JP2012220656A5 - - Google Patents

Description

この適用例では、第一部分検出電極および第二部分検出電極は、同一の第一仮想円上に沿い、互いに点対称となる位置に設けられている。このような構成では、基板間のギャップが不均一な場合、すなわち、第一部分検出電極と第二検出電極の第一対向検出領域間のギャップ１と、第二部分検出電極と第二検出電極の第二対向検出領域間のギャップ２と、が異なる場合、第一部分静電容量と第二部分静電容量の直列合成静電容量はギャップ１とギャップ２の和に反比例するため、直列合成静電容量を検出することでギャップを容易に検出できる。

Claims (8)

1. 第一基板と、
   前記第一基板に対向する第二基板と、
   前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
   前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜と、
   前記第一基板に設けられた第一駆動電極、および前記第二基板に設けられて前記第一駆動電極に対向する第二駆動電極を備えた静電アクチュエーターと、
   前記第一基板に設けられた第一検出電極、および前記第二基板に設けられて前記第一検出電極に対向する第二検出電極を備えたギャップ検出電極と、を具備し、
   前記第二基板は、前記第一基板および前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視にお
   いて、円形状に設けられ前記第二反射膜が設けられた可動部と、前記可動部を前記第一基板に対して進退可能に保持する保持部と、を備え、
   前記第一検出電極は、前記平面視において、前記可動部の中心点を中心とした仮想円に沿って設けられた第一部分検出電極および第二部分検出電極を備え、
   前記第二検出電極は、前記平面視において、前記第一部分検出電極に重なる第一対向検出領域と、前記第二部分検出電極に重なる第二対向検出領域とを備えている
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
2. 請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第一基板には、前記第一部分検出電極から前記第一基板の外周縁に向かって延出する第一引出検出電極と、前記第二部分検出電極から前記第一基板の外周縁に向かって延出する第二引出検出電極とが設けられている
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
3. 請求項１又は請求項２に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第一駆動電極は、前記平面視において、前記可動部の中心点を中心とした仮想円に沿って設けられた第一部分駆動電極および第二部分駆動電極を備え、
   前記第二駆動電極は、前記平面視において、前記第一部分駆動電極に重なる第一対向駆動領域と、前記第二部分駆動電極に重なる第二対向駆動領域とを備え、
   前記第一基板には、前記第一部分駆動電極から前記第一基板の外周縁に向かって延出する第一引出駆動電極と、前記第二部分駆動電極から前記第一基板の外周縁に向かって延出する第二引出駆動電極とが設けられ、
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
4. 請求項１から請求項３のいずれか一項に記載に波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第一検出電極は、前記第一反射膜と同一面上に設けられ、
   前記第二検出電極は、前記第二反射膜と同一面上に設けられた
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
5. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第一部分検出電極は、第一仮想円に沿う円弧形状であり、
   前記第二部分検出電極は、前記第一仮想円に沿う円弧形状であり、前記平面視において、前記第一部分検出電極と同一形状に形成され、かつ、前記可動部の中心点に対し、前記第一部分検出電極と点対称となる位置に設けられた
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
6. 第一基板と、
   前記第一基板に対向する第二基板と、
   前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
   前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜と、
   前記第一基板に設けられた第一検出電極と前記第二基板に設けられた第二検出電極とが対向する第一検出容量部、及び前記第一基板に設けられた第三検出電極と前記第二検出電極とが対向する第二検出容量部を有するギャップ検出電極と、を備え、
   前記第一検出容量部と前記第二検出容量部とが電気的に直列に接続されている
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
7. 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の波長可変干渉フィルターと、
   前記波長可変干渉フィルターにより取り出された光を検出する検出部と、
   を具備したことを特徴とする光モジュール。
8. 請求項７に記載の光モジュールと、
   前記光モジュールの前記検出部により検出された光に基づいて、前記光の光特性を分析する分析処理部と、
   を具備したことを特徴とする光分析装置。