JP6496973B2 - 光フィルター、光学モジュール、電子機器 - Google Patents
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Description
本発明の一態様の光フィルターは、第1反射膜と、前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、前記第1反射膜の前記第2反射膜と対向する面に重ねて設けられた第1導電膜と、前記第2反射膜の前記第1反射膜と対向する面に重ねて設けられた第2導電膜と、を含み、前記第1導電膜及び前記第2導電膜は光を透過し、前記第1導電膜と前記第2導電膜とは電気的に開閉されることを特徴とする。
本適用例にかかる光フィルターであって、第1反射膜と、前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、前記第1反射膜の前記第2反射膜と対向する面に重ねて設けられ光透過性及び導電性を有する第1導電膜と、前記第2反射膜の前記第1反射膜と対向する面に重ねて設けられ光透過性及び導電性を有する第2導電膜と、前記第1導電膜と接続する第1端子と、前記第2導電膜と接続する第2端子と、を備え、前記第1端子と前記第2端子とは電気的に開閉されることを特徴とする。
上記適用例にかかる光フィルターにおいて、前記第1反射膜及び前記第2反射膜は銀を含む膜であり、前記第1導電膜と前記第2導電膜とのうち少なくとも一方はIn−Ga−Oを主成分とする膜であることを特徴とする。
上記適用例にかかる光フィルターにおいて、前記第1反射膜と前記第2反射膜とのうち少なくとも一方は側面が露出することを特徴とする。
上記適用例にかかる光フィルターにおいて、前記第1端子と前記第2端子とを用いて前記第1導電膜と前記第2導電膜との間の静電容量が検出されることを特徴とする。
上記適用例にかかる光フィルターにおいて、前記第1反射膜及び前記第2反射膜は光が照射される有効範囲と、前記有効範囲を囲む場所に光が照射されない予備範囲と、を備えることを特徴とする。
本適用例にかかる光学モジュールであって、第1反射膜と、前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、前記第1反射膜の前記第2反射膜と対向する面に重ねて設けられ光透過性及び導電性を有する第1導電膜と、前記第2反射膜の前記第1反射膜と対向する面に重ねて設けられ光透過性及び導電性を有する第2導電膜と、前記第1導電膜と前記第2導電膜とを電気的に開閉する電気開閉部と、を備えることを特徴とする。
上記適用例にかかる光学モジュールにおいて、前記第1導電膜と前記第2導電膜との間の静電容量を検出する容量検出部を備えることを特徴とする。
本適用例にかかる電子機器であって、第1反射膜と、前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、前記第1反射膜の前記第2反射膜と対向する面に重ねて設けられ光透過性及び導電性を有する第1導電膜と、前記第2反射膜の前記第1反射膜と対向する面に重ねて設けられ光透過性及び導電性を有する第2導電膜と、前記第1導電膜と前記第2導電膜とを電気的に開閉する電気開閉部と、を有する光学モジュールと、前記光学モジュールを制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。
本適用例にかかる光フィルターの製造方法であって、基板に反射膜を形成する工程と、前記反射膜に重ねて光透過性及び導電性を有する導電膜を形成する工程と、前記導電膜にレジストをパターン形成した後に、前記反射膜及び前記導電膜をエッチングする工程と、を有することを特徴とする。
(第1の実施形態)
第1の実施形態にかかわる分光測定装置について図1〜図6に従って説明する。図1は、分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。電子機器としての分光測定装置1は電子機器の一例であり、測定対象物2で反射した測定対象光における各波長の光強度を分析して分光スペクトルを測定する装置である。尚、分光測定装置1は測定対象物2で反射した測定対象光を測定する。例えば液晶パネル等の発光体である場合には測定対象物2から発光された光を測定してもよい。
(1)本実施形態によれば、第1反射膜18には第1保護膜26が重ねて設けられ、第2反射膜19には第2保護膜27が重ねて設けられている。第1反射膜18及び第2反射膜19は第1保護膜26または第2保護膜27により経時変化が生じ難くすることができる。
(光学フィルターデバイス)
次に、光学フィルターデバイスの一実施形態について説明する。本実施形態の光学フィルターデバイスには第1の実施形態に記載された波長可変干渉フィルター5が搭載されている。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。図7は、光学フィルターデバイスの概略構成を示す断面図である。
図8は、測色装置の構成を示すブロック図である。図8に示すように、電子機器としての測色装置78は、測定対象物2に光を射出する光源装置79と、測色センサー80(光学モジュール)と、測色装置78の全体動作を制御する制御装置81とを備える。そして、この測色装置78は光源装置79から射出される光を測定対象物2にて反射させる。反射された検査対象光を測色センサー80が受光し、測色センサー80から出力される検出信号に基づいて測色装置78は検査対象光の色度すなわち測定対象物2の色を分析して測定する。
