JP6588708B2 - 表面特性調査装置及び方法 - Google Patents
表面特性調査装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6588708B2 JP6588708B2 JP2015046666A JP2015046666A JP6588708B2 JP 6588708 B2 JP6588708 B2 JP 6588708B2 JP 2015046666 A JP2015046666 A JP 2015046666A JP 2015046666 A JP2015046666 A JP 2015046666A JP 6588708 B2 JP6588708 B2 JP 6588708B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- light
- optical
- filter
- respect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/251—Colorimeters; Construction thereof
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
- G01N21/474—Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N2021/4735—Solid samples, e.g. paper, glass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
- G01N2021/4764—Special kinds of physical applications
- G01N2021/4766—Sample containing fluorescent brighteners
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
- G01N2021/4776—Miscellaneous in diffuse reflection devices
- G01N2021/4783—Examining under varying incidence; Angularly adjustable head
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N2021/6463—Optics
- G01N2021/6471—Special filters, filter wheel
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/062—LED's
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/068—Optics, miscellaneous
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
a2 角度a2
a3 角度a3
S1 放射光、光線路
K 環状線
1 装置
2 光源
4 検出装置
4a レンズ
6 検出装置
6a レンズ
8 検出装置
8a レンズ
10 表面
12 ハウジング、光学ブロック
14a フィルタエレメント
14b フィルタエレメント
14c フィルタエレメント
16 画像記録装置、検出装置
18 駆動装置
20 フィルタホイール、(移動可能)キャリア
24 経路
26 光学素子
30 開口部
32 光源
34、36 さらなる光源
42 ビームスプリッタ
44a 感知装置、感知素子
44b 感知装置、感知素子
52 凹所
54 ウエブ
56 整列素子
57 放射源の参照測定のためのビームスプリッタ
58 さらなる検出装置
Claims (16)
- 表面特性調査装置(1)であって、
ハウジング(12)と、
光学ブロック(12)の開口部を通して、調査する表面(10)に可視光を当てる光源(2)と、
前記光源(2)によって前記表面(10)に放射された光線(S1)に対して第一のプリセット角度(a1)で前記光学ブロック(12)内に配置された第一の検出装置(4)と、
前記光源(2)によって前記表面(10)に放射された光線に対して第二のプリセット角度(a2)で前記光学ブロック(12)内に配置された第二の検出装置(6)と、
を備え、
前記装置(1)は、互いに異なる光学特性を有する少なくとも2つのフィルタエレメント(14a、14b)を有し、これらのフィルタエレメント(14a、14b)の各々は、任意選択的に前記光源(2)と前記表面(10)との間の光線路を移動できるように、前記光源(2)に対して移動可能に共通のキャリア(20)に配置され、
前記装置(1)は、前記表面(10)からの蛍光放射を検知する蛍光測定器をさらに備えることを特徴とする装置。 - 前記キャリア(20)は、複数のフィルタエレメントがそれぞれ配置される凹所を有する回転可能なホイールであり、前記凹所はウェブにより互いに区切られて前記フィルタエレメント間の光学的相互干渉が防止されることを特徴とする、請求項1に記載の装置(1)。
- 前記キャリア(20)は、前記表面(10)から不都合な影響を受けることがないように前記表面(10)に向かう側面であって、黒く、かつ無光沢の表面であるよう維持された側面を有することを特徴とする、請求項2に記載の装置(1)。
- 少なくとも1つのフィルタエレメント(14a、14b)は、帯域通過フィルタエレメントであることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の装置(1)。
- 前記光源(2)は、LEDであることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の装置(1)。
- 前記光源(2)は、蓄光材を有することを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の装置(1)。
- 前記キャリア(20)は、回転可能なホイールであることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の装置(1)。
- 前記装置(1)は、調査する前記表面(10)に可視光を当てる第二の光源(32)を有することを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の装置(1)。
- 少なくとも1つのフィルタエレメント(14a、14b)は、前記第二の光源(32)と前記表面(10)との間の光線路上を移動できることを特徴とする、請求項8に記載の装置(1)。
- 前記装置(1)は、調査する前記表面(10)と少なくとも1つの検出装置(4、6、8)との間にビームスプリッタ装置を有することを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の装置(1)。
- 前記蛍光測定器(40)は、少なくとも部分的に前記表面(10)で生じた放射を記録することを特徴とする、請求項1乃至10いずれか一項に記載の装置(1)。
- 表面特性調査方法であって、光源(2)により可視光が光学ブロック(12)の開口部(30)を通して、調査する表面(10)に放射され、この放射の結果、前記表面により反射及び/又は散乱された光が、前記光源(2)から前記表面(10)上に放射される光線(S1)に対して第一のプリセット角度(a1)で第一の検出装置(4)により検出され、前記光源(2)から前記表面(10)に放射される光線(S1)に対して第二のプリセット角度(a2)で第二の検出装置(6)により検出され、当該方法が実施される間、前記光源(2)に対して移動可能な共通のキャリア(20)に配置された互いに異なる光学特性を有する少なくとも2つのフィルタエレメント(14a、14b)が、前記光源(2)と前記表面(10)との間の光線路を時間差で移動することにより、各ケースにおいて前記光線路上にフィルタエレメント(14a、14b)が1つのみ存在し、前記表面(10)からの蛍光放射も少なくとも一時的に検出されることを特徴とする方法。
