JP2009508769A - 一体型ロードセル付き化学薬品貯蔵装置 - Google Patents

Abstract

化学薬品貯蔵装置および化学薬品使用量検出方法はここに記述する。装置および開示された方法は化学薬品貯蔵キャニスターと１つの可搬型ユニットに組み込まれるロードセルとを利用する。ロードセルは、半導体産業に用いられる取付け分配装置の付加的な重量を補償することができる。また、分配装置が化学薬品貯蔵装置から取り外せるので、ロードセルは化学薬品の重量を連続的に表示する。これらの機能性は、ロードセルの、ロードセル自身に組み込まれた制御論理回路を含む。
【選択図】 図１

Description

広い種類の化学薬品は半導体産業での科学気相堆積用前駆体として用いられている。一般的に、ウェハ上の膜または層の製造用前駆体は室温（室温で＜５００Ｔｏｒｒ）で比較的に低蒸気圧を持つ液体である。近年、前駆体物質は密閉され、漏れ密である鋼（前駆体特性に依存するステンレス、炭素または他の特質合金）キャニスターに貯蔵されている。キャニスターは、各キャニスターが枯渇状態になるので周期的に置換される、化学気相堆積チャンバを閉じるか、使用時にキャニスターの自動補充容器の源に供するバルク補充容器システムのいずれかに有用である。

貯蔵キャニスターの化学薬品レベルを検出するために重要である少なくとも２つの理由がある。第１は、所望の化学気相堆積工程をなすためにキャニスターの前駆体化学薬品に相応することを保証する。第２は、キャニスターを置換する前に処理中の前駆体化学薬品の最大量を使用できることである。この第２点は、全体システム価格効果に影響を及ぼす。キャニスターが一旦、切り離されると、任意の残存物質が廃棄される。したがって、もしキャニスターが最大に枯渇される前に置き換えられるならば、物質が浪費されるばかりか、追加価格が追加浪費生産物の処分に費やされる。

浪費を低減するための種々の技術は、フロートスウィッチおよびレベルセンサの使用を含むことを既に試みられている。しかしながら、今までの方法は正確な操作で全て満足を実証しているものはない。

現在実施されている技術の基本的な欠点は、化学薬品の全ての種類に普遍的に適用可能ではないことである。例えば、フロートスウッチはもし前駆体化学薬品の固有重量が変化するならば、期待されるように操作されないかもしれない。また、レベルセンサはキャニスター内容物の視覚指示を供さない。情報を得るために、キャニスターは分配装置に接続しなければならず、かつレベルセンサからの信号は分配システムコンピュータまたはプログラム可能な論理制御器で分析かつ表示しなければならない。

したがって、化学薬品種または様相に拘わらず化学薬品使用量の即時検出をなす方法および化学薬品貯蔵装置を必要とする。

概要
化学薬品使用量を検出する化学薬品貯蔵装置および方法はここで述べる。前記装置および方法は、１つの可搬型ユニットに化学薬品貯蔵キャニスターおよびロードセルを組み込むことによって前記問題に対処する。ロードセルは、半導体産業に用いられる取付け分配装置の付加的な重量に対して補償可能である。さらに、ロードセルは化学薬品貯蔵装置に残存する化学薬品重量を連続的に表示する。これらの機能性は、ロードセルの、ロードセル自身に一体化される、制御論理回路に含まれる。

技術のこれらおよび他の必要は、キャニスターを備える化学薬品貯蔵装置による１つの実施形態で対処される。化学薬品貯蔵装置は、前記キャニスターと一体のロードセルをさらに備える。ロードセルは、プロッセサおよび表示装置を備える。さらに、化学薬品貯蔵装置はプロセッサを実行可能な制御論理回路を備え、前記制御論理回路はユーザ入力に応答してキャニスターの空重量の風袋を量ることをロードセルに与える。前記制御論理回路は、またキャニスターに添加される少なくとも１つの化学薬品の重量を前記表示装置に表示することを前記ロードセルに与える。また、前記制御論理回路は分配装置が少なくとも１つの化学薬品の重量のみが前記表示装置の示されるように前記キャニスターに取り付けられた後に前記ロードセルをそれ自身校正すること、およびキャニスターに残存する化学薬品の重量を連続的に表示することをロードセルに与える。

