JP5720200B2 - 光モジュール、および光測定装置 - Google Patents
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Description
この特許文献1に記載の光学フィルター装置(干渉フィルター)は、一対の基板を互いに対向させ、このうち一方の基板には、可動部(第1部分)と、可動部を他方の基板に対して進退移動可能に保持するダイヤフラム(第2部分)とが設けられている。そして、この可動部に一対の反射膜(ミラー)のうちの一方の反射膜が形成され、他方の基板には、可動部に形成した反射膜に対向する他方の反射膜が形成されている。この光学フィルター装置では、一対の基板間に設けられた静電アクチュエーターに印加する電圧を制御することで、静電引力により可動部を変位させ、一対の反射膜間のギャップを変化させることが可能となっている。
この特許文献2のシステムは、MEMSデバイスに温度センサーを設け、温度センサーの信号に基づいて、ルックアップテーブルから駆動電圧を選択し、選択した駆動電圧を電圧加算回路に入力する。
また、波長可変干渉フィルターにセンサー用駆動端子部を設ける構成では、フィルター駆動回路部においても、このセンサー用駆動端子部に接続される配線を設け、さらに、センサー用駆動端子部に駆動電圧を印可するためのセンサー用電圧源を別途設ける必要がある。これに対して、本発明では、ギャップ可変部に電圧を印可するための駆動電圧源と駆動電極線とを接続する構成であり、センサー用電圧源や、センサー用電圧源とセンサー用駆動端子部を接続する配線構成が不要となる。したがって、フィルター駆動回路部における配線構成も簡略化することができ、構成を簡単にできる。
以上のように、波長可変干渉フィルターおよびフィルター駆動回路部における配線構成を簡略化することができるため、光モジュールにおける全体的な配線構成も簡略化でき、製造コストも低減させることができる。
ここで、本発明では、第二電極を構成する部分電極のうち、第一部分電極の第一駆動電極線に第一センサー配線が接続され、第二部分電極の第二駆動電極線に第二センサー配線が接続されている。このため、波長可変干渉フィルターにおいて、複数の部分電極が設けられた場合でも、温度センサーのセンサー配線を制御回路部に接続するために、特別な端子を設ける必要がなく、構成の簡略化を図ることができる。
また、フィルター駆動回路部では、第一駆動端子部に接続される第一駆動回路、第二駆動端子部に接続される第二駆動回路が設けられる。このうち、第二駆動回路には、第一スイッチ状態と、第二スイッチ状態と、を切り替える第一スイッチが設けられている。このような構成では、配線構成が複雑化せず、スイッチの切り替えを行うだけの簡単な配線構成で容易に温度センサーの駆動と、ギャップ可変部の駆動とを切り替えることができる。
これに対して、本発明では、波長可変干渉フィルターの第一電極は、基準電位部に接続される基準端子部を備え、一対のセンサー配線のうち、温度検出部に接続される前記他方のセンサー配線と、この基準端子部とを負荷抵抗を介して接続する分圧部が設けられている。このような構成では、波長可変干渉フィルター上に、分圧部が設けられているため、センサー配線における電気抵抗が極めて小さくなり、温度センサーに印加される電圧を、駆動回路から印可される所望の電圧値に設定することができる。したがって、波長可変干渉フィルターの温度をより正確に検出することができる。
また、温度検出処理時に、温度センサーにより、波長可変干渉フィルターの正確な温度を測定することができるため、光量検出処理時において、この温度に基づいて、波長可変干渉フィルターから目的波長の光を透過させるための正確な電圧を演算することができる。したがって、波長可変干渉フィルターから、所望の波長の光を正確に透過させることができる。
このような構成では、上記発明と同様に、第一スイッチの状態を切り替えるだけの簡単な配線構成で容易に温度センサーの駆動と、ギャップ可変部の駆動とを切り替えることができる。
以下、本発明に係る第一実施形態について、図面に基づいて説明する。
〔1.光測定装置の全体構成〕
図1は、本発明に係る実施形態の光測定装置1の概略構成を示すシステム構成図である。
光測定装置1は、図1に示すように、光源装置2と、光モジュール3と、制御装置4と、を備えている。この光測定装置1は、被測定対象の例えば色度などの光学特性を測定する装置である。
