KR100806398B1

KR100806398B1 - 프로브의 연마 방법 및 연마 부재

Info

Publication number: KR100806398B1
Application number: KR1020060127521A
Authority: KR
Inventors: 마사히토 고바야시
Original assignee: 동경 엘렉트론 주식회사
Priority date: 2005-12-19
Filing date: 2006-12-14
Publication date: 2008-02-21
Also published as: US20070141956A1; TW200730297A; TWI404594B; CN1986152B; KR20070065218A; CN1986152A; JP4745814B2; US7465218B2; JP2007170835A; US20080182483A1

Abstract

본 발명은, 프로브 카드의 대형화에 따라 프로브가 증가하여 프로브의 배열 영역이 연마 부재로부터 비어져 나오더라도, 그 연마 부재를 이용하여 프로브를 확실히 연마할 수 있고, 나아가서는 검사의 스루풋을 높일 수 있는 프로브의 연마 방법 및 연마 부재를 제공하는것을 목적으로 한다.

본 발명의 프로브의 연마 방법은, 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 카드(20)에 배열된 복수의 프로브(21)를, 연마 시트(10)를 이용하여 연마하는 방법에 있어서, 외주연부에 경사면(10A)을 가지는 연마 시트(10)를, 탑재대(30)를 거쳐서 이동시켜, 프로브 에어리어(21)를 복수회로 나누어 연마한다.

Description

프로브의 연마 방법 및 연마 부재 {PROBE POLISHING METHOD AND PROBE POLISHING MEMBER}

도 1은 본 발명의 프로브의 연마 방법을 개념적으로 도시하는 측면도이고,

도 2는 도 1에 도시하는 연마 부재가 부설된 프로브 장치의 탑재대를 도시

하는 평면도이고,

도 3은 도 1에 도시하는 연마 부재를 도시하는 단면도이고,

도 4는 도 1에 도시하는 연마 부재의 이동 영역을 도시하는 평면도이고,

도 5는 (a), (b)는 각각 본 발명의 프로브의 연마 방법의 일실시형태를 도시

하는 평면도이고,

도 6은 (a), (b)는 각각 본 발명의 프로브의 연마 방법의 다른 실시형태를

도시하는 평면도이고,

도 7은 종래의 프로브 장치의 요부를 도시하는 사시도이다.

(도면의 주요부분에 관한 부호의 설명)

10: 연마시트 10A: 경사면

11: 연마층 13: 쿠션층

20: 프로브카드 21: 프로브

30: 탑재대 31: 지지대

31A: 경사면

특허문헌 1: 일본 특허공개 2000-164649호

특허문헌 2: 일본 특허공개 2000-183119호

본 발명은, 프로브 장치에 적용되는 프로브의 연마 방법 및 연마 부재에 관하고, 더욱 자세하게는, 프로브를 대형화하는일 없이 프로브의 연마 작업 시간을 단축하여 소형 프로브 장치로 검사의 스루풋을 향상시킬 수 있는 프로브의 연마 방법 및 연마 부재에 관한 것이다.

종래의 프로브 장치는, 예컨대 도 7에 도시하는 바와 같이 피검사체(예컨대, 웨이퍼)(W)를 탑재하고 또한 승강 구동 기구 및 회전 구동 기구를 내장하는 탑재대(1)와, 탑재대(1)를 지지하고 또한 X 방향으로 이동하는 X스테이지(2)와, X스테이지(2)를 지지하고 또한 Y 방향으로 이동하는 Y스테이지(3)와, 탑재대(1)의 상방에 배치된 프로브 카드(4)와, 프로브 카드(4)의 프로브(4A)와 웨이퍼(W)와의 얼라이먼트를 실행하는 얼라이먼트 기구(5)를 프로버실내에 구비하여, 프로버실내에서 얼라이먼트 기구(5)를 사용하여 웨이퍼(W)와 프로브(4A)를 얼라이먼트한 후, 탑재대(1)가 기대(6)상에서 X, Y 스테이지(2, 3) 및 승강 기구를 거쳐서 X, Y 및 Z 방향으로 이동하고, 웨이퍼(W)와 프로브(4A)를 전기적으로 접촉시켜, 웨이퍼(W)의 전기적 특성 검사를 실행한다. X, Y 스테이지(2, 3)는, 각각 볼나사에 연결된 구동 장치에 의해서 X, Y 방향으로 각각 개별로 이동한다. 또한, 도 7에서는, X스테이지(2)의 구동장치를 구성하는 볼나사(2B)와, Y스테이지(3)의 구동 장치를 구성하는 모터(3A)가 표시되어 있다.