- 前記キャリア(20)は、複数のフィルタエレメントがそれぞれ配置される凹所を有する回転可能なホイールを含み、前記凹所はウェブにより互いに区切られて前記フィルタエレメント間の光学的相互干渉が防止される、ことを特徴とする、請求項12に記載の方法。
- 調査表面が第二の光源によっても照射されることを特徴とする、請求項12または13に記載の方法。
- 表面特性調査装置(1)であって、
ハウジング(12)と、
光学ブロック(12)の開口部を通して、調査する表面(10)に光を当てる第一の光源(2)と、
前記第一の光源(2)によって前記表面(10)に放射された光線(S1)に対して第一のプリセット角度(a1)で前記光学ブロック(12)内に配置された第一の検出装置(4)と、
前記第一の光源(2)によって前記表面(10)に放射された光線に対して第二のプリセット角度(a2)で前記光学ブロック(12)内に配置された第二の検出装置(6)と、
を備え、
前記装置(1)は、互いに異なる光学特性を有する少なくとも2つのフィルタエレメント(14a、14b)を有し、これらのフィルタエレメント(14a、14b)の各々は、任意選択的に前記第一の光源(2)と前記表面(10)との間の光線路を移動できるように、前記第一の光源(2)に対して移動可能に共通のキャリア(20)に配置され、
前記装置(1)は、調査する前記表面(10)に光を当てる第二の光源(32)をさらに備え、
前記第二の光源(32)は、前記第一の光源(2)と異なる照明角度で測定平面内に配置され、
少なくとも1つのフィルタエレメント(14a、14b)が、前記第二の光源(32)と前記表面(10)との間の光線路上で移動可能である、ことを特徴とする装置。 - 前記少なくとも1つのフィルタエレメント(14a、14b)は、前記第一の光源(2)と前記表面(10)との間で変位可能であるフィルタエレメント(14a、14b)として同じキャリア(20)に配置されることを特徴とする、請求項15に記載の装置(1)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014103640.9 | 2014-03-17 | ||
DE102014103640.9A DE102014103640A1 (de) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | Vorrichtung und Verfahren zum Untersuchen von Oberflächeneigenschaften |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015175849A JP2015175849A (ja) | 2015-10-05 |
JP6588708B2 true JP6588708B2 (ja) | 2019-10-09 |
Family
ID=54010073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015046666A Active JP6588708B2 (ja) | 2014-03-17 | 2015-03-10 | 表面特性調査装置及び方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9726597B2 (ja) |
JP (1) | JP6588708B2 (ja) |
CN (1) | CN105044036B (ja) |
DE (1) | DE102014103640A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN207074170U (zh) * | 2016-06-02 | 2018-03-06 | 汉高(中国)投资有限公司 | 便携式紫外光激发荧光检测仪 |
CN106841243A (zh) * | 2017-02-17 | 2017-06-13 | 同方威视技术股份有限公司 | 定点停车装置以及安全检查系统 |
JP2018189498A (ja) * | 2017-05-08 | 2018-11-29 | キヤノン株式会社 | 計測装置、および物品製造方法 |
US20190049306A1 (en) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | Westco Scientific Instruments, Inc | Calibration for baking contrast units |
KR102022836B1 (ko) * | 2017-09-15 | 2019-11-04 | 한국오츠카전자 주식회사 | 광 측정 장치, 시스템 및 방법 |
DE102017222252A1 (de) * | 2017-12-08 | 2019-06-13 | Robert Bosch Gmbh | Optisches Element, spektrometrische Messvorrichtung und Verfahren zur spektralen Analyse eines Mediums |
US10883878B2 (en) | 2018-05-30 | 2021-01-05 | Datacolor Inc. | Fluorescence measurement of samples |
WO2020005378A1 (en) * | 2018-06-25 | 2020-01-02 | Morgan Ranzy Iii | Liquid color, haze, and clarity instrument, and method of measurement |
CN114674372B (zh) * | 2022-04-11 | 2023-03-24 | 国家珠宝玉石首饰检验集团有限公司 | 基于多方位观测的珍珠多分级参数同步测量装置及方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040032581A1 (en) * | 2002-01-15 | 2004-02-19 | Mehrdad Nikoonahad | Systems and methods for inspection of specimen surfaces |
JP2005515473A (ja) * | 2002-01-18 | 2005-05-26 | ニユートン・ラボラトリーズ・インコーポレーテツド | 分光診断方法とシステム |
US20030222268A1 (en) * | 2002-05-31 | 2003-12-04 | Yocom Perry Niel | Light sources having a continuous broad emission wavelength and phosphor compositions useful therefor |
WO2004069164A2 (en) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Euro Celtique Sa | Wireless blood glucose monitoring system |
