들을 통하여 흐르는 전류를 측정하거나 상기 발광 소자들의 저항을 측정함으로써 상기 발광 소자들이 정상적으로 동작하는지를 검사하는 전기적인 검사 공정과 상기 전기적인 신호 인가에 의해 발생되는 광의 세기를 측정하는 광학적인 검사 공정이 수행될 수 있다.

그러나, 종래 기술에 따르면, 상기 전기적 검사 공정과 광학적 검사 공정은 다이싱 공정에 의해 개별화된 발광 소자들 각각에 대하여 수행되기 때문에 상기 전기적 및 광학적 검사 공정에 소요되는 시간이 크게 증가될 수 있으며, 이에 따라 상기 발광 소자들에 대한 생산성이 저하될 수 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 복수의 발광 소자들이 형성된 웨이퍼에 대한 전기적 및 광학적 검사 공정을 수행하기 위한 새로운 형태의 검사 장치가 요구되고 있으며, 아울러 상기 검사 장치에 웨이퍼들을 효율적으로 공급하기 위하여 상기 웨이퍼들이 수납된 카세트를 지지하는 스테이지에 대한 요구도 함께 제기되고 있다.

본 발명의 실시예들은 복수의 발광 소자들이 형성된 웨이퍼들을 검사 장치로 효율적으로 제공할 수 있도록 상기 웨이퍼들이 수납된 카세트를 지지하는 카세트 스테이지와 이를 포함하는 발광 소자 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 카세트 스테이지는, 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 카세트를 지지하는 서포트 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 일측에 장착되며 웨이퍼 이송 로봇에 의해 상기 카세트로부터 인출된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 이송 로봇의 로봇암 상에서 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 한 쌍의 정렬 블록을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 로봇암 상의 웨이퍼가 상기 정렬 블록들에 닿은 후 상기 기 설정된 위치까지 밀리도록 하는 상기 웨이퍼 이송 로봇의 동작에 의해 상기 웨이퍼의 정렬이 이루어질 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 서포트 플레이트의 하부에는 베이스 플레이트가 구비될 수 있으며, 상기 서포트 플레이트는 상기 베이스 플레이트 상에서 이동 가능하도록 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 서포트 플레이트 상에 배치되며 상기 카세트의 일측 부위를 지지하기 위한 스토퍼와, 상기 카세트를 상기 서포트 플레이트 상에서 고정시키기 위하여 상기 서포트 플레이트 상에서 상기 카세트의 타측 부위에 밀착되도록 구성되는 클램프가 구비될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에 이동 가능하도록 배치되는 가동 플레이트가 구비될 수 있으며, 상기 서포트 플레이트는 상기 가동 플레이트 상에 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 베이스 플레이트 상에는 상기 서포트 플레이트를 상기 카세트의 로드 및 언로드 위치로 이동시키기 위하여 상기 가동 플레이트를 이동시키는 제1 구동부가 구비될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 서포트 플레이트는 상기 가동 플레이트 상에서 소정 간격 이격되도록 배치되며 상기 스토퍼를 향하여 연장하는 슬롯을 가질 수 있다. 상기 가동 플레이트와 상기 서포트 플레이트 사이에는 상기 스토퍼를 향하여 이동 가능하도록 배치되는 클램핑 플레이트와, 상기 클램핑 플레이트를 이동시키기 위한 제2 구동부가 배치될 수 있으며, 상기 클램프는 상기 슬롯을 통하여 상기 서포트 플레이트의 상부로 돌출되도록 상기 클램핑 플레이트에 장착될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 서포트 플레이트 상에는 상기 카세트보다 큰 제2 카세트의 일측 부위를 지지하기 위한 제2 스토퍼와, 상기 제2 카세트를 상기 서포트 플레이트 상에서 고정시키기 위하여 상기 서포트 플레이트 상에서 상기 카세트의 타측 부위에 밀착되도록 구성되는 제2 클램프가 더 구비될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 베이스 플레이트 아래에는 상기 웨이퍼들에 대한 전기적 또는 광학적 검사 공정에 사용되는 프로브 카드의 탐침들로부터 이물질을 제거하기 위한 클리닝 웨이퍼를 보관하기 위하여 버퍼 카세트가 구비될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 카세트는 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부에 장착될 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 카세트 스테이지는, 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 제1 카세트를 지지하기 위한 상부 스테이지와, 상기 상부 스테이지의 하부에 배치되며 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 제2 카세트를 지지하기 위한 하부 스테이지와, 상기 상부 스테이지의 일측에 장착되며 웨이퍼 이송 로봇에 의해 상기 카세트로부터 인출된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 이송 로봇의 로봇암 상에서 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 한 쌍의 정렬 블록을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 로봇암 상의 웨이퍼는 상기 정렬 블록들에 닿은 후 상기 기 설정된 위치까지 밀리도록 하는 상기 웨이퍼 이송 로봇의 동작에 의해 정렬이 이루어질 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 스테이지와 상기 하부 스테이지가 장착되는 프레임과, 상기 제1 카세트 또는 제2 카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하기 위한 센서가 구비될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 카세트의 바코드를 인식하기 위한 제1 바코드 리더기와, 상기 제2 카세트의 바코드를 인식하기 위한 제2 바코드 리더기가 구비될 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따른 발광 소자 검사 장치는, 복수의 발광 소자들이 형성된 웨이퍼에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하기 위한 전기적 검사부와, 상기 웨이퍼에 대한 광학적인 검사 공정을 수행하기 위한 광학적 검사부와, 상기 전기적 검사부와 광학적 검사부 사이에 배치되며 상기 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송 로봇과, 상기 웨이퍼 이송 로봇에 인접하도록 배치되며 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 카세트를 지지하는 카세트 스테이지와, 상기 카세트 스테이지의 일측에 장착되며 상기 웨이퍼 이송 로봇에 의해 상기 카세트로부터 인출된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 이송 로봇의 로봇암 상에서 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 한 쌍의 정렬 블록을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 로봇암 상의 웨이퍼는 상기 정렬 블록들에 닿은 후 상기 기 설정된 위치까지 밀리도록 하는 상기 웨이퍼 이송 로봇의 동작에 의해 정렬될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 카세트 스테이지는 정렬 블록들을 이용하여 웨이퍼 이송 로봇에 의해 인출된 웨이퍼의 일차 정렬을 가능하게 하므로 상기 카세트 스테이지를 포함하는 검사 장치의 처리 속도가 크게 향상될 수 있다.