또한, 상기 얼라이먼트 기구(5)는, 도 7에 도시하는 바와 같이 아래쪽 CCD카메라(5A) 및 위쪽 CCD카메라(5B)를 구비하여, 제어 장치의 제어하에서 구동한다. 아래쪽CCD카메라(5A)는, 탑재대(1)에 부설되어, 프로브 카드(4)의 프로브(4A)를 하방으로부터 촬상한다. 위쪽CCD카메라(5B)는, 얼라이먼트 브리지(5C)의 중앙에 배치되어, 탑재대(1) 상의 웨이퍼(W)를 상방으로부터 촬상한다. 이 얼라이먼트 브리지(5C)는, Y 방향(전후 방향)을 따라 배치된 한 쌍의 가이드레일(도시하지 않음)을 따라서 프로버실내의 가장 내쪽부에서 프로브 센터까지 화살표 방향으로 이동한다. 그리 하여, 웨이퍼(W)의 검사를 실행할 때에는, 얼라이먼트 기구(5)를 거쳐서 웨이퍼(W)의 전극 패드와 프로브 카드(4)의 프로브(4A)를 얼라이먼트한 후, 탑재대(1)를 X, Y 및 Z 방향으로 이동시켜, 웨이퍼(W)의 전극 패드와 프로브(4A)를 전기적으로 접촉시켜 전기적 특성 검사를 실행한다. 이 검사를 되풀이하여 실행하면 프로브(4A)의 침끝에 전극 패드 표면의 금속산화물이 부스러기로서 부착하여, 그 후의 검사에 장해가 된다. 그래서, 예컨대 도 7에 도시하는 연마 부재(7)를 이용하여 프로브(4A)의 침끝을 연마하여 부스러기를 제거한다.

그런데, 프로브 카드(4)가 대형화하여 프로브(4A)에 의한 디바이스의 동측수가 늘어나면, 프로브 카드(4)에 있어서 프로브(4A)가 차지하는 영역(이하, 간단히「프로브 에어리어」라고 칭한다.)이 연마 부재(7)의 크기보다 커져, 종래의 연마 부재(7)에서는 프로브(4A)를 연마할 수 없게 된다. 이 경우, 프로브 카드(4)를 프로브 장치로부터 분리하여, 프로브(4A)를 연마할 수도 있지만, 프로브 카드(4)의 장착 및 분리 작업에 많은 시간이 필요하게 되어, 연마 효율이 나빠진다.

그래서, 특허문헌 1에서는, 프로브 카드를 분리하는 일없이, 웨이퍼 사이즈의 연마 부재를 탑재대(1) 상에 탑재하여, 이 연마 부재로 프로브를 연마하는 방법이 제안되어 있다. 또한, 특허문헌 2에서는, 프로브 에어리어에 적당한 크기를 갖는 연마 부재를 이용하여, 프로브 카드의 종류에따라 변하는 프로브 에어리어의 방향에 맞춰 연마 부재를 회전할 수 있는 프로브 장치가 제안되어 있다.