具体的には、光測定装置1は、光源装置2から光を射出させる。光源装置2から射出された光は、図示しない被測定対象で反射され、反射された光は、光モジュール3に入射される。この光モジュール3は、波長可変干渉フィルター5および検出部6を備えており、波長可変干渉フィルター5は、入射光のうち、所定の目的波長の光のみが透過させる。そして、波長可変干渉フィルター5を透過した光は検出部6に受光され、受光量に応じた光量検出信号が制御装置4に入力される。そして、制御装置4にて、光量検出信号に基づいて、被測定対象の各波長における光量が分析され、その光学特性が測定される。
光源装置2は、図1に示すように、ランプ21と、ランプ駆動回路22とを、備えている。ランプ21は、測定したい光学特性に応じて選択することができ、例えば被測定対象の色度を測定する場合では、白色光源を用いることが好ましい。
ランプ駆動回路22は、制御装置4に接続され、制御装置4の制御により、ランプ21の駆動や、ランプ21から射出される光の強度(光量)を変更する。
なお、光源装置2が複数のレンズを備え、ランプ21から射出された光が、これらの複数のレンズを通して射出される構成としてもよい。
光モジュール3は、波長可変干渉フィルター5と、検出部6と、フィルター駆動回路部7と、を備えている。なお、光モジュール3は、被測定対象にて反射された光を波長可変干渉フィルター5に導く入射光学系が設けられていてもよい。この場合、入射光学系は、入射光をエタロンに対して垂直に入射させる平行化レンズ、または入射光の主光線を波長可変干渉フィルター5に対して垂直に入射させるテレセントリック光学レンズ系が用いられることが好ましい。
図2は、本実施形態における波長可変干渉フィルターの概略平面構成を示す平面図である。
図3は、図2におけるIII−III線を断面した断面図である。
さらに、固定基板51と可動基板52との間には、固定反射膜56および可動反射膜57の間の反射膜間ギャップの寸法を調整するための、本発明のギャップ可変部を構成する静電アクチュエーター54が設けられている。この静電アクチュエーター54は、固定基板51に設けられる固定電極541(本発明の第一電極を構成)と、可動基板52に設けられる可動電極542(本発明の第二電極を構成)とにより構成され、電極間ギャップを介して対向している。
そして、可動基板52上には、固定基板51と対向しない側の面に、温度センサー55が設けられている。
固定基板51は、可動基板52に対向する対向面に、電極溝511およびミラー固定部512が、エッチングにより形成されている。
電極溝511は、図2では省略されているが、基板厚み方向から固定基板51を見たフィルター平面視において、平面中心点を中心とするリング形状に形成されている。
ミラー固定部512は、電極溝511と同軸上で、可動基板52に向かって突出する円筒状に形成されている。
また、固定基板51には、電極溝511から固定基板51の各頂点に向かって延出し、電極溝511と同一深さ寸法に形成される配線溝511A(図3参照)が形成されている。
この固定電極541は、図2および図3に示すように、外側固定電極541Aと、内側固定電極541Bと、を備えている。なお、本実施形態では、内側固定電極541Bは、リング形状に形成され、外側固定電極541Aは、後述する外側可動電極542Aの形状に対応して、C字形状に形成されているが、外側固定電極541Aもリング状に形成される構成としてもよい。
また、固定電極541は、絶縁膜59により覆われており、後述する可動電極542との間での放電等が防止されている。
可動基板52は、固定基板51に対向しない面がエッチングにより加工されることで、形成される。この可動基板52は、基板中心点を中心とした円形筒状の可動部521と、可動部521と同軸であり可動部521を保持する保持部522と、を備えている。ここで、この保持部522の外周径寸法は、固定基板51の電極溝511の外周径寸法と同一寸法に形成されている。
また、可動基板52の4頂点は、一部が切り欠かれており、波長可変干渉フィルター5を可動基板52側から見た平面視において、固定基板51に形成された共通電極端子部543Aおよび対向電極544の一部が露出されている。
保持部522は、可動部521の周囲を囲うダイヤフラムであり、この保持部522が撓むことで、可動部521を固定基板51に対して進退移動させる。
なお、本実施形態では、ダイヤフラム状の保持部522を例示するが、例えば、可動部の中心に対して点対称となる位置に設けられる複数対の梁構造を有する保持部が設けられる構成などとしてもよい。