또한, 서포트 플레이트 상에 서로 다른 크기를 갖는 카세트들을 선택적으로 지지하고 고정할 수 있도록 복수의 클램프들과 스토퍼들을 배치함으로써 서로 다른 크기를 갖는 카세트들에 대하여 공용으로 사용될 수 있으며, 이에 따라 상기 검사 장치의 생산성이 크게 향상될 수 있다.

추가적으로, 상기 카세트 스테이지는 상부 스테이지와 하부 스테이지를 구비할 수 있으므로 제1 카세트의 언로드 및 로드 동작들이 수행되는 동안 제2 카세트에 수납된 웨이퍼들에 대한 검사 공정이 수행될 수 있으며, 이어서 상기 제2 카세트의 언로드 및 로드 동작들이 수행되는 동안 상기 제1 카세트에 수납된 웨이퍼들에 대한 검사 공정이 연속적으로 수행될 수 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 카세트들의 로드 및 언로드 동작들이 각각 수행되는 동안 상기 웨이퍼들에 대한 검사 공정의 중단이 방지될 수 있으며, 이에 따라 상기 카세트 스테이지를 채용하는 검사 장치의 처리 속도가 크게 향상될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 카세트 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 베이스 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 가동 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 서포트 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 버퍼 카세트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 카세트 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 8은 도 7에 도시된 카세트 스테이지를 포함하는 발광 소자 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 9는 도 8에 도시된 웨이퍼를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 10은 도 8에 도시된 전기적 검사부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 11은 도 8에 도시된 광학적 검사부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 12는 도 8에 도시된 웨이퍼 이송 로봇의 일 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 13 및 도 14는 도 1에 도시된 정렬 블록들을 이용하는 웨이퍼의 정렬 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.

이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 카세트 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 스테이지(100)는 복수의 웨이퍼들(10)을 수납하기 위한 카세트(2)를 지지하기 위하여 사용될 수 있다. 특히, 복수의 발광 소자들이 형성된 복수의 웨이퍼들(10)이 수납된 카세트(2)를 지지하며 상기 웨이퍼들(10)에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 장치(300; 도 8 참조)로 상기 웨이퍼들(10)을 공급하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 카세트 스테이지(100)는 상기 발광 소자들에 대한 전기적 및/또는 광학적 검사 공정을 수행하기 위한 장치(300)에 장착되어 상기 웨이퍼들(10)을 제공하기 위하여 사용될 수 있다.

상기 카세트 스테이지(100)는 베이스 플레이트(102)와 상기 카세트(2)를 지지하기 위한 서포트 플레이트(120)를 포함할 수 있다. 상기 서포트 플레이트(120)는 상기 베이스 플레이트(102) 상에 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 베이스 플레이트(102) 상에는 가동 플레이트(110)가 설치될 수 있으며, 상기 서포트 플레이트(120)는 상기 가동 플레이트(110) 상에 장착될 수 있다.

도 3은 도 1에 도시된 베이스 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 가동 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이며, 도 5는 도 1에 도시된 서포트 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 일 예로서, 상기 가동 플레이트(110)는 상기 베이스 플레이트(102) 상에 설치된 한 쌍의 제1 가이드 레일들(104) 상에서 이동 가능하게 배치될 수 있으며, 또한 상기 베이스 플레이트(102) 상에는 상기 가동 플레이트(110)를 이동시키기 위한 제1 구동부(106)가 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 제1 구동부(106)로는 유압 또는 공압 실린더가 사용될 수 있다. 그러나, 상기 제1 구동부(106)는 다양하게 변경될 수 있으므로 상기 제1 구동부(106) 자체의 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.

상기 가동 플레이트(110)의 상부에는 상기 서포트 플레이트(120)가 장착될 수 있다. 이때, 상기 서포트 플레이트(120)는 상기 가동 플레이트(110)로부터 소정 간격 이격되어 배치될 수 있다.