그러나, 특허문헌 1의 기술의 경우에는, 프로브 카드의 종류에 따라 연마 부재를 바꿀 수 있지만, 프로브를 연마할 때마다 탑재대 상에 연마 부재를 다시 설치하지 않으면 안되어, 설치 작업에 많은 시간을 나누어 쓸 수밖에 없어, 연마 작업 효율이 나쁘고, 연마 부재를 설치하기 위한 장치가 필요하여, 코스트가 높아진다. 또한, 프로브 카드가 웨이퍼와 일괄 접촉하는 큰 프로브 카드인 경우에는, 일괄해서 프로브를 연마할 수 있지만, 연마 부재를 인덱스 이송할 수 없기 때문에, 동일 한 장소를 되풀이하여 사용하지 않으면 안되어, 연마 부재를 유효하게 이용할 수가 없다. 또한 연마 부재가 커서, 그 수납공간이 여분으로 필요하게 되어, 프로브 장치가 대형화된다.

특허문헌 2의 기술의 경우에는, 프로브 에어리어에 적당한 크기의 연마 부재를, 프로브 에어리어에 맞춰서 방향을 바꾸기 위해서, 연마 부재의 방향을 바꿀 때에, 프로브 에어리어의 방향에 따라서는 연마 부재를 탑재대의 탑재면보다도 높게 상승시켜 사용하기 때문에, 연마 부재의 회전 구동 기구나 승강 구동 기구가 필요하게 되어 기구적으로 복잡하다. 또한, 특허문헌 1의 경우와 동일하게 동일 장소를 이용하여 연마하기 때문에, 연마 부재의 이용 효율이 나쁘고, 또한, 프로브 에어리어에 적당한 크기의 연마 부재를 수납하는 공간과, 연마 부재의 방향을 전환하기 위한 공간이 여분으로 필요하게 되어 프로브 장치가 대형화한다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 프로브 카드의 대형화에 따라 프로브가 증가하여 프로브의 배열 영역이 연마 부재로부터 비어져 나오더라도, 그 연마 부재를 이용하여 프로브를 확실하게 또한 효율있게 연마할 수 있어, 나아가서는 검사의 스루풋을 높일 수 있는 프로브의 연마 방법 및 연마 부재를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명의 청구항 1에 기재된 프로브의 연마 방법은, 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 카드에 배열된 복수의 프로브를, 연마 부재를 이용하여 연마하는 방법에 있어서, 상기 연마 부재와 상기 프로브 카드의 위치를 상대적으로 변화시켜, 상기 복수의 프로브를 복수회로 나누어 연마하는 것을 특징으로 하는 것 이다.

본 발명의 청구항 2에 기재된 프로브의 연마 방법은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 연마 부재와 상기 프로브 카드의 위치를 상대적으로 변화시켜, 상기 프로브 카드의 동일한 프로브를 상기 연마 부재가 다른 부위로 복수회 연마하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 청구항 3에 기재된 프로브의 연마 방법은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 발명에 있어서, 상기 연마 부재는 상기 피검사체를 탑재하는 이동 가능한 탑재대에 부설되어, 상기 탑재대를 거쳐서 상기 연마 부재를 이동시키는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 청구항 4에 기재된 프로브의 연마 방법은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 발명에 있어서, 상기 연마 부재로서 연마 시트를 이용하고, 상기 연마 시트의 외주연부에는 내측으로부터 외측을 향해서 하강하는 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 청구항 5에 기재된 프로브의 연마 방법은, 청구항 4에 기재된 발명에 있어서, 상기 연마 시트는, 연마층과, 연마층의 하측에 형성된 쿠션층을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 청구항 6에 기재된 연마 부재는, 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브를 연마하기 위해서 지지대 상에 배치되어 이용되는 연마 부재에 있어서, 상기 연마 부재의 외주연부에는 내측으로부터 외측을 향해서 하강하는 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 청구항 7에 기재된 연마 부재는, 청구항 6에 기재된 발명에 있어서, 상기 지지대는, 피검사체를 탑재하는 탑재대에 부설되고, 상기 지지대의 외주연부에는 내측으로부터 외측을 향해서 하강하는 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 청구항 8에 기재된 연마 부재는, 청구항 6 또는 청구항 7에 기재된 발명에 있어서, 상기 연마 부재는, 연마층과, 연마층의 하측에 형성된 쿠션층을 갖는 연마 시트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다.

