JP2024517189A - 静電気放電緩和バルブ - Google Patents
静電気放電緩和バルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2024517189A JP2024517189A JP2023566819A JP2023566819A JP2024517189A JP 2024517189 A JP2024517189 A JP 2024517189A JP 2023566819 A JP2023566819 A JP 2023566819A JP 2023566819 A JP2023566819 A JP 2023566819A JP 2024517189 A JP2024517189 A JP 2024517189A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive
- fluoropolymer
- diaphragm valve
- flexible
- polymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 95
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 claims description 125
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 claims description 125
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 61
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000004813 Perfluoroalkoxy alkane Substances 0.000 claims description 19
- 229920011301 perfluoro alkoxyl alkane Polymers 0.000 claims description 19
- 239000004812 Fluorinated ethylene propylene Substances 0.000 claims description 18
- 229920009441 perflouroethylene propylene Polymers 0.000 claims description 18
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 14
- -1 ethylene, tetrafluoroethylene Chemical group 0.000 claims description 13
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 12
- HQQADJVZYDDRJT-UHFFFAOYSA-N ethene;prop-1-ene Chemical group C=C.CC=C HQQADJVZYDDRJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N hexafluoropropylene Chemical group FC(F)=C(F)C(F)(F)F HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 229920003936 perfluorinated ionomer Polymers 0.000 description 14
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- UQSQSQZYBQSBJZ-UHFFFAOYSA-N fluorosulfonic acid Chemical group OS(F)(=O)=O UQSQSQZYBQSBJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000554 ionomer Polymers 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 3
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 229920003934 Aciplex® Polymers 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- 229920003935 Flemion® Polymers 0.000 description 2
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 2
- UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N oxygen difluoride Chemical compound FOF UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 2
- 229920002319 Poly(methyl acrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000306 component Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000011143 downstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N ethene;1,1,2,2-tetrafluoroethene Chemical group C=C.FC(F)=C(F)F QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009972 noncorrosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001470 polyketone Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K25/00—Details relating to contact between valve members and seats
