CN104633171A - 阀设备 - Google Patents
阀设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104633171A CN104633171A CN201410452591.6A CN201410452591A CN104633171A CN 104633171 A CN104633171 A CN 104633171A CN 201410452591 A CN201410452591 A CN 201410452591A CN 104633171 A CN104633171 A CN 104633171A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- partition
- conductive member
- fluid passage
- valve device
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 87
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 150
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 15
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 10
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 10
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 10
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 10
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 10
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 10
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 claims description 5
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 claims description 5
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 16
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000019771 cognition Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- -1 such as Polymers 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1221—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston one side of the piston being spring-loaded
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/17—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
Abstract
一种阀设备(10A)，其装备有：隔片(16)，该隔片(16)可位移地布置在本体(14)的内部，并且通过与阀座(32)分离和通过座设在阀座(32)上而打开和闭合流体通道(12)；导电轴(60)，该导电轴(60)布置在通孔(52)中，该通孔(52)基本上形成在隔片(16)的中心；和接地构件(22)，该接地构件(22)用于使导电轴(60)接地。本体(14)和隔片(16)中的每一个都由非导电材料形成，导电轴(60)的一端表面暴露于流体通道(12)。
Description
技术领域
本发明涉及一种配备有隔片(diaphragm)的阀设备，隔片打开和闭合在第一端口和第二端口之间建立连通并且液体流经的流体通道。
背景技术
迄今为止，一种配备有本体的阀设备已经被广泛地使用，在本体中形成有流体通道和隔片，该流体通道在第一端口和第二端口之间建立连通并且液体流经该流体通道，该隔片通过远离或者座设在本体内形成的阀座上而打开和闭合该流体通道。在这类阀设备中，例如，如果腐蚀流体(例如臭氧或者超纯水)被用作为压力流体，那么隔片和本体分别由耐腐蚀性的氟树脂构成。
尽管如此，如果本体和隔片都是由这样一种非导电材料的氟树脂构成的，由于隔片和阀座之间的摩擦或者隔片和压力流体之间的摩擦会产生静电。此外，当静电累积在隔片中时，会发生可能导致隔片损坏的绝缘击穿(火花放电)。
因此，包括用于防止隔片的绝缘击穿的机构的阀设备已经被提出。例如在日本专利No.4705490中，公开了这样的技术构思：在配备有隔片保持器的隔膜阀(diaphragm valve)中，该隔片保持器具有用于保持隔片的外边缘的非导电的第一弹性构件和经由导电片状物附接到第一弹性构件下侧的第二弹性构件，产生在隔片保持器附近的静电通过该导电片状物被引出到接地线。
进一步，例如在日本专利No.4461087中，公开了这样的技术构思：抗腐蚀性的导电构件布置在通孔中，该通孔贯穿流体通道在隔片的膜部附近(外边缘)的一侧，并且设置有O形环以实现导电构件和构成通孔的壁表面之间的密封，其中，产生在隔片中的静电经由导电构件被引出到接地线。
更进一步，在日本特开专利申请No.2010—121689中，公开了这样的技术构思：螺旋状导电膜形成在隔片的不接触到压力流体的一侧，和在隔片中产生的静电经由该导电膜被引出到接地。
发明内容
然而，利用传统技术，例如上述日本专利No.4705490，因为第一弹性构件和第二弹性构件都与压力流体保持接触，可用的压力流体限于不引起第一弹性构件和第二弹性构件腐蚀的无腐蚀性压力流体。进一步，因为导电片状物被夹在第一弹性构件和第二弹性构件之间，会有一种可能：压力流体会从第一弹性构件和导电片状物之间的间隙以及第二弹性构件和导电片状物之间的间隙中泄漏，同时隔片保持部的结构是复杂的，导致了生产成本的上升。进一步，因为当隔片弹性变形(弯曲)时易于受到负载的隔片的外边缘被夹在中间并且由第一弹性构件支撑，所以存在隔片保持部的耐用性问题。
