JP2010540765A - 蒸気運搬システム - Google Patents

Abstract

大型物品の表面をコーティングするために、物質（１２）を処理チャンバ（１４）へ運搬し、その結果として特定の性質を物品へ付与する運搬システム（１０）であって、液体物質の供給源（１８）から供給された物質を収容する物質コンテナ（１６）と、前記コンテナ内で液体物質を気化させる気化手段（２０）と、処理チャンバへ気化した物質のフローを誘導するフローガイド手段（２２、２４）と、前記処理チャンバへ運搬される気化した物質のフローをモニタするために、前記コンテナからの物質の気化速度を計測するモニタリング手段（２８）と、を具える。
【選択図】図１

Description

本発明は、処理チャンバに物質を運搬する運搬システムおよび方法、およびこのような運搬システムを具え物品の表面にプラズマ処理を行う装置に関する。

真空チャンバ内で化学的または物理的処理を行うため、高沸点液体からの蒸気を処理チャンバに供給および計測する運搬システムは公知である。このような公知のシステムは、液体が化学的に反応性の単量体である場合は最適でない。

公知のバブラーシステムでは、キャリアガスが液体を通って泡立ち、蒸気を吸収して処理チャンバ中へ運搬する。公知の蒸発器システムでは、マスフローコントローラを介して真空チャンバ中へ蒸気を運搬するために十分に高い蒸気圧（約１Ｔｏｒｒのオーダー）が発生する。蒸気運搬システムにおいては、液体は加熱され、通常はキャリアガスに補助されて、微細オリフィスを通して流される。

バブラーおよび蒸気運搬システムは、キャリアガスの流れが必要であるという欠点があり、その結果、蒸気／キャリア構成の可能な範囲が制限された。蒸発器システムは、液体を、マスフローコントローラが機能できるほど十分に高い圧力を発生させるのに必要な高温度まで加熱しなければならないという欠点を有していた。このような高温蒸発器システムは、液体が単量体である場合の重合のリスクを含む、付随する不安定性のリスクを欠点として有していた。

蒸気運搬システムにはその他の問題として、液体が単量体である場合、液体中の微粒子汚染物質または重合の傾向により、微細オリフィスが閉塞してしまう傾向がある。

［先行技術］
国際公開第２００６／０５７７０８（Ａ３）号（Ｔｏｋｙｏ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｌｉｍｉｔｅｄ）は、集積回路（ＩＣ）の製造で必要な多層メタライゼーション構成に用いられる、低蒸気圧前駆体の流量を測定する計測システムを開示している。低蒸気圧前駆体の一例としてルテニウムがあり、ルテニウムはルテニウムカルボニル（Ｒｕ_３（ＣＯ）_１２）の形で堆積する。ルテニウムは、その優れた粘着性およびバリア特性のため、バリア層として用いられる。

開示された装置は、特に、超大規模集積回路（ＶＬＳＩ）と呼ばれる半導体超小型回路の製造に用いられ、基板ホルダ、ヒータ、金属前駆体を導入するための蒸気配送システムおよび流量計測システムを有するチャンバを開示している。

単量体の運搬システムのその他の例が、国際公開第９８／１０１１６（Ａ１）号（Ｔａｌｉｓｏｎ Ｒｅｓｅａｒｃｈ）に開示されており、真空めっき装置として用いられるシステムを開示している。このシステムは、使用時に反応チャンバ内に配置される超音波噴霧器を含む。

上述の開示は、いずれも半導体およびその他の類似デバイスの製造に関連した周知の問題の解決策を記載している。いずれのシステムも、例えば、家庭用品、および衣類品または履物、紙製品または電気製品といった家庭用品のような大型物品をコーティングするには適していない。

本発明の目的は、チャンバ内またはそれを通る大型物品に特定の性質を付与することを目的として、物質を処理チャンバに運搬する装置を提供することである。

大型物品なる用語は、例えば、スポーツ用品、布地および類似品、材料、紙製品および合成プラスチック製品、衣服、高額なファッションアイテムおよびアクセサリー、履物、電気製品、個人電子デバイス、携帯電話、ポケットベル、携帯電子端末（ＰＤＡ）およびＭＰ３デバイスのようなものを含む。