別の実施形態において、化学薬品使用量検出方法は一体のロードセルを備える空化学薬品貯蔵装置の風袋を量ることを含む。さらに、方法は前記化学薬品貯蔵装置に少なくとも１つの化学薬品で満たされる重量まで充填することを含む。また、方法は前記化学薬品貯蔵装置を分配装置に取り付けることを含む。方法は、化学薬品の満たされる重量のみが表示されるように前記分配装置の重量を補償するために前記ロードセルを校正することを含む。方法は、化学薬品貯蔵装置に残存する化学薬品の重量を連続的に測定することをさらに含む。

次のより理解される本発明の詳細な説明のために本発明の形態および技術の有益さをむしろ広く概説した。本発明の追加の形態および有益さは、本発明の請求の範囲の題目からこの後述べる。ここに開示される概念および固有の実施形態は本発明の同じ目的をなすために他の構造に変更および設計することをベースとして容易に利用してもよいことは当業者によってわかるであろう。そのような均等構成は後に載せる請求の範囲の規定として本発明の範囲から離れないことは当業者によって気付くであろう。

本発明の好ましい実施形態の詳述のために、添付図面を参照する。

いくつかの用語は、次の記述および請求の範囲を通して用いられ、特定のシステム部品を参照する。この文献は、機能ではない名目において異なる部品間を判別するつもりはない。

以下の議論および請求の範囲において、用語“含有する”および“含む”は拡張可能な様式に用いられ、したがって“含有するが…に制限されない”を意味すること解釈すべきである。また、用語“結合”は間接または直接、いずれかの電気的接続を意味するつもりである。したがって、もし第１装置が第２装置に接続しているならば、その接続は直接電気的接続を通して、または他の装置および接続を経由して間接電気的接続を通してであってもよい。

図１は、化学薬品貯蔵装置１００の１つの実施形態を示す。一般的に、化学薬品貯蔵装置１００はキャニスター１０２およびロードセル１０４を備える。ロードセル１０４は、キャニスター１０２に一体になり、かつ化学薬品がキャニスターにどのくらい初期に充填されているかを測定するために用いられる。この値は、ロードセル１０４によって記憶される。任意の化学薬品が用いられる前に、分配装置は取り付けられ、かつ化学薬品貯蔵装置１００は表示装置が初期充填重量を指示することを続行するように取り付けられた分配装置からもたらされる増大または減少した下方への力を補償するために空重量の風袋を再度量られる。化学薬品１０６が消費されるので、化学薬品貯蔵装置１００はその操作モードが変化し、かつキャニスターに残存する内容物重量が連続的に検出する。キャニスター１０２の化学薬品１０６の真重量はしたがってユーザに連続的に表示される。内容物重量を検出する論理回路は、１つの適切な装置で化学薬品貯蔵装置１００自身に一体になっている。化学薬品貯蔵装置１００は容易に可搬であるように設計されることが好ましい。

キャニスター１０２は、キャニスター１０２から化学薬品が導入および除去するために複数のバルブ等が装備されている。いくつかの実施形態において、バルブはキャニスター１０２の頂部に位置される。ある実施形態において、入口バルブ１２０および出口バルブ１２２はキャニスターに結合されている。さらなる実施形態において、第３バルブ１２４は温度検出のような別の目的のためにキャニスターに結合されてもよい。一般的に、バルブはキャニスター内部と流体連絡である。好ましくは、バルブは搬送を促進するように半導体産業に用いられる既設の分配装置に容易に接続され、かつ切り離される。分配ユニットの例は、限定されず、エール・リキッドからのＣＡＮＤＩシステム、日本エラーガスからのアクリアス・システム、ＡＴＭＩからのユニケムシステム、エアープロダクトのシュマッヒディビジョンからのケミガールシステムまたは部品製造者を含む。