이하, 도 1∼도 6에 도시하는 실시형태에 근거하여 본 발명을 설명한다. 또한, 도 1은 본 발명의 프로브의 연마 방법을 개념적으로 도시하는 측면도, 도 2는 도 1에 도시하는 연마 부재가 부설된 프로브 장치의 탑재대를 도시하는 평면도, 도 3은 도 1에 도시하는 연마 부재를 도시하는 단면도, 도 4는 도 1에 도시하는 연마 부재의 이동 영역을 도시하는 평면도, 도 5의 (a), (b)는 각각 본 발명의 프로브의 연마 방법의 일실시형태를 도시하는 평면도, 도 6의 (a), (b)는 각각 본 발명의 프로브의 연마 방법의 다른 실시형태를 도시하는 평면도이다.

본 실시형태의 연마 부재(10)는, 예컨대 도 1에서 개념적으로 도시하는 바와 같이, 프로브 카드(20)에 부착된 복수의 프로브(21)의 배열 영역(이하, 간단히「프로브 에어리어」라고 칭한다.)의 크기보다 작고, 프로브 에어리어가 연마 시트(10)로부터 비어져 나오는 크기로 형성되어 있다. 이 연마 부재(10)는, 예컨대 도 2에 도시하는 바와 같이 피검사체인 웨이퍼(도시하지 않음)를 탑재하는 탑재대(30)의 외주면에 부설된 지지대(31) 상에 배치되어 있다. 탑재대(30)는, 종래와 동일하게 X, Y, Z 방향 및 θ 방향으로 이동이 가능하도록 구성되어 있다. 지지대(31)는, 탑재대(30)의 원주면의 일부에서 수평으로 돌출하여, 연마 부재(10)의 표면이 탑재대(30)의 탑재면보다 약간 상위가 되도록 지지하고 있다.

연마 부재(10)는, 프로브 에어리어의 모든 프로브(21)를 한번의 연마 작업으로 연마할 수가 없기 때문에, 탑재대(30)를 거쳐서 연마 부재(10)를 인덱스 이송하는 것에 의해, 도 1에 도시하는 바와 같이 프로브 에어리어의 프로브(21)를 복수회(동 도면에서는 일점쇄선을 경계로 3회)로 나눠 연마한다.

또한, 연마 부재(10)의 평면 형상은, 필요에 따라서 적절히 설정할 수 있다. 본 실시형태에서는 연마 부재(10)는 예컨대 도 2에 도시하는 바와 같이 직사각형 형상으로 형성되어, 지지대(31)의 상면에 대하여 장착 및 분리가 자유롭도록 부착되어, 소모품으로서 적절히 교환할 수 있도록 되어있다. 이 연마 부재(10)는, 가요성이 있는 연마 시트로서 형성되어 있어도, 알루미나 세라믹 등과 같이 연마판으로서 형성되어 있더라도 좋다. 본 실시형태에서는 연마 부재(10)로서 가요성이 있는 연마 시트에 의해서 형성되어 있다. 그래서, 이하에서는 연마 부재(10)를 연마 시트(10)로서 설명한다. 본 실시형태에서는, 연마 부재(10)의 연마재가 딱딱하여, 연마재의 표면으로 프로브를 연마할 경우에 특히 유효하다. 즉, 연마 부재(10) 표면의 경도가 프로브(21)의 재료보다 경도가 큰 경우이다. 예컨대 프로브(21)가 텅스텐인 경우에는 그 모스 경도는 7.5이므로, 모스 경도가 8 이상, 예컨대 9인 연마 재를 이용하는 경우, 연마재로서는 입자 직경이 0.5∼10μm인 알루미나를 이용할 수 있다.