利用日本专利No.4461087的传统技术，因为导电构件布置在隔片外边缘在上形成的通孔中，为了可靠地抑制隔片的绝缘击穿，所以必须沿着隔片的周向设置多个导电构件。然而，在这种情况下，因为组成导电构件和O形环的零件的数目增加，生产成本趋于上升。
利用日本特开专利申请No.2010—121689的传统技术，隔片中产生的静电被吸引到导电膜上，并且被导出到地。然而因为导电膜形成在隔片的不接触到压力流体的一侧，产生在压力流体流经的液体流动路径内的静电不能被引导到导电膜，因此，所以存在隔片的绝缘击穿不能被可靠地抑制的问题。
考虑上述问题的同时，本发明被设计，同时本发明的目的是提供一种阀设备，其中，能够利用简单结构可靠地抑制隔片的绝缘击穿，并且能够实现降低制造成本。
根据本发明阀设备包括：本体，该本体包括流体通道，该流体通道在第一端口和第二端口之间建立连通，并且压力流体流经该流体通道；隔片，该隔片可位移地布置在本体的内部，并且通过与阀座分离和通过座设在阀座上而打开和闭合流体通道；导电轴，该导电轴布置在通孔中，通孔实质上形成在隔片的中心；和接地构件，该接地构件被构造成使导电轴接地；其中，本体和隔片中的每一个都由非导电材料形成，导电轴的一端表面暴露于流体通道。
根据本发明阀设备，产生在隔片中的静电通过布置在实质上形成在隔片中心的通孔中的导电轴被导出到接地构件，因此隔片中的静电累积被抑制。因此，能够利用简单结构可靠地抑制隔片的绝缘击穿，并且能够实现降低制造成本。
在上述阀设备中，导电轴可以包括：小直径部，该小直径部布置在通孔中；和大直径部，该大直径部布置在小直径部的另一端；并且其中，环形密封突起形成在隔片的另一表面上，环形密封突起接触大直径部的一个表面并且形成大直径部和隔片之间的密封。
利用这样结构，因为形成隔片和大直径部之间的密封的环形密封突起形成在隔片的另一表面，所以能够抑制压力流体从流体通道泄漏。
在上述阀设备中，导电轴可以包括：小直径部，该小直径部布置在通孔中；和大直径部，该大直径部布置在小直径部的另一端；并且其中，环形弹性构件介于隔片的另一表面和大直径部的一个表面之间，环形弹性构件形成大直径部和隔片之间的密封。
利用这样的结构，因为形成隔片和大直径部之间密封的环形弹性构件介于隔片的另一表面和大直径部的一个表面之间，所以能够抑制压力流体从流体通道泄漏。
在上述阀设备中，导电轴可以由包含碳纤维的聚苯硫醚制成，或者可以由具有耐腐蚀性的金属材料制成。在这种情况下，即使腐蚀性流体被用作压力流体，也能够抑制导电轴的腐蚀，并且产生在隔片中的静电能够被可靠地消除。
上述的阀设备可以进一步包括：导电构件，该导电构件布置在隔片的外边缘的外表面上；和导电保持部，该导电保持部在与导电构件电连接的情况下保持隔片的外边缘；其中，接地构件通过保持部使导电构件接地；并且导电构件的一部分暴露于流体通道。
根据这样的结构，在隔片中产生的静电经由保持部和布置在隔片的外边缘的外表面的导电构件被引出到接地构件。因此，隔片的绝缘击穿可以被更加可靠地抑制。
根据本发明的阀设备包括：本体，该本体包括流体通道，该流体通道在第一端口和第二端口之间建立连通并且压力流体流经该流体通道；隔片，该隔片可位移地布置在本体的内部，并且通过与阀座分离和通过座设在阀座上而打开和闭合流体通道；导电构件，该导电构件布置在隔片的外边缘的外表面上；导电保持部，该导电保持部在与导电构件电连接的情况下保持隔片的外边缘；和接地构件，该接地构件被构造成通过保持部使导电构件接地；其中，本体和隔片中的每一个都由非导电材料形成；并且导电构件的一部分暴露于流体通道。
根据本发明的阀设备，产生在隔片中的静电经由保持部和布置在隔片外边缘的外表面上的导电构件被导出到接地构件，因此，隔片中的静电累积能够被抑制。因此，能够利用简单结构可靠地抑制隔片的绝缘击穿，并且能够实现降低制造成本。
在上述阀设备中，导电构件可以由碳纤维制成。在这种情况下，产生在隔片中的静电能够通过导电构件被有效地引导到保持部。
根据本发明，因为产生在隔片中的静电经由导电轴或者导电构件被引出到接地构件，所以能够利用简单结构可靠地抑制隔片的绝缘击穿，并且能够实现降低制造成本。
通过结合附图阅读本发明的下述实施例，本发明的其它目的、优势和新颖特征将变得更加明显，其中本发明的较优实施例以说明性实例的方式显示。
附图说明
图1是根据本发明的第一实施例阀设备的竖直截面图；
图2是阀设备的一部分的放大截面图；
图3是展示图1中的阀设备的打开状态的竖直截面图；
图4是阀设备的修改例的一部分的放大截面图；
图5是根据本发明的第二实施例的阀设备的竖直截面图；
图6是阀设备的一部分的放大截面图；
图7是部分地显示在图5所示的隔片和导电构件的截面中的立体图；
图8是根据本发明的第三实施例的阀设备的竖直截面图；
图9是阀设备的一部分的放大截面图。
具体实施方式
以下将参考附图说明和展示根据本发明的阀设备的优选实施例。
(第一实施例)
如图1所示，阀设备10A构造为双通阀，并且包含：本体14，该本体14包括压力流体流经的流体通道12；阀构件18，该阀构件18具有打开和闭合流体通道12的隔片16；促动器20，该促动器20用于操作阀构件18，和接地构件(接地装置)22。腐蚀流体(化学液体)例如超纯水或者臭氧气，例如，被用作压力流体。然而该压力流体可能包含除了上述腐蚀流体的流体。
本体14和隔片16是由非导电材料组成。对于该非导电材料，例如，抗腐蚀流体的腐蚀性的氟树脂例如特氟龙(注册商标)等等可以被使用。以这种方式，如果本体14和隔片16是由氟树脂构成，那么腐蚀液能够适当地并且有效地被用作压力流体。
在本体14中，形成有第一端口24，第二端口26，和流体通道12，通过该第一端口24压力流体被引入，通过该第二端口26压力流体被排出，该流体通道12在第一端口24和第二端口26之间。
第一端口24与由第一锁紧螺母28固定的图中未示的管的内孔连通，并且第二端口26与由第二锁紧螺母30固定的图中未示的管的内孔连通。阀座(阀座构件)32形成为组成流体通道12的壁部分，隔片16座设在阀座32上。
本体14包括圆筒形的安装部分34，促动器20安装在其上。安装部分34的内周表面的一端侧，设置有保持隔片16的外边缘的隔片保持部36。
如图2所示，隔片保持部36从安装部分34的内周表面在径向向内的方向上延伸，并且在其径向内端部分朝向安装部分34的另一端侧突出。换言之，朝向安装部分34的另一端侧开口的环形槽38形成在隔片保持部36上。进一步，在指向安装部分34另一端侧的隔片保持部36的表面上，形成有横截面为半圆形的环形密封突起40。
该阀构件18包括：隔片16，该隔片16可位移地布置在组成本体14的安装部分34的内部；保护构件42，该保护构件42布置在隔片16上，和保持构件44，该保持构件44保持保护构件42。隔片16包括：凸起部分46，凸起部分46组成隔片16的中心部并且在安装部分34的轴线方向上延伸；薄壁膜部分48，薄壁膜部分48从凸起部分46的外周表面在径向向外的方向上延伸；厚壁外边缘50。