キャニスター１０２は、任意の適切な幾何学形状を有するが、キャニスター１０２は好ましくはシリンダーである。キャニスター１０２の断面は、四角、六角、八角、三角等であってもよい。キャニスター１０２は、任意の適切な寸法であってもよい。典型的な実施形態において、空キャニスターは約２０００ｇ〜約６０００ｇの重量がある。一般的に、キャニスター１０２は約２５０ｇ〜約２００ｋｇ、より好ましくは約２５０ｇ〜約３０００ｇ、いくつかの例で１００００ｇまでまたはそれ以上の重量範囲で化学薬品を貯蔵可能である。さらに、キャニスター１０２は液体、粉末、固体気体等を貯蔵可能である。

好ましい実施形態において、キャニスター１０２およびロードセル１０４は金属から作られる。任意の適切な金属は、利用されるかもしれない。金属は、好ましくは耐酸化性および耐食性であり、かつ液体、気体および固体を収納することが可能である。適切な金属の例は、限定されず、ステンレス鋼３０４，３１６Ｌ，炭素鋼、ハステロイ、モネルおよび他の高Ｎｉ含有合金、エルジロイ、アルミニウム等を含む。

さて図２を参照すると、高温用途の実施形態の化学薬品貯蔵装置は加熱ジャケット２０３を備える。加熱ジャケット２０３は、典型的にキャニスター内容物を約２０℃〜約３５０℃の範囲に加熱することができる。さらに、加熱ジャケット２０３は循環流体または抵抗発熱体によって加熱されてもよい。典型的に、加熱ジャケット２０３はキャニスター内容物（図示せず）の温度を調節するために温度制御器に接続されている。温度制御器は、温度を調節するために用いられる当業者に知られている任意の装置であってもよい。キャニスター１０２は、キャニスター内容物を所望温度に加熱するのに適する任意の他の手段を含んでもよい。他の適切な手段の例は、限定されず、キャニスター本体に挿入されるカートリッジヒータまたはキャニスター本体の周囲を巻く加熱テープを含む。

更なる実施形態において、ロードセル１０４はキャニスター１０２から熱的に絶縁されている。絶縁物質は、ロードセルへの熱伝達を妨げるか、もしくは低減するためにロードセルとキャニスターの間に配置してもよい。固有の実施形態において、絶縁物質はセラミック板２０５（図２）である。セラミック板２０５は、好ましくは約１／１６インチ〜約２インチ、好ましくは少なくとも約１／８インチ、より好ましくは少なくとも約３／８インチの範囲の厚さを有する。しかしながら、セラミック板２０５は任意の適切な厚さを含んでもよい。もう１つの選択肢として、他の適切な絶縁物質はセラミックの他に用いてもよい。他の適切な物質の例は、限定されず、非多孔質物質、高分子、繊維ガラス等を含む。好ましい実施形態において、ロードセル１０４は約４０℃〜約６０℃の範囲の温度に維持される。

ロードセル１０４は、キャニスターとロードセルが単一可搬型ユニットを形成するようにキャニスター１０２に好ましくは一体または内蔵する。いくつかの実施形態において、ロードセル１０４およびキャニスター１０２は機械的に結合される分離部品である。ロードセル１０４は、キャニスター１０２に溶接、ボルト締め、ねじ留めのような任意の手段によって結合してもよい。もう１つの選択肢として、ロードセル１０４はキャニスター１０２に着脱可能に取り付けてもよい。

図３は、実施形態のロードセル１０４の概略説明である。示されるようにロードセル１０４は一般的にプロセッサ２１０、メモリモジュール２３５、電池２４０およびロードセンサ２５０を含む。典型的に、ロードセルはその一次エネルギー源として電池を含む。電池２４０は、ロードセル１０４に電力を供給する。しかしながら、ロードセル１０４は必要に応じて外部電力源に接続してもよい。好ましくは、電池は電池に再充電または交換せずに通常の操作で少なくとも１年間継続するための容量を有する。電池の例は、限定されず、リチウムイオン電池、ニッケルカドミウム電池等を含む。

