JP2005207982A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 光源手段からの光束を分光手段に入射させ、該分光手段で分光した光のうち、所定の波長の光を出射スリットから出射させる構成を含む分光器において、
   該出射スリットの遮光部に配置され、該出射スリットから射出される一部の光以外の光のスペクトルを取得し、取得したスペクトルの形状に基づいて該出射スリットから射出する光の波長を決定可能な空間分解能を持つ強度センサを有していることを特徴とする分光器。
2. 前記分光段で分光されて生じるスペクトルの少なくとも一部の形状を基準スペクトル分布として記憶する記憶装置を有し、該記憶装置に記憶された基準スペクトル分布と前記取得されたスペクトルとの比較を行うことにより、前記取得されたスペクトルに基づいて該出射スリットから射出する光の波長を決定可能であることを特徴とする請求項１に記載の分光器。
3. 前記強度センサは前記出射スリットから射出した光が投影される位置に配置され、該出射スリットから射出される光のスペクトルを取得し、該取得されたスペクトルに基づいて前記分光手段を校正することにより該出射スリットから射出する光の波長を決定可能であることを特徴とする請求項１に記載の分光器。
4. 前記分光手段で分光されて生じるスペクトルの少なくとも一部の形状を基準スペクトル分布として記憶する記憶装置を有し、該記憶装置に記憶された基準スペクトル分布と前記取得されたスペクトルとの比較を行うことにより、前記取得されたスペクトルに基づいて前記分光手段を校正することにより該出射スリットから射出する光の波長を決定可能であることを特徴とする請求項３に記載の分光器。
5. 前記光源手段は、所定の輝線スペクトルを含む光束を発することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の分光器。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の分光器を用いて、被測定物の反射率又は透過率を測定することを特徴とする測定装置。
7. 反射率又は透過率の測定に用いるセンサは、前記空間分解能を持つ強度センサであることを特徴とする請求項６に記載の測定装置。
8. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の分光器を用いて所定の波長の光を射出することを特徴とする分光方法。
9. 請求項６又は７に記載の測定装置を用いて、被測定物の反射率又は透過率を測定することを特徴とする測定方法。