JP2014164019A5 - - Google Patents

Description

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明の一態様の波長可変干渉フィルターは、第１基板と、前記第１基板に対向する第２基板と、前記第１基板に設けられた第１反射膜と、前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜に対向して配置された第２反射膜と、前記第１反射膜に積層される導電性の第１導電膜と、前記第２反射膜に積層される導電性の第２導電膜と、前記第１基板に設けられ、前記第１基板の上で前記第１導電膜と電気的に接続される第１接続電極と、前記第２基板に設けられ、前記第２基板の上で前記第２導電膜と電気的に接続される第２接続電極と、を備え、前記第１接続電極の厚みは、前記第１反射膜の厚みと前記第１導電膜の厚みとの和よりも大きく、前記第１接続電極は前記第１基板の表面から前記第１導電膜の外縁部の表面に延出し、前記第２接続電極の厚みは、前記第２反射膜の厚みと前記第２導電膜の厚みとの和よりも大きく、前記第２接続電極は前記第２基板の表面から前記第２導電膜の外縁部の表面に延出していることを特徴とする。

Claims (10)

1. 第１基板と、
   前記第１基板に対向する第２基板と、
   前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
   前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜に対向して配置された第２反射膜と、
   前記第１反射膜に積層される導電性の第１導電膜と、
   前記第２反射膜に積層される導電性の第２導電膜と、
   前記第１基板に設けられ、前記第１基板の上で前記第１導電膜と電気的に接続される第１接続電極と、
   前記第２基板に設けられ、前記第２基板の上で前記第２導電膜と電気的に接続される第２接続電極と、
   を備え、
   前記第１接続電極の厚みは、前記第１反射膜の厚みと前記第１導電膜の厚みとの和よりも大きく、
   前記第１接続電極は前記第１基板の表面から前記第１導電膜の外縁部の表面に延出し、
   前記第２接続電極の厚みは、前記第２反射膜の厚みと前記第２導電膜の厚みとの和よりも大きく、
   前記第２接続電極は前記第２基板の表面から前記第２導電膜の外縁部の表面に延出していることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
2. 請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   少なくとも前記第１接続電極及び前記第２接続電極の一方は、前記第１導電膜または前記第２導電膜の外縁部の全周において前記外縁部の表面に延出していることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
3. 請求項１または２に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第１導電膜及び前記第２導電膜は透明導電膜であることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第１導電膜及び前記第２導電膜の材料はインジウム系酸化物、スズ系酸化物、亜鉛系酸化物及びこれらの混合物から選択される材料であることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第１反射膜及び前記第２反射膜の材料は、ＡｇまたはＡｇを主成分とする合金であることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第２基板は、前記第２反射膜が設けられた可動部と、
   平面視において、前記可動部の外側に設けられ、前記可動部の厚みより厚みが小さく、前記可動部を進退可能に保持する保持部と、を備えていることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
7. 反射膜と、
   前記反射膜に積層される導電性の導電膜と、
   前記導電膜と電気的に接続される接続電極と、
   を備え、
   前記接続電極の厚みは、前記反射膜の厚みと前記導電膜の厚みとの和よりも大きく、
   前記接続電極は前記導電膜の外縁部の表面に重なっていることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
8. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の波長可変干渉フィルターと、
   前記波長可変干渉フィルターを収納する筐体と、
   を備えたことを特徴とする光学フィルターデバイス。
9. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の波長可変干渉フィルターと、
   前記第１反射膜及び前記第２反射膜により取り出された光を検出する検出部と、
   を備えたことを特徴とする光学モジュール。
10. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の波長可変干渉フィルターと、
    前記波長可変干渉フィルターを制御する制御部と、
    を備えたことを特徴とする電子機器。