JP2014508223A - 疎油性被覆のための直接液体蒸発 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図5
Description
Claims (22)
- 物理蒸着のための蒸発ユニットであって、
生の液体材料を受け取る容器と、
前記生の液体を前記容器に挿入する開口部と、ターゲット材が蒸気の形態である場合に前記ターゲット材が漏れるように構成された複数の孔とを含み、前記容器に結合された蓋と、
前記開口部に結合され、液状の前記ターゲット材を前記容器に向ける供給管と、
を備えることを特徴とする蒸発ユニット。 - 抵抗発熱ユニットに結合するつまみを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の蒸発ユニット。
- 前記生の液体材料は、
疎油性成分と、
賦形剤と、
から構成されていることを特徴とする請求項1に記載の蒸発ユニット。 - 前記容器及び前記蓋は、モリブデンから構成されていることを特徴とする請求項2に記載の蒸発ユニット。
- 前記供給管は、耐熱炭素材料から構成されていることを特徴とする請求項2に記載の蒸発ユニット。
- 前記供給管は、セラミック材料から構成されていることを特徴とする請求項2に記載の蒸発ユニット。
- 液状の生の液体材料を格納する加圧ボトルと、
前記加圧ボトルに背圧を供給する圧力源と、
前記加圧ボトルに流動的に結合された管部分と、
前記生の液体材料を選択的に前記管部分に流す少なくとも1つの弁と、
第1の管に結合され、且つ、前記加圧ボトルから流れるターゲット材を受け取る容器と、
を備えることを特徴とする物理蒸着システム。 - 前記圧力源は、ガス源であることを特徴とする請求項7に記載の物理蒸着システム。
- 物理蒸着真空チャンバを更に備えることを特徴とする請求項7に記載の物理蒸着システム。
- 前記生の液体材料は、
疎油性成分と、
賦形剤と、
から構成されていることを特徴とする請求項7に記載の物理蒸着システム。 - 前記加圧ボトルは、冷却された環境で格納されることを特徴とする請求項9に記載の物理蒸着システム。
- 前記少なくとも1つの弁は、
第1の端部が前記少なくとも1つの弁に流動的に結合される第2の管部分と、
第1の側部が前記第2の管部分の第2の端部に結合され、且つ、第2の側部が前記供給管に流動的に結合される第2の弁と、
を含む液体供給システムに流動的に結合されることを特徴とする請求項9に記載の物理蒸着システム。 - 前記少なくとも1つの弁は、
前記加圧ボトル及び少なくとも1つの供給シリンジに流動的に結合された少なくとも1つのマイクロシリンジと、
少なくとも1つのマイクロシリンジ及び蒸発ユニットに流動的に結合された少なくとも1つの供給シリンジと、
を含む液体供給システムに流動的に結合されることを特徴とする請求項9に記載の物理蒸着システム。 - 前記ガス源は、前記少なくとも1つのマイクロシリンジ及び前記少なくとも1つの供給シリンジに圧力を提供することを特徴とする請求項13に記載の物理蒸着システム。
- 前記物理蒸着システムは、バッチ液体物理蒸着システムであることを特徴とする請求項9に記載の物理蒸着システム。
- 前記物理蒸着システムは、インライン液体物理蒸着システムであることを特徴とする請求項9に記載の物理蒸着システム。
- 前記物理蒸着システムがバッチ液体物理蒸着システムであるのか、又は、インライン液体物理蒸着システムであるのかを判定する論理素子を更に備えることを特徴とする請求項9に記載の物理蒸着システム。
- 前記物理蒸着システムがバッチ液体物理蒸着システムであるのか、又は、インライン液体物理蒸着システムであるのかが予め認識されていることを特徴とする請求項9に記載の物理蒸着システム。
- 部品の表面に被覆を付着する方法であって、
少なくとも1つの部品の各々の表面がさらされる真空チャンバ内に前記少なくとも1つの部品を配置することと、
前記真空チャンバ内に配置された少なくとも1つの部品の数に基づいて選択される、生の液体材料の特定の量を選択することと、
前記真空チャンバ内に配置された蒸発ユニットに前記生の液体材料のショットを挿入することと、
前記生の液体材料を蒸発させるために前記蒸発ユニットを加熱することであって、前記蒸発した生の液体材料の成分を前記少なくとも1つの部品の前記表面に付着させることと、
を備えることを特徴とする方法。 - 前記真空チャンバは、生の液体材料の前記ショットを前記蒸発ユニットに挿入する前に、第1の最適な圧力で保持されることを特徴とする請求項19に記載の方法。
- 生の液体材料の前記ショットを前記蒸発ユニットに挿入した後、且つ、前記生の液体材料を蒸発させるために前記蒸発ユニットを加熱する前に、前記真空チャンバにおける圧力を第2の最適なレベルに低下せることを更に備えることを特徴とする請求項20に記載の方法。
- 前記加圧ボトルが空になるとそれを変更することと、
空気孔によって前記システムをベントすることと、
を更に備えることを特徴とする請求項19に記載の方法。
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