- F16K25/005—Particular materials for seats or closure elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/126—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm the seat being formed on a rib perpendicular to the fluid line
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05F—STATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
- H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
- H05F3/02—Carrying-off electrostatic charges by means of earthing connections
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
- F16K27/0236—Diaphragm cut-off apparatus
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
Abstract
本開示は、流体回路内の静電荷を緩和する作動構成要素を提供する。例示的な実施形態は、ダイヤフラムバルブが接地されたときに、流体制御を提供し、静電荷を放散させることを可能にするダイヤフラムバルブを含む。【選択図】図１
Description
本開示の実施形態は、流体ハンドリングシステムに関し、より詳細には、静電気放電緩和を伴う超純流体ハンドリングシステムで使用される作動構成要素に関する。
高純度規格を提供する流体ハンドリングシステムは、先進技術用途において多くの用途を有する。これらの用途には、ソーラーパネル、フラットパネルディスプレイの加工および製造が含まれ、フォトリソグラフィー、バルク化学送達、化学機械研磨（ＣＭＰ）、ウェットエッチング、およびクリーニングなどの用途のための半導体産業にも含まれる。これらの用途で使用される特定の化学物質は特に腐食性であり、流体ハンドリング部品の腐食および環境への化学物質の浸出の可能性があるため、いくつかの従来の流体ハンドリング技術の使用を妨げる。
そのような用途のための耐食性および純度要件を満たすために、流体ハンドリングシステムは、不活性ポリマーから作製された配管、取付部、バルブ、および他の要素を提供する。これらの不活性ポリマーには、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレンおよびテトラフルオロエチレンポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、ならびにフッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）などのフルオロポリマーが含まれ得るが、これらに限定されない。非腐食性および不活性構造を提供することに加えて、ＰＦＡなどの多くのフルオロポリマーは、注射可能、成形可能および／または押出可能である。
静電気放電（ＥＳＤ）は、半導体産業および他の技術用途における流体ハンドリングシステムの重要な技術的問題である。流体と流体システム内の様々な作動構成要素（例えば、配管または管、バルブ、取付部、フィルタなど）の表面との間の摩擦接触は、静電荷の生成および蓄積をもたらす可能性がある。電荷発生の程度は、構成要素および流体の性質、流体速度、流体粘度、流体の電気伝導率、接地への経路、液体中の乱流およびせん断、流体中の空気の存在、および表面積を含むがこれらに限定されない様々な要因に依存する。これらの特性、およびこれらの特性によって引き起こされる望ましくない静電荷を緩和する方法は、ＮＦＰＡ ７７、「Ｒｅｃｏｍｍｅｎｄｅｄ Ｐｒａｃｔｉｃｅ ｏｎ Ｓｔａｔｉｃ Ｅｌｅｃｔｒｉｃｉｔｙ」、ｐｐ．７７－１～７７－６７、２０１４で論じられ報告されている。
さらに、流体がシステムを通って流れるとき、電荷は、電荷が発生した場所を超えて電荷が蓄積する可能性がある流動電荷と呼ばれる現象で下流に運ばれてもよい。十分な電荷蓄積は、配管またはパイプ壁、部品表面で、または様々なプロセスステップにおいて基板またはウエハ上でさえもＥＳＤを引き起こす可能性がある。
いくつかの用途では、半導体基板またはウエハは静電荷に対して非常に敏感であり、そのようなＥＳＤは、基板またはウエハの損傷または破壊をもたらす可能性がある。例えば、基板上の回路は破壊される可能性があり、光活性化合物は、制御されていないＥＳＤに起因して定期的な露光の前に活性化される可能性がある。さらに、蓄積した静電荷は、流体ハンドリングシステム内から外部環境に放電され、漏れ、システム内の流体の流出、および構成要素の性能低下をもたらす可能性がある、流体ハンドリングシステム内の構成要素（例えば、配管または管、取付部、構成要素、容器、フィルタなど）を損傷させるおそれがある。これらの状況では、可燃性、毒性および／または腐食性の流体が危険にさらされた流体ハンドリングシステムで使用されると、そのような放電は潜在的な火災または爆発をもたらす可能性がある。
