JP2013096883A5 - - Google Patents

Description

本発明の一態様の分光測定装置は、基準光を射出する光源部と、対象物で反射した光、または前記対象物を透過した光から、所定波長の光を選択して取り出す波長選択素子と、を含み、校正処理を行う校正モードと、測定を行う測定モードと、を有し、前記校正モードにおいて、外光の特性である第１特性が測定され、前記測定モードにおいて、前記第１特性に基づく第２特性を有する前記基準光が前記対象物に射出されることを特徴とする。
上記の本発明に係る分光測定装置は、発光波長が異なる複数の発光素子を備え、これらの前記発光素子で発光された光を混合した基準光を対象物に対して射出する光源部と、前記対象物で反射または透過された光から、所定波長の光を選択して取り出す波長選択素子と、前記波長選択素子で取り出された光の光量を検出する検出部と、制御部と、を備えた分光測定装置であって、前記制御部は、前記対象物を基準校正物として校正処理を実施する校正モード、及び前記対象物を測定対象物として前記測定対象物のスペクトル特性を測定する測定モードを切り替えるモード切替部と、前記校正モードにおいて、外光の特性を解析する外光解析部と、前記校正モードにおいて、前記外光解析部により解析された前記外光の特性に基づいて、前記光源部の各発光素子の発光量を設定する基準光設定部と、前記測定モードにおいて、前記基準光設定部により設定された発光量に基づいて前記発光素子を駆動させる光源駆動部と、を備えたことを特徴とする。

Claims (9)

1. 基準光を射出する光源部と、
   対象物で反射した光、または前記対象物を透過した光から、所定波長の光を選択して取り出す波長選択素子と、
   を含み、
   校正処理を行う校正モードと、測定を行う測定モードと、を有し、
   前記校正モードにおいて、外光の特性である第１特性が測定され、
   前記測定モードにおいて、前記第１特性に基づく第２特性を有する前記基準光が前記対象物に射出されることを特徴とする分光測定装置。
2. 請求項１に記載の分光測定装置において、
   前記光源部は、
   第１の波長を有する光を発光する第１発光素子と、
   第２の波長を有する光を発光する第２発光素子と、
   を含み、
   前記第２特性は、前記第１発光素子の発光量及び前記第２発光素子の発光量により規定されることを特徴とする分光測定装置。
3. 請求項２に記載の分光測定装置において、
   前記波長選択素子から取り出された光の光量を検出する検出部と、
   前記校正モードと前記測定モードを切り替えるモード切替部と、
   前記校正モードにおいて、外光の特性を解析する外光解析部と、
   前記校正モードにおいて、前記第１特性に基づいて、前記第１発光素子の発光量及び前記第２発光素子の発光量を設定する基準光設定部と、
   前記測定モードにおいて、前記基準光設定部より設定された前記第１発光素子の発光量及び前記第２発光素子の発光量に基づいて、前記第１発光素子及び前記第２発光素子を駆動する光源駆動部と、
   をさらに含むことを特徴とする分光測定装置。
4. 請求項３に記載の分光測定装置において、
   前記外光解析部は、前記外光の特性として、前記外光の各波長に対する光量を取得し、
   前記基準光設定部は、前記外光の各波長に対する光量に基づいて、各波長に対応する前記発光素子の発光量を算出することを特徴とする分光測定装置。
5. 請求項４に記載の分光測定装置において、
   前記制御部は、前記波長選択素子により選択可能な各波長に対する前記検出部の感度特性と、前記波長選択素子により選択可能な各波長に対する前記波長選択素子の分光特性と、を記憶する記憶部を含み、
   前記基準光設定部は、前記外光の各波長に対する光量、前記検出部の感度特性、及び前記波長選択素子の分光特性に基づいて算出される外光特性値と、各波長に対する前記発光素子の発光量、前記検出部の感度特性、及び前記波長選択素子の分光特性に基づいて算出される基準光特性値との和が、前記基準校正物の各波長に対する反射率に対応した設定値となるように、各波長に対応する前記発光素子の発光量を算出することを特徴とする分光測定装置。
6. 請求項３に記載の分光測定装置において、
   各波長に対応する前記発光素子の発光量を記憶する発光量記憶部を含み、
   前記光源駆動部は、前記校正モードにおいて、前記発光量記憶部に記憶された前記発光素子の発光量に基づいて前記光源部を駆動させ、
   前記外光解析部は、前記外光の特性として、前記外光の各波長に対する光量が所定値を超えるか否かを判断し、
   前記基準光設定部は、前記外光の波長に対する光量が前記所定値を超える場合、前記波長に対応した前記発光素子の発光量を低下させることを特徴とする分光測定装置。
7. 請求項３乃至６のいずれかに記載の分光測定装置において、
   前記外光の各波長に対する光量を検出する外光検出部を含み、
   前記外光解析部は、前記外光検出部の検出結果に基づいて前記外光の特性を解析することを特徴とする分光測定装置。
8. 請求項７に記載の分光測定装置において、
   前記外光の各波長に対する光量を記憶する外光特性記憶部と、
   前記測定モードにおいて、前記外光の光量に変化があった場合、各波長における光量の変化量を算出する外光監視部と、を含み、
   前記基準光設定部は、外光監視部に算出される光量の変化量に基づいて、前記発光素子の発光量を補正することを特徴とする分光測定装置。
9. 請求項１乃至８のいずれかに記載の分光測定装置において、
   前記波長選択素子は、
   第一基板と、
   前記第一基板に対向する第二基板と、
   前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
   前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に反射膜間ギャップを介して対向する第二反射膜と、
   前記反射膜間ギャップのギャップ量を変更するギャップ変更部と、
   を備えた波長可変干渉フィルターであることを特徴とする分光測定装置。