JP2013096883A - 分光測定装置 - Google Patents
分光測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013096883A JP2013096883A JP2011240914A JP2011240914A JP2013096883A JP 2013096883 A JP2013096883 A JP 2013096883A JP 2011240914 A JP2011240914 A JP 2011240914A JP 2011240914 A JP2011240914 A JP 2011240914A JP 2013096883 A JP2013096883 A JP 2013096883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- unit
- amount
- external light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 124
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 76
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 57
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 48
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 29
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 10
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 6
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 14
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 7
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/027—Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0297—Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/32—Investigating bands of a spectrum in sequence by a single detector
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】分光測定装置1は、発光波長が異なる複数のLEDを備えた光源部16と、所定波長の光を選択して取り出す波長可変干渉フィルター5と、光量を検出するディテクター11と、制御回路部20と、を備え、制御回路部20は、校正モード及び測定モードを切り替えるモード切替部21と、校正モードにおいて外光の特性を解析する外光解析部23と、外光の特性に基づいて各LEDの発光量を設定する基準光設定部24と、測定モードにおいて設定された発光量に基づいて各LEDを駆動させる光源駆動部25と、を備える。
【選択図】図1
Description
この特許文献1に記載の分光測定装置(マルチチャンネル分光器)は、サンプル(測定対象)に対して、光源からの光を照射し、測定対象で反射された反射光を干渉フィルターに入射させる。そして、干渉フィルターにより取り出された光をフォトダイオードアレイ(検出部)で受光させている。
本発明では、光源部から対象物に対して基準光を射出し、対象物で反射された光を波長選択素子に入射させ、波長選択素子で取り出された光を検出部で検出する。光源部は、発光波長が異なる複数の発光素子により構成され、光源駆動部によりこれらの発光素子の発光状態を制御することで、各波長の光が混合されて基準光が生成される。
ところで、分光測定装置により分光測定を実施する場合、対象物で反射される光としては、光源部から射出される基準光以外に、外光成分が含まれる場合がある。このような外光成分が入った場合、正確な分光測定が実施できない場合がある。例えば特定波長の光量が大きい外光が入った場合、検出部で検出される当該特定波長に対する光量も大きくなり、対象物の測定精度が低下してしまう。
これに対して、本発明では、モード切替部により校正モードと測定モードとを切り替えることができ、校正モードでは、外光解析部により外光の特性を解析し、基準光設定部により、解析された外光の特性に応じて各発光素子の発光量を設定する。
そして、測定モードでは、光源駆動部は、校正モードによって設定された発光量で各発光素子を駆動させる。これにより、外光が入射した場合でも、当該外光を考慮した基準光を測定対象物に対して射出することができ、分光測定装置による正確なスペクトル特性の測定を実施することができる。
また、このように外光を考慮した光源部の各発光素子の発光量を設定することにより、例えば信号のゲイン調整等、測定値の補正処理が不要となり、容易に対象物のスペクトル特性を測定できる。
さらに、例えば白色光源等、1つの光源(発光素子)を用いて測定を実施する場合、特定波長域の光量が小さくなる。これに対して、本発明では、各波長に対応した発光素子の光量を設定することができる。したがって、全波長域に対して測定に適した光量を有する基準光を用いることができるので、信号強度を大きくでき、S/N比を向上させることができる。
本発明によれば、外光解析部は、外光の特性として、外光の各波長に対する光量を取得する。すなわち、外光解析部は、外光のスペクトル特性を解析する。このように、外光のスペクトル特性を解析することで、例えば光量が不足している波長に対してその不足分を発光素子で補うように発光素子の発光量を設定すればよく、外光の光量が大きすぎる波長に対しては、発光素子の発光量を低く設定すればよい。これにより、各波長に対して発光素子の発光量を容易に、かつ詳細に設定することができ、外光を考慮した最適な基準光の設定を実施することができる。これにより、分光測定装置を測定モードで動作させた際の測定精度を向上させることができる。
これにより、外光の特性に加え、検出部や波長選択素子の特性に応じた発光素子の発光量の設定ができ、より精度の高い測定を実施することができる。また、検出部の感度特性や波長選択素子の分光特性が小さい低感度帯域に対して、発光素子の発光量を増大させることができるため、信号強度を増大させることができ、S/N比の向上を図れる。
本発明によれば、外光の光量を検出するための外光検出部が設けられており、外光解析部は、外光検出部の検出結果に基づいて外光の特性を解析する。このように、外光検出部を設ける構成では、光源部から基準光を射出させている状態であっても、外光のみの特性を解析することができる。したがって、例えば測定モードにおいても、外光の特性を解析することができる。