プロセッサ２１０は、一般的に低電力、混合信号マイクロプロセッサである。しかしながら、ロードセル１０４はここに説明されているようにロードセル１０４の機能性を遂行するのに適する任意のプロセッサを含んでもよい。プロセッサ２１０は、好ましくはメモリモジュールおよびロードセンサ２５０に接続する。また、メモリモジュール２３５は好ましくは揮発性および／または不揮発性メモリを含む。不揮発性メモリはフラッシュメモリを含んでもよい。もう一つの選択肢として、揮発性メモリは任意の適切な種類のランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）を含んでもよい。メモリモジュール２３５は、コードまたはプロセッサによって実行される制御論理回路を記憶するために用いられる。そのような制御論理回路は製造中にロードセル１０４に装填してもよい。制御論理回路は不揮発性メモリに装填してもよく、かつ不揮発性メモリから直接実行されるか、またはそれからの実行のために揮発性メモリにコピーしてもよい。また、メモリモジュール２３５はキャニスター、キャニスター内容物およびロードセルの初期組合せ重量を記憶または“ロック”するために用いてもよい。

さらなる実施形態において、ロードセル１０４は表示装置２２０（図１および図３）を備える。表示装置２２０は、好ましくは必要ではないが０．１ｇ以上の精度で重量を表示することができる。一般的に、表示装置２２０は液晶表示装置（ＬＣＤ）である。いくつかの実施形態において、表示装置２２０はロードセル１０４の異なる操作モードをさらに示す。例えば、表示装置はロードセルが現行の充填重量値でロックされていることを示してもよい。別の実施形態において、表示装置２２０はロードセル１０４が実際の秤量モードであることを示してもよい。典型的な実施形態において、表示装置２２０は化学薬品貯蔵装置１００の外部に位置する。

ロードセル１０４は一般的にキィーパッドのようなユーザ入力装置を備える。キィーパッドは、好ましくは表示装置近傍に位置する。他の実施形態において、キィーパッドはキィーパッド押しボタンの偶発的な下降を防ぐために引き込んだ囲いに位置する。キィーパッドは、ユーザがロードセル１０２を手動で測定および校正できる。他の機能はキィーパッドで操作してもよい。もう１つの選択肢として、ユーザ入力装置２０３は表示装置２２０上へのタッチスクリーンであってもよい。別の実施形態において、ユーザ入力装置２３０は装置での不注意な相互作用がロードセルを作動させないようにロック機能を含む。

更なる実施形態において、ロードセル１０４はデータをコンピュータ（図示せず）のような外部監視装置を送信することができるポートを備える。ポートの例は、限定されないが、ＵＳＢポート、赤外ポート、ファイヤーワイヤーポート、インサーネットポート等を含む。外部監視装置は、データを記録および記憶できる任意の適切な装置であればよい。外部監視装置の例は、限定されず、コンピュータ、パーソナルデジタルアシスタント（ＰＤＡ）等を含む。他の実施形態において、ロードセル１０４は無線受信機および送信機を含む。無線受信機および送信機は、データを無線で外部監視装置に受信および送信できる。さらに、無線受信機は自動制御器のような自動ユーザ入力装置を経由してロードセル１０４を制御してもよい。

ロードセンサ２５０は、キャニスターの内容物と物理的接触するようになることなく、重量を測定ができる任意の型のセンサを含んでもよい。好ましい実施形態において、ロードセンサ２５０はホイーストンブリッジセンサを含む。ホイーストンブリッジセンサは内製または商業的に仕入れてもよい。市販されるホイーストンブリッジセンサの例はＨＢＭ社からのモードＰＷ２ＧＣ３である。もう１つの選択肢として、ロードセンサ２５０は好ましくはキャニスターの内容物を約０．１ｇの精度で重量を量ることができると共に、ロードセンサ２５０は用途に依存して、約１ｇ〜約０．０１ｇの範囲で、低または高精度であってもよい。好ましい実施形態において、ロードセンサ２５０は装置の操作重量範囲に亘って正確に検出できる。特に、ロードセンサ２５０は好ましくは約２５０ｇから少なくとも約１００００ｇまで測定できる。

別の実施形態において、ロードセンサ２５０のみキャニスター１０２に一体にまたは結合する（実施形態に示さず）。この実施形態において、表示装置２２０、プロセッサ２１０、ユーザ入力装置２３０およびメモリ２３５を含む外部制御器はロードセルセンサ２５０に接続する。外部制御器は、化学薬品が重量を量るべき場合にロードセンサ２５０に接続し、かつ化学薬品貯蔵装置１００が異なる位置に搬送する場合に切り離す。

図４は、ユーザによる化学薬品使用量を即時に検出する方法を示す。議論を簡単にするために、方法の次の記述は前に開示されるような装置の実施形態に述べるために用いられる同じ参照符号を参照する。一般的に、方法はキャニスターに一体化されるロードセル１０４を備える化学薬品貯蔵装置を準備することを最初に含む。さて図４の参照において、方法はブロック３０１の空化学薬品貯蔵装置の風袋を量ることを含む。空キャニスター１０２およびロードセル１０４の重量がゼロになった後、所望量の少なくとも１つの化学薬品がそれからキャニスターに添加される。一般的に、化学薬品は入口バルブ１２０またはバルブ１２４を通して添加される。

空化学薬品貯蔵装置の重量は、典型的にユーザ入力を経由してユーザ入力装置２３０を通して風袋を量る。例として、キィーパッドの押しボタンはロードセル１０４の風袋を量るために押し下げられる。風袋を量った後、ロードセル１０４は付加的な化学薬品の重量を測定し、かつブロック３０５の表示装置２３０（図１参照）にキャニスターに収容される化学薬品の重量を表示する。１つ以上の化学薬品はキャニスター１０２に添加されてもよい。一般的に、化学薬品はバルブ１２０，１２２または１２４の任意の１つを通して添加される。一旦、化学薬品貯蔵装置１００が所望の化学薬品で一杯になると、典型的に半導体設備である最終ユーザに搬送される。しかしながら、ユーザは任意の顧客または化学薬品の消費者であってもよい。化学薬品貯蔵装置１００は表示装置２２０に表示された満たされた重量で搬送される。１つの実施形態において、重量情報はロードセルメモリ２３５にロックまたは記憶される。一般的に、キャニスター内容物の重量はユーザ入力に応答してユーザ入力装置２３０からロックされる。例えば、別の押しボタンはユーザ入力装置に押し下げて、満たされた重量を記憶し、かつ表示された重量をロックしてもよい。

ユーザは、化学薬品貯蔵装置１００を受信し、かつ分配装置を適切な取付け金具によってブロック３０７の入口および出口バルブ１２０，１２２のような使用者の適切な場所に接続する。分配装置は、半導体製造に用いる化学薬品を引き出し、分配する半導体産業に用いられる典型的に任意の装置またはツールである。接続の間、化学薬品貯蔵装置１００は取付け金具の重量のみならずキャニスターに取付け金具を適用することからもたらされる任意の下方の影響力のために重量増加に遭遇してもよい。付加的な重量は半導体産業で用いられる分配ユニットのピグテイル（pigtail）によって及ぼされる影響力から生じる。ピグテイルは、化学薬品貯蔵装置の入口およびまたは出口バルブを、化学薬品を分配するのに必要な機能をなす固定バルブマニホールドに接続するのに用いられる任意の配管およびバルブを説明するためにここに総称して用いられる。ピグテイルは、キャニスター寸法のわずかな変化に適合させ、かつ化学薬品貯蔵装置を容易に交換させるためにある量の柔軟性を有する。要求される柔軟性のために、ピグテイルは化学薬品貯蔵装置（重量として解釈される）に対して影響力を及ぼし、それによってロードセンサ２５０によって読み込まれる信号を変化させる。

