JP2015005732A - 半導体装置およびその作製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下では、本発明の一態様に係るトランジスタについて図1および図2を用いて説明する。
以下では、図1に示したトランジスタの作製方法について、図3および図4を用いて説明する。なお、トランジスタの作製方法は、図1(B)および図1(C)に示した断面図と対応させて説明する。
以下では、本発明の一態様に係るトランジスタについて図5を用いて説明する。
以下では、図5に示したトランジスタの作製方法について、図6を用いて説明する。なお、トランジスタの作製方法は、図5(B)および図5(C)に示した断面図と対応させて説明する。
以下では、本発明の一態様に係るトランジスタについて図7を用いて説明する。
以下では、図7に示したトランジスタの作製方法について、図8および図9を用いて説明する。なお、トランジスタの作製方法は、図7(B)および図7(C)に示した断面図と対応させて説明する。
以下では、本発明の一態様に係るトランジスタについて図10および図11を用いて説明する。
以下では、図10に示したトランジスタの作製方法について、図12および図13を用いて説明する。なお、トランジスタの作製方法は、図10(B)および図10(C)に示した断面図と対応させて説明する。
以下では、本発明の一態様に係るトランジスタについて図14を用いて説明する。
以下では、図14に示したトランジスタの作製方法について、図16および図17を用いて説明する。なお、トランジスタの作製方法は、図14(B)および図14(C)に示した断面図と対応させて説明する。
以下では、上述した半導体装置を適用した電子機器の例について説明する。
101 絶縁膜
102 絶縁膜
104 導電膜
106 酸化物半導体膜
107 絶縁膜
108 絶縁膜
108a 絶縁膜
108b 絶縁膜
112 絶縁膜
116a 導電膜
116b 導電膜
118 絶縁膜
200 基板
202 絶縁膜
204 導電膜
206 酸化物半導体膜
208 絶縁膜
212 絶縁膜
216a 導電膜
216b 導電膜
218 絶縁膜
232 絶縁膜
236 酸化物半導体膜
300 基板
301 絶縁膜
302 絶縁膜
304 導電膜
306 酸化物半導体膜
308 絶縁膜
310 ハードマスク
312 絶縁膜
316a 導電膜
316b 導電膜
318 絶縁膜
332 絶縁膜
336 酸化物半導体膜
340 ハードマスク
350 マスク
400 基板
401 絶縁膜
402 絶縁膜
403 絶縁膜
404 導電膜
405 導電膜
406 酸化物半導体膜
407 酸化物半導体膜
408 絶縁膜
409 絶縁膜
410 ハードマスク
411 絶縁膜
412 絶縁膜
413 絶縁膜
416a 導電膜
416b 導電膜
417a 導電膜
417b 導電膜
418 絶縁膜
419 絶縁膜
423a 導電膜
423b 導電膜
432 絶縁膜
436 酸化物半導体膜
440 ハードマスク
450 マスク
500 基板
501 絶縁膜
502 絶縁膜
503 絶縁膜
504 導電膜
506 酸化物半導体膜
508 絶縁膜
509 絶縁膜
512 絶縁膜
514 導電膜
516a 導電膜
516b 導電膜
518 絶縁膜
900 筐体
901 ボタン
902 マイクロフォン
903 表示部
904 スピーカ
905 カメラ
910 筐体
911 表示部
920 筐体
921 ボタン
922 マイクロフォン
923 表示部
930 筐体
931a 表示部
931b 表示部
933 留具
938 操作スイッチ
Claims (25)
- 基板上の、下地絶縁膜、および前記下地絶縁膜上の酸化物半導体膜を含む島状の積層膜と、
前記積層膜の側面に面し、かつ前記積層膜の上面に面しない保護絶縁膜と、
前記積層膜上に接し、間隔を開けて配置される第1の導電膜および第2の導電膜と、
前記積層膜上、前記第1の導電膜上および前記第2の導電膜上の絶縁膜と、
前記絶縁膜上の第3の導電膜と、を有することを特徴とする半導体装置。 - 基板上の第1の導電膜と、
前記第1の導電膜上の、下地絶縁膜、および前記下地絶縁膜上の酸化物半導体膜を含む島状の積層膜と、
前記第1の導電膜の側面に面し、前記積層膜の側面に面し、かつ前記積層膜の上面に面しない保護絶縁膜と、
前記積層膜上に接し、間隔を開けて配置される第2の導電膜および第3の導電膜と、を有することを特徴とする半導体装置。 - 基板上の第1の導電膜と、
前記第1の導電膜上の下地絶縁膜、および前記下地絶縁膜上の酸化物半導体膜を含む島状の積層膜と、
前記第1の導電膜の側面に面し、前記積層膜の側面に面し、かつ前記積層膜の上面に面しない保護絶縁膜と、
前記積層膜上に接し、間隔を開けて配置される第2の導電膜および第3の導電膜と、
前記積層膜上、前記第2の導電膜上および前記第3の導電膜上の絶縁膜と、
前記絶縁膜上の第4の導電膜と、を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
前記保護絶縁膜が酸化アルミニウム膜であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
前記積層膜と前記保護絶縁膜との間に、酸素過剰領域を含む酸化シリコン膜を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
前記下地絶縁膜は、酸素過剰領域を含む酸化シリコン膜であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
前記酸化物半導体膜が、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含むことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一において、
前記積層膜は、前記下地絶縁膜と前記前記酸化物半導体膜との間に、下地酸化物半導体膜を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項8において、
前記下地酸化物半導体膜が、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含むことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一において、
前記積層膜は、前記酸化物半導体膜上と接する保護酸化物半導体膜を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項10において、
前記保護酸化物半導体膜が、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含むことを特徴とする半導体装置。 - 基板上に下地絶縁膜を成膜し、
前記下地絶縁膜上に酸化物半導体膜を成膜し、
前記酸化物半導体膜上に島状にマスクを形成し、
前記下地絶縁膜および前記酸化物半導体膜の、前記マスクの設けられていない領域をエッチングすることで、島状の積層膜および格子状の溝を形成した後、前記マスクを除去し、
前記島状の積層膜上および前記格子状の溝内に保護絶縁膜を形成し、
前記島状の積層膜が露出するまで前記保護絶縁膜を平坦化しながらエッチングすることで、前記格子状の溝内に格子状の保護絶縁膜を形成し、
前記島状の積層膜上に、間隔を開けて第1の導電膜および第2の導電膜を形成し、
前記島状の積層膜上、前記第1の導電膜上および前記第2の導電膜上に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜上に第3の導電膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上に下地絶縁膜を成膜し、
前記下地絶縁膜上に酸化物半導体膜を成膜し、
前記酸化物半導体膜上に島状にマスクを形成し、
前記下地絶縁膜および前記酸化物半導体膜の、前記マスクの設けられていない領域をエッチングすることで、島状の積層膜および格子状の溝を形成し、
前記マスク上および前記格子状の溝内に保護絶縁膜を形成し、
前記マスクが露出するまで前記保護絶縁膜を平坦化しながらエッチングすることで、前記格子状の溝内に格子状の保護絶縁膜を形成した後、前記マスクを除去し、
前記島状の積層膜上に、間隔を開けて第1の導電膜および第2の導電膜を形成し、
前記島状の積層膜上、前記第1の導電膜上および前記第2の導電膜上に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜上に第3の導電膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上に下地絶縁膜を成膜し、
前記下地絶縁膜上に酸化物半導体膜を成膜し、
前記酸化物半導体膜上に島状にマスクを形成し、
前記下地絶縁膜および前記酸化物半導体膜の、前記マスクの設けられていない領域をエッチングすることで、島状の積層膜および格子状の溝を形成し、
前記マスク上および前記格子状の溝内に保護絶縁膜を形成し、
前記マスクが露出するまで前記保護絶縁膜を平坦化しながらエッチングすることで、前記格子状の溝内に格子状の保護絶縁膜を形成し、
前記マスク上にレジストマスクを形成し
前記マスクの、前記レジストマスクの設けられていない領域をエッチングすることで、間隔を開けて第1の導電膜および第2の導電膜を形成し、
前記島状の積層膜上、前記第1の導電膜上および前記第2の導電膜上に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜上に第3の導電膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上に第1の導電膜を形成し、
