JP2012123145A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 第１基板と、
   前記第１基板に対向し、前記第１基板に向けて進退可能に移動する可動部を有する第２基板と、
   前記第１基板の前記第２基板に対向する面に設けられた第１反射膜と、
   前記可動部の前記第１基板に対向する面に設けられ、前記第１反射膜と所定の第１ギャップを介して対向する第２反射膜と、
   前記第１基板の前記第２基板に対向する面に設けられた第１電極と、
   前記第２基板の前記第１基板に対向する面に設けられ、前記第１電極と所定の第２ギャップを介して対向する第２電極と、
   前記第１基板に設けられて、前記第１電極から前記第１基板の外周縁に向かって設けられた第１電極線と、
   前記第２基板に設けられて、前記第２電極から前記第２基板の外周縁に向かって設けられた第２電極線と、
   前記第２基板に設けられて、前記第１電極線と対向し、前記第２電極と絶縁されて設けられた第１対向電極線と、
   前記第１電極線及び前記第１対向電極線を導通する第１導通部と、を備え、
   前記第２電極線と前記第１対向電極線とは、第２基板の厚み方向から見る平面視において、前記可動部の中心点を中心とした仮想円の前記中心点を通り、前記仮想円を等角度間隔に分割する方向に形成される
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
2. 請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第２基板は、前記可動部を前記第２基板の厚み方向に移動可能に保持する連結保持部を有し、
   前記連結保持部には、前記第２電極線及び前記第１対向電極線が形成され、
   前記第２電極線及び前記第１対向電極線の前記連結保持部に形成された形成領域における形状は、同一形状に形成される
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
3. 請求項１または請求項２に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第１基板に設けられて、前記第２電極線と対向し、前記第１電極と絶縁されて設けられた第２対向電極線と、
   前記第２電極線及び前記第２対向電極線を導通する第２導通部とを備え、
   前記第１電極線と前記第２対向電極線とは、第１基板の厚み方向から見る平面視において、前記第１反射膜の中心点を中心とした仮想円の前記中心点を通り、前記仮想円を等角度間隔に分割する方向に形成される
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の波長可変干渉フィルターと、
   前記波長可変干渉フィルターを透過した検査対象光を受光する受光部とを備える
   ことを特徴とする光モジュール。
5. 請求項４に記載の光モジュールと、
   前記光モジュールの前記受光部により受光された光に基づいて、前記検査対象光の光特性を分析する分析処理部とを備える
   ことを特徴とする光分析装置。