상기 제1 구동부(106)는 상기 가동 플레이트(110)를 상기 카세트(2)의 로드 및 언로드 위치로 이동시킬 수 있으며, 또한 상기 카세트(2)의 로드 후 상기 가동 플레이트(110)를 원위치로 복귀시킬 수 있다. 이는 상기 카세트 스테이지(100)가 상기 검사 장치(300) 내부에 배치되는 경우 상기 카세트(2)의 로드 및 언로드 동작을 용이하게 하기 위함이다.

상기 카세트(2)는 상기 서포트 플레이트(110) 상에서 고정될 수 있다. 예를 들면, 상기 카세트(2)는 상기 서포트 플레이트(110) 상에서 이동 가능하게 구성되는 클램프들(122,124)과 상기 서포트 플레이트(110) 상에 배치되는 스토퍼들(126,128)에 의해 고정될 수 있다. 특히, 상기 카세트(2)의 일측 부위는 상기 스토퍼들(126,128)에 의해 지지될 수 있으며, 상기 클램프들(122,124)이 상기 카세트(2)의 타측 부위에 밀착됨으로써 상기 카세트(2)가 상기 서포트 플레이트(120) 상에서 고정될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 서포트 플레이트(120)에는 상기 스토퍼들(126,128)을 향하여 평행하게 연장하는 다수의 슬롯들(120A,120B)이 형성될 수 있으며, 상기 클램프들(122,124)은 상기 슬롯들(120A,120B)을 통하여 상기 서포트 플레이트(120)의 상부로 돌출되도록 배치될 수 있다.

또한, 상기 가동 플레이트(110)와 서포트 플레이트(120) 사이에는 상기 클램프들(122,124)이 장착되는 클램핑 플레이트(130)가 배치될 수 있으며, 상기 클램핑 플레이트(130)는 상기 가동 플레이트(110) 상에 장착되어 상기 슬롯들(120A,120B)과 동일한 방향으로 연장하는 한 쌍의 제2 가이드 레일들(132) 상에서 이동 가능하게 구성될 수 있다. 또한, 상기 가동 플레이트(110) 상에는 상기 클램핑 플레이트(130)를 이동시키기 위한 제2 구동부(134)가 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 구동부(134)로는 유압 또는 공압 실린더가 사용될 수 있다.

즉, 상기 제2 구동부(134)는 상기 클램프들(122,124)을 상기 서포트 플레이트(120) 상에 로드된 상기 카세트(2)의 타측 부위에 밀착시킴으로써 상기 카세트(2)를 상기 서포트 플레이트(120) 상에서 고정시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 카세트 스테이지(100)는 상기 카세트(2)를 고정하기 위한 제1 스토퍼들(126)과 제1 클램프들(122) 및 상기 카세트(2)보다 큰 제2 카세트(미도시)를 고정하기 위한 제2 스토퍼들(128)과 제2 클램프들(124)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 4인치 웨이퍼들을 수납하기 위한 제1 카세트와 6인치 웨이퍼들을 수납하기 위한 제2 카세트가 상기 서포트 플레이트(120) 상에서 고정될 수 있다.

결과적으로, 상기 카세트 스테이지(100)는 서로 다른 크기를 갖는 카세트들에 대하여 공용으로 사용될 수 있으므로 상기 카세트 스테이지(100)를 채용하는 검사 장치(300)의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.

한편, 상기 검사 장치(300)는 다수의 탐침들을 갖는 프로브 카드를 이용하여 상기 웨이퍼(10) 상에 형성된 발광 소자들에 대한 전기적 또는 광학적 검사 공정을 수행할 수 있으며, 클리닝 웨이퍼(50; 도 6 참조)를 상기 검사 공정을 수행하는 동안 상기 탐침들에 잔류되는 이물질을 제거할 수 있다.

도 6은 도 1에 도시된 버퍼 카세트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 6을 참조하면, 상기 카세트 스테이지(100)는 상기 클리닝 웨이퍼(50)를 보관하기 위한 버퍼 카세트(150)를 포함할 수 있다. 상기 버퍼 카세트(150)는 상기 베이스 플레이트(102) 아래에 이동 가능하게 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 베이스 플레이트(102)의 하부면 상에는 상기 제1 가이드 레일들(104)과 동일한 방향으로 연장하는 한 쌍의 제3 가이드 레일들(152)이 장착될 수 있으며, 상기 버퍼 카세트(150)는 상기 제3 가이드 레일들(152)에 이동 가능하게 장착될 수 있다.

상기 버퍼 카세트(150)는 플레이트 형태를 가질 수 있으며 그 상부에는 상기 클리닝 웨이퍼(50)를 지지하기 위한 다수의 서포트 부재들(154)이 구비될 수 있다. 그러나, 상기와는 다르게, 상기 버퍼 카세트(150)는 상기 검사 공정 도중에 검사 대상 웨이퍼를 일시적으로 보관하기 위하여 사용될 수도 있다.

또한, 도시되지는 않았으나, 상기 베이스 플레이트(102)와 버퍼 카세트(150)에는 각각 마그네틱 부재들(미도시)이 장착될 수 있으며, 상기 버퍼 카세트(150)는 상기 마그네틱 부재들 사이의 인력에 의해 상기 베이스 플레이트(105)의 하부에서 흔들림없이 안정적으로 유지될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 카세트 스테이지(100)는 상기 검사 장치(300) 내부에 배치되는 웨이퍼 이송 로봇(370; 도 8 참조)에 의해 상기 카세트(2)로부터 인출된 웨이퍼(10)를 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)의 로봇암 상에서 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 한 쌍의 정렬 블록들(140)을 포함할 수 있다.