前記第1の導電膜上に下地絶縁膜を成膜し、
前記下地絶縁膜上に酸化物半導体膜を成膜し、
前記酸化物半導体膜上に島状にマスクを形成し、
前記下地絶縁膜および前記酸化物半導体膜の、前記マスクの設けられていない領域をエッチングすることで、島状の積層膜および格子状の溝を形成した後、前記マスクを除去し、
前記島状の積層膜上および前記格子状の溝内に保護絶縁膜を形成し、
前記島状の積層膜が露出するまで前記保護絶縁膜を平坦化しながらエッチングすることで、前記格子状の溝内に格子状の保護絶縁膜を形成し、
前記島状の積層膜上に、間隔を開けて第2の導電膜および第3の導電膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上に第1の導電膜を形成し、
前記第1の導電膜上に下地絶縁膜を成膜し、
前記下地絶縁膜上に酸化物半導体膜を成膜し、
前記酸化物半導体膜上に島状にマスクを形成し、
前記下地絶縁膜および前記酸化物半導体膜の、前記マスクの設けられていない領域をエッチングすることで、島状の積層膜および格子状の溝を形成し、
前記マスク上および前記格子状の溝内に保護絶縁膜を形成し、
前記マスクが露出するまで前記保護絶縁膜を平坦化しながらエッチングすることで、前記格子状の溝内に格子状の保護絶縁膜を形成した後、前記マスクを除去し、
前記島状の積層膜上に、間隔を開けて第2の導電膜および第3の導電膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上に第1の導電膜を形成し、
前記第1の導電膜上に下地絶縁膜を成膜し、
前記下地絶縁膜上に酸化物半導体膜を成膜し、
前記酸化物半導体膜上に島状にマスクを形成し、
前記下地絶縁膜および前記酸化物半導体膜の、前記マスクの設けられていない領域をエッチングすることで、島状の積層膜および格子状の溝を形成し、
前記マスク上および前記格子状の溝内に保護絶縁膜を形成し、
前記マスクが露出するまで前記保護絶縁膜を平坦化しながらエッチングすることで、前記格子状の溝内に格子状の保護絶縁膜を形成し、
前記マスク上にレジストマスクを形成し
前記マスクの、前記レジストマスクの設けられていない領域をエッチングすることで、間隔を開けて第2の導電膜および第3の導電膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項12乃至請求項17のいずれか一において、
前記保護絶縁膜として酸化アルミニウム膜を成膜することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項12乃至請求項18のいずれか一において、
前記保護絶縁膜として、酸素過剰領域を含む酸化シリコン膜、および酸化アルミニウム膜を、この順に成膜することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項12乃至請求項19のいずれか一において、
前記下地絶縁膜として、酸素過剰領域を含む酸化シリコン膜を成膜することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項12乃至請求項20のいずれか一において、
前記酸化物半導体膜として、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含むこと酸化物半導体膜を成膜することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項12乃至請求項21のいずれか一において、
前記積層膜として、前記下地絶縁膜と前記前記酸化物半導体膜との間に、下地酸化物半導体膜を成膜することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項22において、
前記下地酸化物半導体膜として、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含む酸化物半導体膜を成膜することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項12乃至請求項23のいずれか一において、
前記積層膜として、前記酸化物半導体膜上と接する保護酸化物半導体膜を成膜することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項24において、
前記保護酸化物半導体膜として、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含む酸化物半導体膜を成膜することを特徴とする半導体装置。
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