いくつかの流体ハンドリングシステムでは、静電荷の蓄積を低減するために、流体ハンドリングシステム内の特定の金属または導電性構成要素を接地して、金属または導電性構成要素から接地へと連続的に分散する際のシステム内の静電荷の蓄積を緩和する。複数の接地ストラップの従来の使用は、流体ハンドリングシステムにおける過度の機械的クラッタをもたらす可能性があり、広範なメンテナンスを必要とする複雑な接地システムネットワーク、またはシステムの望ましくない汚染、腐食、または故障をもたらす可能性がある複雑なシステムをもたらす可能性がある。
部品性能を改善し、潜在的に損傷を与えるＥＳＤ事象を低減するために、超純流体ハンドリングシステムにおけるＥＳＤ緩和を改善することが望ましいであろう。
本開示の１つまたは複数の実施形態は、ｉ）１つまたは複数の流体取水取付部と、ｉｉ）１つまたは複数の流体出力取付部と、ｉｉｉ）１つまたは複数の流体制御構成要素とを有するハウジングを備え、流体制御構成要素は、静電荷を流体制御構成要素から接地に伝達するための導電性フルオロポリマーを含む、流体回路用の作動構成要素に関する。例示的な実施形態は、作動構成要素の取水取付部から出力取付部への流体の流れを制御するバルブである。
特定の実施形態では、作動構成要素は、取水取付部から出力取付部への流体の流れを制御するための可撓性フルオロポリマー本体を有するダイヤフラムバルブを備える。選択された実施形態では、可撓性フルオロポリマー本体は、例えば、可撓性本体の構造全体を通してまたは全体にわたって実質的に導電性である可撓性フルオロポリマー本体を形成する導電性複合フルオロポリマー、あるいは導電性複合フルオロポリマー周囲セグメントおよびこの周囲セグメント内の非導電性フルオロポリマー領域を有する可撓性フルオロポリマー本体を形成する非導電性可撓性フルオロポリマー本体の周囲の周りの導電性フルオロポリマーセグメントのいずれかであり得る導電性フルオロポリマーを含む。
開示されたダイヤフラムバルブに適したフルオロポリマーには、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレンおよびテトラフルオロエチレンポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、またはそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。特定の実施形態では、ダイヤフラムバルブに適したポリマーは、導電性材料が充填されたテトラフルオロエチレンポリマーを含む。特定の実施形態では、これらのフルオロポリマーには、約０．１～１０重量％、好ましくは約１～７重量％、またはより好ましくは約３～５重量％の範囲のカーボンブラックが充填されている。
いくつかの実施形態では、開示されたダイヤフラムバルブは、非導電性フルオロポリマーマトリックスおよび非導電性フルオロポリマーマトリックス内に分布した過フッ素化アイオノマーの領域を含む複合体を形成するために非導電性フルオロポリマーとブレンドされる過フッ素化アイオノマー粒子を含む。非導電性フルオロポリマーマトリックス内の過フッ素化アイオノマーの領域は、得られた複合体に静電気放散特性を付与する。適切な過フッ素化アイオノマーの例は、スルホン酸基によって末端化されたパーフルオロエーテルペンダント側鎖を有するポリ（テトラフルオロエチレン）骨格を有するパーフルオロスルホン酸（ＰＦＳＡ）ポリマーであり、ＮＡＦＩＯＮ（商標）アイオノマーとして市販されている（ＮＡＦＩＯＮ（商標）はＴｈｅ Ｃｈｅｍｏｕｒｓ Ｃｏｍｐａｎｙの商標である）。市販の過フッ素化アイオノマーのさらなる例としては、ＦＬＥＭＩＯＮ（登録商標）（ＡＧＣ株式会社（Ａｓａｈｉ Ｇｌａｓｓ Ｃｏｍｐａｎｙ））、ＡＣＩＰＬＥＸ（登録商標）（旭化成）またはＦＵＭＩＯＮ（登録商標）Ｆ（ＦｕＭＡ－Ｔｅｃｈ）アイオノマーが挙げられるが、これらに限定されない。静電気放散システムで使用するための過フッ素化アイオノマーは、その全体があらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる、米国特許出願公開第２０２０／０１０３０５６号明細書に報告されている。
本開示の他の実施形態は、２つ以上のハウジング構成要素と、１つまたは複数の取水取付部と、１つまたは複数の出力取付部と、ダイヤフラムとを備え、ダイヤフラムは、ダイヤフラムから接地に静電荷を伝達するための可撓性導電性フルオロポリマー本体を備える、流体回路用のダイヤフラムバルブに関する。可撓性フルオロポリマー本体は、例えば、可撓性本体の構造全体を通してまたは全体にわたって実質的に導電性である可撓性フルオロポリマー本体を形成する導電性複合フルオロポリマー、あるいは周囲セグメントの構造全体を通してまたは全体にわたって導電性複合フルオロポリマー周囲セグメントおよびこの周囲セグメント内の非導電性フルオロポリマー領域を有する可撓性フルオロポリマー本体を形成する非導電性可撓性フルオロポリマー本体の周囲の周りの導電性フルオロポリマーセグメントのいずれかであり得る導電性フルオロポリマーを含む。
ダイヤフラムバルブの開示された可撓性フルオロポリマー本体に適したフルオロポリマーには、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレンおよびテトラフルオロエチレンポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、またはそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。特定の実施形態では、ダイヤフラムバルブの可撓性フルオロポリマー本体に適したポリマーは、導電性材料が充填されたテトラフルオロエチレンポリマーを含む。これらの実施形態のいくつかでは、ダイヤフラムバルブの可撓性導電体は、ダイヤフラムバルブのフランジセグメントにおける静電気放電を緩和する。
本開示の特定の実施形態は、各々がフランジセグメント、１つまたは複数の取水取付部、１つまたは複数の出力取付部、ダイヤフラム、およびガスケットを有する２つ以上のハウジング構成要素を備え、ガスケットは、ダイヤフラムバルブから接地に静電荷を伝達するための導電性フルオロポリマーを含む、流体回路用のダイヤフラムバルブに関する。選択された実施形態では、ダイヤフラムは、ガスケットと導電接触している可撓性フルオロポリマー本体を含む。