本発明によれば、外光検出部により外光のみを基準光と分けて検出することができるので、測定モードにおいても、例えば外光解析部で外光を解析することができる。そして、基準光設定部は、測定モードにおいて、外光監視部により変化量が算出されると、発光素子の発光量を補正する。このため、例えば測定モードにおいて、外光の光量が変動した場合であっても、基準光の各波長の発光量を外光に応じて変化させることができ、測定精度の低下を抑制することができる。
以下、本発明に係る第一実施形態を図面に基づいて説明する。
[分光測定装置の構成]
図1は、本発明に係る分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
分光測定装置1は、対象物Xで反射された測定対象光における各波長の光量(光強度)を取得し、測定対象光のスペクトル特性を測定する装置であり、特に、可視光域から近赤外光域をカバーしたスペクトル特性を測定する。
この分光測定装置1は、図1に示すように、波長可変干渉フィルター5と、ディテクター11(検出部)と、I−V変換器12と、アンプ13と、A/D変換器14と、電圧制御回路15と、光源部16と、光源駆動回路17と、制御回路部20(制御部)と、を備えている。
ここで、分光測定装置1に組み込まれる波長可変干渉フィルター5について、以下説明する。図2は、波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図である。図3は、図2をIII−III線で断面にした断面図である。
波長可変干渉フィルター5は、本発明の波長選択素子を構成する光学部材である。この波長可変干渉フィルター5は、図2、図3に示すように、固定基板51および可動基板52を備えている。これらの固定基板51及び可動基板52は、それぞれ例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラスなどの各種ガラスや、水晶などにより形成されている。そして、これらの固定基板51及び可動基板52は、固定基板51の第一接合部513及び可動基板の第二接合部523が、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜53(第一接合膜531及び第二接合膜532)により接合されることで、一体的に構成されている。
また、波長可変干渉フィルター5を固定基板51(可動基板52)の基板厚み方向から見た図2に示すようなフィルター平面視において、固定基板51及び可動基板52の平面中心点Oは、固定反射膜54及び可動反射膜55の中心点と一致し、かつ後述する可動部521の中心点と一致する。
なお、以降の説明に当たり、固定基板51または可動基板52の基板厚み方向から見た平面視、つまり、固定基板51、接合膜53、及び可動基板52の積層方向から波長可変干渉フィルター5を見た平面視を、フィルター平面視と称する。
固定基板51には、エッチングにより電極配置溝511および反射膜設置部512が形成されている。この固定基板51は、可動基板52に対して厚み寸法が大きく形成されており、固定電極561および可動電極562間に電圧を印加した際の静電引力や、固定電極561の内部応力による固定基板51の撓みはない。
また、固定基板51の頂点C1には、切欠部514が形成されており、波長可変干渉フィルター5の固定基板51側に、後述する可動電極パッド564Pが露出する。
また、固定基板51には、電極配置溝511から、固定基板51の外周縁の頂点C1,頂点C2に向かって延出する電極引出溝511Bが設けられている。
そして、固定基板51には、固定電極561の外周縁から、頂点C2方向に延出する固定引出電極563が設けられている。この固定引出電極563の延出先端部(固定基板51の頂点C2に位置する部分)は、電圧制御回路15に接続される固定電極パッド563Pを構成する。
なお、本実施形態では、電極設置面511Aに1つの固定電極561が設けられる構成を示すが、例えば、平面中心点Oを中心とした同心円となる2つの電極が設けられる構成(二重電極構成)などとしてもよい。
この反射膜設置部512には、図3に示すように、固定反射膜54が設置されている。この固定反射膜54としては、例えばAg等の金属膜や、Ag合金等の合金膜を用いることができる。また、例えば高屈折層をTiO2、低屈折層をSiO2とした誘電体多層膜を用いてもよい。さらに、誘電体多層膜上に金属膜(又は合金膜)を積層した反射膜や、金属膜(又は合金膜)上に誘電体多層膜を積層した反射膜、単層の屈折層(TiO2やSiO2等)と金属膜(又は合金膜)とを積層した反射膜などを用いてもよい。
可動基板52は、図2に示すようなフィルター平面視において、平面中心点Oを中心とした円形状の可動部521と、可動部521と同軸であり可動部521を保持する保持部522と、保持部522の外側に設けられた基板外周部525と、を備えている。
また、可動基板52には、図2に示すように、頂点C2に対応して、切欠部524が形成されており、波長可変干渉フィルター5を可動基板52側から見た際に、固定電極パッド563Pが露出する。
なお、固定基板51と同様に、可動部521の固定基板51とは反対側の面には、反射防止膜が形成されていてもよい。このような反射防止膜は、低屈折率膜および高屈折率膜を交互に積層することで形成することができ、可動基板52の表面での可視光の反射率を低下させ、透過率を増大させることができる。
可動反射膜55は、可動部521の可動面521Aの中心部に、固定反射膜54と反射膜間ギャップG1を介して対向して設けられる。この可動反射膜55としては、上述した固定反射膜54と同一の構成の反射膜が用いられる。
なお、本実施形態では、上述したように、電極間ギャップG2のギャップ量が反射膜間ギャップG1のギャップ量よりも大きい例を示すがこれに限定されない。例えば、測定対象光として赤外線や遠赤外線を用いる場合等、測定対象光の波長域によっては、反射膜間ギャップG1のギャップ量が、電極間ギャップG2のギャップ量よりも大きくなる構成としてもよい。
なお、本実施形態では、ダイアフラム状の保持部522を例示するが、これに限定されず、例えば、平面中心点Oを中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
図4は、波長可変干渉フィルター5の透過特性(近赤外域)を示す図である。
図4に示すように、波長可変干渉フィルター5は、透過させる波長により透過率が変化する。
一般に、各波長に対する光量が同一である場合、波長が短いほど光エネルギーが大きくなり、波長が長くなるにしたがって光エネルギーが小さくなる。したがって、波長可変干渉フィルター5の近赤外域における分光特性(透過特性)は、図4に示すように、長波長域に向かうに従って透過率が小さくなる傾向がある。
また、波長可変干渉フィルター5の透過特性は、例えば固定反射膜54や可動反射膜55の膜材料等によっても変化する。例えば、反射膜54,55として、AgやAg合金等の金属膜、金属合金膜を用いる場合、反射膜54,55が有する吸光特性により、透過率が低下する場合がある。なお、反射膜54,55として誘電体多層膜を用いる場合では、測定対象波長域が狭くなるものの、各波長に対して一様な透過特性を持たせることもできる。
図1に戻り、ディテクター11は、波長可変干渉フィルター5を透過した光を受光し、受光した光の光量に応じた検出信号(電流)を出力する。