そして、この可動電極542は、外側固定電極541Aに対向する外側可動電極542A(本発明の第一部分電極を構成)と、内側固定電極541Bに対向する内側可動電極542B(本発明の第二部分電極を構成)と、を備えている。外側可動電極542Aは、C字状に形成され、内側可動電極542Bは、外側可動電極542Aの内径側で、リング状に形成されている。
また、固定電極541と同様、これらの可動電極542の表面は、絶縁膜59により覆われており、固定電極541との間での放電等が防止されている。
具体的には、外側可動電極542Aの外周縁からは、可動基板52の左上頂点に向かって延出する外側駆動電極線545A(本発明の第一駆動電極線を構成)が形成され、その先端には、外側駆動端子部546Aが形成されている。また、内側可動電極542Bの外周縁からは、可動基板52の右下頂点に向かって延出する内側駆動電極線545B(本発明の第二駆動電極線を構成)が形成され、その先端には、内側駆動端子部546Bが形成されている。
温度センサー55は、可動基板52の固定基板51に対向しない側の面において、可動基板52を基板厚み方向から見た平面視において、保持部522よりも外側に設けられている。この温度センサー55としては、温度変化に伴って抵抗値が変化する抵抗体であり
例えば、サーミスタや測温金属抵抗体を用いることができる。
温度センサー55には、一対のセンサー配線(第一センサー配線551、第二センサー配線552)が接続されている。このような温度センサー55では、波長可変干渉フィルター5の温度に応じて、温度センサー55の抵抗値が変化するため、センサー配線551,552間に電圧を印可することで、温度に応じた電流が流れる。したがって、この電流を検出することで、波長可変干渉フィルター5の温度を測定することが可能となる。
ここで、前述のAgペースト544Aは、固定基板51および可動基板52の隙間から、可動基板52の上面側に亘って形成され、センサー配線551(552)の上面がAgペースト544Aにより覆われることで、センサー配線551(552)と外側駆動端子部546A(内側駆動端子部546B)と対向電極544とが導通される。
検出部6は、複数の受光素子を備えて構成されている。この受光素子としては、例えばCCD(Charge Coupled Device)素子などの、光電交換素子を用いることができる。この検出部6は、波長可変干渉フィルター5を透過した光を、複数の受光素子により受光し、受光量に応じた光量検出信号を出力する。
〔3−3.フィルター駆動回路部の構成〕
図4は、光モジュール3における回路構成を示す図である。
フィルター駆動回路部7は、図1および図4に示すように、電圧源71と、第一駆動回路72と、第二駆動回路73と、温度検出回路74と、分圧部75と、接地回路76と、I−V変換回路77と、第二スイッチ78と、A/Dコンバーター79と、を備えている。
この電圧源71は、制御装置4に接続され、制御装置4から入力される制御信号に基づいて、第一駆動電圧源71Aおよび第二駆動電圧源71Bを駆動させる。
したがって、第二駆動回路73は、第一スイッチ731が第一スイッチ状態に切り替えられている状態において、第二駆動電圧源71Bにより内側可動電極542Bおよび内側固定電極541B間に電圧を印加可能な回路となる。一方、第一スイッチ731が第二スイッチ状態に切り替えられている状態において、温度センサー55から出力された温度検出信号を温度検出回路74に入力可能な回路となる。
この温度検出回路74は、例えばローパスフィルター等のフィルター回路を備えて構成されており、温度センサー55から入力された温度検出信号からノイズ成分を除去する。
上記のような温度検出回路74および分圧部75を備える構成では、温度検出可能状態において、温度センサー55の第二センサー配線552が分圧部75に接続されることとなり、温度センサー55と分圧部75とで分圧された電圧が、温度検出回路74のフィルター回路を介してA/Dコンバーター79に出力される。
I−V変換回路77は、検出部6から出力された光量検出信号(電流)を電圧に変換する回路である。
制御装置4は、光測定装置1の全体動作を制御する。
この制御装置4は、メモリー41やCPU(Central Processing Unit)等により構成される演算回路部42等により構成されるコンピューターであり、例えば汎用パーソナルコンピューターや、携帯情報端末、その他、測定専用コンピューターなどを用いることができる。