大致在凸起部分46的中心，形成有沿着安装部分34的轴线方向贯穿的通孔52。凸起部分46的一端表面能够座设在阀座32上。隔片16的膜部分48是能够弹性变形的，或者换言之，是柔性的。
隔片16的外边缘50从膜部分48的外周在径向向外的方向上延伸，并且在其径向向外端朝向安装部分34的一端侧突出。换言之，在隔片16的外边缘50上，形成有环形突出部54，该环形突出部54布置在隔片保持部36的环形槽38中。一对环形密封突起56、58形成在环形突出部54的外周表面上，环形密封突起56、58具有半圆形横截面并且彼此分离。
保护构件42，例如，由诸如橡胶等等的弹性材料形成，并且通过布置在膜部分48的另一表面而保护隔片16的膜部分48的。保持构件44的中心部分形成为圆筒形，并且保持构件44的一端从中心部分径向向外延伸从而这一端的直径增加，因此保持构件44的这一端从保护构件42的另一侧覆盖保护构件42。
促动器20包括导电轴60，保持部62，活塞64，导向器接头66，阀盖68，偏压机构70。导电轴60由相对于压力流体耐腐蚀的导电性树脂或者金属材料构成。作为导电性树脂，例如，包含碳纤维的PPS(聚苯硫醚)树脂可以被使用。
导电轴60与构成本体14的安装部分34的轴线同轴地布置，并且导电轴60包括：第一小直径部72，该第一小直径部72布置在隔片16的通孔52中；大直径部74布置在第一小直径部72的另一端；第二小直径部76，该第二小直径部76组成导电轴60的另一端侧。
形成在第一小直径部72的外表面上的螺纹与形成在通孔52的内周表面的螺纹相螺合，从而固定第一小直径部72。凸起部分46的外径和大直径部的外径大致相同。第一小直径部72的一端表面暴露于流体通道12。从图2可以理解，在本实施例中，第一小直径部72的一端表面和凸起部分46的一端表面是共平面的。然而，第一小直径部72的一端表面可以位于相对于凸起部分46的一端表面更向一侧或者另一侧的位置。
大直径部74和凸起部分46之间通过O形环80建立密封，O形环80是弹性构件，并且布置在形成在凸起部分46的另一端表面上的环形槽78中。第二小直径部76的外径有些大于第一小直径部72的外径。
保持部62，例如，由任意材料诸如一种树脂等等组成，并且包括外管状部82，和内管状部84，该内管状部84整体地布置在外管状部82一端侧的内周表面上。外管状部82和内管状部84分别布置成与导电轴60同轴。外管状部82的全长比内管状部84的全长要大一些(长一些)。
刻在外管状部82的外周表面的一端侧的螺纹与形成在安装部分34的内周表面的另一端侧的螺纹相螺合，从而将外管状部82固定到安装部分34。外管状部82的一端表面抵接隔片16的外边缘50。更具体地，隔片16的外边缘50被夹持在隔片保持部36和保持部62的外管状部82之间。
在这种情况下，隔片16的外边缘50由于被隔片保持部36的环形密封突起40按压而可弹性变形，并且外边缘50的一对环形密封突起56，58由于抵接并且抵靠组成环形槽38的侧壁表面被挤压而弹性地变形。因此，隔片16和本体14之间的密封能够被增强。此外，在外管状部82的端部上，形成通风孔88，通风孔88连通外部和阀室86之间，阀室86形成在隔片16和内管状部84之间。
在外管状部82的中间位置，形成有用于引入和排出先导流体(压力流体)的先导端口90形成。用于附接和安装阀盖68的螺纹被刻在外管状部82的另一端侧的外周表面上。活塞阻尼器92通过内管状部84的另一端表面上的环形槽被安装。
活塞阻尼器92，例如，由弹性材料形成，并且形成为环形，同时从环形槽朝向阀盖68突出预定高度。通过设置这样的活塞阻尼器92，当隔片16座设在阀座32上时产生的振动能够被抑制。
活塞64由例如金属材料或者导电性树脂构成。插入导电轴60的插入孔形成在活塞64中。插入孔的一端侧的直径扩大从而使得导电轴60的大直径部74能够布置在其中。更具体地，通过拧紧螺母94，活塞64被夹持在垫圈96和大直径部74之间，螺母94与形成在第二小直径部76的另一端的螺纹相螺合。在这种情况下，组成活塞64的插入孔的壁表面与导电轴60的第二小直径部76的外周表面保持接触。换言之，活塞64与导电轴60电连接。此外，螺母94和垫圈96都是由金属材料构成的。
活塞64包括活塞杆98和活塞主体100，活塞杆98布置在内管状部84的内孔中，活塞主体100布置活塞98的另一端，并且活塞主体100能够沿着外管状部82的内周表面滑动。保持构件44抵接活塞杆98的一端表面。磨损环102通过活塞杆98的外周表面上的环形槽安装。
当活塞64在轴线方向上位移时，磨损环102在内管状部84的内周表面上滑动。因此，活塞64沿着轴线方向被高精度地引导。进一步，在比磨损环102更靠近活塞杆98的另一端侧的位置，杆密封圈104通过活塞杆98的外周表面上的环形槽被安装。
活塞密封圈108通过活塞主体100的外周表面上的环形槽被安装。在活塞主体100的另一表面上，形成有环形凹部110和圆形凹部112形成，圆形凹部112位于比环形凹部110更向内的位置。更具体地，从图1可以理解，圆形分隔壁形成在环形凹部110和圆形凹部112之间。
先导接头66被夹持在本体14和阀盖68之间，并且能够通过先导端口90从先导室106导入先导流体和将先导流体排出到先导室106，先导端口90形成在外管状部82中。先导室106包含由活塞64的外表面(即，活塞杆98的外周表面和活塞主体100的一个表面)、外管状部82的内周表面和内管状部84的外表面形成的空间。进一步，在先导接头66和外管状部82之间，密封通过O形环114、116产生，O形环114、116分别布置在形成在外管状部82上的一对环形槽中。
阀盖68由任意材料诸如树脂等等形成为有底的管状，并且包括：开口的附接部分118，该开口附接部分118构成阀盖68的一端侧；和支撑部分120，该支撑部分120构成阀盖68的另一端侧并且支撑偏压机构70。阀盖68是通过刻在附接部分118的内周表面上的螺纹与形成在外管状部82的外周表面的另一端侧的螺纹螺合被固定到保持部62。室122形成在阀盖68和活塞64之间，偏压机构70布置在室122中。室122通过未图示的通风孔与外部连通。
偏压机构70包括第一弹簧124和第二弹簧126，该第一弹簧124和第二弹簧126朝向隔片16偏压活塞64；板状弹簧座128，该板状弹簧座128保持第一弹簧124和第二弹簧126；和支架130，该支架130被固定成如下状态：支架130布置在形成在支撑部分120的中心的孔中，并且用于支撑弹簧座128。第一弹簧124，第二弹簧126，和弹簧座128都由金属材料构成。