開示されたガスケットに適したフルオロポリマーには、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレンおよびテトラフルオロエチレンポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンポリマーＰＴＦＥ）、またはそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。特定の実施形態では、ガスケットは、導電性材料が充填されたテトラフルオロエチレンポリマーを含む。これらの実施形態のいくつかでは、ガスケットは、ダイヤフラムバルブのフランジセグメントにおける静電気放電を緩和する。
いくつかの実施形態では、開示されたガスケットは、非導電性フルオロポリマーとブレンドされて、非導電性フルオロポリマーマトリックスと、非導電性フルオロポリマーマトリックス内に分布した過フッ素化アイオノマーの領域とを含む複合体を形成する過フッ素化アイオノマー粒子を含む。非導電性フルオロポリマーマトリックス内の過フッ素化アイオノマーの領域は、得られた複合体に静電気放散特性を付与する。適切な過フッ素化アイオノマーの例は、スルホン酸基によって末端化されたパーフルオロエーテルペンダント側鎖を有するポリ（テトラフルオロエチレン）骨格を有するパーフルオロスルホン酸（ＰＦＳＡ）ポリマーであり、市販のＮＡＦＩＯＮ（商標）アイオノマーである（ＮＡＦＩＯＮ（商標）はＴｈｅ Ｃｈｅｍｏｕｒｓ Ｃｏｍｐａｎｙの商標である）。市販の過フッ素化アイオノマーのさらなる例としては、ＦＬＥＭＩＯＮ（登録商標）（ＡＧＣ株式会社（Ａｓａｈｉ Ｇｌａｓｓ Ｃｏｍｐａｎｙ））、ＡＣＩＰＬＥＸ（登録商標）（旭化成）またはＦＵＭＩＯＮ（登録商標）Ｆ（ＦｕＭＡ－Ｔｅｃｈ）アイオノマーが挙げられるが、これらに限定されない。静電気放散システムに使用するための過フッ素化アイオノマーは、米国特許出願公開第２０２０／０１０３０５６号明細書に報告されている。
本開示の１つまたは複数の実施形態はまた、接地された作動構成要素、ダイヤフラムバルブ、または上述の実施形態のいずれかのガスケットを備える統合された静電気放電緩和を有する流体回路に関する。
さらに、本開示の１つまたは複数の実施形態は、上述の実施形態のいずれかの作動構成要素、ダイヤフラムバルブ、またはガスケットを流体回路に設置することと、作動構成要素、またはダイヤフラムバルブもしくはガスケットを接地することとを含む、一体型静電気放電緩和システムを有する流体回路を作製する方法に関する。
上記の概要は、本開示の各例示された実施形態またはすべての実装形態を説明することを意図するものではない。
本開示に含まれる図面は、本開示の実施形態を例示し、説明と共に、本開示の原理を説明するのに役立つ。図面は、特定の実施形態の例示にすぎず、本開示を限定するものではない。
本開示の実施形態は、様々な修正および代替形態に適しており、特定の詳細は、例えば図面に示されており、詳細に説明される。本開示を記載された特定の実施形態に限定する意図はないことが理解され、本開示の趣旨および範囲内にあるすべての修正形態、均等物、および代替形態を網羅することが意図されている。
本開示は、流体供給部から１つまたは複数の下流のプロセス段階への流体流路を有するＥＳＤ緩和を伴う流体ハンドリングシステムにおける用途のための作動構成要素またはダイヤフラムバルブの実施形態を報告する。従来のおよびいくつかのＥＳＤ緩和流体回路は、例えば、国際公開第２０１７／２１０２９３号に報告されており、これは、そこに含まれる明示的な定義または特許請求の範囲を除いて、参照により本明細書に組み込まれる。他のＥＳＤ緩和流体回路は、例えば、Ｅｎｔｅｇｒｉｓのパンフレット、ＦＬＵＯＲＯＬＩＮＥ Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ（ＥＳＤ）Ｔｕｂｉｎｇ、２０１５－２０１７に報告されている。
図１は、ダイヤフラムバルブ１０の一実施形態を示す等角図である。ダイヤフラムバルブ１０は、入口取付部１２および出口取付部１４を含む。入口バルブ１２および出口バルブ１４は、第１のフランジセグメント１８を有する第１のハウジング構成要素１６に接続されている。ダイヤフラムバルブは、第２のフランジ２２を有する第２のハウジング構成要素２０をさらに含む。第１のフランジ１８および第２のフランジ２２は、ダイヤフラムバルブが入口取付部１２と出口取付部１４との間の流体の流れを制御するために流体回路で使用されるときに漏れ防止接続を提供するように構成される。図１はまた、第１のハウジング構成要素１６および第２のハウジング構成要素２０の内部部分に可撓性フルオロポリマー本体（図示せず）を含むダイヤフラムと導電接触する接地タブ２４を示す。接地タブ２４は、接地に接続されたときに静電荷の伝達を可能にする。図１はまた、ダイヤフラムバルブの内部部分における可撓性フルオロポリマー本体（図示せず）の位置を調整または制御するための内部および外部構造の両方を提供するアクチュエータ２６の外部部分を示す。可撓性フルオロポリマー本体の位置は、入口取付部から出口取付部への流体の流れを制御する。
図２は、ダイヤフラムバルブ１０の内部部分を示す切欠図である。図２は、入口取付部１０、出口取付部１２第１のハウジング構成要素１６、第１のフランジセグメント１８、第２のハウジング構成要素２０、第２のフランジセグメント２２、およびアクチュエータ２６の外部部分を含むダイヤフラムバルブのすべての外部部分を示す。図２は、可撓性フルオロポリマー本体の切欠部分をさらに示す。可撓性フルオロポリマー本体２８は、第１のフランジセグメント１８と第２のフランジセグメント２２との間にダイヤフラムバルブ１０を取り付けるように構成される。ダイヤフラムバルブ１０が流体回路で使用される場合、可撓性フルオロポリマー本体は、ダイヤフラムバルブ１０の内部構造と外部構造との間の導電経路を可能にする外部構造を提供する。可撓性フルオロポリマー本体の外部構造は、流体回路の内部領域内の流体の流れによって生成され得る電荷の静電緩和を提供するために接地に接続されてもよい。