本実施形態では、ディテクター11として、紫外域から近赤外域の波長域の光の受光により、受光量に応じた検出信号を出力可能なSiフォトダイオードを用いる。
図5は、本実施形態のディテクターにおける検出感度特性を示す図である。
ディテクター11は、各受光波長に対して異なる感度(相対出力)を有する。つまり、ディテクター11に、同一光量である波長Aの光と波長Bの光とをそれぞれ受光させた場合でも、ディテクター11から出力される検出信号は異なる値となる。
例えば本実施形態のSiフォトダイオードでは、図5に示すように、900から1000nmの間で感度が最も良いピーク感度波長λdpを有し、当該ピーク感度波長dpより大きい波長の光に対して急激に感度が低下する。また、ピーク感度波長λdpより小さい波長の光に対して、波長が小さくなるにしたがって緩やかに感度が低下する。
I−V変換器12は、ディテクター11から入力された検出信号を電圧値に変換し、アンプ13に出力する。
アンプ13は、I−V変換器12から入力された検出信号に応じた電圧(検出電圧)を増幅する。
A/D変換器14は、アンプ13から入力された検出電圧(アナログ信号)をデジタル信号に変換し、制御回路部20に出力する。
電圧制御回路15は、制御回路部20の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター5の後述する静電アクチュエーター56に対して駆動電圧を印加する。
図6は、光源部16の概略構成を示す模式図である。
光源部16は、対象物Xに対して基準光を射出する。この光源部16は、図6に示すように、発光波長が異なる複数のLED(発光素子)161を備えている。
ここで、光源部16は、各発光波長に対応したLED161を少なくとも1つ以上備えている。例えば、図6に示す例では、光源部16は、波長Aに対応したLED161を2つ、波長Bに対応したLED161を1つ、波長Cに対応したLED161を1つ、波長Dに対応したLED161を2つ、波長Eに対応したLED161を5つ、波長Fに対応したLED161を6つ、波長Gに対応したLED161を7つ備えている。
なお、LED161の配置としては、図6に示すような配置に限定されず、例えば図7に示すように、同心円となる複数の仮想円に沿って円環状に沿って配置される構成としてもよい。図7は、光源部16におけるLED161の他の例を示す模式図である。このような配置では、例えば個数が少ないLED161(例えば、図7に示す例では、波長A,B,C,D,Eに対応したLED161)を内径側に配置し、個数が多いLED161(例えば、図7に示す例では、波長E,F,Gに対応したLED161)を外径側に配置する構成としてもよい。このような構成とすることで、LED161の配置バランスを均一にできる。また、図6、図7では、同一波長に対応したLED161を隣合せて配置する構成例を示したが、例えば、基準光の光路に対して直交する面内において、各波長に対応したLED161が均一に配置される構成としてもよい。
更に、図6、図7では、円環に沿ってLED161が配列する構成を示すが、例えばマトリクス状にLED161が配置される構成としてもよい。
この光源駆動回路17は、制御回路部20から入力される光源制御信号に基づいて、スイッチ回路を制御して、点灯させるLED161をオン状態にし、当該点灯対象のLED161に対して駆動電圧を印加する。
次に、分光測定装置1の制御回路部20について、説明する。
制御回路部20は、例えばCPUやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置1の全体動作を制御する。この制御回路部20は、図1に示すように、モード切替部21、フィルター駆動部22、外光解析部23、基準光設定部24、光源駆動部25、及び測定部26を備えている。
校正モードは、対象物Xを基準校正物として、光源部16から射出させる基準光の各波長における光量を設定する動作モードである。
測定モードは、対象物Xのスペクトル特性を測定する動作モードである。
このモード切替部21は、分光測定装置1による測定開始時において、まず動作モードを校正モードに切り替え、この校正モードが終了した後に、測定モードに切り替える。なお、モード切替部21による動作モードの切り替えタイミングとしては、上記に限定されず、例えば測定者の設定入力により、動作モードを切り替えてもよい。
ここで、フィルター駆動部22は、各動作モードにおいて、静電アクチュエーター56に印加するステップ電圧を段階的に切り替える。これにより、波長可変干渉フィルター5を透過する光の波長が、段階的に切り替えられる。
また、本実施形態の校正モードでは、光源部16が停止された状態で実施される。したがって、校正モードでは、対象物Xで反射された外光のみが波長可変干渉フィルター5に入射し、波長可変干渉フィルター5を透過した光がディテクター11で受光される。
そして、外光解析部23は、ディテクター11から出力された検出信号に基づいて、外光のスペクトル特性、すなわち外光における各波長の光量を取得する。
Fnλ=FOλ+FLλ …(1)
FOλ=AOλ×fdλ×ffλ …(2)
FLλ=ALλ×fdλ×ffλ …(3)
そして、基準校正物として基準白色板を用いる場合、基準光設定部24は、下記(4)式に基づいて各波長に対応したLED161の発光量ALλの値を算出する。これにより、光源部16における各LED161の発光量が設定される。
ALλ=(S−FOλ)/(fdλ×ffλ) …(4)
また、設定値Sとしては、例えば外光解析部23により取得される外光の各波長に対する光量のうち、最大光量値を採択してもよい。この場合、最大光量値に対応する波長に対して、LED161を点灯させる必要がなくなり、省電力化を図ることができる。このような設定値Sは、特に、外光の光量が大きい場合に有効となる。
また、設定値Sとして、以下のような値と設定してもよい。すなわち、基準光設定部24は、各波長に対応したLED161の発光量を最大発光量に設定(全点灯)した際に、ディテクター11から出力される出力値Fλを例えば(1)式に基づいて試算する。そして、試算された各出力値Fλのうち、最小値を設定値Sとして設定する。この場合、外光を考慮し、かつ基準光の光量が最大となる設定を行える。
測定部26は、測定モードにおいて、ディテクター11から出力された検出信号に基づいて、各波長に対する光量を取得、すなわち対象物Xのスペクトル特性を取得する。
次に、上述した分光測定装置1による分光測定方法について、図面に基づいて説明する。
図8は、本実施形態の分光測定方法のフローチャートである。
図8に示すように、本実施形態の分光測定方法では、測定開始時、又は測定者により光源部16の校正を実施する旨の設定入力がなされると、モード切替部21は、動作モードを校正モードに設定する(S1)。
そして、この校正処理では、まず、光源駆動部25により光源部16の駆動が停止される(S2)。この後、外光解析部23による外光のスペクトル特性の解析が実施される(S3)。