本発明の第１の態様によると、使用時に、表面に１またはそれ以上の性質を付与することを目的として、少なくとも１つの大型物品が内部に配置される処理チャンバへ物質を運搬するための運搬システムであって、
液体物質の供給源から供給された物質を収容するための物質コンテナと、
前記コンテナ内で液体物質を気化させるための気化手段と、
気化した物質のフローを処理チャンバに案内するフローガイド手段と、
前記処理チャンバに搬送された気化した物質のフローがモニタできるように、経時的に前記コンテナからの物質の気化速度を測定するモニタリング手段と、
を具えるシステムが提供される。

大型物品の表面全体がコーティングされることが理想的である。好適には、コーティングによって下記の特性のうち少なくとも１つが大型物品に提供され、その特性は、防水コーティング、難燃性コーティング、殺菌コーティング、着色コーティング、硬化コーティングおよび耐紫外線コーティングを含む。

本発明はまた、処理チャンバに物質を運搬する方法であって、
物質の供給源からコンテナへ液体物質を供給するステップと、
前記コンテナから液体物質を気化させるステップと、
気化した物質のフローを処理チャンバへ案内するステップと、
前記処理チャンバへ搬送された気化した物質のフローがモニタできるように、経時的に前記コンテナからの物質の気化速度を測定するステップと、
を具える方法を提供する。

本発明はまた、物品の表面にプラズマ処理を行う装置であって、当該装置が、
内部に物品を配置できる処理チャンバと、
前記チャンバ内でプラズマを発生させるために、物質を前記処理チャンバへ運搬する運搬システムと、
前記物質が供給されたときに、前記処理チャンバ内部に電場を発生させてプラズマを発生させ、前記物品の表面が処理されるようにする手段と、
前記処理チャンバ内の圧力を選択的に制御する圧力制御手段と、
を具え、
前記運搬システムが、
液体物質の供給源から供給された物質を収容できる物質コンテナと、
前記コンテナ内で液体物質を気化させる気化手段と、
処理チャンバに流れる気化した物質のフローをガイドするフローガイド手段と、
前記処理チャンバへ搬送される気化した物質のフローがモニタできるように、前記コンテナからの物質の気化速度を計測するモニタリング手段と、
を具える装置である。

その他の本発明における好適および／または任意の特徴は、添付の特許請求の範囲で定義される。

本発明を、添付の図面を参照しながら例示的に説明する。

図１は、処理チャンバへ物質を運搬する運搬システムの概略図である。 図２は、図１で示したコンテナ内の液体物質の体積の変化を示すグラフである。 図３は、２つの異なる大きさのコンテナ内における液体物質の体積の変化率を示す２つのグラフである。

図１を参照すると、物質１２を処理チャンバ１４へ運搬する運搬システム１０が示されている。このシステムは、液体物質の供給源１８から供給された物質を収容する物質コンテナ１６を具える。コンテナ１６は、気化する液体を収容するためのフラスコかビーカー、またはその他の容器でよく、好適には開放型であり、コンテナ１６への液体の供給およびコンテナ１６からの液体の気化を促進するために密封されてない。

気化手段２０は、抵抗型、赤外線、または他の加熱手段でもよく、液体物質１２がコンテナ中にある時に気化させるために設けられる。コンテナ内の液体物質は、図１に示されるように、気化を促進するために加熱することができる。加熱手段の代替の実施例として、加熱プレートまたは、コンテナが導電性である場合はコンテナ内に電磁誘導加熱器を具えてもよい。

必要な気化を得るのに必要な熱は、いくつかの異なる要因の作用による。これらの要因は、上述液体の周辺領域の圧力、および領域内の物質や他の成分の濃度、液体温度、液体中の分子間力、および液体の表面領域を含む。圧力のような、これらとは異なるいくつかの要因も、気化を制御するためにも用いることができるが、気化速度の変化は、供給された熱の変化に対する感度が圧力変化よりも高い。

液体中の分子間力は各物質において一定であり、表面領域は特定の容積と形状の選択したコンテナにおいて一定である。所定の処理ステップに必要な圧力もほぼ一定であるが、多少の変動は受ける。したがって、処理チャンバへの必要な物質流量を得るために液体物質に供給する熱量は、計算または実験によって算出が可能である。物質１２の、気化手段２０の作動に対するこのような所定の応答特性が、複数の物質や、処理チャンバ内でされる複数の処理ステップについて測定され、気化手段は必要な気化速度を達成するために制御することができる。より詳細には、必要な気化速度を得るために、気化手段によってコンテナに供給される熱量は、予め決めることができる。

