JP2015031942A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015031942A5 JP2015031942A5 JP2013163945A JP2013163945A JP2015031942A5 JP 2015031942 A5 JP2015031942 A5 JP 2015031942A5 JP 2013163945 A JP2013163945 A JP 2013163945A JP 2013163945 A JP2013163945 A JP 2013163945A JP 2015031942 A5 JP2015031942 A5 JP 2015031942A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- conductive film
- optical filter
- reflective
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Description
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明の一態様の光フィルターは、第1反射膜と、前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、前記第1反射膜の前記第2反射膜と対向する面に重ねて設けられた第1導電膜と、前記第2反射膜の前記第1反射膜と対向する面に重ねて設けられた第2導電膜と、を含み、前記第1導電膜及び前記第2導電膜は光を透過し、前記第1導電膜と前記第2導電膜とは電気的に開閉されることを特徴とする。
本発明の一態様の光フィルターは、第1反射膜と、前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、前記第1反射膜の前記第2反射膜と対向する面に重ねて設けられた第1導電膜と、前記第2反射膜の前記第1反射膜と対向する面に重ねて設けられた第2導電膜と、を含み、前記第1導電膜及び前記第2導電膜は光を透過し、前記第1導電膜と前記第2導電膜とは電気的に開閉されることを特徴とする。
Claims (10)
- 第1反射膜と、
前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、
前記第1反射膜の前記第2反射膜と対向する面に重ねて設けられた第1導電膜と、
前記第2反射膜の前記第1反射膜と対向する面に重ねて設けられた第2導電膜と、
を含み、
前記第1導電膜及び前記第2導電膜は光を透過し、
前記第1導電膜と前記第2導電膜とは電気的に開閉されることを特徴とする光フィルター。 - 請求項1に記載の光フィルターであって、
前記第1導電膜と接続された第1端子と、
前記第2導電膜と接続された第2端子と、
を含み、
前記第1端子と前記第2端子とは電気的に開閉されることを特徴とする光フィルター。 - 請求項1または2に記載の光フィルターであって、
前記第1反射膜及び前記第2反射膜は銀を含む膜であり、前記第1導電膜と前記第2導電膜とのうち少なくとも一方はIn−Ga−Oを主成分とする膜であることを特徴とする光フィルター。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の光フィルターであって、
前記第1反射膜及び前記第2反射膜のうち少なくとも一方は側面が露出することを特徴とする光フィルター。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の光フィルターであって、
前記第1導電膜と前記第2導電膜との間の静電容量が検出されることを特徴とする光フィルター。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の光フィルターであって、
前記第1反射膜及び前記第2反射膜は光が照射される有効範囲と、前記有効範囲を囲む場所に光が照射されない予備範囲と、
を有することを特徴とする光フィルター。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の光フィルターと、
前記第1導電膜と前記第2導電膜とを電気的に開閉する電気開閉部と、
を含むことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項7に記載の光学モジュールであって、
前記第1導電膜と前記第2導電膜との間の静電容量を検出する容量検出部を備えることを特徴とする光学モジュール。 - 請求項7または8に記載の光学モジュールと、
前記光学モジュールを制御する制御部と、
を含むことを特徴とする電子機器。 - 基板に反射膜を形成する工程と、
前記反射膜に重ねて、光を透過する導電膜を形成する工程と、
前記導電膜に重ねてレジストのパターンを形成した後に、前記反射膜及び前記導電膜をエッチングする工程と、
を有することを特徴とする光フィルターの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013163945A JP6496973B2 (ja) | 2013-08-07 | 2013-08-07 | 光フィルター、光学モジュール、電子機器 |
CN201410378448.7A CN104345366B (zh) | 2013-08-07 | 2014-08-01 | 光学滤波器、光模块、电子设备及光学滤波器的制造方法 |
EP14179822.3A EP2835678B1 (en) | 2013-08-07 | 2014-08-05 | Optical filter, optical module, electronic apparatus, and method of manufacturing optical filter |
KR1020140101006A KR20150017678A (ko) | 2013-08-07 | 2014-08-06 | 광 필터, 광학 모듈, 전자 기기 및 광 필터의 제조 방법 |
US14/452,869 US10007106B2 (en) | 2013-08-07 | 2014-08-06 | Optical filter, optical module, electronic apparatus, and method of manufacturing optical filter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013163945A JP6496973B2 (ja) | 2013-08-07 | 2013-08-07 | 光フィルター、光学モジュール、電子機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015031942A JP2015031942A (ja) | 2015-02-16 |
JP2015031942A5 true JP2015031942A5 (ja) | 2016-09-08 |
JP6496973B2 JP6496973B2 (ja) | 2019-04-10 |
Family
ID=51298565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013163945A Active JP6496973B2 (ja) | 2013-08-07 | 2013-08-07 | 光フィルター、光学モジュール、電子機器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10007106B2 (ja) |
EP (1) | EP2835678B1 (ja) |
JP (1) | JP6496973B2 (ja) |
KR (1) | KR20150017678A (ja) |
CN (1) | CN104345366B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5786424B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2015-09-30 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器 |
JP6555869B2 (ja) | 2014-10-17 | 2019-08-07 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ |
JP6672805B2 (ja) | 2016-01-12 | 2020-03-25 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、電子部品、電子部品の製造方法、および電子機器 |
JP6517309B1 (ja) * | 2017-11-24 | 2019-05-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 異物除去方法、及び光検出装置の製造方法 |
DE102018220272A1 (de) * | 2018-11-26 | 2020-05-28 | Robert Bosch Gmbh | Interferometereinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Interferometereinrichtung |