このS3では、フィルター駆動部22の制御により、波長可変干渉フィルター5の静電アクチュエーター56に印加する駆動電圧が順次切り替える。これにより、対象物Xで反射され、波長可変干渉フィルター5を透過する光の波長が順次変更されてディテクター11にて受光される。そして、外光解析部23は、ディテクター11から出力された検出信号を取得し、外光の各波長における光量を取得する。すなわち、外光解析部23は、外光特性値FOλを取得する。
設定値Sの設定では、上述したように、基準校正物に対して予め設定された設定値Sを読み込んで設定してもよく、例えば外光解析部23により取得される外光の各波長に対する光量のうち、最大光量値を採択してもよい。また、各波長に対応したLED161の発光量を最大発光量に設定した際の出力値Fλを試算し、試算された各出力値Fλのうち、最小値を設定値Sとして設定してもよい。さらには、外光の光量に基づいて、上記のうちいずれかを選択する処理をしてもよい。
そして、基準光設定部24は、上記(4)式に基づいて、各波長に対して、各LED161の発光量ALλを設定する(S5)。
この測定処理では、光源駆動部25は、S5により設定された各LED161の発光量ALλに基づいて、各LED161を点灯させる(S7)。
この後、測定部26による測定対象物のスペクトル特性の測定が実施される(S8)。
このS8では、フィルター駆動部22の制御により、波長可変干渉フィルター5の静電アクチュエーター56に印加する駆動電圧が順次切り替える。これにより、測定対象物で反射され、波長可変干渉フィルター5を透過する光の波長が順次変更されてディテクター11にて受光される。そして、測定部26は、ディテクター11から出力された検出信号を取得し、測定対象物の各波長における光量を取得、すなわち測定対象物のスペクトル特性を測定する。
本実施形態の分光測定装置1では、校正モードにおいて、外光解析部23は、外光の特性を解析し、基準光設定部24は、解析された外光の特性に基づいて光源部16の各波長に対応するLED161の発光量を設定する。
このため、外光を考慮した基準光の設定ができ、測定モードにおいて、外光成分が含まれる場合であっても、高精度に対象物Xのスペクトル特性の測定を実施することができる。また、このように光源部16の基準光を、外光の特性に応じて調整することにより、例えば測定モードにおいて、ゲイン調整等や補正処理等を簡略化でき、迅速、かつ容易に高精度なスペクトル特性の測定を実施することができる。
また、例えばハロゲンランプ等、1つの光源から基準光を射出する構成と比べて、各波長域でのLED161の発光量を詳細に設定することができる。したがって、光量不足となる波長域がなくなり、各波長における信号強度を大きくすることができ、S/N比の向上を図れる。
そして、このような外光の光量に基づいて各LED161の発光量を設定することにより、基準光における各波長の光を、基準校正物に対応した最適な光量に設定することができる。したがって、このような最適光量に設定された基準光により測定モードの動作を実施することで、測定精度をより向上させることができる。
次に、本発明の第二実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以降の実施形態の説明に当たり、第一実施形態と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を省略又は簡略化する。
上記第一実施形態では、外光解析部23は、基準光の照射を停止した状態で外光のスペクトル特性を解析する例を示した。これに対して、本実施形態では、外光解析部は、光源部16から基準光を照射した状態で、外光の各波長に対する光量が所定値より大きいか否かを判断する点で上記第一実施形態と相違する。
図9に示すように、本実施形態の分光測定装置1Aは、波長可変干渉フィルター5と、ディテクター11(検出部)と、I−V変換器12と、アンプ13と、A/D変換器14と、電圧制御回路15と、光源部16と、光源駆動回路17と、制御回路部20Aと、を備えている。
また、本実施形態の制御回路部20Aは、モード切替部21、フィルター駆動部22、外光解析部23A、基準光設定部24A、光源駆動部25、測定部26、及び記憶部30を備える。
具体的には、外光解析部23Aは、光源部16のLED161が点灯された状態で、ディテクター11からの出力値が、オーバーレンジか否かを判断する。ここで、各波長に対するディテクター11からの出力値が、予め設定された規定値を超える場合、外光の光量が大きい、すなわち外光の光量が所定値を超えることを意味する。したがって、外光解析部23Aは、各波長に対するディテクター11からの出力値が、予め設定された規定値を超える場合に、オーバーレンジであると判断する。
そして、基準光設定部24Aは、外光解析部23Aによりオーバーレンジであると判断された波長に対して、当該波長に対応するLEDの発光量を低下させる。具体的には、基準光設定部24Aは、外光の光量が大きいと判断された波長に対応するLEDの点灯数を1つ減少させる。
次に、上記のような分光測定装置1Aによる分光測定方法について、図面に基づいて説明する。
図10は、分光測定装置1Aの分光測定方法を示すフローチャートである。
図10に示すように、本実施形態の分光測定装置1Aは、上記第一実施形態と同様に、測定開始時、又は測定者により光源部16の校正を実施する旨の設定入力がなされると、S1の処理を実施し、モード切替部21は、動作モードを校正モードに設定する。
この校正処理では、第一実施形態と同様に、対象物Xを基準校正物(基準白色板)として、光源部16の校正が実施される。
そして、本実施形態における校正処理では、まず、光源駆動部25は、光源部16の全てのLED161が点灯させる(S11)。
この後、フィルター駆動部22は、波長可変干渉フィルター5の静電アクチュエーター56に印加する駆動電圧を順次切り替える(S12)。これにより、対象物Xで反射され、波長可変干渉フィルター5を透過する光の波長が順次変更されてディテクター11にて受光される。この時、外光解析部23Aは、ディテクター11から出力される各波長に対する出力値(光量)を、記憶部30に記憶する。
そして、このS15の後、S12及びS13の処理を繰り返す。つまり、各波長に対応する出力値が規定値以下となるまで、S12、S13、及びS15の処理を繰り返して実施する。
本実施形態の分光測定装置1Aでは、校正モードにおいて、光源駆動部25は、記憶部30に記憶される各LED161の発光量に基づいて点灯させる(初期状態では、全点灯)。そして、外光解析部23Aは、ディテクター11により検出される各波長の光量が、所定の規定値以上であるか否か、すなわち外光が所定値以上であるか否かを判断し、基準光設定部24Aは、光量が規定値を超える波長に対応した発光素子の発光量を低減させて記憶部30に記憶する。
このような構成でも、上記第一実施形態と同様に、外光に対応した基準光の設定を実施することができる。したがって、測定モードにおいて、ゲイン調整等や補正処理等を簡略化でき、迅速、かつ容易に高精度なスペクトル特性の測定を実施することができる。
また、例えばハロゲンランプ等、1つの光源から基準光を射出する構成と比べて、各波長域での発光素子の発光量を詳細に設定することができる。したがって、光量不足となる波長域がなくなり、各波長における信号強度を大きくすることができ、S/N比の向上を図れる。