システム１０は、気化した物質のフローを処理チャンバ１４に誘導する、フローガイド手段２２、２４を具える。図１のフローガイド手段は、物質がコンテナ１６から気化する気化チャンバ２２と、気化チャンバと処理チャンバ間を選択的に流体接続する導管２４とを具え、これにより、物質が前記気化チャンバから前記処理チャンバへ選択的に運搬することができる。導管２４は、前記気化チャンバと前記処理チャンバ間の選択的な流体接続を制御するバルブ２５を具える。気化チャンバ２２および導管２４は、コンテナ１６から気化する物質が気化チャンバおよび導管の内部表面に接触した際に凝結するのを緩和するため、追加の加熱手段２６を具えてもよい。

モニタリング手段２８は、処理チャンバ１４へ運搬される気化した物質の流量をモニタするため、コンテナ１６からの物質１２の気化速度を計測する。モニタリング手段２８は、図１に示すように、前記コンテナ内の液体物質の重量（または体積）の時間による変化を計測する手段を具えてもよい。重量変化は、コンテナ１６から気化し、処理チャンバへ運搬された物質の重量または体積の尺度となる。適した秤量手段はロードセル、バランスまたはストレインゲージを含む。

代替または追加で、モニタリング手段２８は、超音波、光学式または容量性センサのようなコンテナ内の液体量を検知するレベルセンサを含んでもよい。

図１を参照すると、運搬サイクル中の液体物質の重量変化は、処理チャンバへ運搬された気化した物質の流量を示している。したがって、このような重量変化を計測することにより、物質のフローが正常に処理チャンバへ入ったか否かを判断することができる。もし、流れが正常に処理チャンバへ入ったと判定された場合は、処理が正常に実行されたと判断することができる。もし不適当な流れが処理チャンバ１４に入ったと判定された場合は、処理が正常に実行されなかった、または少なくとも望ましくないか必要でない基準であると判断することができる。

正常な処理か正常でない処理が実行されたかの判断は、運搬による予想重量変化とリアルタイムでモニタされた重量変化との比較によってなされる。モニタリング手段２８が重量を示すディスプレイを有している場合は、このような判断はモニタされた重量変化と参照表を手作業または自動的に比較することによって、簡単に行われてもよい。

代替例および図１で示すように、１またはそれ以上の処理ステップに用いられる１またはそれ以上の所定の特性気化速度は、電子メモリのような、制御手段３０のメモリ３２に保存することができる。モニタリング手段２８は、制御手段３０にモニタした気化速度に関する信号を供給するのに適合される。この代替例において、制御手段３０が、モニタ手段から受信した観測される気化速度と、メモリに保存された予め定められた特性気化速度とを比較する、比較手段３４を含むのが理想的である。一実施例では、比較手段は、観測値と予め定められた速度との比較に基づく信号を発信するよう構成される。

図１で示す装置において、制御手段３０は、前記比較手段から発せられた信号に応答し、例えばヒーターの温度を変更するフィードバックループを使って、実際の物質の流速と前記予め定められた特性速度とが一致するように調整するために、前記気化手段の動作を制御することができる。

モニタした重量の変化は、気化チャンバ２２内の圧力が特性速度が測定された時の圧力と異なる場合、予め定められた速度と一致しないこともありえる。この圧力は、真空ポンプ手段の動作、またはシステム内部の他の変動が原因で変化しうる。このような圧力変化は運搬システム１０で補正される。

図１で示すように、制御手段３０が操作可能なようにバルブ２５に連結されており、前記気化チャンバ２２と前記処理チャンバ１４間の流体接続が制御でき、これにより前記気化チャンバから前記処理チャンバへの物質の運搬を制御することができる。気化した物質を処理チャンバへ運搬する速度は、気化速度を制御することによって達成され、バルブ２５を運搬「オフ」または「オン」に変えることで制御される。

供給導管４０は、バルブ４２の操作によって液体物質をコンテナ１６へ選択的に供給する。コントロール手段３０は、図１で示されるように、バルブ４２に操作可能なように連結されており、コンテナ１６への液体物質の供給を制御することができる。