예를 들면, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 정렬 블록들(140)은 상기 베이스 플레이트(102)의 하부면 일측 즉 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)에 인접하는 일측에 장착될 수 있으며, 상기 로봇암 상의 웨이퍼(10)가 상기 정렬 블록들(140)에 닿은 후 상기 기 설정된 위치까지 밀리도록 하는 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)의 동작에 의해 상기 웨이퍼(10)의 정렬이 이루어질 수 있다. 상기 웨이퍼(10)의 정렬 방법에 대하여는 이후에 더욱 상세하게 설명하기로 한다.

상술한 바와 같이 정렬 블록들(140)에 의해 상기 웨이퍼(10)의 인출 후 상기 로봇암 상에서 일차 웨이퍼 정렬이 수행될 수 있으므로 상기 카세트 스테이지(100)를 포함하는 검사 장치(300)의 처리 속도가 크게 향상될 수 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 카세트 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따르면 카세트 스테이지(200)는 복수의 웨이퍼들(10)을 수납하기 위한 제1 카세트(4)를 지지하기 위한 상부 스테이지(210)와, 상기 상부 스테이지(210)의 하부에 배치되며 복수의 웨이퍼들(10)을 수납하기 위한 제2 카세트(6)를 지지하기 위한 하부 스테이지(220)를 포함할 수 있다.

상기 상부 스테이지(210)와 하부 스테이지(220)는 격자 형태의 프레임(202)에 장착될 수 있다. 상기 상부 스테이지(210)와 하부 스테이지(220)는 실질적으로 동일하게 구성될 수 있으며 또한 도 1 내지 도 6을 참조하여 기 설명된 바와 실질적으로 동일하므로 이들에 대한 추가적인 상세 설명은 생략하기로 한다.

한편, 상기 상부 스테이지(210)의 하부에는 버퍼 카세트(250)가 이동 가능하게 배치될 수 있으며, 또한 상기 상부 스테이지(210)의 하부면 즉 상기 상부 스테이지(210)의 베이스 플레이트 하부면에는 상기 제1 또는 제2 카세트(4,6)로부터 인출된 웨이퍼(10)를 정렬하기 위한 한 쌍의 정렬 블록들(240)이 장착될 수 있다. 상기 버퍼 카세트(250) 및 상기 정렬 블록들(240) 역시 도 1 내지 도 6을 참조하여 기 설명된 바와 실질적으로 동일하므로 이들에 대한 추가적인 상세 설명은 생략하기로 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 카세트 스테이지(200)는 상기 제1 또는 제2 카세트(4,6)로부터 돌출된 웨이퍼(10)를 감지하기 위한 센서(230)를 포함할 수 있다. 상기 웨이퍼 감지 센서(230)는 상기 제1 또는 제2 카세트(4,6) 내에 수납된 웨이퍼들(10) 중에서 수납 위치 오류가 발생된 웨이퍼 즉 상기 제1 또는 제2 카세트(4,6)로부터 일부가 돌출된 웨이퍼(10)를 감지하기 위하여 사용될 수 있다.

예를 들면, 상기 웨이퍼 감지 센서(230)는 발광부(230A)와 수광부(230B)를 포함할 수 있으며 상기 프레임(202)의 일측 상부와 하부에 각각 장착될 수 있다.

또한, 상기 카세트 스테이지(200)는 상기 제1 카세트(4)가 상기 상부 스테이지(210)에 로드된 후 상기 제1 카세트(4)의 바코드를 인식하기 위한 제1 바코드 리더기(232)와 상기 제2 카세트(6)가 상기 하부 스테이지(220)에 로드된 후 상기 제2 카세트(6)의 바코드를 인식하기 위한 제2 바코드 리더기(234)를 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 바코드 리더기들(232,234)은 상기 프레임(202)에 장착될 수도 있으며, 이와 다르게 상기 상부 및 하부 스테이지(210,220)의 베이스 플레이트들에 각각 장착될 수도 있다.

상술한 바와 같이 상부 스테이지(210)와 하부 스테이지(220)를 구비하고 있으므로 상기 제1 카세트(4)의 언로드 및 로드 동작들이 수행되는 동안 제2 카세트(6)에 수납된 웨이퍼들(10)에 대한 검사 공정이 수행될 수 있으며, 이어서 상기 제2 카세트(6)의 언로드 및 로드 동작들이 수행되는 동안 상기 제1 카세트(4)에 수납된 웨이퍼들(10)에 대한 검사 공정이 연속적으로 수행될 수 있다. 따라서, 카세트(4,6)의 로드 및 언로드 동작들이 수행되는 동안 검사 공정이 중단되는 것이 방지될 수 있으며, 이에 따라 상기 카세트 스테이지(200)를 채용하는 검사 장치(300)의 처리 속도가 크게 향상될 수 있다.