また、第一実施形態に比べて、(4)式に基づいた発光量の演算等を実施する必要がなく、処理の簡略化を図ることができる。
次に本発明の第三実施形態について、図面に基づいて説明する。
上記第一実施形態では、外光解析部23は、ディテクター11で取得される出力値に基づいて、外光のスペクトル特性を解析し、第二実施形態では、ディテクター11で取得される出力値に基づいて、外光の光量が規定値以上であるか否かを解析した。
これに対して、本実施形態では、外光のみを検出する外光センサーを別途備え、外光解析部は、外光センサーからの検出信号に基づいて外光を検出する。
図11に示すように、本実施形態の分光測定装置1Bは、波長可変干渉フィルター5と、ディテクター11(検出部)と、I−V変換器12と、アンプ13と、A/D変換器14と、電圧制御回路15と、光源部16と、光源駆動回路17と、本発明の外光検出部である外光検出センサー18と、制御回路部20Bと、を備えている。
本実施形態では、第一実施形態と同様に、校正モードにおいて、外光解析部23Bは、外光のスペクトル特性を取得し、基準光設定部24Bは、取得したスペクトル特性に基づいて各波長に対応するLED161の発光量を算出する。この際、本実施形態では、図8に示すS2の処理が不要であり、光源部16を駆動させたままであってもよい。
なお、外光解析部23B及び基準光設定部24Bは、例えば第二実施形態のように、外光の各波長における光量が所定値を超えるか否かを判断し、所定値を超える場合にLED161の点灯数を減少させる構成としてもよい。
更に、本実施形態の分光測定装置1Bの制御回路部20Bは、外光の各波長における光量の変化を監視する外光監視部27を備える。この外光監視部27は、外光の各波長における光量が変化した際、その変化量を算出する。
そして、本実施形態の基準光設定部24Bは、外光監視部27により外光の変化量が算出されると、当該変化量に応じてLED161の発光量を補正し、補正した各LED161の発光量を記憶部30に記憶する。
具体的には、基準光設定部24Bは、外光の光量が所定量増大した場合、光量が変化した波長に対応するLED161の点灯数を1つ減少させる。また、外光の光量が所定量減少した場合、光量が変化した波長に対応するLED161の点灯数を1つ増加させる。
また、光源駆動部25は、記憶部30に記憶されるLED161の発光量が更新されると、更新後の発光量に基づいてLED161を駆動させる。
本実施形態の分光測定装置1Bは、外光の各波長に対する光量を検出する外光検出センサー18を備える。そして、外光解析部23Bは、外光検出センサー18からの検出信号に基づいて、外光のスペクトル特性を解析する。
このような構成では、測定モードに設定された場合であっても、外光解析部23により外光のスペクトル特性を解析することができ、測定中の外光の変化を検出することができる。
このため、測定モードの動作中であっても、外光の変化があった場合に、その変化量に基づいて基準光の各波長の光量を設定し直すことができる。これにより、測定中の外光の光量変化による測定精度の低下を抑制できる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、固定電極561の代わりに、第一誘電コイルを配置し、可動電極562の代わりに第二誘電コイルまたは永久磁石を配置した誘電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。
さらに、静電アクチュエーター56の代わりに圧電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。この場合、例えば保持部522に下部電極層、圧電膜、および上部電極層を積層配置させ、下部電極層および上部電極層の間に印加する電圧を入力値として可変させることで、圧電膜を伸縮させて保持部522を撓ませることができる。
また、例えば、固定基板51及び可動基板52の間の空間を密閉空間とし、内部の空気圧を変化させることで反射膜間ギャップG1のギャップ量を変化させる波長可変干渉フィルターを用いてもよい。この場合、密閉空間の空気を例えばポンプ等を用いて加圧または減圧するが、フィルター駆動部22及び電圧制御回路15により、ポンプを駆動させる際の電圧を変化させることで、上記実施形態と同様の動作を実施させることができる。
Claims (7)
- 発光波長が異なる複数の発光素子を備え、これらの前記発光素子で発光された光を混合した基準光を対象物に対して射出する光源部と、
前記対象物で反射または透過された光から、所定波長の光を選択して取り出す波長選択素子と、
前記波長選択素子で取り出された光の光量を検出する検出部と、
制御部と、を備えた分光測定装置であって、
前記制御部は、
前記対象物を基準校正物として校正処理を実施する校正モード、及び前記対象物を測定対象物として前記測定対象物のスペクトル特性を測定する測定モードを切り替えるモード切替部と、
前記校正モードにおいて、外光の特性を解析する外光解析部と、
前記校正モードにおいて、前記外光解析部により解析された前記外光の特性に基づいて、前記光源部の各発光素子の発光量を設定する基準光設定部と、
前記測定モードにおいて、前記基準光設定部により設定された発光量に基づいて前記発光素子を駆動させる光源駆動部と、
を備えたことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項1に記載の分光測定装置において、
前記外光解析部は、前記外光の特性として、前記外光の各波長に対する光量を取得し、
前記基準光設定部は、前記外光の各波長に対する光量に基づいて、各波長に対応する前記発光素子の発光量を算出する
ことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項2に記載の分光測定装置において、
前記制御部は、前記波長選択素子により選択可能な各波長に対する前記検出部の感度特性と、前記波長選択素子により選択可能な各波長に対する前記波長選択素子の分光特性と、を記憶する記憶部を備え、
前記基準光設定部は、前記外光の各波長に対する光量、前記検出部の感度特性、及び前記波長選択素子の分光特性に基づいて算出される外光特性値と、各波長に対する前記発光素子の発光量、前記検出部の感度特性、及び前記波長選択素子の分光特性に基づいて算出される基準光特性値との和が、前記基準校正物の各波長に対する反射率に対応した設定値となるように、各波長に対応する前記発光素子の発光量を算出する
ことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項1に記載の分光測定装置において、
各波長に対応する前記発光素子の発光量を記憶する発光量記憶部を備え、
前記光源駆動部は、前記校正モードにおいて、前記発光量記憶部に記憶された前記発光素子の発光量に基づいて前記光源部を駆動させ、
前記外光解析部は、前記外光の特性として、前記外光の各波長に対する光量が所定値を超えるか否かを判断し、
前記基準光設定部は、前記外光の波長に対する光量が前記所定値を超える場合、前記波長に対応した前記発光素子の発光量を低下させる
ことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の分光測定装置において、