第一弹簧124和第二弹簧126中的每一个，例如都构成为螺旋压缩弹簧，第一弹簧124的外径大于第二弹簧126的外径。第一弹簧124的一端固定在环形凹部110中，其另一端固定在弹簧座128上。第二弹簧126的一端固定在圆形凹部112中，其另一端固定在弹簧座128上。
接地构件22包括接地线132，接地线132通过形成在支架130中的孔与弹簧座128电连接。接地线132在阀设备10A的外部位置接地。在本实施例中，导电轴60，活塞64，第一弹簧124，第二弹簧126，和弹簧座128分别由导电材料构成，并且彼此电连接。因此，导电轴60通过接地线132接地。
根据本实施例的阀设备10A基本如上所述构造而成。接下来将描述本实施例的操作和优点。阀闭合状态将被描述为初始状态，在此状态中，隔片16座设在阀座32上并且通过流体通道12的连通被阻断(参见图1)。
在初始状态中，在第一弹簧124和第二弹簧126的弹力作用下，活塞64被压向一侧(与弹簧座128所在的一侧相反的一侧)，从而隔片16被置于阀闭合状态，在该状态中，隔片16通过导电轴60向一侧移动并且座设在阀座32上。因此，在该状态中，向第一端口24供应的压力流体被隔片16阻止流向第二端口26。进一步，在初始状态中，先导流体不向先导室106供应。
接着，为了将阀设备10A置于阀打开状态，先导流体从未图示的流体供应源通过先导接头66向先导室106供应。根据先导流体的供应，先导室106中的压力上升，并且活塞64逆着第一弹簧124和第二弹簧126各自的弹力朝向另一侧(弹簧座128所在的一侧)位移。因此，导电轴60和隔片16一起整体地向另一侧位移。此时，隔片16的膜部分48经受弯曲。
因此，如图3所示，隔片16移动远离阀座32，于是流体通道12的阻塞状态被解除。因此，供应的压力流体开始从第一端口24流向第二端口26。另外，活塞64位移直到活塞64的外边缘抵接阀盖68，于是活塞64的位移停止，并且导致隔片16完全打开的阀打开状态。
然后，在阀设备10A返回到阀闭合状态情况下，向先导室106的先导流体的供应被中止。当先导流体的供应停止时，先导室106中的压力减少，并且活塞64通过第一弹簧124和第二弹簧126各自的弹力向一侧位移。因此，导电轴60和隔片16一起整体地向一侧位移。此时，隔片16的膜部分48经受弯曲。另外，通过活塞64抵接活塞阻尼器92，活塞64位移被停止，并且活塞64相对于保持部62的冲击和冲击噪声是被适当地缓冲。进一步，同时，通过隔片16座设于阀座32上，导致流体通道12的连通被阻断的阀闭合状态。
根据本实施例，在如上述构造的阀设备10A中，本体14和隔片16分别是由非导电材料氟树脂构成。由于用这样的方式被构造，因为隔片16和阀座32之间的摩擦，或者因为隔片16和压力流体之间的摩擦产生的静电易于发生在隔片16的一个表面上。
然而，即使静电产生在隔片16中，这种静电(电荷)通过导电轴60、活塞64、第一弹簧124(第二弹簧126)和弹簧座128被导出到接地线132。因此，能够抑制隔片16中的静电累积。因此，能够利用简单结构可靠地抑制隔片16的膜部分48的绝缘击穿，同时能够实现降低制造成本。
进一步，因为形成隔片16和大直径部74之间的密封的O形环80介于凸起部分46的另一端表面和大直径部74的一个表面之间，所以从流体通道12和流向阀室86中的压力流体的泄漏能够被抑制。
此外，因为导电轴60由包含碳纤维的聚苯硫醚或者耐蚀金属材料构成，即使腐蚀性流体被用作压力流体，能够抑制导电轴60的腐蚀，并且产生在隔片16中的静电能够可靠地被消除。
根据本实施例的阀设备10A并不局限于上述结构。例如，如图4所示，代替上述O形环80，阀设备10A可以在隔片16的凸起部分46的另一端表面形成有横截面为半圆形的环形密封突起134。
环形密封突起134通过抵接大直径部74的一个表面并且被大直径部74按压和挤压而可弹性变形。因此，因为在隔片16和大直径部74之间通过环形密封突起134形成密封，所以来自流体通道12和流向阀室86中的压力流体的泄漏能够被抑制。另外，因为环形密封突起134与凸起部分46是一体形成的，与上述O形环80布置在环形槽78中的结构相比，所以部件的数目能够减少。因此，阀设备10A的生产成本能够进一步降低。
如图4所示的环形密封突起134的结构可以被采用在根据第二实施例的阀设备10B中和根据第三实施例的阀设备10C中，以下将详细描述。
(第二实施例)
接着，将参考图5到7描述根据本发明第二实施例的阀设备10B。根据本实施例的阀设备10B的构造元件中与上述阀设备10A的对应元件具有相同或相似功能和效果的元件由相同的参考符号来表示，并且这些特征的详细说明被省略。相同的惯例适用于本发明的第三实施例，将在之后讨论。
如图5和6所示，在阀设备10B中，阀构件18a和促动器20a的构造与上述的阀构件18和促动器20不同的。特别地，在组成阀构件18a的隔片16a的凸起部分46a上，形成有孔138，该孔138未穿透凸起部分46a。形成在构成促动器20a的导电轴60a的第一小直径部72a的外表面上的螺纹与刻在孔138的内周表面的螺纹螺合，从而将凸起部分46a固定到第一小直径部72a。
阀设备10B进一步配备有环形导电构件140，环形导电构件140以覆盖关系被附接到基本上隔片16a的外边缘50的整个外表面。导电构件140例如通过沿着隔片16a的外表面50的截面形状弯曲碳纤维制成的环形平板而形成。然而，导电构件140并不局限于由碳纤维制成的实例，也可以由另一种导电材料，诸如耐腐蚀性的金属材料等等构成的。导电构件140的一部分暴露于流体通道12，并且导电构件140在表面接触的状态下与保持部62电连接。
在本实施例中，保持部62和磨损环102由导电材料诸如金属材料，导电性树脂等等构成。更具体地，在本实施例中，导电构件140、保持部62、磨损环102、活塞64、第一弹簧124、第二弹簧126和弹簧座128分别由导电材料构成，并且彼此电连接。因此，导电构件140通过接地线132接地。
根据本实施例，产生在隔片16a的一个表面上的静电通过导电构件140、保持部62、磨损环102、活塞64、第一弹簧124(第二弹簧126)和弹簧座128被导出到接地线132。因此，能够抑制隔片中的静电累积。因此，能够利用简单结构可靠地抑制隔片16a的膜部分48的绝缘击穿，并且能够实现降低制造成本。
进一步，根据采用的压力流体的类型，存在这样的情况：隔片16a的外边缘50的附近容易产生静电。在这种情况下，这种静电能够通过导电构件140容易有效地从隔片16a上被消除。
更进一步，对于本实施例，导电构件140可以被布置而不在当隔片16的膜部分48弹性变形时负载易于被施加的隔片16a的外边缘50中形成通孔等等。因此，能够避免隔片16a的外边缘50的刚度降低。