도 8은 도 7에 도시된 카세트 스테이지를 포함하는 발광 소자 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 9는 도 8에 도시된 웨이퍼를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 8을 참조하면, 상기 카세트 스테이지(200)는 발광 소자들이 형성된 웨이퍼(10)에 대한 전기적 및 광학적 검사 공정을 수행하기 위한 검사 장치(300)에 사용될 수 있다. 상기 카세트 스테이지(200)는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 검사 장치(300) 내에 배치될 수 있으며 복수의 웨이퍼들(10)이 수납된 제1 및 제2 카세트들(4,6)을 지지하기 위한 상부 및 하부 스테이지들(210,220)을 포함할 수 있다.

한편, 상기 웨이퍼(10)는 도 9에 도시된 바와 같이 다이싱 공정에 의해 개별화된 복수의 다이들(30)을 포함할 수 있으며, 각각의 다이들(30) 상에는 적어도 하나의 발광 소자(20)가 형성될 수 있다. 상기 웨이퍼(10)는 상기 개별화된 복수의 다이들(30)이 다이싱 테이프(12)에 의해 웨이퍼 링(14) 또는 프레임에 장착된 상태로 제공될 수 있다.

이어서 도 8을 참조하면, 상기 발광 소자 검사 장치(300)는 상기 웨이퍼(10)에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하기 위한 전기적 검사부(310), 상기 웨이퍼(10)에 대한 광학적인 검사 공정을 수행하기 위한 광학적 검사부(340) 및 상기 전기적 검사부(310)와 광학적 검사부(340) 사이에 배치되어 상기 웨이퍼(10)를 이송하기 위한 웨이퍼 이송 로봇(370)을 포함할 수 있다.

일 예로서, 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)과 상기 카세트 스테이지(200)는 상기 발광 소자 검사 장치(300)의 중앙 부위에 배치될 수 있으며, 상기 전기적 검사부(310)와 광학적 검사부(340)는 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)의 양측에 배치될 수 있다.

도 10은 도 8에 도시된 전기적 검사부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 8 및 도 10을 참조하면, 상기 전기적 검사부(310)는 상기 웨이퍼(10)를 지지하기 위한 제1 척(312)과 상기 제1 척(312)을 수직 및 수평 방향으로 이동시키며 또한 회전시키기 위한 제1 구동부(314)와 상기 웨이퍼(10) 상의 발광 소자들(20)을 전기적으로 검사하기 위한 제1 프로브 카드(322)를 포함할 수 있다.

상기 제1 척(312)은 진공을 이용하여 상기 웨이퍼를 파지할 수 있으며, 상기 제1 구동부(314)는 상기 제1 척(312)을 지지하기 위하여 상기 제1 척(312)의 하부에 배치되는 제1 스테이지(316)와 상기 제1 척(312)을 수평 방향 예를 들면 서로 직교하는 X축 및 Y축 방향으로 이동시키기 위한 제1 하부 구동부(318)와, 상기 제1 스테이지(316) 상에 배치되어 상기 제1 척(312)을 직접 지지하며 상기 제1 척(312)을 회전시키기 위한 제1 회전 구동부(319) 및 상기 제1 척(312)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제1 상부 구동부(320)를 포함할 수 있다. 그러나, 상기 제1 구동부(314)의 구성은 일 예로서 본 실시예에서 제시된 것이며 상기와 다르게 다양하게 변화될 수 있다.

상기 제1 프로브 카드(322)는 상기 발광 소자들(20)에 전기적인 신호를 인가하기 위한 복수의 제1 탐침들(324)을 가질 수 있으며, 제1 브리지(326; bridge)의 하부에 장착될 수 있다.

또한, 상기 전기적 검사부(310)는 상기 제1 척(312)에 의해 지지된 웨이퍼(10)의 이미지를 획득하기 위한 제1 상부 카메라(328)와 상기 제1 프로브 카드(322)의 이미지를 획득하기 위한 제1 하부 카메라(330)를 포함할 수 있다. 상기 제1 상부 카메라(328)는 상기 제1 프로브 카드(322)의 일측에서 상기 제1 브리지(326)의 하부에 장착될 수 있으며, 상기 제1 하부 카메라(330)는 상기 제1 척(312)의 일측에서 상기 제1 스테이지(316) 상에 장착될 수 있다. 상기 제1 상부 및 하부 카메라들(328,330)은 상기 웨이퍼(10)와 상기 제1 프로브 카드(322)를 정렬하기 위하여 사용될 수 있다.

한편, 상기 제1 프로브 카드(322)는 제1 테스터(332)와 전기적으로 연결될 수 있다.

도 11은 도 8에 도시된 광학적 검사부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 8 및 도 11을 참조하면, 상기 광학적 검사부(340)는 상기 웨이퍼(10)를 지지하기 위한 제2 척(342)과 상기 제2 척(342)을 수직 및 수평 방향으로 이동시키며 또한 회전시키기 위한 제2 구동부(344)와 상기 웨이퍼(10) 상의 발광 소자들(20)을 광학적으로 검사하기 위한 제2 프로브 카드(352)를 포함할 수 있다.