そして、制御装置4は、演算回路部42により実行されるソフトウェアとして、図1に示すように、処理切替部421と、温度取得部422と、電圧演算部423と、電圧制御部424と、光量取得部425とを備えている。
また、メモリー41は、静電アクチュエーター54に印加する駆動電圧に対する検出部6で検出される透過光の波長を示すテーブルデータ(V−λデータ)を記憶している。このV−λデータは、波長可変干渉フィルター5の温度に対してそれぞれ個別に設定されている。
さらに、メモリー41は、温度センサー55から出力された温度検出信号の信号値に対する温度を示すテーブルデータ(温度変換データ)を記憶している。
処理切替部421は、光モジュール3における第一スイッチ731および第二スイッチ78を切り替える処理を実施する。
つまり、処理切替部421は、波長可変干渉フィルター5のギャップを制御して、被測定対象の光学特性を測定する光学特性測定処理時において、第一スイッチ731を第一スイッチ状態に切り替え、第二スイッチを第三スイッチ状態に切り替える(光量測定可能状態)。
また、処理切替部421は、温度センサー55により、波長可変干渉フィルター5の温度を検出する温度検出測定処理時において、第一スイッチ731を第二スイッチ状態に切り替え、第二スイッチ78を第四スイッチ状態に切り替える(温度検出可能状態)。
すなわち、光測定装置1において、被測定対象の光学特性を実施する場合、光源装置2のランプ21から、例えば基準光である白色光を射出して光モジュール3に入射させたり、白色板にて反射された光を光モジュール3に入射させたりして、白色光の光量補正を算出するキャリブレーションを行う必要がある。処理切替部421は、このキャリブレーション時に、まず、第一スイッチ731および第二スイッチ78を温度検出可能状態に切り替えて、温度検出を実施する。これにより、波長可変干渉フィルター5の温度に対して適切に駆動電圧を印可させることができ、キャリブレーションの精度を向上させることができる。
具体的には、温度取得部422は、メモリー41から温度変換データを読み出し、この温度変換データから、検出された温度検信号に対する温度を取得する。
具体的には、電圧演算部423は、温度取得部422で取得された温度に対するV−λデータを、メモリー41から読み出す。このV−λデータには、測定波長に対して、第一駆動電圧源71Aにより設定する電圧、第二駆動電圧源71Bにより設定する電圧がそれぞれ記録されている。そして、電圧演算部423は、読み出したV−λデータから、波長可変干渉フィルター5から透過させる目的波長に対する第一駆動電圧源71Aの電圧、および第二駆動電圧源71Bの電圧をそれぞれ取得する。
また、光モジュール3の製造時において、実測値に基づいて予めV−λ近似式を作成してメモリー41に記憶しておく構成としてもよい。この場合では、電圧演算部423は、温度取得部422にて取得された温度と、基準温度との差分を算出して、V−λ近似式を補正し、補正したV−λ近似式に基づいて、目的波長に対する電圧値を取得する。
メモリー41に温度毎のV−λデータを記憶する場合、V−λデータのトータルデータサイズが大きくなり、記憶容量が大きいメモリー41を用いる必要がある。これに対して、上述のように、基準となるV−λデータやV−λ近似式のみを記憶して、測定温度に基づいたこれらのV−λデータや、V−λ近似式を補正して用いる場合では、メモリー容量が小さくてよく、システム構成をより簡単にすることができる。
すなわち、電圧制御部424は、処理切替部421により、第一スイッチ731および第二スイッチ78の接続状態が温度検出可能状態に切り替えられている場合、第一駆動電圧源71Aから予め設定された温度検出用電圧を温度センサー55に印加させる。
また、電圧制御部424は、処理切替部421により、第一スイッチ731および第二スイッチ78の接続状態が光量測定可能状態に切り替えられている場合、電圧演算部423で取得した電圧値に基づいて、第一駆動電圧源71A、第二駆動電圧源71Bから静電アクチュエーター54に電圧を印可させる。
次に、図5に示す本実施形態の光測定装置1のフローチャートに基づいて、当該光測定装置1の測定対象光の測定動作について説明する。