前記外光の各波長に対する光量を検出する外光検出部を備え、
前記外光解析部は、前記外光検出部の検出結果に基づいて前記外光の特性を解析する
ことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項5に記載の分光測定装置において、
前記外光の各波長に対する光量を記憶する外光特性記憶部と、
前記測定モードにおいて、前記外光の光量に変化があった場合、各波長における光量の変化量を算出する外光監視部と、を備え、
前記基準光設定部は、外光監視部に算出される光量の変化量に基づいて、前記発光素子の発光量を補正する
ことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の分光測定装置において、
前記波長選択素子は、
第一基板と、
前記第一基板に対向する第二基板と、
前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に反射膜間ギャップを介して対向する第二反射膜と、
前記反射膜間ギャップのギャップ量を変更するギャップ変更部と、
を備えた波長可変干渉フィルターである
ことを特徴とする分光測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011240914A JP2013096883A (ja) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 分光測定装置 |
US13/646,935 US8922766B2 (en) | 2011-11-02 | 2012-10-08 | Spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011240914A JP2013096883A (ja) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 分光測定装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016083418A Division JP2016130743A (ja) | 2016-04-19 | 2016-04-19 | 分光測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013096883A true JP2013096883A (ja) | 2013-05-20 |
JP2013096883A5 JP2013096883A5 (ja) | 2014-11-27 |
Family
ID=48172114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011240914A Withdrawn JP2013096883A (ja) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 分光測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8922766B2 (ja) |
JP (1) | JP2013096883A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015105857A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置及び分光測定方法 |
JP2016176910A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-06 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置、画像形成装置、及び分光測定方法 |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5720200B2 (ja) * | 2010-11-25 | 2015-05-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光モジュール、および光測定装置 |
CN104040309B (zh) | 2011-11-03 | 2019-06-07 | 威利食品有限公司 | 用于最终使用者食品分析的低成本光谱测定系统 |
CA2879493C (en) | 2012-08-09 | 2018-08-28 | Dpx Fine Chemicals Austria Gmbh & Co Kg | Process for drying polymeric materials |
CN105593651B (zh) | 2013-08-02 | 2019-06-07 | 威利食品有限公司 | 光谱测定系统和方法、光谱设备和系统 |
JP2017505901A (ja) | 2014-01-03 | 2017-02-23 | ベリフード, リミテッドVerifood, Ltd. | 分光システム、方法、および用途 |
EP3209983A4 (en) | 2014-10-23 | 2018-06-27 | Verifood Ltd. | Accessories for handheld spectrometer |
US10469771B2 (en) * | 2014-10-29 | 2019-11-05 | Palo Alto Research Center Incorporated | Liquid crystal fourier transform imaging spectrometer |
US10760967B2 (en) | 2014-10-29 | 2020-09-01 | Palo Alto Research Center Incorporated | Liquid crystal fourier transform imaging spectrometer |
US11490037B2 (en) | 2014-10-29 | 2022-11-01 | Palo Alto Research Center Incorporated | Liquid crystal fourier transform imaging spectrometer |
WO2016125165A2 (en) | 2015-02-05 | 2016-08-11 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system with visible aiming beam |
WO2016125164A2 (en) | 2015-02-05 | 2016-08-11 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
WO2016162865A1 (en) | 2015-04-07 | 2016-10-13 | Verifood, Ltd. | Detector for spectrometry system |