상기 제2 구동부(344)는 제2 스테이지(346), 제2 하부 구동부(348), 제2 회전 구동부(349) 및 제2 상부 구동부(350)를 포함할 수 있다. 상기 제2 구동부(344)의 구성은 도 3을 참조하여 기 설명된 제1 구동부(314)의 구성과 실질적으로 동일하므로 이에 대한 추가적인 상세 설명은 생략한다.

상기 제2 프로브 카드(352)는 상기 발광 소자들(20)에 전기적인 신호를 인가하기 위한 복수의 제2 탐침들(354)을 가질 수 있으며, 제2 브리지(356)의 하부에 장착될 수 있다. 또한, 상기 광학적 검사부(340)는 상기 제2 척(342)에 의해 지지된 웨이퍼(10)의 이미지를 획득하기 위한 제2 상부 카메라(358)와 상기 제2 프로브 카드(352)의 이미지를 획득하기 위한 제2 하부 카메라(360)를 포함할 수 있다. 상기 제2 상부 카메라(358)는 상기 제2 프로브 카드(352)의 일측에서 상기 제2 브리지(356)의 하부에 장착될 수 있으며, 상기 제2 하부 카메라(360)는 상기 제2 척(342)의 일측에서 상기 제2 스테이지(346) 상에 장착될 수 있다. 상기 제2 상부 및 하부 카메라들(358,360)은 상기 웨이퍼(10)와 상기 제2 프로브 카드(352)를 정렬하기 위하여 사용될 수 있다.

한편, 상기 제2 프로브 카드(352)는 제2 테스터(362)와 전기적으로 연결될 수 있으며, 상기 제2 테스터(362)는 상기 발광 소자들(20)로부터 발생된 광을 검출하기 위한 광 검출기(364)를 포함할 수 있다.

다시 도 8을 참조하면, 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)은 상기 전기적 검사부(310)와 광학적 검사부(340) 및 카세트 스테이지(200) 사이에서 웨이퍼(10)를 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 즉, 상기 카세트 스테이지(200)로부터 웨이퍼(10)를 인출하여 상기 전기적 검사부(310)로 이송하며, 상기 전기적 검사가 완료된 웨이퍼(10)를 상기 광학적 검사부(340)로 이송한다. 또한 상기 광학적 검사가 완료된 웨이퍼(10)를 다시 상기 카세트 스테이지(200)로 이송한다. 특히, 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)은 상기 웨이퍼(10)에 대한 광학적 검사 공정이 수행되는 동안 후속하는 다른 웨이퍼(10)에 대한 전기적 검사 공정이 수행되도록 상기 카세트 스테이지(200)로부터 상기 다른 웨이퍼(10)를 전기적 검사부(310)로 이송할 수 있다.

도 12는 도 8에 도시된 웨이퍼 이송 로봇의 일 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 12를 참조하면, 일 예로서 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)은 한 쌍의 로봇암들(372A,372B)을 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)은 상부 로봇암(372A)과 하부 로봇암(372B)을 가질 수 있으며, 상기 상부 및 하부 로봇암들(372A,372B)을 수평 및 수직 방향으로 이동시키고 또한 회전시키기 위한 로봇 구동부(374)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)의 상부 및 하부 로봇암들(372A,374B) 상에는 상기 웨이퍼의 일차 정렬을 위한 스토퍼(376A,376B)가 각각 구비될 수 있다.

상기 웨이퍼 이송 로봇(370)은 상기 카세트 스테이지(200)에 수납된 웨이퍼들(10) 중에서 하나(이하, 제1 웨이퍼라 함)를 인출하여 상기 전기적 검사부(310)로 이송하고, 전기적 검사 공정이 완료된 제1 웨이퍼를 상기 광학적 검사부(340)로 이송하기 이전에 상기 카세트 스테이지(200)로부터 다른 하나의 웨이퍼(이하, 제2 웨이퍼라 함)를 인출할 수 있다. 예를 들면, 상기 상부 로봇암(372A)을 이용하여 상기 제2 웨이퍼를 상기 카세트 스테이지(200)로부터 인출하고, 상기 하부 로봇암(372B)을 이용하여 상기 전기적 검사부(310)의 제1 척(312)으로부터 상기 전기적 검사 공정이 완료된 제1 웨이퍼를 언로드하며, 이어서 상기 상부 로봇암(372A)을 이용하여 상기 제2 웨이퍼를 상기 제1 척(312) 상에 로드할 수 있다. 계속해서, 상기 제1 척(312)으로부터 언로드된 제1 웨이퍼는 상기 광학적 검사부(340)의 제2 척(342) 상에 로드될 수 있다.

또한, 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)은 상기 제1 및 제2 웨이퍼들 각각에 대한 광학적 검사 공정과 전기적 검사 공정이 완료되기 이전에 상기 카세트 스테이지(200)로부터 또 다른 하나의 웨이퍼(이하, 제3 웨이퍼라 함)를 인출할 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 웨이퍼의 인출, 상기 제1 척(312)으로부터 상기 제2 웨이퍼의 언로드, 상기 제1 척(312) 상으로 상기 제3 웨이퍼의 로드, 상기 제2 척(342)으로부터 상기 제1 웨이퍼의 언로드, 상기 제2 척(342) 상으로 상기 제2 웨이퍼의 로드 및 상기 카세트 스테이지(200)로 상기 제1 웨이퍼의 이송이 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)에 의해 순차적으로 수행될 수 있다.