これには、まず、光測定装置1は、温度測定処理を実施する(ステップS1)。具体的には、制御装置4の処理切替部421は、第一スイッチ731および第二スイッチ78の接続状態を温度検出可能状態に切り替える。そして、電圧制御部424は、第一駆動電圧源71Aから温度センサー55に温度検出用電圧を印可し、温度取得部422は、温度センサー55から出力された温度検出信号に基づいて、波長可変干渉フィルター5の温度を取得する。また、温度取得部422は、取得した温度をメモリー41に記憶する。この時、メモリー41にすでに温度情報が記憶されていた場合は、このメモリー41に記憶されていた温度を、測定した温度に書き換える更新処理をする。
そして、光測定装置1は、電圧演算部423により、メモリー41からステップS1にて取得した測定温度に対応したV−λデータを読み込ませ、このV−λデータに基づいて、測定波長に対応した電圧(第一駆動電圧源71Aの電圧、および第二駆動電圧源71Bの電圧)を取得させる。また、処理切替部421は、第一スイッチ731および第二スイッチ78の接続状態を光量測定可能状態に切り替え、電圧制御部424は、電圧演算部423により取得された電圧に基づいて、第一駆動電圧源71Aおよび第二駆動電圧源71Bを制御して静電アクチュエーター54を駆動させる。
これには、まず、制御装置4は、初期化処理を実施し(ステップS3)、測定回変数nに「1」を設定し、内蔵タイマーの値tを「0」にリセットする。
この後、ステップS1において測定された測定温度に基づいて、所望の波長を検出部6で検出させるために必要な電圧を演算する処理を実施する(ステップS4)。
この電圧演算処理では、上述したように、電圧演算部423は、メモリー41から測定温度に対応したV−λデータを読み出し、測定波長に対応する電圧値を取得する。なお、予め基準温度におけるV−λデータやV−λ近似式のみが記憶される構成とした場合では、測定温度と基準温度との差分から、V−λデータやV−λ近似式を補正し、測定波長に対する電圧を演算する。
このステップS5では、処理切替部421は、第一スイッチ731および第二スイッチ78を光量測定可能状態に切り替える。そして、電圧制御部424は、第一駆動電圧源71Aおよび第二駆動電圧源71BからステップS4にて取得された電圧を出力させ、静電アクチュエーター54を駆動させる。
制御装置4の光量取得部425は、この光量検出信号から、測定波長の光の光量を取得する。また、光量取得部425は、取得した光量をメモリー41に記憶する。
そして、制御装置は、ステップS5の光量測定処理の後、測定回変数nに「1」を加算する(ステップS6)。
この場合、光測定装置1は、測定回変数nが測定規定回数N以上となったか否か、または、内蔵タイマーの値tが測定規定時間T以上となったか否かを判断する(ステップS8)。
また、制御装置4は、ステップS3と同様、初期化処理を実施し、測定回変数nに「1」を設定し、内蔵タイマーの値tを「0」にリセットする(ステップS10)。
この後、制御装置4は、ステップS4〜ステップS7の処理を実施して、光量測定処理を実施する。この時、ステップS4の電圧演算処理では、ステップS9で取得されてメモリー41に記憶された測定温度に基づいて、電圧を取得する。
上述したように、上記第一実施形態の光測定装置1の光モジュール3では、波長可変干渉フィルター5に温度センサー55が設けられ、この温度センサー55の一対のセンサー配線のうち第一センサー配線551が外側駆動端子部546Aに接続されている。また、光モジュール3のフィルター駆動回路部7では、外側駆動端子部546Aと第一駆動電圧源71Aとを接続する第一駆動回路72が設けられている。
このような構成では、外側駆動端子部546Aは、外側可動電極542Aとフィルター駆動回路部7との接続する接続端子として、また、温度センサー55とフィルター駆動回路部7とを接続する接続端子として用いることができる。したがって、波長可変干渉フィルター5上に、第一センサー配線551とフィルター駆動回路部7とを接続するためのセンサー端子を別途設ける必要がなく、波長可変干渉フィルター5上に温度センサー55を設ける場合でも配線構成を簡単にすることができる。
また、第一駆動電圧源71Aは、光量測定処理時において、外側固定電極541Aおよび外側可動電極542Aの間に印加する電圧を出力し、温度検出処理時において、温度センサー55に印加する温度検出用電圧を出力する。このため、フィルター駆動回路部7に、例えば温度センサー55を駆動するための駆動電圧源を別途設け、この温度センサー用の駆動電圧源と温度センサー55を接続する回路を設ける構成が不要となり、フィルター駆動回路部7における回路構成も簡単にできる。