更进一步，因为导电构件140是由碳纤维构成的，产生在隔片16a中静电能够通过导电构件140有效地被引导至保持部62。
本实施例并不局限于上述描述的结构。代替导电轴60a，阀设备10B可以包含由非导电材料构成的轴。同样在这种情况下，导电构件140能够可靠和安全地接地。
(第三实施例)
接着，将参考图8和9描述根据本发明第三实施例的阀设备10C。如图8和9所示，阀设备10C进一步配备有环形导电构件150，环形导电构件150以覆盖关系被附接到隔片16的外边缘50的整个外表面。导电构件150与第二实施例相关的上述导电构件140具有相同的材料和形状，因此导电构件150的详细说明被省略。
在本实施例中，保持部62和磨损环102是由导电材料例如金属材料、导电性树脂等等构成的。更具体地，在本实施例中，导电构件150、保持部62、磨损环102、活塞64、导电轴60、第一弹簧124、第二弹簧126和弹簧座128分别由导电材料构成的并且彼此电连接。因此，导电构件150和导电轴60通过接地线132接地。
根据本实施例，产生在隔片16的一个表面的静电可以分别通过导电轴60和导电构件150被消除。更具体地，由于隔片16和阀座32之间的摩擦产生的静电，可以被引导至导电轴60，并且产生在隔片16的外边缘50附近的静电能够被引导到导电构件150。
另外，被引导到导电轴60的静电通过活塞64、第一弹簧124(第二弹簧126)和弹簧座128被进一步引出到接地线。另一方面，被引导到导电构件150的静电通过保持部62、磨损环102、活塞64、第一弹簧124(第二弹簧126)和弹簧座128被进一步引出到接地线132。因此，能够适当地抑制在隔片16中的静电累积。因此，利用简单的结构，能够更可靠地抑制隔片16的膜部分48的绝缘击穿。
进一步，对于本实施例，导电构件150可以被布置而不在当隔片16的膜部分48弹性变形时负载易于被施加的隔片16a的外边缘50中形成通孔等。因此，能够避免隔片16的外边缘50的刚度降低。
更进一步，因为导电构件150由碳纤维构成，产生在隔片16中的静电能够通过导电构件150有效地被引导至保持部62。
根据本发明的阀设备并不局限上述实施例。在不偏离本发明的附加权利要求的范围的情况下，可以对实施例进行各种修改。例如，根据本发明的阀设备不限于双通阀，也可以是各种类型的多通阀，例如三通阀、四通阀等等。进一步，根据本发明的阀设备可以构造成电磁阀。
Claims (9)
1.一种阀设备(10A，10C)，其特征在于，包含：
本体(14)，所述本体(14)包括流体通道(12)，所述流体通道(12)在第一端口(24)和第二端口(26)之间建立连通，并且压力流体流经所述流体通道(12)；
隔片(16)，所述隔片(16)可位移地布置在所述本体(14)的内部，并且通过与阀座(32)分离和通过座设在所述阀座(32)上而打开和闭合所述流体通道(12)；
导电轴(60)，所述导电轴(60)布置在通孔(52)中，所述通孔(52)实质上形成在所述隔片(16)的中心；和
接地构件(22)，所述接地构件(22)被构造成使所述导电轴(60)接地；
其中，所述本体(14)和所述隔片(16)中的每一个都由非导电材料形成，所述导电轴(60)的一端表面暴露于所述流体通道(12)。
2.如权利要求1所述的阀设备(10A，10C)，其特征在于，所述导电轴(60)包括：
小直径部(72)，所述小直径部(72)布置在所述通孔(52)中；和
大直径部(74)，所述大直径部(74)布置在所述小直径部(72)的另一端；并且
其中，环形密封突起(134)形成在所述隔片(16)的另一表面上，所述环形密封突起(134)接触所述大直径部(74)的一个表面并且形成所述大直径部(74)和所述隔片(16)之间的密封。
3.如权利要求1所述的阀设备(10A，10C)，其特征在于，所述导电轴(60)包括：
小直径部(72)，所述小直径部(72)布置在所述通孔(52)中；和
大直径部(74)，所述大直径部(74)布置在所述小直径部(72)的另一端；并且
其中，环形弹性构件(80)介于所述隔片(16)的另一表面和所述大直径部(74)的一个表面之间，所述环形弹性构件(80)形成所述大直径部(74)和所述隔片(16)之间的密封。
4.如权利要求1至3中的任一项所述的阀设备(10A，10C)，其特征在于，所述导电轴(60)由包含碳纤维的聚苯硫醚制成。
5.如权利要求1至3中的任一项所述的阀设备(10A，10C)，其特征在于，所述导电轴(60)由具有耐腐蚀性的金属材料制成。
6.如权利要求1所述的阀设备(10C)，其特征在于，进一步包含：
导电构件(150)，所述导电构件(150)布置在所述隔片(16)的外边缘(50)的外表面上；和
导电保持部(62)，所述导电保持部(62)在与所述导电构件(150)电连接的情况下保持所述隔片(16)的所述外边缘(50)；
其中，所述接地构件(22)通过所述保持部(62)使所述导电构件(150)接地；并且
所述导电构件(150)的一部分暴露于所述流体通道(12)。
7.如权利要求6所述的阀设备(10C)，其特征在于，所述导电构件(150)由碳纤维制成。
8.一种阀设备(10B，10C)，其特征在于，包含：
本体(14)，所述本体(14)包括流体通道(12)，所述流体通道(12)在第一端口(24)和第二端口(26)之间建立连通，并且压力流体流经所述流体通道(12)；
隔片(16)，所述隔片(16)可位移地布置在所述本体(14)的内部，并且通过与阀座(32)分离和通过座设在所述阀座(32)上而打开和闭合所述流体通道(12)；
导电构件(140，150)，所述导电构件(140，150)布置在所述隔片(16，16a)的外边缘(50)的外表面上；
导电保持部(62)，所述导电保持部(62)在与所述导电构件(140，150)电连接的情况下保持所述隔片(16，16a)的所述外边缘(50)；和
接地构件(22)，所述接地构件(22)被构造成通过所述保持部(62)使所述导电构件(140，150)接地；
其中，所述本体(14)和所述隔片(16，16a)中的每一个都由非导电材料形成；并且
所述导电构件(140、150)的一部分暴露于所述流体通道(12)。
9.如权利要求8所述的阀设备(10B，10C)，其特征在于，所述导电构件(140，150)由碳纤维制成。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013233348A JP5891536B2 (ja) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 弁装置 |
| JP2013-233348 | 2013-11-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104633171A true CN104633171A (zh) | 2015-05-20 |
| CN104633171B CN104633171B (zh) | 2017-06-30 |
Family
ID=52991025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410452591.6A Expired - Fee Related CN104633171B (zh) | 2013-11-11 | 2014-09-05 | 阀设备 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9638345B2 (zh) |
| JP (1) | JP5891536B2 (zh) |
| KR (1) | KR101626075B1 (zh) |
| CN (1) | CN104633171B (zh) |
| DE (1) | DE102014112584B4 (zh) |
| TW (1) | TWI554703B (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113661349A (zh) * | 2018-04-10 | 2021-11-16 | 旭有机材株式会社 | 隔膜阀 |
| US11391390B2 (en) | 2018-09-05 | 2022-07-19 | Bueno Technology Co., Ltd. | Diaphragm valve structure |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6527684B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2019-06-05 | 株式会社フジキン | バルブ、流体制御装置、半導体制御装置、および半導体製造方法 |
| DE202016008955U1 (de) * | 2015-06-17 | 2021-01-15 | Vistadeltek, Llc | Membran mit geringer Hysterese für ein Ventil |
| JP6778251B2 (ja) | 2015-07-09 | 2020-10-28 | ビスタデルテク・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーＶｉｓｔａｄｅｌｔｅｋ， Ｌｌｃ | 弁における制御板 |
| JP5987100B1 (ja) | 2015-10-16 | 2016-09-06 | サーパス工業株式会社 | 流体機器 |
| KR101776409B1 (ko) * | 2015-10-27 | 2017-09-08 | 현대자동차주식회사 | 차량의 다이아프램 밸브 |
| JP6691850B2 (ja) * | 2016-08-05 | 2020-05-13 | Ckd株式会社 | 流体制御装置 |
| JP6106794B1 (ja) * | 2016-08-05 | 2017-04-05 | サーパス工業株式会社 | 流体機器 |
| JP6692716B2 (ja) * | 2016-08-05 | 2020-05-13 | サーパス工業株式会社 | 流体機器 |
| JP6901873B2 (ja) * | 2017-03-03 | 2021-07-14 | サーパス工業株式会社 | 流体機器 |
| US10794505B2 (en) * | 2017-03-10 | 2020-10-06 | Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. | Spring seat for an internal valve |
| US10563786B2 (en) | 2017-03-10 | 2020-02-18 | Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. | Internal valve system with valve inlet positioned relative to container feed inlet |
| US10295081B2 (en) | 2017-03-10 | 2019-05-21 | Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. | Valve body having primary and secondary stem guides |
| US10641404B2 (en) | 2017-03-10 | 2020-05-05 | Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. | Spring seat for an internal valve |
| US10480682B2 (en) | 2017-03-10 | 2019-11-19 | Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. | Strainer assembly for internal valve |
| JP6985201B2 (ja) * | 2017-03-31 | 2021-12-22 | 旭有機材株式会社 | バルブ装置 |
| CN114658860A (zh) | 2017-06-05 | 2022-06-24 | 伊利诺斯工具公司 | 用于高传导性阀的控制板 |
| US11248708B2 (en) | 2017-06-05 | 2022-02-15 | Illinois Tool Works Inc. | Control plate for a high conductance valve |
| US10458553B1 (en) | 2017-06-05 | 2019-10-29 | Vistadeltek, Llc | Control plate for a high conductive valve |
| US10364897B2 (en) | 2017-06-05 | 2019-07-30 | Vistadeltek, Llc | Control plate for a high conductance valve |
