JP2007227840A - プローブ針のクリーニング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子Sの電気的特性の検査を行う半導体検査装置は、複数のプローブ針3が取り付けられ、半導体ウェハWを構成する各半導体素子と電気的な信号の授受を行うプローブカード2と、半導体ウェハWを載置するウェハステージ5と、プローブ針3の研磨を行うクリーニングステージ13とを有している。そして、クリーニングステージ13にはプローブカード2に対応して水平面上に配列して異なる種類の第1のクリーニングシート11と第2のクリーニングシート12とが設けられている。ウェハステージ5とクリーニングステージ13とは水平駆動部7により水平面上を駆動し、第1のクリーニングシート11と第2のクリーニングシート12とのうちプローブカード2に対応したクリーニングシートを選択する。
【選択図】 図1
Description
3 プローブ針 5 ウェハステージ
6 ウェハステージ駆動機構 7 水平駆動部
9 検査部 10 クリーニング部
11 第1のクリーニングシート 12 第2のクリーニングシート
13 クリーニングステージ 14 クリーニングステージ駆動機構
30 駆動制御部 W 半導体ウェハ
Claims (2)
- プローブ針が複数取り付けられ、半導体ウェハを構成する各半導体素子と電気的な信号の授受を行うプローブカードと、前記半導体ウェハを載置するウェハステージと、前記プローブ針の研磨を行うクリーニングステージとを有し、
前記クリーニングステージには水平面上に配列して異なる種類の複数のクリーニングシートが設けられ、
前記ウェハステージ及び前記クリーニングステージの両ステージ又は前記プローブカードのうち少なくとも何れか一方には水平面上を移動可能な水平駆動手段及び垂直方向に昇降可能な昇降手段が設けられ、
前記水平駆動手段が水平面上を駆動することにより、前記クリーニングステージに配列された複数種類のクリーニングシートのうち、前記プローブカードに対応したクリーニングシートが選択されて、選択されたクリーニングシートにより前記プローブ針がクリーニングされることを特徴とするプローブ針のクリーニング装置。 - 前記クリーニングステージは、前記半導体ウェハに前記プローブ針を接触させて前記半導体ウェハを構成する複数の半導体素子の電気的特性を検査する半導体検査装置に用いられることを特徴とする請求項1記載のプローブ針のクリーニング装置。
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