ユーザ入力、すなわち押しボタンの押し下げ、に応答して、ロードセンサ２５０はブロック３０９内の取付け金具の付加的な重量に対して補償するために再校正される。したがって、キャニスター１０２内の化学薬品または物質の重量のみが表示装置２２０に表示され；付加的な取付け金具からの重量は表示されない。もう１つの選択肢として、分配装置がユーザ入力を必要とせずに取付けられた後に、ロードセル１０４は分配装置からの任意の付加的な重量に対して自動的に補償する。さらに、外部監視装置（図示せず）は重量データが外部監視装置に連続的に送信、記録されるようにポートを通してロードセル１０４に接続してもよい。実施形態において、外部監視装置はある期間に亘って化学薬品の使用量をプロットする。もう１つの選択肢として、外部監視装置は無線でロードセル１０４に接続する。

表示内容物重量がブロック３１３内で予め決められた設定点に達すると、化学薬品貯蔵装置は更なる使用のために再充填される。典型的に、化学薬品貯蔵装置１００は切り離され、かつ再充填のために別の場所に運ばれる。任意の残存化学薬品は再充填前に除去してもよい。択一的な実施形態において、キャニスターは切り離されずに、その場で再充填される。更なる実施形態において、ロードセル１０４は予め決められた設定点が電子音のような可聴音を発することによって達することをユーザに通報する。予め決められた設定点は、ユーザ入力装置を経由してユーザによってプログラムを書き込み、かつロードセルメモリに記憶してもよい。

本発明をさらに説明するために、以下の限定されない例を提供する。

例１
従来のスケール測定に対するロードセル測定
内臓ロードセルを持つキャニスターは、秤量スケールの頂部に置いた。キャニスターは、約３００ｍＬのイソプロピルアルコールで満たした。窒素が入口バルブを通して導入し、かつ出口バルブを通して逃がした。窒素が容器を通過するので、窒素がアルコールを揮発させた。秤量スケール測定値およびロードセル測定値は、所定時間間隔で行った。ロードセル値および秤量スケール測定値の結果は、図５に示す。結果は、ロードセル値が化学薬品貯蔵装置の従来の秤量スケール測定値に正確に一致することを示す。

例２
高温用途のための化学薬品貯蔵装置
加熱ジャケットを備える試作品化学薬品貯蔵装置は高温用途に組み込んだ。キャニスターは、４．５インチ外径および６．５インチ高さに構成した。３／４インチ厚さを持つ加熱ジャケットは、キャニスターを取り巻いた。３／８インチ厚セラミック板はキャニスターとロードセルの間に配置した。１７０℃で行われた重量測定は、室温で行われた測定に比べたときに変化しないことを示した。これらの結果は、化学薬品貯蔵装置を高温度で用いることの実現可能性を実証する。

本発明およびその有益さが詳細に述べたが、種々の変化、置換および変更が最後に追加される請求の範囲に規定される本発明の範囲から離れずにここでなしてもよいことを理解すべきである。同様に、請求の範囲での連続的な再引用工程は工程が連続的になされること、または別の工程の始まりの前に特有の工程が終結されることを要求するつもりはない。

実施形態の化学薬品貯蔵装置の概略図。 実施形態の高温用途化学薬品貯蔵装置の概略図。 実施形態のロードセルセンサを示す図。 化学薬品使用量検出方法のフロー図。 従来の秤量スケール値に対するロードセル値の比較である図。

Claims (27)

1. 分配装置と接続して用いる化学薬品貯蔵装置であって、
   キャニスター；
   前記キャニスターと一体のロードセルであって、前記ロードセルはプロセッサおよび表示装置を備える;
   前記プロセッサを実行可能な制御論理回路であって、前記制御論理回路は前記ロードセルに
   ａ）ユーザ入力に応答して前記キャニスターの空重量の風袋を測定する；
   ｂ）前記キャニスターに加えられる少なくとも１つの化学薬品の重量を前記表示装置に表示する;
   ｃ）前記分配装置が、前記少なくとも１つの化学薬品の重量のみが前記表示装置に示されるように前記キャニスターに取り付けられた後に前記ロードセルを校正する、および
   ｄ）前記少なくとも１つの化学薬品が消費されるので、前記少なくとも１つの化学薬品の重量を連続的に表示する、
   ことを与える：
   を備える装置。
2. 多数のバルブは、前記キャニスターに結合され、かつ各前記バルブは前記キャニスター内部と流体連絡である請求項１記載の化学薬品貯蔵装置。
3. 前記キャニスターを加熱する手段をさらに備える請求項１記載の化学薬品貯蔵装置。
4. 前記ロードセルと前記キャニスターの間に配置される絶縁層をさらに備える請求項１記載の化学薬品貯蔵装置。
5. 前記絶縁層はセラミック板を含む請求項４記載の化学薬品貯蔵装置。
6. 前記キャニスターおよび前記ロードセルはステンレス鋼から作られる請求項１記載の化学薬品貯蔵装置。
7. 前記キャニスターは液体、固体または気体を収納することが可能である請求項１記載の化学薬品貯蔵装置。
8. 前記ロードセルは電池をさらに備える請求項１記載の化学薬品貯蔵装置。
9. 前記ロードセルは前記プロセッサに結合するメモリモジュールをさらに備える請求項１記載の化学薬品貯蔵装置。
10. 前記ロードセルはユーザ入力装置をさらに備える請求項１記載の化学薬品貯蔵装置。
11. 前記ａ）は前記ユーザ入力装置からのユーザ入力に応答して生じる請求項１０記載の化学薬品貯蔵装置。
12. 前記ｃ）は前記ユーザ入力装置からのユーザ入力に応答して生じる請求項１０記載の化学薬品貯蔵装置。
13. 前記ユーザ入力装置は、キーパッドを備える請求項１０記載の化学薬品貯蔵装置。
14. 前記制御論理回路は、前記ロードセルにユーザ入力に応答したメモリモジュールで前記キャニスターに添加される少なくとも１つの化学薬品の重量を記憶させることをさらに与える請求項９記載の化学薬品貯蔵装置。
15. 前記ロードセルは前記プロセッサに結合するロードセンサをさらに備える請求項１記載の化学薬品貯蔵装置。
16. 前記ロードセンサはホイーストン・ブリッジ型センサを含む請求項１５記載の化学薬品貯蔵装置。
17. 前記ロードセンサは容量型測定センサを含む請求項１５記載の化学薬品貯蔵装置。
18. 前記ロードセンサは約２５０ｇから約１００００ｇの範囲で重量測定が可能である請求項１５記載の化学薬品貯蔵装置。
19. 前記ロードセンサは約０．１ｇの精度で重量測定が可能である請求項１５記載の化学薬品貯蔵装置。
20. 化学薬品使用量検出方法であって、
    ａ）一体のロードセルを備える空化学薬品貯蔵装置の風袋を量ること;
    ｂ）前記化学薬品貯蔵装置を少なくとも１つの化学薬品で満たされる重量まで充填すること;
    ｃ）前記化学薬品貯蔵装置を分配装置に取り付けること;
    ｄ）前記ロードセルを前記少なくとも１つの化学薬品の満たされる重量のみが表示されるように前記分配装置の重量を補償するために校正すること;
    ｅ）前記化学薬品貯蔵装置に残存する前記少なくとも１つの化学薬品重量を連続的に測定すること
    を含む方法。
21. 前記化学薬品貯蔵装置は表示装置、メモリモジュールおよびユーザ入力装置をさらに備える請求項２０記載の方法。
22. 前記（ｂ）は前記表示装置に満たされた重量を表示することをさらに含む請求項２１記載の方法。
23. 前記（ｅ）は前記化学薬品貯蔵装置に残存する前記少なくとも１つの化学薬品重量を前記表示装置に表示することをさらに含む請求項２１記載の方法。
24. 前記（ｂ）の後に前記メモリモジュールで満たされた重量を記憶することをさらに含む請求項２１記載の方法。
25. 前記（ｂ）の後に前記化学薬品貯蔵装置を半導体製造設備の搬送することをさらに含む請求項２０記載の方法。
26. 前記（ａ）はユーザ入力に応答してなされる請求項２０記載の方法。
27. 前記（ｅ）はユーザ入力に応答してなされる請求項２０記載の方法。

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