| JP6969718B2 (ja) * | 2018-08-23 | 2021-11-24 | Smc株式会社 | 二方弁 |
| KR20200091770A (ko) * | 2019-01-23 | 2020-07-31 | 이상선 | 플라스틱 밸브 |
| CN113544417B (zh) * | 2019-02-20 | 2023-12-19 | Itt制造企业有限责任公司 | 过渡压力环 |
| JP7166530B2 (ja) | 2019-07-05 | 2022-11-08 | Smc株式会社 | フッ素樹脂成形体 |
| TWI770615B (zh) * | 2020-09-22 | 2022-07-11 | 和正豐科技股份有限公司 | 氟樹脂膜片閥 |
| CN116420042A (zh) * | 2020-11-06 | 2023-07-11 | 斯瓦戈洛克公司 | 阀腔盖布置 |
| KR20240001219A (ko) * | 2021-04-30 | 2024-01-03 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 정전기 방전 완화 밸브 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2638306A (en) * | 1943-12-15 | 1953-05-12 | Fortune Ronald | Diaphragm valve |
| US5924441A (en) * | 1996-09-11 | 1999-07-20 | Fluoroware, Inc. | Diaphragm valve |
| CN1319735A (zh) * | 2000-03-31 | 2001-10-31 | 东洋不锈钢工业株式会社 | 隔膜阀 |
| CN1337537A (zh) * | 2000-07-07 | 2002-02-27 | Smc株式会社 | 双通阀 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1393852A (en) | 1973-02-13 | 1975-05-14 | Wilmot Breeden Ltd | Fluid control valves |
| US4147824A (en) * | 1976-03-31 | 1979-04-03 | Burkert Gmbh | Multilayer seals and method for their production and joining to seal carriers |
| JPS5676779A (en) * | 1979-11-24 | 1981-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Fluid flow rate control device |
| US4475713A (en) * | 1982-03-19 | 1984-10-09 | Xomox Corporation | One piece top seal for a valve |
| FR2701529B1 (fr) | 1993-02-12 | 1995-03-31 | Comap | Soupapes de sûreté à membrane du type cartouche, de conception modulaire. |
| JP3472650B2 (ja) | 1995-07-24 | 2003-12-02 | 株式会社フジキン | 流体制御器 |
| JP3943811B2 (ja) | 2000-07-27 | 2007-07-11 | 株式会社ケーヒン | 弁装置 |
| JP2005155895A (ja) | 2003-11-07 | 2005-06-16 | Ckd Corp | ダイアフラム弁 |
| JP4461087B2 (ja) | 2005-09-12 | 2010-05-12 | アドバンス電気工業株式会社 | 流体機器の絶縁破壊防止構造 |
| JP4705490B2 (ja) * | 2006-03-09 | 2011-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | ダイヤフラム弁および基板処理装置 |
| JP2008115899A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Tokyo Electron Ltd | ダイヤフラム弁および基板処理装置 |
| CN201068984Y (zh) * | 2007-04-29 | 2008-06-04 | 徐立华 | 自动回水控制阀 |
| JP5137465B2 (ja) | 2007-05-28 | 2013-02-06 | 旭有機材工業株式会社 | バルブ |
| JP4981564B2 (ja) * | 2007-07-18 | 2012-07-25 | シーケーディ株式会社 | ダイアフラム式流体機器 |
| JP2009024780A (ja) | 2007-07-19 | 2009-02-05 | Inax Corp | 定流量弁装置 |
| JP4990118B2 (ja) | 2007-12-18 | 2012-08-01 | シーケーディ株式会社 | 流体機器 |
| JP5319942B2 (ja) | 2008-03-18 | 2013-10-16 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ダイヤフラムバルブおよびこれを備えた基板処理装置 |
| JP2010121689A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Tokyo Electron Ltd | ダイヤフラム弁 |
-
2013
- 2013-11-11 JP JP2013233348A patent/JP5891536B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-07-22 US US14/337,394 patent/US9638345B2/en active Active
- 2014-07-29 TW TW103125799A patent/TWI554703B/zh active
