JP2012063321A5 - - Google Patents

Description

本発明に係る反射率測定装置は、照射光を測定対象物へ供給する測定光源と、照射光の強度及び測定対象物からの反射光の強度を波長毎に検出する分光検出部と、測定対象物に照射される照射光の波長毎の強度の検出値を、基準測定対象物からの反射光の波長毎の強度に相当する値に変換するための変換係数を記録する係数記録部と、照射光の波長毎の強度の検出値及び変換係数より求まる基準測定対象物からの反射光の波長毎の強度に相当する値に基づいて、測定対象物の波長毎の反射率を算出する反射率算出部とを備えることを特徴とする。

また、本発明に係る反射率測定方法は、基準測定対象物へと供給される補正用照射光の強度を波長毎に検出する補正用照射光検出ステップと、補正用照射光を測定光源から基準測定対象物へと供給する補正用照射光供給ステップと、基準測定対象物からの補正用照射光の反射光の強度を波長毎に検出する第１の反射光検出ステップと、補正用照射光検出ステップにより得られる補正用照射光の波長毎の強度の検出値と、第１の反射光検出ステップにより得られる補正用照射光の反射光の波長毎の強度の検出値とに基づいて、測定対象物へと供給される測定用照射光の波長毎の強度の検出値を、基準測定対象物からの測定用照射光の反射光の波長毎の強度に相当する値に変換するための変換係数を算出する係数算出ステップと、測定対象物を設置する設置ステップと、測定対象物に照射され、励起光及び励起光により生じた蛍光を含む測定用照射光の強度を波長毎に検出する測定用照射光検出ステップと、測定用照射光を測定光源から測定対象物へと供給する測定用照射光供給ステップと、測定対象物からの測定用照射光の反射光の強度を波長毎に検出する第２の反射光検出ステップと、測定用照射光検出ステップにより得られる測定用照射光のスペクトルの検出値及び変換係数により求まる基準測定対象物からの測定用照射光の反射光の波長毎の強度に相当する値と、第２の反射光検出ステップにより得られる測定対象物からの測定用照射光の反射光の波長毎の強度の検出値とに基づいて、測定対象物の波長毎の反射率を算出する反射率算出ステップとを備えることを特徴とする。

Claims (11)

1. 照射光を測定対象物へ供給する測定光源と、
   前記照射光の強度及び前記測定対象物からの反射光の強度を波長毎に検出する分光検出部と、
   前記測定対象物に照射される前記照射光の波長毎の強度の検出値を、基準測定対象物からの反射光の波長毎の強度に相当する値に変換するための変換係数を記録する係数記録部と、
   前記照射光の波長毎の強度の検出値及び前記変換係数より求まる前記基準測定対象物からの前記反射光の波長毎の強度に相当する値に基づいて、前記測定対象物の波長毎の反射率を算出する反射率算出部と、
   を備えることを特徴とする反射率測定装置。
2. 前記測定光源は、励起光及び前記励起光により生じた蛍光を含む前記照射光を供給する蛍光体方式の白色発光ダイオードであることを特徴とする請求項１に記載の反射率測定装置。
3. 前記測定光源から前記照射光が照射されるリファレンス光受光面を一端に有し、他端が前記分光検出部に光学的に結合されているリファレンス用光導波路と、
   前記測定光源から前記照射光が照射される照射光受光面を一端に有し、前記測定対象物へ前記照射光を供給する照射光供給面を他端に有する第１測定用光導波路と、
   前記測定対象物からの前記反射光を受光する反射光受光面を一端に有し、他端が前記分光検出部に光学的に結合されている第２測定用光導波路と、
   をさらに備えることを特徴とする請求項１又は２のいずれか一項に記載の反射率測定装置。
4. 前記分光検出部は、前記照射光の強度を波長毎に検出する第１検出部、及び前記測定対象物からの前記反射光の強度を波長毎に検出する第２検出部を有し、
   前記リファレンス用光導波路の他端は、前記第１検出部に光学的に結合され、前記第２測定用光導波路の他端は、前記第２検出部に光学的に結合されていることを特徴とする請求項３に記載の反射率測定装置。
5. 前記測定光源から照射された前記照射光を前記リファレンス光受光面及び前記照射光受光面のいずれか一方に選択的に入射させる光導波路選択手段をさらに備え、
   前記分光検出部は、前記照射光の強度を波長毎に検出し且つ前記反射光の強度を波長毎に検出する第３検出部を有し、
   前記リファレンス用光導波路の他端と前記第２測定用光導波路の他端とは、前記第３検出部に光学的に結合されていることを特徴とする請求項３に記載の反射率測定装置。
6. 前記照射光受光面に照射される前記照射光の光量は、前記リファレンス光受光面に照射される前記照射光の光量よりも大きいことを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載の反射率測定装置。
7. 前記第１測定用光導波路は、前記照射光受光面と前記測定光源とが対向するように配置されていることを特徴とする請求項６に記載の反射率測定装置。
8. 前記第１測定用光導波路及び前記リファレンス用光導波路は、前記第１測定用光導波路の中心軸と前記リファレンス用光導波路の中心軸とが、前記測定光源を通る軸に対して互いに線対称となるように配置されていることを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載の反射率測定装置。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の反射率測定装置を備えることを特徴とする膜厚測定装置。
10. 基準測定対象物へと供給される補正用照射光の強度を波長毎に検出する補正用照射光検出ステップと、
    前記補正用照射光を測定光源から前記基準測定対象物へと供給する補正用照射光供給ステップと、
    前記基準測定対象物からの前記補正用照射光の反射光の強度を波長毎に検出する第１の反射光検出ステップと、
    前記補正用照射光検出ステップにより得られる前記補正用照射光の波長毎の強度の検出値と、前記第１の反射光検出ステップにより得られる前記補正用照射光の反射光の波長毎の強度の検出値とに基づいて、測定対象物へと供給される測定用照射光の波長毎の強度の検出値を、前記基準測定対象物からの前記測定用照射光の反射光の波長毎の強度に相当する値に変換するための変換係数を算出する係数算出ステップと、
    前記測定対象物を設置する設置ステップと、
    前記測定対象物に照射され、励起光及び前記励起光により生じた蛍光を含む前記測定用照射光の強度を波長毎に検出する測定用照射光検出ステップと、
    前記測定用照射光を前記測定光源から前記測定対象物へと供給する測定用照射光供給ステップと、
    前記測定対象物からの前記測定用照射光の反射光の強度を波長毎に検出する第２の反射光検出ステップと、
    前記測定用照射光検出ステップにより得られる前記測定用照射光の波長毎の強度の検出値及び前記変換係数により求まる前記基準測定対象物からの前記測定用照射光の反射光の波長毎の強度に相当する値と、前記第２の反射光検出ステップにより得られる前記測定対象物からの前記測定用照射光の反射光の波長毎の強度の検出値とに基づいて、前記測定対象物の波長毎の反射率を算出する反射率算出ステップとを備えることを特徴とする反射率測定方法。
11. 請求項１０に記載の反射率測定方法を含み、前記反射率測定方法により得られる波長毎の反射率に基づいて前記測定対象物の膜厚を算出することを特徴とする膜厚測定方法。