次に、電子機器の例として特定物質の存在を検出するための光ベースのシステムを紹介する。このようなシステムとしては、例えば、光学モジュールを用いた分光計測方式を採用して特定ガスを高感度検出する車載用ガス漏れ検出器や、呼気検査用の光音響希ガス検出器等のガス検出装置を例示できる。このようなガス検出装置の一例を以下に図面に基づいて説明する。
また、特定物質の存在を検出するためのシステムは上記のようなガスの検出に限らない。近赤外線分光による糖類の非侵襲的測定装置や食物、生体、鉱物等の情報の非侵襲的測定装置等の物質成分分析装置を例示できる。以下に、物質成分分析装置の一例として食物分析装置を説明する。
また、電子機器としては光学モジュール3により光を分光させて分光画像を撮像する分光カメラや分光分析機等に光学モジュール3を適用できる。このような分光カメラの一例として、波長可変干渉フィルター5を内蔵した赤外線カメラが挙げられる。図12は、分光カメラの構成を示す概略斜視図である。図12に示すように、電子機器としての分光カメラ135はカメラ本体136、撮像レンズユニット137及び撮像部138を備えている。カメラ本体136は利用者により把持され操作される部分である。
(変形例1)
前記第1の実施形態では、第1保護膜26及び第2保護膜27の材料に酸化インジウムガリウム(InGaO)を用いた。第1保護膜26に酸化インジウムガリウム(InGaO)を用いて、第2保護膜27の材料には他の材料を用いても良い。第2保護膜27に酸化インジウムガリウム(InGaO)を用いて、第1保護膜26の材料には他の材料を用いても良い。第1反射膜18及び第2反射膜19の材質に合わせて設定しても良い。
前記第1の実施形態では、第1反射膜18及び第2反射膜19の両方の側面が露出する形態となっていた。第1反射膜18の側面を露出させて、第2反射膜19の側面は第2保護膜27に覆われた形態にしても良い。第2反射膜19の側面を露出させて、第1反射膜18の側面は第1保護膜26に覆われた形態にしても良い。製造工程に合わせて設定しても良い。
前記第1の実施形態では、第2配線30と第2端子32とは樹脂バンプ31により連結された。第2配線30と第2端子32との接続は他の方法で接続しても良い。第2配線30に接続する電極と第2端子32に接続する電極とを面接触させても良い。第2配線41と第4端子43とは樹脂バンプ42により連結された。樹脂バンプ31と同様に、第2配線41と第4端子43との接続は他の方法で接続しても良い。第2配線41に接続する電極と第4端子43に接続する電極とを面接触させても良い。
Claims (8)
- 第1反射膜と、
前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、
前記第1反射膜の前記第2反射膜と対向する面に重ねて設けられた第1導電膜と、
前記第2反射膜の前記第1反射膜と対向する面に重ねて設けられた第2導電膜と、
前記第1反射膜及び前記第2反射膜は光が照射される有効範囲と、前記有効範囲を囲む場所に光が照射されない予備範囲と、
を含み、
前記第1導電膜及び前記第2導電膜は光を透過し、
前記第1導電膜と前記第2導電膜とは電気的に開閉され、
前記第1反射膜及び前記第2反射膜は導電性であり、
前記第1反射膜の前記第2反射膜と対向する面とは反対側の面に第1配線を有し、
前記第2反射膜の前記第1反射膜と対向する面とは反対側の面に第2配線を有し、
前記第1反射膜及び前記第2反射膜は、前記予備範囲における側面が全て露出していることを特徴とする光フィルター。 - 請求項1に記載の光フィルターであって、
前記第1導電膜と接続された第1端子と、
前記第2導電膜と接続された第2端子と、
を含み、
前記第1端子と前記第2端子とは電気的に開閉されることを特徴とする光フィルター。 - 請求項1または2に記載の光フィルターであって、
前記第1反射膜及び前記第2反射膜は銀を含む膜であり、前記第1導電膜と前記第2導電膜とのうち少なくとも一方はIn−Ga−Oを主成分とする膜であることを特徴とする光フィルター。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の光フィルターであって、
露出する前記第1反射膜及び前記第2反射膜の前記側面は、円環状であることを特徴とする光フィルター。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の光フィルターであって、
前記第1導電膜と前記第2導電膜との間の静電容量が検出されることを特徴とする光フィルター。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の光フィルターと、
前記第1導電膜と前記第2導電膜とを電気的に開閉する電気開閉部と、
を含むことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項6に記載の光学モジュールであって、
前記第1導電膜と前記第2導電膜との間の静電容量を検出する容量検出部を備えること
を特徴とする光学モジュール。 - 請求項6または7に記載の光学モジュールと、
前記光学モジュールを制御する制御部と、
を含むことを特徴とする電子機器。
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