JP2012168362A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 第１基板と、
   前記第１基板と対向する第２基板と、
   前記第１基板の前記第２基板に対向する面に設けられた第１反射膜と、
   前記第２基板の前記第１基板に対向する面に設けられ、前記第１反射膜とギャップを介して対向する第２反射膜と、
   前記第１基板の前記第２基板に対向する面に設けられた第１電極と、
   前記第２基板の前記第１基板に対向する面に設けられ、前記第１電極に対向する第２電極とを備え、
   前記第２基板は、前記第２反射膜が設けられた可動部と、前記可動部を基板厚み方向に移動可能に保持する連結保持部とを備え、
   前記連結保持部は、前記可動部を囲んで連続して形成され、かつ前記可動部よりも厚み寸法が小さく形成され、
   前記第２電極は、前記第２基板の前記連結保持部より厚み寸法が大きい部分に設けられている
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
2. 請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第２電極は前記可動部に設けられている
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
3. 請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記連結保持部よりも厚み寸法が大きく形成され、前記連結保持部を支持する支持部を備え、
   前記第２電極は、前記第２反射膜を囲んで形成された内側電極と、前記内側電極を囲んで形成された外側電極とを備え、
   前記内側電極は前記可動部に設けられ、
   前記外側電極は前記支持部に設けられている
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第２基板の前記第１基板と対向する面とは反対側の面に設けられた撓み防止膜を備え、
   前記撓み防止膜の面方向に作用する内部応力の方向と、前記第２反射膜および前記第２電極の面方向に作用する内部応力の方向とは、同一方向である
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
5. 請求項１から請求項４のいずれかに記載の波長可変干渉フィルターと、
   前記波長可変干渉フィルターを透過した検査対象光を受光する受光手段とを備えた
   ことを特徴とする光モジュール。
6. 請求項５に記載の光モジュールと、
   前記光モジュールの前記受光手段により受光された光に基づいて、前記検査対象光の光特性を分析する分析処理部とを備えた
   ことを特徴とする光分析装置。