KR100540848B1 (ko) * | 2004-01-02 | 2006-01-11 | 주식회사 메디아나전자 | 이중 몰드로 구성된 백색 발광다이오드 소자 및 그 제조방법 |
DE102004034160A1 (de) | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung zur Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften |
DE102004034167A1 (de) * | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung zur goniometrischen Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften |
DE102004058408B4 (de) | 2004-12-03 | 2013-10-31 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung von Oberflächeneigenschaften |
DE502005004038D1 (de) * | 2005-10-17 | 2008-06-19 | Rite Europ Ag X | Verfahren zur Farbmessung von gedruckten Proben mit Aufhellern |
CN100549669C (zh) * | 2006-09-08 | 2009-10-14 | 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 | 酶标仪分光光度检测光学系统及其光阑和滤光片轮 |
CN201014999Y (zh) * | 2007-02-28 | 2008-01-30 | 英志企业股份有限公司 | 光学检测装置 |
CN201116677Y (zh) * | 2007-07-31 | 2008-09-17 | 广州市雅江光电设备有限公司 | 一种led投光灯 |
JP2010025657A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Nikon Corp | 検査装置 |
CN103278455B (zh) * | 2013-05-16 | 2015-10-28 | 宁波大学 | 一种介质薄膜光学参数的测量装置及测量方法 |
-
2014
- 2014-03-17 DE DE102014103640.9A patent/DE102014103640A1/de active Pending
-
2015
- 2015-03-10 JP JP2015046666A patent/JP6588708B2/ja active Active
- 2015-03-12 US US14/645,831 patent/US9726597B2/en active Active
- 2015-03-16 CN CN201510114458.4A patent/CN105044036B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102014103640A1 (de) | 2015-09-17 |
US9726597B2 (en) | 2017-08-08 |
US20150260641A1 (en) | 2015-09-17 |
CN105044036A (zh) | 2015-11-11 |
JP2015175849A (ja) | 2015-10-05 |
CN105044036B (zh) | 2020-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6588708B2 (ja) | 表面特性調査装置及び方法 | |
US6844931B2 (en) | Spectrophotometer and its use | |
US6842250B2 (en) | Device for a quantified determination of the quality of surfaces | |
US5844680A (en) | Device and process for measuring and analysing spectral radiation, in particular for measuring and analysing color characteristics | |
JP6676398B2 (ja) | ディスプレイ検査のための測色システム | |
KR100593098B1 (ko) | 물체의 광학 특성 측정 장치 및 방법 | |
JP3228479B2 (ja) | 複式分光計色センサ | |
JP4377107B2 (ja) | 反射体の特性を決定する装置及びその方法 | |
US9243953B1 (en) | Spectrophotometric colorimeter based on LED light source and method for realizing the same | |
US5642189A (en) | Color sensor simulating standard source illuminant | |
JP6816572B2 (ja) | 色測定装置、色測定方法及びプログラム | |
JP6042961B2 (ja) | 測色ユニット | |
JP2006030204A (ja) | 光表面特性の測角検査装置 | |
JP5808519B2 (ja) | 2つの測定ユニットを有する表面測定装置 | |
JP6483940B2 (ja) | エフェクト顔料によるコーティングを調査するための装置機構及び方法 | |
JP2012103236A (ja) | 多重測定を使用して表面特性を決定するための装置および方法 | |
JP4504298B2 (ja) | 表面特性を特定する装置 | |
WO2001001070A1 (fr) | Dispositif a source lumineuse, spectroscope comportant le dispositif a source lumineuse et capteur d'epaisseur de couche | |
JP5839990B2 (ja) | コントラスト光源装置及びコントラスト光源の形成方法 | |
JP2008020332A (ja) | 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 | |
KR102022836B1 (ko) | 광 측정 장치, 시스템 및 방법 | |
CN214951807U (zh) | 一种基于多色led光谱成像的测色装置 | |
CN112014069B (zh) | 一种成像测量装置 | |
CN113237550A (zh) | 一种基于多色led光谱成像的测色装置 | |
JP6596970B2 (ja) | 測色装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181017 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190107 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190913 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6588708 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |