JP2002296116A - マルチチャンネル分光器 - Google Patents

マルチチャンネル分光器

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JP2002296116A
JP2002296116A JP2001099178A JP2001099178A JP2002296116A JP 2002296116 A JP2002296116 A JP 2002296116A JP 2001099178 A JP2001099178 A JP 2001099178A JP 2001099178 A JP2001099178 A JP 2001099178A JP 2002296116 A JP2002296116 A JP 2002296116A
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JP
Japan
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interference filter
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wavelength range
filter
analysis
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Application number
JP2001099178A
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English (en)
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Yoshikazu Yanagawa
美和 柳川
Takahito Kishi
卓人 岸
Shunichi Miyazaki
俊一 宮崎
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 波長範囲の異なる分光素子を直線上に複数個
直列に連結した構成にして、多成分の同時測定を可能に
したマルチチャンネル分光器を提供する。 【解決手段】 近赤外線で使用され、分光素子を直線上
に配列した干渉フィルタと、フォト・ダイオード・アレ
イ(PDA)とを並列に配設してなるマルチチャンネル
分光器であって、干渉フィルタは、近赤外スペクトルの
多変量解析に必要な波長範囲に応じたいくつかの分光素
子を組み合わせて直列に連結したことである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マルチチャンネル
分光器、詳しくは近赤外線分光で使用されるマルチチャ
ンネル分光器に関し、特に所定波長範囲の分光素子を組
み合わせて直線上に配列した干渉フィルタを設けたマル
チチャンネル分光器に関する。
【0002】
【従来の技術】従来技術におけるマルチチャンネル分光
器は、図2に示すように、光源1からの光線を集光する
第1のレンズ2と、この第2のレンズ2により集光した
光線をサンプル3に照射し、その反射光を集光する第2
のレンズ4と、この第2のレンズ4により平行光線にさ
れた光線の分光スペクトルの計測を行うリニア・バリア
ブル・フィルタ(LVF)5と、近赤外光線を検出する
フォト・ダイオード・アレイ(PDA)6とから構成さ
れている。
【0003】このような構成からなるマルチチャンネル
分光器は、リニア・バリアブル・フィルタ(LVF)5
を使用した構造、即ち、複数枚の厚みの異なる干渉フィ
ルタを直線上に配列した構造である。従って、このフィ
ルタ5とフォト・ダイオード・アレイ(PDA)6を組
み合わせると、分光スペクトルが同時に計測できる、マ
ルチチャンネル分光器を構成することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術におけるマルチチャンネル分光器における近
赤外線分光では、同時測定する場合、少なくとも0.9
〜1.7μmの波長範囲をカバーすることが求められ
る。しかし、リニア・バリアブル・フィルタ(LVF)
の製作の限界は、20nm/1mmであり、上記範囲を
カバーしたものを作ろうとすると、フィルタの全長は、 (1700―900)÷20=40[mm] となり、この長さに対応するアレイ検出器は製作不可能
であるという問題があった。
【0005】従って、マルチチャンネル分光器におい
て、ある波長範囲の分光素子をいくつか直列に連結した
干渉フィルタとフォト・ダイオード・アレイ(PDA)
を組み合わせることにより、簡単な構成で、近赤外領域
での多成分同時計測が可能な分光器を実現することに解
決しなければならない課題を有する。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係るマルチチャンネル分光器は次に示す構
成にすることである。
【0007】(1)近赤外線で使用され、分光素子を直
線上に配列した干渉フィルタと、フォト・ダイオード・
アレイ(PDA)とを並列に配設してなるマルチチャン
ネル分光器であって、前記干渉フィルタは、近赤外スペ
クトルの多変量解析に必要な波長範囲に応じたいくつか
の分光素子を組み合わせて直列に連結したことを特徴と
するマルチチャンネル分光器。 (2)前記干渉フィルタは、解析に必要な波長範囲が2
箇所で必要な場合は分光素子の数は2枚、解析に必要な
波長範囲が3箇所で必要な場合は分光素子の数は3枚、
解析に必要な波長範囲が4箇所で必要な場合はフィルタ
の数は4枚であることを特徴とする(1)記載のマルチ
チャンネル分光器。 (3)前記分光素子を直列に連結した干渉フィルタの全
長がフォト・ダイオード・アレイの全長と一致している
ことを特徴とする(1)又は(2)記載のマルチチャン
ネル分光器。 (4)前記分光素子を組み合わせて形成された干渉フィ
ルタは、その分光素子の分解能が等しいものを使用する
ことを特徴とする(1)、(2)又は(3)記載のマル
チチャンネル分光器。
【0008】このように、所定の波長範囲の分光素子を
組み合わせて直線上に配列して干渉フィルタを作成する
ようにしたことにより、簡単な構成で近赤外線の多成分
同時計測が可能になる。
【0009】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係るマルチチャン
ネル分光器の実施形態について、図面を参照して説明す
る。尚、従来技術で説明したものと同じものには同一符
号を付与して説明する。
【0010】本発明に係るマルチチャンネル分光器は、
図1に示すように、光源1からの光線を集光する第1の
レンズ2と、この第2のレンズ2により集光した光線を
サンプル3に照射し、その反射光を集光する第2のレン
ズ4と、この第2のレンズ4により平行光線にされた光
線の分光スペクトルの計測を行う干渉フィルタ7と、近
赤外光線を検出するフォト・ダイオード・アレイ(PD
A)6とから構成されている。
【0011】干渉フィルタ7は、近赤外スペクトルの多
変量解析に必要な波長範囲に応じたいくつかの分光素
子、実施例の場合は3個の分光素子であるフィルターA
(7a)、フィルターB(7b)、フィルターC(7
c)を組み合わせて直列に連結した構成になっている。
そして、この分光素子を連結して形成された干渉フィル
タの全長は、フォト・ダイオード・アレイ(PDA)6
の全長と一致した構造となっており、且つそのフィルタ
ーA(7a)、フィルターB(7b)、フィルターC
(7c)の分解能は等しいものとなっている。
【0012】又、干渉フィルタは、解析に必要な波長範
囲が2箇所で必要な場合は分光素子の数は2個、解析に
必要な波長範囲が3箇所で必要な場合は分光素子の数は
3個、解析に必要な波長範囲が4箇所で必要な場合は分
光素子の数は4個であり、実施例においては上述したよ
うに分光素子の数は3個である。
【0013】この3個の分光素子、即ち、3種類のフィ
ルタを使用した干渉フィルタの波長範囲とその長さは、
次に示す通りである。
【0014】 フィルターA…波長範囲:λ1〜λ2、長さ:LA フィルターB…波長範囲:λ3〜λ4、長さ:LB フィルターC…波長範囲:λ5〜λ6、長さ:LC
【0015】各分光素子(フィルターA、フィルター
B、フィルターC)において、同じ分解能とするために
は次式を満たす必要がある。
【0016】
【0017】また、PDAの全長をLとすると次の関係
が成り立つ。 LA+LB+LC=L…(式2)
【0018】このようにして、所望の波長範囲の分光素
子をいくつか直線上に直列に並べると共に、その全長を
PDAの長さと同じくし、且つ分解能も同じくすること
により、多成分の測定を同時に行うことができるのであ
る。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るマル
チチャンネル分光器において、近赤外線分光では、多変
量解析の手法と組み合わせて用いるため、最低限カバー
することが求められている0.9〜1.7μmの波長範囲
を必ずしも全て検出する必要はない。そのため、解析に
必要な箇所に応じた分光素子をいくつか組み合わせて、
直列に連結する構成とすることで、干渉フィルタの長さ
をPDAの長さに適合させて、多成分の同時測定ができ
るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明に係るマルチチャンネル分光器の略示
的な構成図である。
【図2】従来技術におけるマルチチャンネル分光器の略
示的な構成図である。
【符号の説明】
1 光源 2 第1のレンズ 3 サンプル 4 第2のレンズ 6 PDA(フォト・ダイオード・アレイ) 7 干渉フィルタ 7a フィルターA(分光素子) 7b フィルターB(分光素子) 7c フィルタ−C(分光素子)
フロントページの続き Fターム(参考) 2G020 AA03 CB04 CB42 CC26 CC63 CD03 CD06 CD13 CD24

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】近赤外線で使用され、分光素子を直線上に
    配列した干渉フィルタと、フォト・ダイオード・アレイ
    (PDA)とを並列に配設してなるマルチチャンネル分
    光器であって、前記干渉フィルタは、近赤外スペクトル
    の多変量解析に必要な波長範囲に応じたいくつかの分光
    素子を組み合わせて直列に連結したことを特徴とするマ
    ルチチャンネル分光器。
  2. 【請求項2】前記干渉フィルタは、解析に必要な波長範
    囲が2箇所で必要な場合は分光素子の数は2個、解析に
    必要な波長範囲が3箇所で必要な場合は分光素子の数は
    3個、解析に必要な波長範囲が4箇所で必要な場合は分
    光素子の数は4個であることを特徴とする請求項1記載
    のマルチチャンネル分光器。
  3. 【請求項3】前記分光素子を直列に連結した干渉フィル
    タの全長がフォト・ダイオード・アレイの全長と一致し
    ていることを特徴とする請求項1又は2記載のマルチチ
    ャンネル分光器。
  4. 【請求項4】前記分光素子を組み合わせて形成された干
    渉フィルタは、その分光素子の分解能が等しいものを使
    用したことを特徴とする請求項1、2又は3記載のマル
    チチャンネル分光器。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102498374A (zh) * 2009-08-25 2012-06-13 Nec软件系统科技有限公司 光学单元
US8922766B2 (en) 2011-11-02 2014-12-30 Seiko Epson Corporation Spectrometer

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5972520U (ja) * 1982-11-06 1984-05-17 株式会社堀場製作所 赤外線分光光度計
JPS61251724A (ja) * 1985-03-21 1986-11-08 アボツト,ラボラトリ−ズ 分光光度計
JPS62267624A (ja) * 1986-05-15 1987-11-20 Minolta Camera Co Ltd 分光測定センサ
JPH06196677A (ja) * 1992-12-25 1994-07-15 Olympus Optical Co Ltd 半導体受光装置
JPH06235660A (ja) * 1993-02-10 1994-08-23 Nec Corp 分光分析装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5972520U (ja) * 1982-11-06 1984-05-17 株式会社堀場製作所 赤外線分光光度計
JPS61251724A (ja) * 1985-03-21 1986-11-08 アボツト,ラボラトリ−ズ 分光光度計
JPS62267624A (ja) * 1986-05-15 1987-11-20 Minolta Camera Co Ltd 分光測定センサ
JPH06196677A (ja) * 1992-12-25 1994-07-15 Olympus Optical Co Ltd 半導体受光装置
JPH06235660A (ja) * 1993-02-10 1994-08-23 Nec Corp 分光分析装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102498374A (zh) * 2009-08-25 2012-06-13 Nec软件系统科技有限公司 光学单元
US8570510B2 (en) 2009-08-25 2013-10-29 Nec System Technologies, Ltd. Optical unit
CN102498374B (zh) * 2009-08-25 2015-02-18 日本电气方案创新株式会社 光学单元
US8922766B2 (en) 2011-11-02 2014-12-30 Seiko Epson Corporation Spectrometer

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