図３は、ダイヤフラムバルブ３０の一実施形態の原理構造を示す分解図である。構造は、入口取付部３２と、出口取付部３４と、第１のハウジング構成要素３６とを含む。図３は、第１のハウジング構成要素３６と第２のハウジング構成要素４０との間に取り付けられるように構成された可撓性フルオロポリマー本体３８ａおよび３８ｂをさらに示す。第２のハウジング構成要素４０はまた、アクチュエータ４２の外部部分を含む。
図４は、フランジセグメント４２と、可撓性フルオロポリマー本体４４と、アクチュエータ４６の外部部分とを含むハウジング構成要素４０の等角図である。可撓性フルオロポリマー本体とアクチュエータ４６の外部部分との組み合わせは、可撓性フルオロポリマー本体の位置を調整または制御することによって、組み立てられたダイヤフラムバルブ内の流体の制御を可能にする。
図５は、ダイヤフラムまたは可撓性フルオロポリマー本体５０の一実施形態を示す。この実施形態では、可撓性フルオロポリマー本体は、選択された導電性フルオロポリマーを使用して所定の形状に成形され、成形された可撓性フルオロポリマー本体に本質的に均一なポリマー構造を提供する導電性フルオロポリマーを含む。導電性フルオロポリマーは、組立ダイヤフラムバルブの外部部分まで延在するタブ５２を含む。タブ５２が接地されると、導電性フルオロポリマーは、ダイヤフラムバルブの内部部分の流体の流れおよび流体回路を通る流体の流れによって生成され得る静電荷を緩和するための導電経路を提供する。
図６は、ダイヤフラムまたは可撓性フルオロポリマー本体６０の一実施形態を示す。この実施形態では、可撓性フルオロポリマー本体は、可撓性フルオロポリマー本体６０の周囲の導電性フルオロポリマー６２と、可撓性フルオロポリマー本体の内部領域内の非導電性フルオロポリマー６４とを含む。可撓性フルオロポリマー本体６０は、選択された導電性フルオロポリマーおよび選択された非導電性フルオロポリマーを使用して所定の形状に成形され、導電性周囲部分および非導電性内部領域を有する成形された可撓性フルオロポリマー本体６０を提供する。導電性フルオロポリマー周囲部分は、組立ダイヤフラムバルブの外部部分まで延在するタブ６６を含む。タブ６６が接地されると、導電性フルオロポリマー周囲部分は、ダイヤフラムバルブの内部部分の流体の流れおよび流体回路を通る流体の流れによって生成され得る静電荷を緩和するための導電経路を提供する。
図７は、ダイヤフラムまたは可撓性フルオロポリマー本体７０および導電性フルオロポリマーガスケット７２の一実施形態を示す。この実施形態では、可撓性フルオロポリマー本体は、非導電性フルオロポリマー本体７０を備える。同様に、導電性フルオロポリマーガスケット７２は、選択された導電性フルオロポリマーを使用して所定の形状に成形される。ガスケット７２の形状は、例えば図３に示されるように、可撓性フルオロポリマー本体７０の周囲の形状ならびに第１のハウジング構成要素および第２のハウジング構成要素を有するダイヤフラムバルブのフランジセグメントに対応するように構成される。導電性フルオロポリマーガスケットは、組立ダイヤフラムバルブの外部部分まで延在するタブ７４を含む。タブ７４が接地されると、導電性フルオロポリマーは、ダイヤフラムバルブの内部部分の流体の流れおよび流体回路を通る流体の流れによって生成され得る静電荷を緩和するための導電経路を提供する。
本開示における作動構成要素およびダイヤフラムバルブは、流体入力および流体出力を有し、流体の流れを方向付けるまたは提供するために配管と接続する任意の構成要素または装置を指す。流体制御システムの関連および追加の構成要素は、例えば、米国特許第５，６７２，８３２号、第５，６７８，４３５号、第５，８６９，７６６号、第６，４１２，８３２号、第６，６０１，８７９号、第６，５９５，２４０号、第６，６１２，１７５号、第６，６５２，００８号、第６，７５８，１０４号、第６，７８９，７８１号、第７，０６３，３０４号、第７，３０８，９３２号、第７，３８３，９６７号、第８，５６１，８５５号、第８，６８９，８１７号、および第８，７２６，９３５号明細書に示され、これらの各々は、列挙された文献に含まれる明確な定義または特許請求の範囲を除いて、参照により本明細書に組み込まれる。
本開示の場合、流体制御構成要素、例えば、フルオロポリマーを含むダイヤフラムは、例えば、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレンおよびテトラフルオロエチレンポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンｐ ［ポリマーＰＴＦＥ）、または他の適切なポリマー材料を含む導電性および／または非導電性フルオロポリマーから構築されてもよい。例えば、いくつかの実施形態では、導電性フルオロポリマーに導電性材料（例えば、充填フルオロポリマー）を充填してもよい。この充填フルオロポリマーには、炭素繊維、ニッケル被覆グラファイト、炭素繊維、炭素粉末、カーボンナノチューブ、金属粒子、および鋼繊維を充填したフルオロポリマーが含まれるが、これらに限定されない。
代替で、本開示の場合、例えばダイヤフラムなどの流体制御構成要素は、非導電性フルオロポリマーマトリックスと、本開示において上述したような非導電性フルオロポリマーマトリックス内に分布した過フッ素化アイオノマーの領域とを含む複合体を形成するために非導電性フルオロポリマーとブレンドされる過フッ素化アイオノマー粒子から構築されてもよい。
様々な実施形態では、導電性材料は約１×１０１０オーム－ｍ未満の抵抗レベルを有するが、非導電性材料は約１×１０１０オーム－ｍを超える抵抗レベルを有する。様々な実施形態では、導電性材料は約１×１０９オーム－ｍ未満の抵抗レベルを有するが、非導電性材料は約１×１０９オーム－ｍを超える抵抗レベルを有する。開示された流体ハンドリングシステムが超純流体ハンドリング用途で使用するように構成される場合、流体制御構成要素は、純度および耐食性基準を満たすようにポリマー材料から構築することができる。
上述の可撓性フルオロポリマー本体に加えて、本開示の作動構成要素およびダイヤフラムバルブの様々な追加要素は、金属、ポリマー材料、または充填ポリマー材料を含む材料から構築されてもよい。作動構成要素およびダイヤフラムバルブの選択された構造要素の一般的に装填されたポリマー材料は、鋼線、アルミニウムフレーク、ニッケルコーティンググラファイト、炭素繊維、炭素粉末、カーボンナノチューブ、または他の導電性材料が装填されるポリマーを含むことができる。いくつかの例では、これらの要素は、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリケトン、ポリウレタン、ポリビニル樹脂、ポリアクリレート、ポリメチルアクリレートおよびフルオロポリマーなどであるがこれらに限定されない様々な炭化水素および非炭化水素ポリマーから構築されるなどの、非導電性または低導電性材料から構築された主要部分を有し得る。例示的なフルオロポリマーには、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレンテトラフルオロエチレンポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、およびテトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、または他の適切なポリマー材料が含まれるが、これらに限定されず、例えば、二次共押出導電性部分を有する。
本開示の作動構成要素およびダイヤフラムバルブは、静電気緩和システムを有する流体回路での使用に適している。図８は、例示的な流体ハンドリングシステム１５０の概略図である。流体ハンドリングシステム１５０は、流体が流体供給部１５２から流体供給部源の下流に位置付けられた１つまたは複数のプロセス段階１５６に流れるための流路を提供する。流体ハンドリングシステム１５０は、流体ハンドリング回路１５０の流路の一部分を含む流体回路１６０を含む。流体回路１６０は、配管セグメント１６４と、配管セグメント１６４を介して相互接続される複数の作動構成要素１６８とを含む。図８では、作動構成要素１６８は、エルボ形状の取付部１７０、Ｔ形状の取付部１７２、バルブ１７４、フィルタ１７６、流量センサ１７８、および直線取付部１７９を含む。しかしながら、様々な実施形態では、流体回路１６０は、数および種類において追加のまたはより少ない作動構成要素を含むことができる。例えば、流体回路１６０は、ポンプ、ミキサ、分注ヘッド、噴霧器ノズル、圧力調整器、流量制御器、または他のタイプの作動構成要素を代替または追加で含むことができる。組立時に、作動構成要素１６８は、それぞれの配管コネクタ取付部１８６で構成要素１６８に接続する複数の配管セグメント１６４によって互いに接続される。互いに接続された複数の配管セグメント１６４および作動構成要素１６８は、流体供給部１５２からプロセス段階１５６に向かって流体回路１６０を通る流体流路を提供する。
本開示の様々な実施形態の説明は、例示の目的で提示されているが、開示された実施形態に網羅的であること、または限定されることを意図するものではない。記載された実施形態の範囲および精神から逸脱することなく、多くの修正および変形が当業者には明らかであろう。本明細書で使用される用語は、実施形態の原理、実際の用途または市場で見られる技術に対する技術的改善を説明するために、または当業者が本明細書に開示される実施形態を理解することを可能にするために選択された。
Claims (29)
- ｉ）１つまたは複数の流体取水取付部と、ｉｉ）１つまたは複数の流体出力取付部と、ｉｉｉ）１つまたは複数の流体制御構成要素とを有するハウジングを備え、前記流体制御構成要素が、前記流体制御構成要素から接地に静電荷を伝達するための導電性フルオロポリマーを含む、流体回路用の作動構成要素。
- 前記作動構成要素が、前記取水取付部から前記出力取付部への流体の流れを制御するバルブを備える、請求項１に記載の作動構成要素。
- 前記作動構成要素が、ダイヤフラムバルブを備える、請求項１または２に記載の作動構成要素。
- 前記ダイヤフラムバルブが、前記取水取付部から前記出力取付部への流体の流れを制御するための可撓性フルオロポリマー本体を備える、請求項３に記載の作動構成要素。
- 前記可撓性フルオロポリマー本体が導電性フルオロポリマーを含む、請求項４に記載の作動構成要素。
- 前記可撓性フルオロポリマー本体が、前記本体を通して実質的に導電性である前記可撓性フルオロポリマー本体を形成する導電性複合フルオロポリマーを含む、請求項４に記載の作動構成要素。
- 前記可撓性フルオロポリマー本体が、非導電性可撓性フルオロポリマー本体の周囲の周りに導電性フルオロポリマーセグメントを備える、請求項４に記載の作動構成要素。
- 前記導電性フルオロポリマーセグメントが複合導電性フルオロポリマーを含む、請求項７に記載の作動構成要素。
- 前記導電性フルオロポリマーセグメントが、前記非導電性可撓性フルオロポリマー本体と導電接触している、請求項７または８に記載の作動構成要素。
- 前記導電性フルオロポリマーが、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレンおよびテトラフルオロエチレンポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、またはそれらの組み合わせを含む、請求項１から９のいずれか一項に記載の作動構成要素。
- 前記導電性フルオロポリマーが、導電性材料が充填されたテトラフルオロエチレンポリマーを含む、請求項１から９のいずれか一項に記載の作動構成要素。
- ２つ以上のハウジング構成要素と、１つまたは複数の取水取付部と、１つまたは複数の出力取付部と、ダイヤフラムとを備え、前記ダイヤフラムが、前記ダイヤフラムから接地に静電荷を伝達するための可撓性導電性フルオロポリマー本体を備える、流体回路用のダイヤフラムバルブ。
- 前記可撓性導電性フルオロポリマー本体が複合ポリマーを含む、請求項１２に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記可撓性フルオロポリマー本体が、非導電性可撓性フルオロポリマー本体の周囲の周りに導電性フルオロポリマーセグメントを備える、請求項１２に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記導電性フルオロポリマーセグメントが、前記非導電性可撓性フルオロポリマー本体と導電接触している、請求項１４に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記導電性フルオロポリマーセグメントが複合フルオロポリマーである、請求項１２に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記導電性フルオロポリマーセグメントが、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレンおよびテトラフルオロエチレンポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンポリマーＰＴＦＥ）、またはそれらの組み合わせを含む、請求項１２～１６のいずれか一項に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記導電性フルオロポリマーセグメントが、導電性材料が充填されたテトラフルオロエチレンポリマーを含む、請求項１２から１６のいずれか一項に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記導電性フルオロポリマーセグメントが、前記作動構成要素のフランジセグメントにおける静電気放電を緩和する、請求項１から１１のいずれか一項に記載の作動構成要素。
- 導電性フルオロポリマーセグメントが、前記ダイヤフラムバルブのフランジセグメントにおける静電気放電を緩和する、請求項１２から１９のいずれか一項に記載のダイヤフラムバルブ。
- ２つ以上のハウジング構成要素と、１つまたは複数の取水取付部と、１つまたは複数の出力取付部と、ダイヤフラムと、ガスケットとを備え、前記ガスケットが、前記ダイヤフラムバルブから接地に静電荷を伝達するための導電性フルオロポリマーを含む、流体回路用のダイヤフラムバルブ。
- 前記ダイヤフラムが可撓性フルオロポリマー本体を備える、請求項２１に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記ガスケットが前記可撓性フルオロポリマー本体と導電接触している、請求項２２に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記ガスケットが複合フルオロポリマーを含む、請求項２１に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記ガスケットが、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレンおよびテトラフルオロエチレンポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンポリマーＰＴＦＥ）、またはそれらの組み合わせを含む、請求項２１から２４のいずれか一項に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記ガスケットが、導電性材料が充填されたテトラフルオロエチレンポリマーを含む、請求項２１から２４のいずれか一項に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記ガスケットが、前記ダイヤフラムバルブのフランジセグメントにおける静電気放電を緩和する、請求項２１から２６のいずれか一項に記載のダイヤフラムバルブ。
- 接地された作動構成要素またはダイヤフラムバルブまたは請求項１～２７のいずれか一項を備える、一体型静電気放電緩和を有する流体回路。
- 請求項１から２７のいずれか一項に記載の作動構成要素またはダイヤフラムバルブを前記流体回路に設置することと、前記作動構成要素または前記ダイヤフラムバルブを接地することとを含む、一体型静電気放電緩和システムを有する流体回路を作製する方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US202163182503P | 2021-04-30 | 2021-04-30 | |
| US63/182,503 | 2021-04-30 | ||
| PCT/US2022/026788 WO2022232432A1 (en) | 2021-04-30 | 2022-04-28 | Electrostatic discharge mitigation valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2024517189A true JP2024517189A (ja) | 2024-04-19 |
Family
ID=83760530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023566819A Pending JP2024517189A (ja) | 2021-04-30 | 2022-04-28 | 静電気放電緩和バルブ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20220349488A1 (ja) |
| EP (1) | EP4330579A1 (ja) |
| JP (1) | JP2024517189A (ja) |
| KR (1) | KR20240001219A (ja) |
| CN (2) | CN218388033U (ja) |
| TW (1) | TW202312788A (ja) |