US10066990B2 (en) | 2015-07-09 | 2018-09-04 | Verifood, Ltd. | Spatially variable filter systems and methods |
EP3321660A4 (en) * | 2015-07-10 | 2019-02-27 | Sony Corporation | INSPECTION DEVICE, INSPECTION PROCEDURE AND PROGRAM |
JP6641883B2 (ja) | 2015-10-28 | 2020-02-05 | セイコーエプソン株式会社 | 測定装置、電子機器、及び測定方法 |
JP6623685B2 (ja) * | 2015-10-29 | 2019-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 測定装置及び印刷装置 |
US10203246B2 (en) | 2015-11-20 | 2019-02-12 | Verifood, Ltd. | Systems and methods for calibration of a handheld spectrometer |
US10254215B2 (en) | 2016-04-07 | 2019-04-09 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
EP3488204A4 (en) | 2016-07-20 | 2020-07-22 | Verifood Ltd. | ACCESSORIES FOR HANDLABLE SPECTROMETERS |
US10791933B2 (en) | 2016-07-27 | 2020-10-06 | Verifood, Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
US10768497B2 (en) * | 2016-10-03 | 2020-09-08 | Xerox Corporation | Hyperspectral imaging system |
WO2018066524A1 (ja) * | 2016-10-06 | 2018-04-12 | コニカミノルタ株式会社 | 光学特性測定装置の診断支援装置、及び、光学特性測定装置の診断支援方法 |
US20180172510A1 (en) * | 2016-12-08 | 2018-06-21 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
CN108344688A (zh) * | 2017-01-24 | 2018-07-31 | 谱钜科技股份有限公司 | 光谱仪及其光谱测量方法 |
US10564504B2 (en) | 2017-11-30 | 2020-02-18 | Palo Alto Research Center Incorporated | Liquid-crystal variable retarder using liquid crystal cells of differing thicknesses |
US10663346B2 (en) | 2017-12-29 | 2020-05-26 | Palo Alto Research Center Incorporated | Method and apparatus for transforming uniformly or non-uniformly sampled interferograms to produce spectral data |
US10175116B1 (en) | 2017-12-29 | 2019-01-08 | Palo Alto Research Center Incorporated | Color filter used with liquid-crystal polarization interferometer |
US10983338B2 (en) | 2017-12-29 | 2021-04-20 | Palo Alto Research Center Incorporated | Exit-pupil expander used distribute light over a liquid-crystal variable retarder |
US10379043B2 (en) | 2017-12-29 | 2019-08-13 | Palo Alto Research Center Incorporated | Measuring path delay through a liquid-crystal variable retarder at non-uniform retardance intervals |
CN110749545B (zh) * | 2018-07-24 | 2022-04-29 | 谱钜科技股份有限公司 | 光谱仪引擎及其调整方法 |
CN112525854A (zh) * | 2019-09-18 | 2021-03-19 | 大连兆晶生物科技有限公司 | 一种鉴定成分的方法 |
TWI825999B (zh) * | 2020-02-14 | 2023-12-11 | 新加坡商兆晶生物科技股份有限公司(新加坡) | 光譜儀及光譜檢測方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004170325A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-17 | Shimadzu Corp | 分光計測装置 |
JP2004317132A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Canon Inc | 測色装置及びその測色装置を備えたカラー画像形成装置 |
JP2010081057A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Olympus Corp | 画像処理装置、画像処理方法および測色システム |
WO2010137174A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | トヨタ自動車 株式会社 | 移動体用スペクトル測定装置 |
WO2010137172A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | トヨタ自動車 株式会社 | 移動体用スペクトル測定装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002296116A (ja) | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Yokogawa Electric Corp | マルチチャンネル分光器 |
CN1672428B (zh) | 2002-07-26 | 2010-11-03 | 奥林巴斯株式会社 | 图像处理系统 |
JP2009031245A (ja) | 2007-07-03 | 2009-02-12 | Sony Corp | 色票装置 |