도 13 및 도 14는 도 1에 도시된 정렬 블록들을 이용하는 웨이퍼의 정렬 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.

도 13 및 도 14를 참조하면, 상기 웨이퍼 이송 로봇(370)은 상기 상부 로봇암(372A) 또는 하부 로봇암(372B) 상에 로드된 웨이퍼(10)를 기 설정된 위치에 정렬하기 위하여 상기 웨이퍼(10)가 상기 정렬 블록들(240)과 닿은 후 후방으로 밀리도록 상기 웨이퍼(10)를 상기 정렬 블록들(200)을 향하여 이동시킨다. 이때, 상기 웨이퍼(10)는 상기 상부 또는 하부 로봇암(372A 또는 372B) 상에서 상기 정렬 블록들(200)에 의해 상기 스토퍼(376A 또는 376B)까지 밀릴 수 있으며 이에 의해 상기 상부 또는 하부 로봇암(372A 또는 372B) 상에서 상기 웨이퍼(10)가 기 설정된 위치에 일차 정렬될 수 있다. 특히, 상기 웨이퍼 링(14)이 대략적인 원형이므로 상기 일차 정렬에 의해 상기 웨이퍼(10)의 중심이 기 설정된 위치에 정렬될 수 있다. 상기와 같은 웨이퍼(10)의 일차 정렬은 상기 웨이퍼(10)가 상기 제1 척(312) 또는 제2 척(342) 상에 로드된 후 상기 웨이퍼(10)와 상기 제1 프로브 카드(322) 또는 제2 프로브 카드(352)의 상호 정렬에 소요되는 시간을 단축시키기 위하여 수행될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 도 1에 도시된 바와 같이 카세트 스테이지(100)는 서포트 플레이트(120) 상에 서로 다른 크기를 갖는 카세트(4,6)들을 선택적으로 지지하고 고정하기 위하여 복수의 클램프들(122,124)과 스토퍼들(126,128)을 가질 수 있다. 즉, 상기 카세트 스테이지(100)는 서로 다른 크기를 갖는 카세트들(4,6)에 대하여 공용으로 사용될 수 있으므로 상기 카세트 스테이지(100)를 채용하는 검사 장치(300)의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.

또한, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이 정렬 블록들(240)을 이용하여 웨이퍼 이송 로봇(370)에 의해 인출된 웨이퍼(10)의 일차 정렬이 가능하므로 상기 카세트 스테이지(200)를 포함하는 검사 장치(300)의 처리 속도가 크게 향상될 수 있다.

추가적으로, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 카세트 스테이지(200)는 상부 스테이지(210)와 하부 스테이지(220)를 구비할 수 있으므로 제1 카세트(4)의 언로드 및 로드 동작들이 수행되는 동안 제2 카세트(6)에 수납된 웨이퍼들(10)에 대한 검사 공정이 수행될 수 있으며, 이어서 상기 제2 카세트(6)의 언로드 및 로드 동작들이 수행되는 동안 상기 제1 카세트(4)에 수납된 웨이퍼들(10)에 대한 검사 공정이 연속적으로 수행될 수 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 카세트들(4,6)의 로드 및 언로드 동작들이 각각 수행되는 동안 상기 웨이퍼들(10)에 대한 검사 공정의 중단이 방지될 수 있으며, 이에 따라 상기 카세트 스테이지(200)를 채용하는 검사 장치(300)의 처리 속도가 크게 향상될 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10 : 웨이퍼 12 : 다이싱 테이프
14 : 웨이퍼 링 20 : 발광 소자
30 : 다이 100 : 카세트 스테이지
102 : 베이스 플레이트 110 : 가동 플레이트
120 : 서포트 플레이트 122,124 : 클램프
126,128 : 스토퍼 130 : 클램핑 플레이트
140 : 정렬 블록 150 : 버퍼 카세트
200 : 카세트 스테이지 210 : 상부 스테이지
220 : 하부 스테이지 230 : 센서
232,234 : 바코드 리더기 240 : 정렬 블록
250 : 버퍼 카세트 300 : 발광 소자 검사 장치
310 : 전기적 검사부 340 : 광학적 검사부
370 : 웨이퍼 이송 로봇

Claims (13)