- 2014-09-02 DE DE102014112584.3A patent/DE102014112584B4/de active Active
- 2014-09-05 KR KR1020140118739A patent/KR101626075B1/ko active IP Right Grant
- 2014-09-05 CN CN201410452591.6A patent/CN104633171B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2638306A (en) * | 1943-12-15 | 1953-05-12 | Fortune Ronald | Diaphragm valve |
| US5924441A (en) * | 1996-09-11 | 1999-07-20 | Fluoroware, Inc. | Diaphragm valve |
| CN1319735A (zh) * | 2000-03-31 | 2001-10-31 | 东洋不锈钢工业株式会社 | 隔膜阀 |
| CN1337537A (zh) * | 2000-07-07 | 2002-02-27 | Smc株式会社 | 双通阀 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113661349A (zh) * | 2018-04-10 | 2021-11-16 | 旭有机材株式会社 | 隔膜阀 |
| US11391390B2 (en) | 2018-09-05 | 2022-07-19 | Bueno Technology Co., Ltd. | Diaphragm valve structure |
| US11396955B2 (en) | 2018-09-05 | 2022-07-26 | Bueno Technology Co., Ltd. | Diaphragm valve structure |
| US11585460B2 (en) | 2018-09-05 | 2023-02-21 | Bueno Technology Co., Ltd. | Diaphragm valve structure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20150129791A1 (en) | 2015-05-14 |
| US9638345B2 (en) | 2017-05-02 |
| DE102014112584B4 (de) | 2024-01-25 |
| CN104633171B (zh) | 2017-06-30 |
| KR20150054649A (ko) | 2015-05-20 |
| JP2015094409A (ja) | 2015-05-18 |
| KR101626075B1 (ko) | 2016-05-31 |
| DE102014112584A1 (de) | 2015-05-13 |
| TWI554703B (zh) | 2016-10-21 |
| JP5891536B2 (ja) | 2016-03-23 |
| TW201522827A (zh) | 2015-06-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104633171A (zh) | 阀设备 | |
| CN101270821B (zh) | 带有用于保持轴向密封件的可移动机构的球阀 | |
| RU2587168C2 (ru) | Уплотнительное устройство для клапана | |
| CN102472398B (zh) | 弹簧弹性的轴向密封件 | |
| JP2013511012A (ja) | ばね活性化動的封止アセンブリ用のシステム、方法および装置 | |
| US20190219171A1 (en) | Sealing device and sealing assembly | |
| JP6356373B1 (ja) | 密封装置 | |
| US9987570B2 (en) | Filter element and filtering device | |
| WO2014153414A1 (en) | System, method and apparatus for lip seal assembly | |
| US20220065357A1 (en) | Backflow prevention device | |
| WO2015116241A1 (en) | Membrane style excess flow valve | |
| KR20180107632A (ko) | 유량 조정 밸브 어셈블리 | |
| JP7114239B2 (ja) | シール機構を備える装置 | |
| JP2021036170A (ja) | 帯電防止機能付バルブ | |
| CN210266332U (zh) | 快速连接器 | |
| RU2117843C1 (ru) | Шаровой кран | |
| JP5804262B2 (ja) | 継ぎ手シール | |
| US11428334B2 (en) | Backflow prevention device with reduced pressure zone | |
| CN110869654B (zh) | 中央蝶阀 | |
| KR20220146518A (ko) | 비금속 유체 커플링 | |
| JPH03206288A (ja) | プラスチック材料の内腔シール組立体 | |
| KR20240047673A (ko) | 반도체 제조용 진공시스템에서 도전성 이동 접점부의 접촉 여부에 의해 리크 여부를 전기적으로 검출하는 리크감지 센서 | |
| JP2022114505A (ja) | 環状シール部材および流体機器接続構造 | |
| CN116670417A (zh) | 用于atex环境的阀系统 | |
| CN117365709A (zh) | 一种自封滑油滤 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170630 Termination date: 20200905 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |