JP2015031942A5 - - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明の一態様の光フィルターは、第１反射膜と、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、前記第１反射膜の前記第２反射膜と対向する面に重ねて設けられた第１導電膜と、前記第２反射膜の前記第１反射膜と対向する面に重ねて設けられた第２導電膜と、を含み、前記第１導電膜及び前記第２導電膜は光を透過し、前記第１導電膜と前記第２導電膜とは電気的に開閉されることを特徴とする。

Claims (10)

1. 第１反射膜と、
   前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
   前記第１反射膜の前記第２反射膜と対向する面に重ねて設けられた第１導電膜と、
   前記第２反射膜の前記第１反射膜と対向する面に重ねて設けられた第２導電膜と、
   を含み、
   前記第１導電膜及び前記第２導電膜は光を透過し、
   前記第１導電膜と前記第２導電膜とは電気的に開閉されることを特徴とする光フィルター。
2. 請求項１に記載の光フィルターであって、
   前記第１導電膜と接続された第１端子と、
   前記第２導電膜と接続された第２端子と、
   を含み、
   前記第１端子と前記第２端子とは電気的に開閉されることを特徴とする光フィルター。
3. 請求項１または２に記載の光フィルターであって、
   前記第１反射膜及び前記第２反射膜は銀を含む膜であり、前記第１導電膜と前記第２導電膜とのうち少なくとも一方はＩｎ−Ｇａ−Ｏを主成分とする膜であることを特徴とする光フィルター。
4. 請求項１乃至３のいずれかに記載の光フィルターであって、
   前記第１反射膜及び前記第２反射膜のうち少なくとも一方は側面が露出することを特徴とする光フィルター。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載の光フィルターであって、
   前記第１導電膜と前記第２導電膜との間の静電容量が検出されることを特徴とする光フィルター。
6. 請求項１乃至５のいずれかに記載の光フィルターであって、
   前記第１反射膜及び前記第２反射膜は光が照射される有効範囲と、前記有効範囲を囲む場所に光が照射されない予備範囲と、
   を有することを特徴とする光フィルター。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載の光フィルターと、
   前記第１導電膜と前記第２導電膜とを電気的に開閉する電気開閉部と、
   を含むことを特徴とする光学モジュール。
8. 請求項７に記載の光学モジュールであって、
   前記第１導電膜と前記第２導電膜との間の静電容量を検出する容量検出部を備えることを特徴とする光学モジュール。
9. 請求項７または８に記載の光学モジュールと、
   前記光学モジュールを制御する制御部と、
   を含むことを特徴とする電子機器。
10. 基板に反射膜を形成する工程と、
    前記反射膜に重ねて、光を透過する導電膜を形成する工程と、
    前記導電膜に重ねてレジストのパターンを形成した後に、前記反射膜及び前記導電膜をエッチングする工程と、
    を有することを特徴とする光フィルターの製造方法。