JP2015087445A5 - - Google Patents

Description

本発明の光学素子において、前記受光部の前記絶縁膜とは反対側で、かつ、前記平面視
において少なくとも前記受光部と重なる領域に、第３の絶縁膜が設けられ、前記第３の絶
縁膜の前記受光部とは反対側で、かつ、前記平面視において少なくとも前記受光部と重な
る領域に、第２の導電膜が設けられ、前記導電膜及び前記第２の導電膜は、電気的に接続
されていることが好ましい。
本発明では、導電膜及び第２の導電膜が電気的に接続されている。この場合、導電膜及
び第２の導電膜を接地することで、これらの膜に電気ノイズが入力された場合に、容易に
逃がすことができる。
また、本発明の一態様の光学素子は、第一反射部と、前記第一反射部に対向する第二反
射部と、前記第一反射部の前記第二反射部とは反対側に配置された絶縁膜と、前記絶縁膜
の前記第一反射部とは反対側に配置された受光部と、を含み、前記第二反射部の側から前
記第一反射部の側を見たとき、前記受光部は前記第一反射部及び前記第二反射部と重なる
ことを特徴とする。

Claims (13)

1. 導電性の第一反射膜と、
   前記第一反射膜に対向する第二反射膜と、
   前記第一反射膜の前記第二反射膜とは反対側に設けられた透光性の絶縁膜と、
   前記絶縁膜の前記第一反射膜とは反対側で、かつ、前記第一反射膜及び前記第二反射膜
   の膜厚方向から見た平面視において、前記第一反射膜、前記第二反射膜、及び前記絶縁膜
   が重なり合う領域内に設けられ、前記第一反射膜から出射された光を受光する受光部と、
   を備えていることを特徴とする光学素子。
2. 請求項１に記載の光学素子において、
   前記受光部、及び前記第一反射膜が設けられた第一面を有する第一基板と、
   前記第一基板の前記第一面に対向し、前記第二反射膜が設けられた第二基板と、
   前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜の少なくとも一部に対向した電極と、
   を備えていることを特徴とする光学素子。
3. 第一反射膜と、
   前記第一反射膜に対向する第二反射膜と、
   前記第一反射膜の前記第二反射膜とは反対側に設けられた透光性の導電膜と、
   前記導電膜の前記第一反射膜とは反対側に設けられた透光性の絶縁膜と、
   前記絶縁膜の前記導電膜とは反対側で、かつ、前記第一反射膜及び前記第二反射膜の膜
   厚方向から見た平面視において、前記第一反射膜、前記第二反射膜、前記導電膜、及び前
   記絶縁膜が重なり合う領域内に設けられ、前記第一反射膜から出射された光を受光する受
   光部と、
   を備えていることを特徴とする光学素子。
4. 請求項３に記載の光学素子において、
   前記第一反射膜及び前記導電膜の間に、第２の絶縁膜が設けられていることを特徴とす
   る光学素子。
5. 請求項１から請求項４のいずれかに記載の光学素子において、
   前記受光部の前記絶縁膜とは反対側で、かつ、前記平面視において少なくとも前記受光
   部と重なる領域に、第３の絶縁膜が設けられ、
   前記第３の絶縁膜の前記受光部とは反対側で、かつ、前記平面視において少なくとも前
   記受光部と重なる領域に、第２の導電膜が設けられていることを特徴とする光学素子。
6. 請求項５に記載の光学素子において、
   前記第２の導電膜は、反射率が所定値より小さい低反射金属により構成されていること
   を特徴とする光学素子。
7. 請求項１又は請求項２に記載の光学素子において、
   前記受光部の前記絶縁膜とは反対側で、かつ、前記平面視において少なくとも前記受光
   部と重なる領域に、第３の絶縁膜が設けられ、
   前記第３の絶縁膜の前記受光部とは反対側で、かつ、前記平面視において少なくとも前
   記受光部と重なる領域に、第２の導電膜が設けられ、
   前記第一反射膜及び前記第２の導電膜は、電気的に接続されていることを特徴とする光
   学素子。
8. 請求項４又は請求項５に記載の光学素子において、
   前記受光部の前記絶縁膜とは反対側で、かつ、前記平面視において少なくとも前記受光
   部と重なる領域に、第３の絶縁膜が設けられ、
   前記第３の絶縁膜の前記受光部とは反対側で、かつ、前記平面視において少なくとも前
   記受光部と重なる領域に、第２の導電膜が設けられ、
   前記導電膜及び前記第２の導電膜は、電気的に接続されていることを特徴とする光学素
   子。
9. 導電性の第一反射膜、前記第一反射膜に対向する第二反射膜、前記第一反射膜の前記第
   二反射膜とは反対側に設けられた透光性の絶縁膜、及び、前記絶縁膜の前記第一反射膜と
   は反対側で、かつ、前記第一反射膜及び前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視におい
   て、前記第一反射膜、前記第二反射膜、及び前記絶縁膜が重なり合う領域内に設けられ、
   前記第一反射膜から出射された光を受光する受光部を備えた光学素子と、
   前記光学素子を収納する筐体と、
   を具備したことを特徴とする光学デバイス。
10. 第一反射膜、前記第一反射膜に対向する第二反射膜、前記第一反射膜の前記第二反射膜
    とは反対側に設けられた透光性の導電膜、前記導電膜の前記第一反射膜とは反対側に設け
    られた透光性の絶縁膜、及び、前記絶縁膜の前記導電膜とは反対側で、かつ、前記第一反
    射膜及び前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一反射膜、前記第二
    反射膜、前記導電膜、及び前記絶縁膜が重なり合う領域内に設けられ、前記第一反射膜か
    ら出射された光を受光する受光部を備えた光学素子と、
    前記光学素子を収納する筐体と、
    を具備したことを特徴とする光学デバイス。
11. 導電性の第一反射膜、前記第一反射膜に対向する第二反射膜、前記第一反射膜の前記第
    二反射膜とは反対側に設けられた透光性の絶縁膜、及び、前記絶縁膜の前記第一反射膜と
    は反対側で、かつ、前記第一反射膜及び前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視におい
    て、前記第一反射膜、前記第二反射膜、及び前記絶縁膜が重なり合う領域内に設けられ、
    前記第一反射膜から出射された光を受光する受光部を備えた光学素子と、
    前記光学素子を制御する制御部と、
    を具備したことを特徴とする電子機器。
12. 第一反射膜、前記第一反射膜に対向する第二反射膜、前記第一反射膜の前記第二反射膜
    とは反対側に設けられた透光性の導電膜、前記導電膜の前記第一反射膜とは反対側に設け
    られた透光性の絶縁膜、及び、前記絶縁膜の前記導電膜とは反対側で、かつ、前記第一反
    射膜及び前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一反射膜、前記第二
    反射膜、前記導電膜、及び前記絶縁膜が重なり合う領域内に設けられ、前記第一反射膜か
    ら出射された光を受光する受光部を備えた光学素子と、
    前記光学素子を制御する制御部と、
    を具備したことを特徴とする電子機器。
13. 第一反射部と、
    前記第一反射部に対向する第二反射部と、
    前記第一反射部の前記第二反射部とは反対側に配置された絶縁膜と、
    前記絶縁膜の前記第一反射部とは反対側に配置された受光部と、
    を含み、
    前記第二反射部の側から前記第一反射部の側を見たとき、前記受光部は前記第一反射部
    及び前記第二反射部と重なることを特徴とする光学素子。