また、このような配線構成が簡単な光モジュール3では、配線の手間や構成部材も少なくてよいため、製造コストも低減でき、光測定装置1のコストをも低減させることができる。
このような構成では、光量測定処理時に、第一スイッチ731を第一スイッチ状態に切り替え、温度検出処理時に、第一スイッチ731を第二スイッチ状態に切り替える。このように、第一スイッチ731の状態を切り替えるだけの簡単な回路構成で、光量測定処理と温度検出処理との双方を切り替えて行うことができる。また、可動基板52に別途第二センサー配線552用の端子を設ける必要がないため、波長可変干渉フィルター5の配線構成を簡単にできる。また、このようなセンサー用の端子を設ける必要がないため、フィルター駆動回路部7における回路構成も簡単にすることができる。
このように、第一スイッチ731および第二スイッチ78のスイッチ切替制御により、温度検出処理と光量検出処理とを切り替えるので、処理切替制御を正確、かつ簡単に実施することができ、回路構成も簡単にできる。
次に、本発明に係る第二実施形態の光測定装置について、図面に基づいて説明する。
図6は、第二実施形態の波長可変干渉フィルターの平面図であり、図7は、第二実施形態の光モジュールの駆動回路部の一部を示す回路図である。なお、以降の実施形態の説明にあたり、第一実施形態と同一の構成については、同符号を付し、その説明を省略または簡略する。
これに対して、第二実施形態では、波長可変干渉フィルター5A上に分圧部58が設けられる構成が採られ、温度センサー55に印加する電圧をより正確に制御可能な構成となっている。
上述したような第二実施形態の光測定装置では、波長可変干渉フィルター5Aの可動基板52上に、内側駆動端子部546Bと共通電極端子部543Aとを、負荷抵抗581を介して接続する分圧部58が設けられている。
このような構成では、共通電極端子部543Aがフィルター駆動回路部7内において接地回路76に接続されている。したがって、第二センサー配線552の電位を「0」に正確に設定することができ、上記第一実施形態と比べて、より正確に温度センサー55に第一駆動電圧源71Aにて設定された電圧が印可されることとなり、正確な温度を検出することができる。
次に、本発明の第三実施形態の光測定装置について、図面に基づいて説明する。
図8は、本発明の第三実施形態の波長可変干渉フィルターの平面図である。
上記第一および第二実施形態では、静電アクチュエーター54は、外側固定電極541Aおよび外側可動電極542Aにより構成される外側電極部と、内側固定電極541Bおよび内側可動電極542Bにより構成される内側電極部とにより構成されていた。これに対して、第三実施形態の光学装置の波長可変干渉フィルター5Bは、静電アクチュエーター54が3つの電極部により構成される。
すなわち、本実施形態では、外側可動電極542Aが本発明の第一部分電極を構成し、中間可動電極542Cが本発明の第二部分電極を構成する。
上記第三実施形態の光測定装置においても、上記第一実施形態や第二実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、第一センサー配線551は、外側駆動端子部546Aに接続され、第二センサー配線552は、中間駆動端子部546Cに接続されている。このため、波長可変干渉フィルター5Bの静電アクチュエーター54が設けられる場合であっても、温度センサー55のセンサー配線551,552を接続するための専用の端子部を設ける必要がないため、簡単な配線構成で、温度センサー55を備えた波長可変干渉フィルター5Bを提供することができる。
また、フィルター駆動回路部7においても、温度センサー55を駆動させるための専用の電圧源や、このような電圧源とセンサー配線551,552とを接続する回路が不要となり、配線構成を簡単にできる。
そして、静電アクチュエーター54を3つの電極部に分割する構成では、上記第一および第二実施形態のように、2つの電極部により静電アクチュエーター54が構成される場合に比べて、より精密なギャップ可変制御を実施することができ、より精度の高い光量測定処理を実施することができる。
上記第三実施形態でのフィルター駆動回路部の構成は、図示は省略するが、第一実施形態と同様の構成となり、フィルター駆動回路部内に分圧部を設ける構成となる。一方、第二実施形態のように、波長可変干渉フィルター内に分圧部58を設ける構成としてもよい。
図9は、3つの電極部により静電アクチュエーター54を構成する波長可変干渉フィルターにおいて、可動基板52上に分圧部58を設けた構成の例を示す平面図である。