JP2009168478A (ja) | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 光度計 |
JP2009281929A (ja) | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Konica Minolta Sensing Inc | 測光装置の補正用基準光源、測光装置の補正システム |
JP5668345B2 (ja) * | 2010-07-13 | 2015-02-12 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分光測定器および光機器 |
-
2011
- 2011-11-02 JP JP2011240914A patent/JP2013096883A/ja not_active Withdrawn
-
2012
- 2012-10-08 US US13/646,935 patent/US8922766B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004170325A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-17 | Shimadzu Corp | 分光計測装置 |
JP2004317132A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Canon Inc | 測色装置及びその測色装置を備えたカラー画像形成装置 |
JP2010081057A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Olympus Corp | 画像処理装置、画像処理方法および測色システム |
WO2010137174A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | トヨタ自動車 株式会社 | 移動体用スペクトル測定装置 |
WO2010137172A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | トヨタ自動車 株式会社 | 移動体用スペクトル測定装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015105857A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置及び分光測定方法 |
JP2016176910A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-06 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置、画像形成装置、及び分光測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8922766B2 (en) | 2014-12-30 |
US20130107260A1 (en) | 2013-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013096883A (ja) | 分光測定装置 | |
JP5633334B2 (ja) | 分光測定装置 | |
TWI553346B (zh) | 濾光器、濾光器模組、分光測定器及光學機器 | |
EP2360459B1 (en) | Optical etalon and colorimetric device | |
JP6452272B2 (ja) | 分光カメラ、及び分光画像処理方法 | |
JP6390090B2 (ja) | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 | |
US9291502B2 (en) | Spectroscopic measurement device and spectroscopic measurement method | |
JP5895414B2 (ja) | 分光測定装置、及び分光測定方法 | |
JP2015087144A (ja) | 分光測定装置及び分光測定方法 | |
US20140078503A1 (en) | Spectroscope, wavelength variable interference filter, optical filter device, optical module, and electronic device | |
JP2011053510A (ja) | 波長可変干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、および波長可変干渉フィルターの制御方法 | |
JP6330363B2 (ja) | 電子機器及び電子機器の制御方法 | |
JP2014132304A (ja) | 画像表示装置 | |
JP2015126333A (ja) | カメラ、及び画像処理方法 | |
JP5919728B2 (ja) | 分光測定装置 | |
US20150138561A1 (en) | Spectroscopic measurement apparatus and spectroscopic measurement method | |
JP6194673B2 (ja) | 光学モジュール及び電子機器 | |
JP2016130743A (ja) | 分光測定装置 | |
JP2016070775A (ja) | 分光測定装置、及び分光測定方法 | |
JP2016050804A (ja) | 分光測定装置、及び分光測定方法 | |
JP2016048187A (ja) | 光学モジュール及び電子機器 | |
JP5604959B2 (ja) | 光測定装置 | |
JP5593671B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール | |
JP5673075B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 | |
JP2012128136A (ja) | 光センサー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141015 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141015 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150714 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150717 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150908 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160223 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20160420 |