그리하여, 지지대(31)의 외주연부에는 도 1에 도시하는 바와 같이 내측으로부터 외측을 향해서 하강하는 경사면(31A)이 형성되어 있다. 연마 시트(10)는, 동 도면에 도시하는 바와 같이 지지대(31)의 경사면(31A)을 피복하는 크기로 형성되고, 그 외주연부에는 내측으로부터 외측을 향해서 하강하는 경사면(10A)이 형성되어 있다. 연마 시트(10)는, 지지대(31)의 경사면(31A)을 완전히 피복하는 크기라도, 동 도면에 도시하는 바와 같이 경사면(31A)의 일부를 남기고 피복하는 크기라도 좋다. 연마 시트(10)의 경사면(10A)은, 경사 방향의 길이가 예컨대 5mm(5mm이상이 바람직하다)이고, 경사도가 예컨대 10%(10% 이하가 바람직하다)가 되도록 형성되어 있다. 이와 같이 연마 시트(10)의 외주연부에 경사면(10A)를 마련하는 것에 의해, 프로브 에어리어의 연마 영역의 경계(동 도면에서는 일점쇄선으로 도시하고 있다)로부터 프로브(21)가 연마 영역외로 멀어짐에 따라 프로브(21)의 선단이 연마 시트(10)로부터 떨어져, 연마시의 인덱스 이송에 의해서 연마 영역에 인접하는 프로브(21)가 연마 시트(10A)의 외주연부에 의해 굽는 등의 손상을 입지 않고, 프로브(21)의 배열 상태를 흩트리지 않도록 하고 있다.

또한, 연마 시트(10)는, 예컨대 도 3에 도시하는 바와 같이 연마층(11)과, 연마층(11)을 지지하는 필름층(12)과, 필름층(12)을 지지하는 쿠션층(13)을 가지고 구성되어 있다. 연마층(11)은, 예컨대 연마재로 이루어지는 알루미나 등의 미세분말을 필름층(12)에 도포하여 형성되어 있다. 필름층(12)은 예컨대 폴리에틸렌 테레 프탈레이트(PET) 수지 등에 의해서 형성할 수 있다. 쿠션층(13)은, 탄력성이 풍부한 발포성 수지(예컨대, 아크릴 폼)에 의해서 형성되고, 그 상하양면에 예컨대 아크릴계 수지 재료로 이루어지는 점착제층(14)이 형성되어 있다. 또한, 15는 라이너지로, 연마 시트(10)를 지지대(31)에 부착할 때에 박리된다. 연마 시트(10)의 두께는, 필요에 따라서 적절히 설정할 수 있지만, 예컨대 라이너지(15)를 제외한 두께가 500μm 전후로 형성되어 있다. 그리고, 연마층(11)과 필름층(12)을 포함하는 두께가 예컨대 200μm로 형성되어, 쿠션층(13)과 상하의 점착제층(14)을 포함하는 두께가 예컨대 300μm로 형성되어 있다. 알루미나 등의 연마재의 미세분말은, 프로브(21)의 선단 직경보다도 작은 입자 직경으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 프로브(21)는, 예컨대 선단 직경이 10∼20μm, 침끝 길이가 200μm전후, 프로브(21)의 간격이 50∼200μm로 형성되어 있다.

다음에, 본 발명의 프로브의 연마 방법의 일실시형태에 대하여 도 4 내지 도 6을 참조하면서 설명한다. 또한, 도 5, 도 6에는 프로브 에어리어를 두번에 나눠 연마하는 방법에 대하여 나타내고 있다.

우선, 웨이퍼의 검사를 실행하는 경우에는, 웨이퍼를 탑재대(30) 상에 탑재하여, 얼라이먼트 기구(도시하지 않음)를 거쳐서 웨이퍼와 프로브 카드(20)의 프로브(21)와의 얼라이먼트를 실행한 뒤, 탑재대(30)를 거쳐서 웨이퍼를 처음의 검사 위치로 수평 방향으로 이동시켜, 이 위치에서 탑재대(30)의 승강 기구를 거쳐서 웨이퍼를 프로브(21)와의 접촉 위치로부터 소정의 치수만큼 오버드라이브시켜, 웨이퍼의 전극 패드와 프로브(21)를 전기적으로 접촉시켜 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 실행한다. 그 후, 탑재대(30)를 하강시킨 뒤, 탑재대(30)를 거쳐서 웨이퍼를 인덱스 이송하여, 다음 검사 위치에서 동일한 검사를 되풀이한다. 웨이퍼의 검사를 실행할 때에 프로브(21)로 전극 패드의 산화막을 깎아서 전기적 도통을 취하기 때문에, 검사를 되풀이하고 있으면, 프로브(21)의 선단부에 산화물 등이 부착하여, 그 후의 검사에 장해가 된다.

그래서, 본 실시형태의 프로브의 검사 방법을 실행하여, 프로브(21)의 선단부로부터 부착물을 제거한다. 프로브(21)를 연마할 때에는 상술한 바와 같이 탑재대(30)를 거쳐서 연마 시트(10)를 인덱스 이송하면서 프로브 에어리어의 프로브(21)를 연마한다. 탑재대(30)의 인덱스 이송으로 커버할 수 있는 연마 시트(10)의 연마 영역은, 예컨대 도 4에 사선으로 나타내는 영역이다. 프로브 카드(20)는, 프로브 에어리어의 중심이 프로브 장치(E)의 프로브 센터(C)가 되도록 배치되어 있다. 그리고, 프로브 에어리어는 연마 영역내에 있어, 탑재대(30)에 의한 인덱스 이송으로 모든 프로브(21)를 연마할 수 있다.

프로브(21)의 연마 작업은 아래와 같이 하여 실행된다. 우선, 연마에 앞서 프로브 장치의 제어 장치에 프로브 카드(20)의 프로브 에어리어 및 연마 시트(10) 각각의 크기를 등록한다. 이에 의해, 제어 장치는 프로브 에어리어와 연마 시트(10)의 크기에 근거하여 프로브 에어리어를 한번에 연마할지 복수회로 나눠 연마할지를 선택한다. 프로브 에어리어가 연마 시트(10)보다도 큰 경우에는, 각각의 등록 내용에 근거하여 몇회에 나눠 연마할지를 제어 장치에서 자동적으로 구한다. 또한, 오퍼레이터가 연마 회수를 설정할 수도 있다. 도 5 및 도 6에 도시하는 경 우에는 제어 장치에 있어서 두번에 나누어 연마하는 것을 판단한다. 또한, 이하에서는 프로브 에어리어를 필요에 따라서 프로브 에어리어(21)로서도 설명한다.

도 5의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 프로브 에어리어(23)가 세로 로 길 경우에는, 프로브 에어리어(23)를 예를들어 상하로 2분할하여, 탑재대(도시하지 않음)를 거쳐서 동 도면의 (a)에 도시하는 바와 같이 프로브 에어리어(23)의 상반부가 연마 시트(10)의 좌하측에 위치하도록 배치한다. 이 상태에서 탑재대를 거쳐서 연마 시트(10)를 상승시켜, 프로브 에어리어의 프로브(21)에 접촉시키고, 또한 50∼100μm, 예컨대 50μm 오버 드라이브시킨다. 그러면, 프로브(21)의 선단이 연마층(11) (도 3참조)에 충돌한다. 이 때, 연마층(11)에 포함되는 연마재로 프로브(21)를 연마하여, 프로브 선단부의 부착물을 얇게 깎아낸다. 그 후, 탑재대를 거쳐서 연마 시트(10)를 하강단부까지 하강시켜 프로브 에어리어(21)로부터 떼어낸다. 이에 의해, 프로브(21)의 선단부로부터 부착물이 제거되어, 부착물은 연마층에 잔존한다. 오버 드라이브량과 연마 시트(10)의 경사로부터 산출되는 경사부에서의 프로브(21)의 접촉 영역이 경사의 수평 방향의 1/2 이하로 설정하면 확실히 프로브의 손상을 막을 수 있다.

한번의 연마 작업으로 프로브(21)의 부착물을 완전히 제거할 수 있는 경우도 있지만, 부착물에 따라서는 한번의 조작으로 완전히 제거할 수 없는 것도 있다. 이 경우에는, 도 5의(a)에 도시하는 바와 같이 탑재대를 거쳐서 연마 시트(10)를 소정의 거리(δ)만큼 인덱스 이송하여 연마 시트(10)를 동 도면에 화살표로 나타내는 가로 방향(Y 방향)으로 어긋하게 한 후, 상술한 바와 같이 연마 시트(10)를 오 버 드라이브시켜 연마 시트(10)의 별도의 장소에서 부착물을 제거한 뒤, 연마 시트(10)를 하강시킨다. 이와 같이 연마 시트(10)의 연마 위치를 바꾸는 것에 의해 부착물의 제거 효율을 높일 수 있다. 연마 시트(10)를 필요회수만큼 Y 방향으로 옮겨, 프로브 에어리어(21)의 동일한 부분을 복수회 연마하여, 프로브(21)로부터 부착물을 확실히 제거한다.

프로브 에어리어(23)의 상반부를 연마한 뒤, 동 도면의 (b)에 도시하는 바와 같이 탑재대를 거쳐서 X 방향에서 하향으로 이동시켜, 프로브 에어리어(23)의 하반부가 연마 시트(10)의 상방에 위치하도록 배치한다. 그리고, 프로브 에어리어(21)의 상반부를 연마한 경우와 동일한 요령으로 프로브 에어리어의 하반부의 프로브(21)를 필요에 따라서 복수회의 인덱스 이송을 되풀이하여 연마한다.

또한, 도 6에 도시하는 바와 같이 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 프로브 에어리어(21)가 가로로 길 경우에는, 우선 처음에, 예컨대 동 도면의 (a)에 도시하는 바와 같이 오른쪽 절반의 프로브 에어리어(21)를 연마하고, 필요에 따라서 탑재대를 거쳐서 연마 시트(10)를 화살표로 도시하는 바와 같이 하방으로 거리(δ)씩 인덱스 이송하여 복수회 동일한 프로브(21)를 연마한 뒤, 탑재대를 거쳐서 연마 시트(10)를 동 도면(b)에 도시하는 바와 같이 이동시켜, 왼쪽 절반의 프로브 에어리어의 프로브(21)를 오른쪽 절반과 동일 요령으로 연마한다.

이상 설명한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 연마 시트(10)의 외주연부에 내측으로부터 외측으로 하강하는 경사면(10A)을 마련했기 때문에, 프로브 에어리어(21)가 연마 시트(10)를 비어져 나오게 하는 경우더라도, 연마 시트(10)의 외주 연부가 프로브(21)에 접촉하기 어려워, 프로브(21)의 배열 상태를 흩트리는 일없이, 프로브 에어리어(23)를 복수회로 나눠 원활 또한 확실히 연마할 수 있다. 따라서, 프로브 카드(20)가 대형화되어 프로브 에어리어(23)가 연마 시트(10)로부터 비어져 나오더라도, 그 연마 시트(10)를 이용하여 프로브 카드(20)를 분리하는 일없이, 탑재대(30)를 거쳐서 연마 시트(10)를 이동시키는 것에 의해, 프로브 에어리어(23)를 복수회로 나눠 확실하게 또한 단 시간에 연마할 수 있고, 나아가서는 검사의 스루풋을 높일 수 있다. 또한, 연마 부재(10)는, 탑재대(30)에 부설된 지지대(31)의 상면에 장착 및 분리만 하는 것으로, 구조가 간단하고 저코스트이며, 또한 연마 독자의 작업공간이 불필요하여 프로브 장치가 대형화되는 일도 없다.

또한, 본 실시형태에 의하면, 연마 시트(10)를, 탑재대(30)를 거쳐서 인덱스 이송하여 프로브 에어리어의 동일 프로브(21)를 연마 시트(10)의 다른 부위로 복수회 연마하도록 했기 때문에, 프로브(21)의 부착물을 확실하게 또한 효율있게 제거할 수 있다. 또한, 연마 시트(10)는, 연마층(11)과, 쿠션층(13)을 갖기 때문에, 프로브(21)가 연마층(11)에 탄력적으로 충돌하기 때문에, 프로브(21)를 손상할 우려가 없다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 하등 제한되는 것이 아니고, 본 발명의 요지에 반하지 않는 한 필요에 따라서 각 구성 요소를 적절히 설계 변경할 수 있다. 예컨대, 상기 실시형태에서는 지지대(31)의 경사면(31A)에서 연마 시트(10)의 경사면(10A)을 형성한 경우에 대하여 설명했지만, 연마 시트(10) 자체의 외주에 경사면을 마련해도 좋다. 이 경우에는 쿠션층(13)에 경사면을 마련하는 것이 바람직하 다. 또한, 프로브 에어리어가 연마 부재로부터 비어져 나오는 크기가 아니더라도 본 발명의 프로브의 연마 방법을 적용할 수 있다.

본 발명은, 웨이퍼 등의 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 장치에 적합하게 이용할 수 있다.

본 발명의 청구항 1 내지 청구항 8에 기재된 발명에 의하면, 프로브 카드의 대형화에 따라 프로브가 증가하여 프로브의 배열 영역이 연마 부재로부터 비어져 나오더라도, 그 연마 부재를 이용하여 프로브를 확실하게 또한 효율있게 연마할 수 있고, 나아가서는 검사의 스루풋을 높일 수 있는 프로브의 연마 방법 및 연마 부재를 제공할 수 있다.

Claims

피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 카드에 배열된 복수의 프로브를, 연마 부재를 이용하여 연마하는 방법에 있어서,

상기 연마 부재와 상기 프로브 카드의 위치를 상대적으로 변화시켜, 상기 복수의 프로브를 복수회로 나눠 연마하는 것을 특징으로 하는

프로브의 연마 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 연마 부재와 상기 프로브 카드의 위치를 상대적으로 변화시켜, 상기 프로브 카드의 동일한 프로브를 상기 연마 부재의 다른 부위에서 복수회 연마하는 것을 특징으로 하는

프로브의 연마 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 연마 부재는 상기 피검사체를 탑재하는 이동 가능한 탑재대에 부설되어, 상기 탑재대를 거쳐서 상기 연마 부재를 이동시키는 것을 특징으로 하는

프로브의 연마 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 연마 부재로서 연마 시트를 이용하여, 상기 연마 시트의 외주연부에는 내측으로부터 외측을 향해서 하강하는 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는

프로브의 연마 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 연마 시트는, 연마층과, 연마층의 하측에 형성된 쿠션층을 갖는 것을 특징으로 하는

프로브의 연마 방법.
피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브를 연마하기 위해서 지지대 상에 배치되어 이용되는 연마 부재에 있어서,

상기 연마 부재의 외주연부에는 내측으로부터 외측을 향해서 하강하는 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는

연마 부재.
제 6 항에 있어서,

상기 지지대는, 피검사체를 탑재하는 탑재대에 부설되고,

상기 지지대의 외주연부에는 내측으로부터 외측을 향해서 하강하는 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는

연마 부재.
제 6 항 또는 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 연마 부재는, 연마층과, 연마층의 하측에 형성된 쿠션층을 갖는 연마 시트로 이루어지는 것을 특징으로 하는

연마 부재.