そして、第一センサー配線551は、中間駆動端子部546Cに接続され、第二センサー配線552は、外側駆動端子部546Aに接続されている。
また、可動基板52上には、外側駆動端子部546Aと共通電極端子部543Aとを、負荷抵抗581を介して接続する分圧部58が設けられている。
このような波長可変干渉フィルター5Cを備えた光モジュール3では、フィルター駆動回路部において、外側駆動端子部546Aに、第一スイッチを有する第二駆動回路が接続され、中間駆動端子部546Cに、第一駆動回路が接続される。
次に、本発明の第四実施形態の光測定装置について説明する。
上記第三実施形態では、静電アクチュエーター54が複数の電極部を備える構成を例示したが、第四実施形態では、静電アクチュエーター54が1つの電極部により構成される例を示す。
図10は、第四実施形態の波長可変干渉フィルターの平面図である。
一方、第二センサー配線552は、波長可変干渉フィルター5の外周部に設けられたセンサー端子部553に接続される。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
この場合、フィルター駆動回路部7の温度検出回路74Aは、インバーター742を備え、このインバーター742により、水晶振動子から出力された電流を交流電圧信号に変換して制御装置4に出力する。
また、フィルター駆動回路部7Aでは、第一駆動回路72に第三スイッチ721を設け、第二駆動回路73に第一スイッチ731を設ける。第三スイッチ721は、第一スイッチ731を同様の切り替え制御により処理可能である。すなわち、第三スイッチ721は、処理切替部421の制御により切り替えられ、光量測定処理時には、第一駆動電圧源71Aと外側駆動端子部546Aとをバッファ72Aを介して接続する第一接続状態となり、温度検出処理時には、インバーター742の出力側と、外側駆動端子部546Aとを接続する第二接続状態となる。
このような構成でも、上記第一実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
例えば、固定電極541の代わりに、第一誘電コイルを配置し、第二電極の代わりに第二誘電コイルまたは永久磁石を配置した誘電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。例えば第一誘電コイルおよび永久磁石が設けられる構成では、第一誘電コイルに流す電流により磁力を発生させ、永久磁石との間で発生する引力または斥力により可動部521を変位させる。このような構成では、第一誘電コイルに電圧を印可するための駆動電極線に温度センサー55の第一センサー配線551を接続すればよい。また、第一誘電コイルを複数の部分誘電コイルにて構成される場合では、複数の部分誘電コイルのうちの1つに第一センサー配線551を接続し、他の1つに第二センサー配線552を接続する構成としてもよい。
Claims (8)
- 第一基板、
前記第一基板に対向する第二基板、
前記第一基板に設けられた第一反射膜、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、
電圧が印可されることで、前記ギャップの寸法を変化させるギャップ可変部、
前記ギャップ可変部と電気的に接続された駆動電極線、
および、波長可変干渉フィルターの温度を検出するとともに、第一センサー配線および第二センサー配線を有する温度センサー、
を備える前記波長可変干渉フィルターと、
前記駆動電極線に接続されて、前記ギャップ可変部および前記温度センサーに電圧を印加する駆動回路、
前記第二センサー配線に接続されて、前記温度センサーから出力された温度検出信号が入力される温度検出回路、
を備えるフィルター駆動回路部と、を具備し、
前記第一センサー配線は、前記駆動電極線に接続された
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールにおいて、
前記ギャップ可変部は、第一基板に設けられた第一電極と、第二基板に設けられ、第一電極に対して電極間ギャップを介して対向する第二電極とを備えた静電アクチュエーターであり、
前記第二電極は、第一部分電極と、第二部分電極と、を備え、
前記駆動電極線は、前記第一部分電極に接続される第一駆動電極線と、第二部分電極に接続される第二駆動電極線と、を備え、
前記第一センサー配線は、前記第一駆動電極線に接続され、
