JP2015094409A - 弁装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弁装置10Aは、ボディ14の内部に変位自在に設けられ、弁座32に対して離間又は着座することにより流体流路12を開閉するダイヤフラム16と、ダイヤフラム16の略中央に形成された貫通孔に配設された導電性軸部60と、導電性軸部60をアースするためのアース部22とを備える。ボディ14及びダイヤフラム16の各々は、非導電性材料で形成され、導電性軸部60の一端面は、流体流路12に露出している。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、弁装置10Aは、二方弁として構成されており、圧力流体が流通する流体流路12が形成されたボディ14と、流体流路12を開閉するダイヤフラム16を有する弁部18と、弁部18を駆動するためのアクチュエータ部20と、アース部(アース手段)22とを備える。圧力流体としては、例えば、超純水やオゾンガス等の腐食性流体(薬液)が用いられる。ただし、圧力流体は、前記腐食性流体以外の流体であっても構わない。
次に、本発明の第2実施形態に係る弁装置10Bについて図5〜図7を参照しながら説明する。なお、本実施形態に係る弁装置10Bにおいて、上述した弁装置10Aと同一又は同様の機能及び効果を奏する構成要素には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。後述する第3実施形態についても同様である。
次に、本発明の第3実施形態に係る弁装置10Cについて図8及び図9を参照しながら説明する。図8及び図9に示すように、弁装置10Cは、ダイヤフラム16の外縁部50の略全ての外面に被着されたリング状の導電性部材150をさらに備えている。導電性部材150は、上述した第2実施形態で説明した導電性部材140と同一の材質及び形状を有しているので、その詳細な説明を省略する。
14…ボディ 16、16a…ダイヤフラム
18、18a…弁部 22…アース部
24…第1ポート 26…第2ポート
32…弁座 46、46a…ボス部
48…膜部 50…外縁部
52…貫通孔 60、60a…導電性軸部
62…リテーナ 64…ピストン
68…ボンネット 72、72a…第1小径部
74…大径部 76…第2小径部
78…環状溝 80…Oリング(弾性部材)
98…ピストンロッド 100…ピストン本体
124…第1スプリング 126…第2スプリング
128…スプリング座 132…アース線
134…環状シール突起 138…穴部
140、150…導電性部材
Claims (8)
- 第1ポートと第2ポートとを連通して圧力流体が流通する流体流路が形成されたボディと、
前記ボディの内部に変位自在に設けられ、弁座に対して離間又は着座することにより前記流体流路を開閉するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの略中央に形成された貫通孔に配設された導電性軸部と、
前記導電性軸部をアースするためのアース手段と、を備え、
前記ボディ及び前記ダイヤフラムの各々は、非導電性材料で形成されており、
前記導電性軸部の一端面は、前記流体流路に露出している、
ことを特徴とする弁装置。 - 請求項1記載の弁装置において、
前記導電性軸部は、前記貫通孔に配設された小径部と、
前記小径部の他端に設けられた大径部と、を有し、
前記ダイヤフラムの他方の面には、前記大径部の一方の面に接触して前記ダイヤフラムと前記大径部との間をシールする環状シール突起が形成されている、
ことを特徴とする弁装置。 - 請求項1記載の弁装置において、
前記導電性軸部は、前記貫通孔に配設された小径部と、
前記小径部の他端に設けられた大径部と、を有し、
前記ダイヤフラムの他方の面と前記大径部の一方の面との間には、当該ダイヤフラムと当該大径部との間をシールする環状の弾性部材が介設されている、
ことを特徴とする弁装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の弁装置において、
前記導電性軸部は、炭素繊維を含むポリフェニレンサルファイドで構成されている、
ことを特徴とする弁装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の弁装置において、
前記導電性軸部は、耐食性を有する金属材料で構成されている、
ことを特徴とする弁装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の弁装置において、
前記ダイヤフラムの外縁部の外面に設けられた導電性部材と、
前記導電性部材と電気的に接続した状態で前記ダイヤフラムの前記外縁部を保持する導電性のリテーナと、をさらに備え、
前記アース手段は、前記リテーナを介して前記導電性部材をアースし、
前記導電性部材の一部が前記流体流路に露出している、
ことを特徴とする弁装置。 - 第1ポートと第2ポートとを連通して圧力流体が流通する流体流路が形成されたボディと、
前記ボディの内部に変位自在に設けられ、弁座に対して離間又は着座することにより前記流体流路を開閉するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの外縁部の外面に設けられた導電性部材と、
前記導電性部材と電気的に接続した状態で前記ダイヤフラムの前記外縁部を保持する導電性のリテーナと、
前記リテーナを介して前記導電性部材をアースするためのアース手段と、を備え、
前記ボディ及び前記ダイヤフラムの各々は、非導電性材料で形成されており、
前記導電性部材の一部が前記流体流路に露出している、
ことを特徴とする弁装置。 - 請求項6又は7に記載の弁装置において、
前記導電性部材は、炭素繊維で構成されている、
ことを特徴とする弁装置。
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