WO2021146670A1 (en) * | 2020-01-17 | 2021-07-22 | Spectrove Inc. | Mems device for interferometric spectroscopy |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3691106B2 (ja) * | 1995-03-27 | 2005-08-31 | グンゼ株式会社 | 光学薄膜 |
GB2371119A (en) * | 2000-09-25 | 2002-07-17 | Marconi Caswell Ltd | Micro electro-mechanical systems |
JP3835525B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2006-10-18 | ホーチキ株式会社 | 波長可変フィルタ制御装置 |
JP2003315694A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像表示素子及びこれを用いた画像表示装置 |
CN100538432C (zh) * | 2006-01-19 | 2009-09-09 | 精工爱普生株式会社 | 波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器 |
JP2008094063A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Asahi Kasei Chemicals Corp | 金属酸化物積層体 |
JP4840773B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2011-12-21 | 株式会社アツミテック | 水素センサおよび水素ガス検知装置 |
JP5370246B2 (ja) * | 2009-05-27 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法 |
JP5569002B2 (ja) * | 2010-01-21 | 2014-08-13 | セイコーエプソン株式会社 | 分析機器および特性測定方法 |
JP2011191555A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Seiko Epson Corp | 光フィルターの製造方法、分析機器および光機器 |
JP5682165B2 (ja) * | 2010-07-23 | 2015-03-11 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光モジュール、及び分析装置 |
JP5779852B2 (ja) | 2010-08-25 | 2015-09-16 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
JP5720200B2 (ja) * | 2010-11-25 | 2015-05-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光モジュール、および光測定装置 |
JP5716412B2 (ja) | 2011-01-24 | 2015-05-13 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
JP5842338B2 (ja) * | 2011-02-17 | 2016-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および電子機器 |
JP2012173348A (ja) * | 2011-02-17 | 2012-09-10 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光モジュールおよび電子機器 |
JP5786424B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2015-09-30 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器 |
JP5842386B2 (ja) | 2011-05-25 | 2016-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、および光分析装置 |
US8988409B2 (en) * | 2011-07-22 | 2015-03-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods and devices for voltage reduction for active matrix displays using variability of pixel device capacitance |
JP2013037293A (ja) | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Japan Display East Co Ltd | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
JP5834718B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2015-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
US20130135269A1 (en) * | 2011-11-30 | 2013-05-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Two state three electrode drive scheme |
JP5910099B2 (ja) * | 2012-01-18 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光学モジュールおよび電子機器 |
JP6035768B2 (ja) | 2012-02-16 | 2016-11-30 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光学モジュール、および電子機器 |
-
2013
- 2013-08-07 JP JP2013163945A patent/JP6496973B2/ja active Active
-
2014
- 2014-08-01 CN CN201410378448.7A patent/CN104345366B/zh active Active
- 2014-08-05 EP EP14179822.3A patent/EP2835678B1/en active Active
- 2014-08-06 US US14/452,869 patent/US10007106B2/en active Active
- 2014-08-06 KR KR1020140101006A patent/KR20150017678A/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2015031942A5 (ja) | ||
JP2014164019A5 (ja) | ||
JP2016103660A5 (ja) | ||
JP2015068886A5 (ja) | ||
JP2014013404A5 (ja) | ||
JP2014135478A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2014225006A5 (ja) | ||
JP2014199404A5 (ja) | ||
JP2012150479A5 (ja) | 表示装置及び電子機器 | |
JP2010186994A5 (ja) | 半導体装置 | |
JP2014170952A5 (ja) | 液晶表示装置 | |
JP2012068629A5 (ja) | 発光表示装置、及び発光表示装置の作製方法 | |
JP2013037377A5 (ja) | ||
JP2015215882A5 (ja) | ||
JP2012068627A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2013175716A5 (ja) | 半導体装置 | |
JP2010206190A5 (ja) | 半導体装置 | |
JP2010166038A5 (ja) | ||
JP2011066397A5 (ja) | 光検出装置 | |
JP2014007399A5 (ja) | ||
JP2012256063A5 (ja) | 表示装置 | |
JP2013048220A5 (ja) | ||
EA201491639A1 (ru) | Противоконденсатное остекление | |
JP2010156963A5 (ja) | ||
JP2013254947A5 (ja) | 表示装置 |