JP2008527174A - バッフル部材を備える蒸発源 - Google Patents
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Abstract
Description
a)有機材料を収容するキャビティを有するボートと;
b)互いに離れた複数の開口部を持っていて上記ボートを閉じさせる開口プレートと;
c)上記キャビティの中にあって上記開口プレートと上記有機材料の間に設けられた加熱素子と;
d)上記加熱素子と接触していて、その加熱素子からのエネルギーを吸収する少なくとも3つの面を備え、第1の面はエネルギーを上記開口プレートへと向かわせ、第2の面と第3の面はエネルギーを上記ボートの壁部と上記有機材料へと向かわせるバッフル部材とを備える蒸発源によって達成される。
1,1-ビス(4-ジ-p-トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;
1,1-ビス(4-ジ-p-トリルアミノフェニル)-4-フェニルシクロヘキサン;
N,N,N',N'-テトラフェニル-4,4'"-ジアミノ-1,1':4',1":4",1'"-クアテルフェニル;
ビス(4-ジメチルアミノ-2-メチルフェニル)フェニルメタン;
1,4-ビス[2-[4-[N,N-ジ(p-トリル)アミノ]フェニル]ビニル]ベンゼン(BDTAPVB);
N,N,N',N'-テトラ-p-トリル-4,4'-ジアミノビフェニル;
N,N,N',N'-テトラフェニル-4,4'-ジアミノビフェニル;
N,N,N',N'-テトラ-1-ナフチル-4,4'-ジアミノビフェニル;
N,N,N',N'-テトラ-2-ナフチル-4,4'-ジアミノビフェニル;
N-フェニルカルバゾール;
4,4'-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル(NPB);
4,4'-ビス[N-(1-ナフチル)-N-(2-ナフチル)アミノ]ビフェニル(TNB);
4,4'-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]-p-テルフェニル;
4,4'-ビス[N-(2-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル;
4,4'-ビス[N-(3-アセナフテニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル;
1,5-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ナフタレン;
4,4'-ビス[N-(9-アントリル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル;
4,4'-ビス[N-(1-アントリル)-N-フェニルアミノ]-p-テルフェニル;
4,4'-ビス[N-(2-フェナントリル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル;
4,4'-ビス[N-(8-フルオランテニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル;
4,4'-ビス[N-(2-ピレニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル;
4,4'-ビス[N-(2-ナフタセニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル;
4,4'-ビス[N-(2-ペリレニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル;
4,4'-ビス[N-(1-コロネニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル;
2,6-ビス(ジ-p-トリルアミノ)ナフタレン;
2,6-ビス[ジ-(1-ナフチル)アミノ]ナフタレン;
2,6-ビス[N-(1-ナフチル)-N-(2-ナフチル)アミノ]ナフタレン;
N,N,N',N'-テトラ(2-ナフチル)-4,4"-ジアミノ-p-テルフェニル;
4,4'-ビス{N-フェニル-N-[4-(1-ナフチル)-フェニル]アミノ}ビフェニル;
2,6-ビス[N,N-ジ(2-ナフチル)アミノ]フルオレン;
4,4',4"-トリス[(3-メチルフェニル)フェニルアミノ]トリフェニルアミン(MTDATA);
4,4'-ビス[N-(3-メチルフェニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル(TPD)。
CO-1:アルミニウムトリスオキシン[別名、トリス(8-キノリノラト)アルミニウム(III)]
CO-2:マグネシウムビスオキシン[別名、ビス(8-キノリノラト)マグネシウム(II)]
CO-3:ビス[ベンゾ{f}-8-キノリノラト]亜鉛(II)
CO-4:ビス(2-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)-μ-オキソ-ビス(2-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)
CO-5:インジウムトリスオキシン[別名、トリス(8-キノリノラト)インジウム]
CO-6:アルミニウムトリス(5-メチルオキシン)[別名、トリス(5-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)]
CO-7:リチウムオキシン[別名、(8-キノリノラト)リチウム(I)]
CO-8:ガリウムオキシン[別名、トリス(8-キノリノラト)ガリウム(III)]
CO-9:ジルコニウムオキシン[別名、テトラ(8-キノリノラト)ジルコニウム(IV)]
15 キャビティ
20 ボート
25 有機材料
30 ボートの壁部
40 開口プレート
45 開口部
50 加熱素子
60 上部
65 距離
70 バッフル部材
75 第1の面
80 第2の面
85 第3の面
90 クランプ手段
95 ガイド
100 支柱
105 蒸気の通路
110 開放端にされたカラー
115 閉鎖端にされたカラー
120 面
125 面
Claims (10)
- 有機材料を堆積させるための蒸発源であって、
a)有機材料を収容するキャビティを有するボートと;
b)互いに離れた複数の開口部を持っていて上記ボートを閉じさせる開口プレートと;
c)上記キャビティの中にあって上記開口プレートと上記有機材料の間に設けられた加熱素子と;
d)上記加熱素子と接触していて、その加熱素子からのエネルギーを吸収する少なくとも3つの面を備え、第1の面はエネルギーを上記開口プレートへと向かわせ、第2の面と第3の面はエネルギーを上記ボートの壁部と上記有機材料へと向かわせるバッフル部材とを備える蒸発源。 - 上記バッフル部材と上記開口プレートが蒸気の通路を形成していて、その蒸気の通路の長さと幅の比が少なくとも10:1である、請求項1に記載の蒸発源。
- 上記バッフル部材の周囲部が三角形である、請求項1に記載の蒸発源。
- 上記ボートと上記開口プレートがステンレス鋼で構成されている、請求項1に記載の蒸発源。
- 有機材料を堆積させるための蒸発源であって、
a)有機材料を収容するキャビティを有するボートと;
b)互いに離れた複数の開口部を持っていて上記ボートを閉じさせる開口プレートと;
c)上記キャビティの中にあって上記開口プレートと上記有機材料の間に設けられた加熱素子と;
d)上記ボートおよび上記加熱素子から離れていて、この加熱素子との関係が、この加熱素子からの赤外エネルギーを吸収する配置にされており、赤外エネルギーを、上記開口プレートの開口部と、上記ボートの中にある上記有機材料と、そのボートの壁部へと向かわせる構成にされたバッフル部材とを備えていて、このバッフル部材を上記開口プレートから所定の距離離れた位置に設けてこの蒸発源からの有機蒸気のコンダクタンスの変動を小さくすることで、この蒸発源内の圧力変動を小さくしている蒸発源。 - 上記バッフル部材の周辺部が上記加熱素子を取り囲む少なくとも3つの面を規定していて、上記開口プレートに平行に配置された第1の面と、上記有機材料のそれぞれの側部と上記ボートの壁部に赤外エネルギーをそれぞれ向かわせる配置にされた残る2つの面を規定している、請求項5に記載の蒸発源。
- 上記バッフル部材と上記開口プレートが蒸気の通路を形成していて、その蒸気の通路の長さと幅の比が少なくとも10:1である、請求項6に記載の蒸発源。
- 上記バッフル部材の周囲部が三角形である、請求項6に記載の蒸発源。
- 上記面が、上記ボート内の上記有機材料の方と、上記開口プレートの上記開口部の位置に赤外エネルギーを向かわせる、請求項6に記載の蒸発源。
- 上記ボートと上記開口プレートがステンレス鋼で構成されている、請求項5に記載の蒸発源。
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