前記第二センサー配線は、前記第二駆動電極線に接続され、
前記フィルター駆動回路部は、
第一駆動電圧源および前記第一駆動電極線を接続して、前記第一部分電極または前記温度センサーに電圧を印可する第一駆動回路と、
第二駆動電圧源および前記第二駆動電極線を接続して前記第二部分電極に電圧を印可する第一スイッチ状態と、前記温度検出回路および前記第二駆動電極線を接続して、前記第一駆動電圧源により電圧が印可された前記温度センサーから出力される前記温度検出信号を前記温度検出回路に出力する第二スイッチ状態と、を切り替える第一スイッチを有する第二駆動回路と、
を備えたことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1または請求項2に記載の光モジュールにおいて、
前記温度センサーは、温度変化により抵抗値が変化するサーミスタまたは測温金属抵抗体である
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項3に記載の光モジュールにおいて、
前記温度センサーと前記温度検出回路との間には、負荷抵抗を介して接地される分圧部が設けられた
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項4に記載の光モジュールにおいて、
前記ギャップ可変部は、第一電極と、前記駆動電極線が接続された第二電極と、を備え、
前記波長可変干渉フィルターは、
前記第一電極に接続された基準電極線を備え、
前記フィルター駆動回路部は、前記第二センサー配線を負荷抵抗を介して接地する分圧部と、前記基準電極線を接地する接地回路と、を備えた
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の光モジュールと、前記ギャップ可変部に印加する電圧を制御する制御部と、を備えた光測定装置であって、
前記制御部は、
前記温度センサーにより検出された温度を取得する温度取得部と、
前記温度取得部により取得された温度に基づいて、前記波長可変干渉フィルターから目的波長の光を透過させるために必要な前記ギャップ可変部への印可電圧を演算する電圧演算部と、
前記駆動回路を制御して、前記電圧演算部により演算された電圧を前記ギャップ可変部に印加する電圧制御部と、
を備えたことを特徴とする光測定装置。 - 請求項6に記載の光測定装置において、
前記ギャップ可変部は、第一基板に設けられた第一電極と、第二基板に設けられ、第一電極に対して電極間ギャップを介して対向する第二電極とを備えた静電アクチュエーターであり、
前記第二電極は、第一部分電極と、第二部分電極と、を備え、
前記駆動電極線は、前記第一部分電極に接続される第一駆動電極線と、第二部分電極に接続される第二駆動電極線と、を備え、
前記第一センサー配線は、前記第一駆動電極線に接続され、
前記第二センサー配線は、前記第二駆動電極線に接続され、
前記フィルター駆動回路部は、
第一駆動電圧源および前記第一駆動電極線を接続して、前記第一部分電極または前記温度センサーに電圧を印可する第一駆動回路と、
第二駆動電圧源および前記第二駆動電極線を接続して前記第二部分電極に電圧を印可する第一スイッチ状態と、前記温度検出回路および前記第二駆動電極線を接続して、前記第一駆動電圧源により電圧が印可された前記温度センサーから出力される前記温度検出信号を前記温度検出回路に出力する第二スイッチ状態と、を切り替える第一スイッチを有する第二駆動回路と、
を備え、
前記制御部は、前記第一スイッチを制御して、前記第一スイッチ状態と第二スイッチ状態とを切り替える処理切替部を備えた
ことを特徴とする光測定装置。 - 請求項7の記載の光測定装置において、
前記光モジュールは、前記波長可変干渉フィルターを透過した透過光を受光して、受光した光の光量を検出する検出部を備え、
前記フィルター駆動回路部は、前記検出部および前記制御部を接続する第三スイッチ状態と、前記温度検出回路および前記制御部を接続する第四スイッチ状態と、を切り替える第二スイッチを備え、
前記処理切替部は、前記第一スイッチを前記第一スイッチ状態に切り替えた際に、前記第二スイッチを前記第三スイッチ状態に切り替え、前記第一スイッチを第二スイッチ状態に切り替えた際に、前記第二スイッチを第四スイッチ状態に切り替える
ことを特徴とする光測定装置。
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