図１に示される、システムを操作する１つの方法を説明する。

気化チャンバは、開口部（図示せず）を通って大気圧へ排気される。気化チャンバ２２およびコンテナ１６は、導管２４内のバルブ２５を閉鎖することにより、処理チャンバ１４から遮断される。バルブ４２が開放され、「ＰＦＡＣ８」またはアクティブエンドか側鎖を有する様々な過フッ素化合物のような液体物質は、システムが大気圧であるとき、導管４０を通って供給源１８から供給される。供給される液体物質の量は処理チャンバ内で行われる処理ステップによって決まり、この点について、個々の液体量を別々の処理ステップに供給、または十分な液体を１以上の処理ステップに供給することができる。必要な液体量がコンテナ１６へ供給されたとき、バルブ４２は閉鎖されバルブ２５は開放される。処理チャンバに連結した真空ポンプは、必要な処理圧力を得るために、気化チャンバ２２および導管２４内のガスを排気する。導管２４内のバルブ２５は、一度気化チャンバ２２が排気されたら、閉鎖してもよい。

気化手段２０は、気化を促進するためにコンテナ１６を加熱する。コンテナに供給される熱エネルギー量は、物質がコンテナから所望の速度で気化するのを調整および保持するために制御される。処理が必要な場合は、バルブ２５は開放され、真空ポンプ装置によって発生した圧力差異により、気化した物質は導管２４を通って処理チャンバ１４へ流される。

物質の配送中、気化チャンバ２２および導管２４は、内面での凝結を緩和するため、ヒーター２６によって加熱される。

モニタリング手段２８は、計測したコンテナ１６からの物質の気化速度に応じて、比較手段３４に信号を送信する。比較手段は、モニタリング手段２８から受信した計測した気化速度と、メモリ３２に保存された所定の特性（または所望の）気化速度とを比較する。比較手段３４は、モニタした気化速度と予め定められた速度との差異に関連した信号を発する。制御手段３０は、気化速度を制御するために、コンテナ１６に供給する熱を制御する気化手段２０を制御し、これにより、必要に応じて実際の気化速度を予め定められた気化速度に一致させるよう調整する。

制御手段３０を図１に示すが、このような制御手段を有さない運搬システムでも、コンテナ１６内の物質の体積変化を監視し、体積変化が予め定められたものと異なる場合に、処理チャンバ１４に入った物質量が不適切であり、その結果、処理ステップが適切に完了しなかったことを判定することができる。

液体物質の気化は、コンテナ１６内の時間による液体量の変化を計測することにより、モニタされる。図２は時間による変化量の一般的なグラフを示す。図示する例では、物質の運搬は経時変化に対して直線的に測定され、グラフの勾配は処理チャンバに流れる物質の流量の目安となる。

図３は、直径３５ｍｍおよび２２ｍｍの２つの選択した特定のコンテナにおける物質の損失速度を示す。

３５ｍｍのコンテナのグラフが示すように、損失速度は直線的であり、計測される運搬速度は処理ステップに求められたものとなった。

このシステムは、プラズマ処理において単量体を処理チャンバへ配送する用途に適している。このような単量体は、処理チャンバ内で物品の表面にプラズマ堆積を行うために必要であり、物品上に薄い疎水性の重合層を設ける単量体もありうる。

従来技術の運搬システムと異なり、図１を参照して説明したシステムは、処理チャンバへ物質を運搬するキャリアガスを必要とせず、このため、蒸気の成分が制限されない。マスフローコントローラも必要ない。コンテナ１６内で液体物質と接触する蒸気圧は、処理チャンバ全体の圧力よりもわずかに高いだけでよく、したがって、必要な液体の温度上昇を最低限にできる。また、導管２４の開口部寸法は、管が閉塞しやすい傾向が低い数センチの範囲にすることができる。

本発明は、改良例および代替例を有する３つの実施形態として記載されているが、この説明を読んで理解した当業者にとって、さらなる実施例および改良例が明らかである。全てのこのような実施形態および改良例は、添付の特許請求の範囲で定義された本発明の範囲内に収まると解される。

防水／撥水コーティングでコーティングすることができる更なる物品として、スポーツ用品、ファッションアクセサリーのような高額なファッションアイテム、電気製品、ＢＬＵＥＴＯＯＴＨ（商標）デバイスのような個人電子デバイス、携帯電話、ポケットベル、携帯電子端末（ＰＤＡ）、ＭＰ３デバイス、電気ケーブル、コンパクトディスク（ＣＤ）、ラップトップおよびキーボードを含む。

本発明は、コーティングされる物品に望まれる特性や性質によって、および望ましい技術的な効果を得るために、ある範囲の活性化物質を併用してもよいことを理解されたい。

したがって、例えば、包帯、外傷用医薬材料および医療器具、特殊な家具、浴室用品、救急箱、衣類、および医療、手術および歯科用器具のような物品の内部または上に殺菌コーティングを提供するため、殺菌物質を導入してもよい。

あるいは、衣類、革、布地素材およびカバー、紙製品、電気製品、ＢＬＵＥＴＯＯＴＨ（商標）デバイスのような個人電子デバイス、携帯電話、ポケットベル、携帯電子端末（ＰＤＡ）、ＭＰ３デバイス、電気ケーブル、コンパクトディスク（ＣＤ）、通帳およびクレジットカードのような物品に難燃特性を提供するため、難燃剤の物質を導入してもよい。

さらなる実施形態では、導入される物質は、骨の成長および骨材の接合を促進し、折れた骨または歯の再成長／修復を強化するため、骨や人工歯根に用いるのに適したプロテインバインダである。

さらなる実施形態では、導入される物質は、コーティングされる物品の特定の範囲／領域に導入するのに適した、導電性材料であってもよい。

本発明が、例えば、革および接着された靴底を有すまたは有さない靴の上部といった、縫い合わせ、継ぎ合わせ、織ったまたは接着した布地、または材料をコーティングするのに適応するということは理解されたい。

例えば防水性と難燃性とを物品に付与するというように、２またはそれ以上の異なる効果を提供するため、２またはそれ以上の異なる物質で物品を幾重にもコーティングすることもまた、本発明の範囲内である。

本発明は、改良例および代替例を有する、例示的な実施形態として記載されているが、この説明を読んで理解した当業者にとって、さらなる実施例および改良例が明らかである。全てのこのような実施形態および改良例は、添付の特許請求の範囲で定義された本発明の範囲内に収まると解される。

Claims (26)

1. 使用時に、表面に１またはそれ以上の性質を付与することを目的として、少なくとも１つの大型物品が内部に配置される処理チャンバへ物質を運搬するための運搬システムであって、
   液体物質の供給源から供給された物質を収容するための物質コンテナと、
   前記コンテナ内で液体物質を気化させる気化手段と、
   処理チャンバへ気化した物質の流れを案内するフローガイド手段と、
   前記処理チャンバへ運搬された気化した物質の流れをモニタするために、前記コンテナからの物質の経時的な気化速度を計測するモニタリング手段と、
   を具えることを特徴とするシステム。
2. 請求項１に記載の運搬システムにおいて、前記物質は、プラズマ処理に用いられる単量体であることを特徴とするシステム。
3. 請求項１または２に記載の運搬システムにおいて、前記気化手段が、前記コンテナ内の液体物質を加熱するための加熱手段を具えることを特徴とするシステム。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の運搬システムにおいて、前記フローガイド手段が、物質が前記コンテナから気化しうる気化チャンバと、前記気化チャンバと前記処理チャンバ間を選択的に流体接続する導管とを具え、これにより、物質が前記気化チャンバから前記処理チャンバへ選択的に運搬されうることを特徴とするシステム。
5. 請求項４に記載の運搬システムにおいて、前記導管が、前記チャンバと前記処理チャンバ間の選択的な流体接続を制御するバルブを具えることを特徴とするシステム。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の運搬システムにおいて、前記フローガイド手段が、その内部表面に物質が凝結するのを低減するための加熱手段を具えることを特徴とするシステム。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の運搬システムにおいて、前記モニタリング手段が、前記コンテナ内の液体物質の時間による重量変化を計測するための秤量手段を具えることを特徴とするシステム。
8. 請求項７に記載の運搬システムにおいて、前記秤量手段が、前記コンテナから熱的に遮断されたロードセルを具えることを特徴とするシステム。
9. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の運搬システムにおいて、前記モニタリング手段が、前記コンテナ内の物質の量を検知するためのレベルセンサを具えることを特徴とするシステム。
10. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の運搬システムにおいて、前記気化手段により気化される前記物質の予め定められる応答特性に応じて構成された制御手段を具えて、前記処理チャンバで実行される必要なプラズマ処理に応じて、前記物質の運搬速度が制御できることを特徴とするシステム。
11. 請求項４に従属する請求項１０または請求項４に従属する請求項５乃至９のいずれか一項に記載の運搬システムにおいて、前記制御手段が、前記気化チャンバと前記処理チャンバ間の流体接続を制御することにより、前記気化チャンバから前記処理チャンバへの物質の運搬を制御できることを特徴とするシステム。
12. 請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の運搬システムにおいて、選択的に液体物質を前記コンテナへ供給する供給導管を具えることを特徴とするシステム。
13. 請求項１０に従属する請求項１２または請求項１０に従属する請求項１１に記載の運搬システムにおいて、前記制御手段が、前記コンテナへの液体物質の供給を制御できることを特徴とするシステム。
14. 請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の運搬システムにおいて、モニタした前記コンテナからの物質の気化速度と、予め定められた特性気化速度とを比較し、前記モニタした速度と前記予め定められた特性速度の差異に関連した信号を発するための比較手段を具えることを特徴とするシステム。
15. 請求項１４に記載の運搬システムにおいて、前記制御手段が、前記比較手段から発せられた前記信号に応答し、前記気化手段の動作を制御することができ、これにより、モニタした速度と前記予め定められた特性速度とが一致するように調整されることを特徴とするシステム。
16. 処理チャンバへ物質を運搬する方法であって、
    物質の供給源からコンテナへ液体物質を供給するステップと、
    前記コンテナから液体物質を気化させるステップと、
    処理チャンバへ気化した物質のフローを案内するステップと、
    計測した気化した物質のフローが前記処理チャンバへ運搬されるために、前記コンテナからの物質の気化速度をモニタリングするステップと、
    を具えることを特徴とする方法。
17. 請求項１６に記載の方法において、前記物質が、プラズマ処理に用いられる単量体であることを特徴とする方法。
18. 請求項１６または１７に記載の方法において、前記物質が加熱されることにより、前記コンテナから前記液体物質が気化することを特徴とする方法。
19. 請求項１６乃至１８のいずれか一項に記載の方法において、前記物質が前記処理チャンバでの処理に求められる場合に、前記物質が前記処理チャンバへ選択的に運搬されることを特徴とする方法。
20. 請求項１６乃至１９のいずれか一項に記載の方法において、物質の気化が、前記コンテナ内の液体物質の重量変化を計測することによってモニタされることを特徴とする方法。
21. 請求項１６乃至２０のいずれか一項に記載の方法において、物質の気化が、前記コンテナ内の液体物質の量の変化を計測することによってモニタされることを特徴とする方法。
22. 請求項１６乃至２１のいずれか一項に記載の方法において、熱の供給に対する前記物質の予め定められた応答特性に応じて熱が前記液体物質に供給され、これにより、前記物質の運搬速度が前記処理チャンバで実行される必要なプラズマ処理に応じて、制御できることを特徴とする方法。
23. 請求項１６乃至２２のいずれか一項に記載の方法において、モニタした前記コンテナからの物質の気化速度と、予め定められた特性気化速度とが比較され、前記モニタした速度と前記予め定められた特性速度の差異が測定されることを特徴とする方法。
24. 請求項２３に記載の方法において、前記物質の気化が、前記モニタした速度と前記予め定められた特性速度との前記差異に応じて制御され、前記モニタした速度と前記予め定められた特性速度とが一致するように調整されることを特徴とする方法。
25. 物品の表面にプラズマ処理を行う装置であって、
    内部に物品を配置しうる処理チャンバと、
    前記チャンバ内でプラズマを発生させるために前記処理チャンバへ物質を運搬するための運搬システムと、
    前記物質が供給されたときに、前記処理チャンバ内部に電場を発生させてプラズマを発生させ、前記物品の表面が処理されるようにする手段と
    処理チャンバ内ので圧力を選択的に制御する圧力制御手段と、
    を具え、
    前記運搬システムが、
    液体物質の供給源から供給された物質を収容できる物質コンテナと、
    前記コンテナ内で液体物質を気化させる気化手段と、
    処理チャンバへ気化した物質のフローを案内するフローガイド手段と、
    前記処理チャンバへ運搬された気化した物質の流れがモニタできるよう、前記コンテナからの物質の気化速度を計測するためのモニタリング手段と、
    を具えることを特徴とする装置。
26. 請求項２５に記載の装置であって、前記運搬システムが請求項１乃至１５のいずれか一項に記載のものであることを特徴とする装置。
    

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