1. 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 카세트를 지지하는 서포트 플레이트;
   상기 서포트 플레이트 상에 배치되며 상기 카세트의 일측 부위를 지지하기 위한 스토퍼;
   상기 카세트를 상기 서포트 플레이트 상에서 고정시키기 위하여 상기 서포트 플레이트 상에서 상기 카세트의 타측 부위에 밀착되도록 구성되는 클램프;
   상기 서포트 플레이트 하부에 배치되는 베이스 플레이트;
   상기 베이스 플레이트의 일측에 장착되며 웨이퍼 이송 로봇에 의해 상기 카세트로부터 인출된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 이송 로봇의 로봇암 상에서 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 한 쌍의 정렬 블록을 포함하되,
   상기 로봇암 상의 웨이퍼가 상기 정렬 블록들에 닿은 후 상기 기 설정된 위치까지 밀리도록 하는 상기 웨이퍼 이송 로봇의 동작에 의해 상기 웨이퍼의 정렬이 이루어지는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
2. 제1항에 있어서, 상기 서포트 플레이트는 상기 베이스 플레이트 상에서 이동 가능하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서, 상기 베이스 플레이트 상에 이동 가능하도록 배치되는 가동 플레이트를 더 포함하며, 상기 서포트 플레이트는 상기 가동 플레이트 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
5. 제4항에 있어서, 상기 베이스 플레이트 상에 배치되며 상기 서포트 플레이트를 상기 카세트의 로드 및 언로드 위치로 이동시키기 위하여 상기 가동 플레이트를 이동시키는 제1 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
6. 제4항에 있어서, 상기 서포트 플레이트는 상기 가동 플레이트 상에서 소정 간격 이격되도록 배치되며 상기 스토퍼를 향하여 연장하는 슬롯을 갖고,
   상기 가동 플레이트와 상기 서포트 플레이트 사이에는,
   상기 스토퍼를 향하여 이동 가능하도록 배치되는 클램핑 플레이트와,
   상기 클램핑 플레이트를 이동시키기 위한 제2 구동부가 배치되며,
   상기 클램프는 상기 슬롯을 통하여 상기 서포트 플레이트의 상부로 돌출되도록 상기 클램핑 플레이트에 장착되는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
7. 제1항에 있어서, 상기 서포트 플레이트 상에 배치되며 상기 카세트보다 큰 제2 카세트의 일측 부위를 지지하기 위한 제2 스토퍼; 및
   상기 제2 카세트를 상기 서포트 플레이트 상에서 고정시키기 위하여 상기 서포트 플레이트 상에서 상기 카세트의 타측 부위에 밀착되도록 구성되는 제2 클램프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
8. 제1항에 있어서, 상기 베이스 플레이트 아래에 배치되며 상기 웨이퍼들에 대한 전기적 또는 광학적 검사 공정에 사용되는 프로브 카드의 탐침들로부터 이물질을 제거하기 위한 클리닝 웨이퍼를 보관하기 위한 버퍼 카세트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
9. 제8항에 있어서, 상기 버퍼 카세트는 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부에 장착되는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
10. 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 제1 카세트를 지지하기 위한 상부 스테이지;
    상기 상부 스테이지의 하부에 배치되며 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 제2 카세트를 지지하기 위한 하부 스테이지; 및
    상기 상부 스테이지의 일측에 장착되며 웨이퍼 이송 로봇에 의해 상기 제1 또는 제2 카세트로부터 인출된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 이송 로봇의 로봇암 상에서 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 한 쌍의 정렬 블록을 포함하되,
    상기 로봇암 상의 웨이퍼가 상기 정렬 블록들에 닿은 후 상기 기 설정된 위치까지 밀리도록 하는 상기 웨이퍼 이송 로봇의 동작에 의해 상기 웨이퍼의 정렬이 이루어지며,
    상기 상부 스테이지 및 하부 스테이지는 각각,
    상기 제1 또는 제2 카세트를 지지하는 서포트 플레이트;
    상기 서포트 플레이트 상에 배치되며 상기 제1 또는 제2 카세트의 일측 부위를 지지하기 위한 스토퍼; 및
    상기 제1 또는 제2 카세트를 상기 서포트 플레이트 상에서 고정시키기 위하여 상기 서포트 플레이트 상에서 상기 제1 또는 제2 카세트의 타측 부위에 밀착되도록 구성되는 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
11. 제10항에 있어서, 상기 상부 스테이지와 상기 하부 스테이지가 장착되는 프레임; 및
    상기 프레임에 장착되며 상기 제1 카세트 또는 제2 카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하기 위한 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
12. 제10항에 있어서, 상기 제1 카세트의 바코드를 인식하기 위한 제1 바코드 리더기; 및
    상기 제2 카세트의 바코드를 인식하기 위한 제2 바코드 리더기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스테이지.
13. 복수의 발광 소자들이 형성된 웨이퍼에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하기 위한 전기적 검사부;
    상기 웨이퍼에 대한 광학적인 검사 공정을 수행하기 위한 광학적 검사부;
    상기 전기적 검사부와 광학적 검사부 사이에 배치되며 상기 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송 로봇;
    상기 웨이퍼 이송 로봇에 인접하도록 배치되며 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 카세트를 지지하는 카세트 스테이지; 및
    상기 카세트 스테이지의 일측에 장착되며 상기 웨이퍼 이송 로봇에 의해 상기 카세트로부터 인출된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 이송 로봇의 로봇암 상에서 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 한 쌍의 정렬 블록을 포함하되,
    상기 로봇암 상의 웨이퍼가 상기 정렬 블록들에 닿은 후 상기 기 설정된 위치까지 밀리도록 하는 상기 웨이퍼 이송 로봇의 동작에 의해 상기 웨이퍼의 정렬이 이루어지며,
    상기 카세트 스테이지는,
    상기 카세트를 지지하는 서포트 플레이트;
    상기 서포트 플레이트 상에 배치되며 상기 카세트의 일측 부위를 지지하기 위한 스토퍼; 및
    상기 카세트를 상기 서포트 플레이트 상에서 고정시키기 위하여 상기 서포트 플레이트 상에서 상기 카세트의 타측 부위에 밀착되도록 구성되는 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 검사 장치.

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