| WO (1) | WO2022232432A1 (ja) |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050263935A1 (en) * | 2001-02-15 | 2005-12-01 | Integral Technologies, Inc. | Low cost electrostatic discharge-proof pumps manufactured from conductive loaded resin-based materials |
| US6907897B2 (en) * | 2003-06-26 | 2005-06-21 | Planar Systems, Inc. | Diaphragm valve for high-temperature precursor supply in atomic layer deposition |
| US7243903B2 (en) * | 2005-06-22 | 2007-07-17 | Wincek Christopher P | Valve diaphragm with a compression restraining ring, and valve including same |
| US8714517B2 (en) * | 2010-09-20 | 2014-05-06 | Fisher Controls International, Llc | Bonnet apparatus to provide live-loading to a seal |
| US9157534B2 (en) * | 2012-07-20 | 2015-10-13 | Itt Manufacturing Enterprises Llc. | Two-stud diaphragm for diaphragm valves |
| JP5891536B2 (ja) * | 2013-11-11 | 2016-03-23 | Smc株式会社 | 弁装置 |
| JP5987100B1 (ja) * | 2015-10-16 | 2016-09-06 | サーパス工業株式会社 | 流体機器 |
| JP7262280B2 (ja) * | 2018-04-10 | 2023-04-21 | 旭有機材株式会社 | ダイヤフラムバルブ |
| TWI692593B (zh) * | 2018-09-05 | 2020-05-01 | 和正豐科技股份有限公司 | 膜片閥構造及膜片閥的熱源隔離方法 |
| JP2021036170A (ja) * | 2019-08-21 | 2021-03-04 | 旭有機材株式会社 | 帯電防止機能付バルブ |
-
2022
- 2022-04-28 JP JP2023566819A patent/JP2024517189A/ja active Pending
- 2022-04-28 US US17/732,136 patent/US20220349488A1/en active Pending
- 2022-04-28 EP EP22796751.0A patent/EP4330579A1/en active Pending
- 2022-04-28 KR KR1020237040750A patent/KR20240001219A/ko active Search and Examination
- 2022-04-28 WO PCT/US2022/026788 patent/WO2022232432A1/en active Application Filing
- 2022-04-29 CN CN202221034073.9U patent/CN218388033U/zh active Active
- 2022-04-29 CN CN202210476178.8A patent/CN115279000A/zh active Pending
- 2022-04-29 TW TW111116329A patent/TW202312788A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN218388033U (zh) | 2023-01-24 |
| KR20240001219A (ko) | 2024-01-03 |
| WO2022232432A1 (en) | 2022-11-03 |
| EP4330579A1 (en) | 2024-03-06 |
| US20220349488A1 (en) | 2022-11-03 |
| TW202312788A (zh) | 2023-03-16 |
| CN115279000A (zh) | 2022-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20220307634A1 (en) | Fluid circuit with integrated electrostatic discharge mitigation | |
| US11339063B2 (en) | Fluid circuit with integrated electrostatic discharge mitigation | |
| JP7441922B2 (ja) | 静電気放電フルオロポリマー複合材料からなる管部分 | |
| JP2024517189A (ja) | 静電気放電緩和バルブ | |
| CN213132242U (zh) | 静电减轻过滤器和流体处理系统 | |
| JP7331141B2 (ja) | 静電気放電緩和チューブセグメントおよび静電気放電緩和チューブセグメントを含む流体回路 | |
| US20210324984A1 (en) | Electrostatic discharge mitigation device | |
| JPWO2020068745A5 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240326 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20240326 |