JP7264134B2 - 分光分析装置、光学系、及び方法 - Google Patents

分光分析装置、光学系、及び方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7264134B2
JP7264134B2 JP2020142851A JP2020142851A JP7264134B2 JP 7264134 B2 JP7264134 B2 JP 7264134B2 JP 2020142851 A JP2020142851 A JP 2020142851A JP 2020142851 A JP2020142851 A JP 2020142851A JP 7264134 B2 JP7264134 B2 JP 7264134B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
irradiation light
optical waveguide
irradiation
light
sample
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020142851A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022038377A (ja
Inventor
広大 村山
敏之 猿谷
芙美枝 渡邉
理紗 原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2020142851A priority Critical patent/JP7264134B2/ja
Priority to US17/406,653 priority patent/US11940326B2/en
Priority to EP21193094.6A priority patent/EP3961191B1/en
Priority to CN202110987862.8A priority patent/CN114112947A/zh
Publication of JP2022038377A publication Critical patent/JP2022038377A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7264134B2 publication Critical patent/JP7264134B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/15Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0218Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/359Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using near infrared light
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • G01N21/553Attenuated total reflection and using surface plasmons
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/314Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
    • G01N2021/3155Measuring in two spectral ranges, e.g. UV and visible
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/85Investigating moving fluids or granular solids

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

本開示は、分光分析装置、光学系、及び方法に関する。
従来、溶液等を含む試料の状態を分光学的手法に基づいて分析する技術が知られている。
例えば、非特許文献1には、金属中の自由電子を光で励起、共鳴させて、表面プラズモンの共鳴スペクトルと試料の吸収スペクトルとを重ね合わせ、試料の吸収スペクトルの強度を見かけ上増大させる表面プラズモン共鳴近赤外分光法が開示されている。
Appl. Phys. Lett. 83, 2232 (2003); https://doi.org/10.1063/1.1610812
このような従来技術では、分光分析の対象となる試料が接触する金属薄膜の界面に付着物が付着すると、付着物に基づく分光情報しか得られなくなるという問題があった。このような問題を解決するために、ふき取り、界面活性剤による洗浄、及び表面研磨等を含む洗浄処理を行って界面の付着物が除去される。しかしながら、このような洗浄処理によって試料の分光分析に係る測定を連続的に行うことができず、測定の効率が低下していた。
本開示は、試料の分光分析に係る測定の効率が向上する分光分析装置、光学系、及び方法を提供することを目的とする。
幾つかの実施形態に係る分光分析装置は、分光分析の対象となる試料が接触する膜と、前記膜の界面に付着した付着物が分解する遷移エネルギーを有する第1照射光を照射する第1照射部と、前記第1照射部から照射された前記第1照射光を伝搬させる光導波路と、を備え、前記光導波路の表面において、前記付着物の付着領域にしみ出す前記第1照射光に基づく第1エバネッセント波が発生する。
これにより、分光分析装置では、試料の分光分析に係る測定の効率が向上する。例えば、分光分析装置は、光導波路の表面において、付着物の付着領域にしみ出す第1照射光に基づく第1エバネッセント波が発生することで、金属薄膜の界面に付着した付着物を分解できる。例えば、分光分析装置は、金属薄膜の界面に吸着又は堆積したタンパク質等の高分子有機物を分解して脱離させることが可能となる。分解された付着物は、金属薄膜に接触する試料の流れによって洗い流される。以上により、分光分析装置は、従来技術において必要とされていた、ふき取り、界面活性剤による洗浄、及び表面研磨等を含む洗浄処理を省略可能とする。これにより、分光分析装置は、試料の分光分析に係る測定を連続的に行うことができる。
一実施形態における分光分析装置では、前記光導波路は、前記光導波路に入射した前記第1照射光が前記光導波路内で全反射しながら伝搬するように全反射する反射面を有してもよい。これにより、光導波路内を伝搬する第1照射光の、光導波路の外部、例えばプリズムへの入射が抑制可能である。結果として、例えば、第2検出部に関わる光路への第1照射光の混入が抑制され、第1照射光のクロストークが抑制される。したがって、第2検出部を用いた試料の分光測定において、第1照射光に基づくノイズが低減される。加えて、例えば、第1照射光に基づくソラリゼーション等によるプリズムの劣化が抑制される。同様に、例えばプリズムにおける光導波路側の表面に形成されている第2照射光に対する反射防止膜の第1照射光に基づく劣化が抑制される。
一実施形態における分光分析装置は、前記第1照射部によって照射された前記第1照射光に基づく、前記光導波路から出射する第1測定光であって、前記付着物の吸収スペクトルの第1情報を含む前記第1測定光を検出する第1検出部を備えてもよい。これにより、分光分析装置は、当該吸収スペクトルの変化を識別可能である。したがって、分光分析装置は、当該吸収スペクトルの変化に基づいて付着物の付着を検知し、適切なタイミングで第1照射光に基づく付着物の分解処理を実行することができる。加えて、分光分析装置は、当該吸収スペクトルの変化に基づいて、第1照射光による付着物の分解が確実に達成されているか否かを容易に検知可能である。
一実施形態における分光分析装置は、前記第1情報を前記第1検出部から取得する制御部を備え、前記制御部は、取得された前記第1情報に基づいて、前記吸収スペクトルのピークがスペクトル強度に関する閾値に達したか否かを判定し、閾値に達したと判定すると、前記第1照射光の照射強度を前記第1照射部により変動させてもよい。これにより、分光分析装置は、例えば、付着物の量が多い段階と少ない段階とに分けて第1照射光の照射強度を適切に制御可能である。例えば、分光分析装置は、付着物の量が多い段階では、付着物の効率的な分解を可能にする高強度の第1照射光を照射しつつ、付着物の量が少ない段階では、光導波路の劣化を抑制可能とする必要最小限の強度で第1照射光を照射することができる。
一実施形態における分光分析装置では、前記制御部は、前記吸収スペクトルのピークが高くなることで前記閾値に達したと判定すると、前記第1照射光の照射強度を前記第1照射部により増大させてもよい。これにより、分光分析装置は、付着物の量が少ない段階では光導波路の劣化を抑制可能としつつ、付着物の量が多くなった段階では付着物の効率的な分解を可能にする。したがって、例えば、高強度の第1照射光を光導波路に常時伝搬させるような場合と比較して、光導波路の光学特性がより長期にわたって安定的に維持され、分光分析装置の製品としての信頼性も長期にわたり維持される。
一実施形態における分光分析装置では、前記第1照射光及び前記第1測定光のそれぞれの波長帯域は紫外域に含まれてもよい。これにより、例えばタンパク質等の高分子有機物を分解するために必要となる遷移エネルギーが十分に得られる。加えて、X線等のさらに短波長の光に比べて、光導波路における第1照射光の伝搬に伴って生じる金属薄膜の劣化が抑制される。また、例えば近赤外線としての第2照射光に比べて波長が十分に短くなるので、第1エバネッセント波がしみ出す領域が金属薄膜の界面近傍により限定される。したがって、分光分析装置は、試料に関連する情報が第1測定光に含まれることを抑制して、付着物の吸収スペクトルの第1情報を第1測定光に基づいて精度良く取得することができる。
一実施形態における分光分析装置は、前記試料の領域にしみ出す第2エバネッセント波を発生させる第2照射光を前記膜に照射する第2照射部と、前記第2照射部によって照射された前記第2照射光に基づく第2測定光であって、前記試料の吸収スペクトルの第2情報を含む前記第2測定光を検出する第2検出部と、前記第2照射光及び前記第2測定光が透過するプリズムと、前記プリズムと前記光導波路との間に配置され、前記第1照射光に対する透過率よりも前記第2照射光に対する透過率が高いフィルタと、を備えてもよい。
これにより、光導波路内を伝搬する第1照射光のプリズムへの入射が抑制可能である。結果として、例えば、第2検出部に関わる光路への第1照射光の混入が抑制され、第1照射光のクロストークが抑制される。したがって、第2検出部を用いた試料の分光測定において、第1照射光に基づくノイズが低減される。加えて、例えば、第1照射光に基づくソラリゼーション等によるプリズムの劣化が抑制される。同様に、例えばプリズムにおける光導波路側の表面に形成されている第2照射光に対する反射防止膜の第1照射光に基づく劣化が抑制される。
一実施形態における分光分析装置では、前記第2照射光及び前記第2測定光のそれぞれの波長帯域は近赤外域に含まれてもよい。これにより、分光分析装置は、例えば分子振動に由来する吸収スペクトルに基づいて、試料の状態を分析することができる。
幾つかの実施形態に係る光学系は、分光分析の対象となる試料が接触する膜と、前記膜の界面に付着した付着物が分解する遷移エネルギーを有する第1照射光を伝搬させる光導波路であって、前記光導波路の表面において、前記付着物の付着領域にしみ出す前記第1照射光に基づく第1エバネッセント波が発生する前記光導波路と、前記光導波路に対して前記膜と反対側に配置され、前記試料の領域にしみ出して前記試料に吸収される第2エバネッセント波を発生させる第2照射光が透過するプリズムと、を備える。
これにより、光学系では、試料の分光分析に係る測定の効率が向上する。例えば、光学系は、光導波路の表面において、付着物の付着領域にしみ出す第1照射光に基づく第1エバネッセント波が発生することで、金属薄膜の界面に付着した付着物を分解できる。例えば、光学系は、金属薄膜の界面に吸着又は堆積したタンパク質等の高分子有機物を分解して脱離させることが可能となる。分解された付着物は、金属薄膜に接触する試料の流れによって洗い流される。以上により、光学系は、従来技術において必要とされていた、ふき取り、界面活性剤による洗浄、及び表面研磨等を含む洗浄処理を省略可能とする。これにより、光学系は、試料の分光分析に係る測定を連続的に行うことを可能にする。
幾つかの実施形態に係る方法は、分光分析の対象となる試料が接触する膜の界面に付着した付着物が分解する遷移エネルギーを有する第1照射光を照射するステップと、照射された前記第1照射光を光導波路に伝搬させ、かつ前記付着物の付着領域にしみ出す前記第1照射光に基づく第1エバネッセント波を前記光導波路の表面に発生させるステップと、を含む。
これにより、試料の分光分析に係る測定の効率が向上する。例えば、付着物の付着領域にしみ出す第1照射光に基づく第1エバネッセント波を光導波路の表面に発生させるステップが含まれることで、金属薄膜の界面に付着した付着物が分解可能である。例えば、金属薄膜の界面に吸着又は堆積したタンパク質等の高分子有機物が分解して脱離することが可能となる。分解された付着物は、金属薄膜に接触する試料の流れによって洗い流される。以上により、従来技術において必要とされていた、ふき取り、界面活性剤による洗浄、及び表面研磨等を含む洗浄処理が省略可能となる。これにより、試料の分光分析に係る測定が連続的に実行可能である。
本開示によれば、試料の分光分析に係る測定の効率が向上する分光分析装置、光学系、及び方法を提供可能である。
本開示の一実施形態に係る分光分析装置の概略構成を示す模式図である。 図1の光導波路の概略構成を示す模式図である。 図1の分光分析装置の概略構成に対応するブロック図である。 図1の分光分析装置の動作の第1例を説明するためのフローチャートである。 図1の分光分析装置の動作の第2例を説明するためのフローチャートである。 図1の分光分析装置の変形例を示す模式図である。
従来技術の背景及び問題点についてより詳細に説明する。
従来、プリズム上に密着した試料に対してプリズム端から照射光を照射し、臨界角以上で全反射したプリズムからの出射光を検出する全反射分光法(Attenuated Total Reflection (ATR))が一般的に知られている。ATR法は、極少量の試料を計測する手法として一般的である。プリズム側から照射光が入射した場合、入射角が臨界角よりも大きいと、照射光はプリズムと試料との間の界面で全反射する。このとき、界面には、照射光に基づくエバネッセント波が発生する。ATR法は、このエバネッセント波を利用して、試料の吸収スペクトルを取得する手法である。
しかしながら、エバネッセント波は、プリズムの極表面にのみ存在する。したがって、試料に照射される照射光が微弱であり、試料の吸収スペクトルの強度が低いという課題があった。その課題を解決するために、プリズムと試料との間に配置された金属薄膜中の自由電子をエバネッセント波で励起、共鳴させて、表面プラズモンを発生させることが考えられた。表面プラズモンの共鳴スペクトルと試料の吸収スペクトルとを重ね合わせ、試料の吸収スペクトルの強度を見かけ上増大させる表面プラズモン共鳴近赤外分光法が開発された。
従来の表面プラズモン共鳴近赤外分光法に用いられる光学系では、広帯域光源から照射された照射光は、光ファイバ等の導光部品を伝搬して、レンズ及びミラー等により平行光に調整された後、金属薄膜が接合されたプリズム基板に入射する。金属薄膜は、例えば、金、銀、銅、及びアルミニウム等の薄膜を含む。プリズム基板は、例えば、三角プリズム、円筒プリズム、及び半球プリズム等を含む。
プリズム基板において反射した反射光は、レンズ及びミラー等により集光される。集光された反射光は、光ファイバ等の導光部品を伝搬して分光器によって検出される。処理部は、検出された反射光に基づいて、試料の吸収スペクトルの情報を取得する。例えば、処理部は、ATR法及び表面プラズモン共鳴近赤外分光法に基づいて、試料の屈折率、吸収係数、及び膜厚等の物理的情報を吸収スペクトルの情報に対するデータ処理によって取得する。
金属薄膜の裏面から照射光が入射する光学系の全反射条件において、エバネッセント波の波長と表面プラズモンの波長とが一致するとき、エバネッセント波と表面プラズモンとが共鳴して極大な光吸収が生じる。表面プラズモンの共鳴スペクトルは、金属薄膜上の試料の屈折率に依存する。より具体的には、試料の屈折率に基づいて、表面プラズモンの共鳴スペクトルの極大吸収波長、すなわちピーク波長又は極大吸収角度はシフトする。同様に、照射光の金属薄膜に対する入射角度を変化させることで、表面プラズモンの共鳴スペクトルのピーク波長が波長軸方向に変化する。
したがって、特定の波長域に共鳴スペクトルのピーク波長をシフトさせて共鳴条件における極大光吸収波長と試料の吸収スペクトルのピーク波長とを一致させることが可能となる。これにより、試料の吸収スペクトルの強度が見かけ上増大し、試料に起因する吸収スペクトルを感度良く測定することができる。
しかしながら、以上のような従来技術では、分光分析の対象となる試料が接触する金属薄膜の界面に付着物が付着する。例えば、試料に含まれるタンパク質等の高分子有機物が金属薄膜の界面に吸着又は堆積する。従来技術では、プリズム基板に接合された金属薄膜上の極表面のみに対して測定が行われるため、金属薄膜の界面に付着物が付着すると、このような付着物に基づく分光情報のみしか得られなくなるという問題があった。このような問題を解決するために、ふき取り、界面活性剤による洗浄、及び表面研磨等を含む洗浄処理を行って界面の付着物が除去される。しかしながら、このような洗浄処理によって試料の分光分析に係る測定を連続的に行うことができず、測定の効率が低下していた。
本開示は、以上のような問題点を解決するために、試料の分光分析に係る測定の効率が向上する分光分析装置、光学系、及び方法を提供することを目的とする。以下では、添付図面を参照しながら本開示の一実施形態について主に説明する。
図1は、本開示の一実施形態に係る分光分析装置1の概略構成を示す模式図である。分光分析装置1は、分光分析の対象となる試料Sが接触する金属薄膜3を有する。金属薄膜3は、例えば、金、銀、銅、及びアルミニウム等の薄膜を含む。
分光分析装置1は、例えば所定の流路内を一方向に流れ、表面プラズモンが発生する金属薄膜3に接触する試料Sの状態を分析する。本明細書において、「試料S」は、例えば、溶液を含む。「試料Sの状態」は、例えば、試料Sにおける成分の種類及び比率を含む成分組成、並びにその他試料Sの吸収スペクトルから読み取れる任意の物理的又は化学的なパラメータを含む。試料Sは、図1のように一方向に流れる構成に限定されず、金属薄膜3上の所定領域にとどまっていてもよい。図1を参照しながら、本開示の一実施形態に係る分光分析装置1の構成について主に説明する。
分光分析装置1は、金属薄膜3の界面に付着した付着物が分解する遷移エネルギーを有する第1照射光L1を照射する第1照射部10を有する。本明細書において、「金属薄膜3の界面」は、例えば、金属薄膜3の表面のうち試料Sが接触する表面を含む。すなわち、金属薄膜3の界面は、光導波路2が接合される表面と反対側の表面を含む。本明細書において、「付着物」は、金属薄膜3の界面に付着する任意の有機物を含み、例えばタンパク質等の高分子有機物を含む。
例えば、第1照射光L1の波長帯域は紫外域に含まれる。第1照射部10は、例えば、キセノンランプ、LED(Light Emitting Diode)、及びLD(Laser Diode)等を含む任意の紫外光源を有する。本明細書において、「紫外域」は、例えば、50nm以上450nm未満の光の波長領域を含む。第1照射光L1の波長帯域は、例えば、150nm以上300nm以下であってもよいし、175nm以上225nm以下であってもよいし、200nm以上260nm以下であってもよい。
分光分析装置1は、第1照射部10から照射された第1照射光L1を伝搬させる光導波路2を有する。光導波路2の表面において、付着物の付着領域にしみ出す第1照射光L1に基づく第1エバネッセント波が発生する。光導波路2は、例えば、試料Sの反対側で金属薄膜3と接合される。光導波路2は、付着物を分解させるための第1照射光L1を伝搬させるために、後述のプリズム4よりも屈折率が高い材料によって形成される。例えば、光導波路2は、紫外光を伝搬させるために、後述のプリズム4よりも屈折率が高く、かつ紫外域における透過率が高い材料によって形成される。例えば、光導波路2は、N-K5及びB270等の材料により形成される。光導波路2は、後述のプリズム4よりも屈折率が高い材料によって形成されることで、全反射によって第1照射光L1を光導波路2内に伝搬させることが可能となる。これにより、光導波路2は、プリズム4への第1照射光L1の入射を抑制可能である。
分光分析装置1は、例えば、第1照射部10によって照射された第1照射光L1に基づく、光導波路2から出射する第1測定光L2であって、付着物の吸収スペクトルの第1情報を含む第1測定光L2を検出する第1検出部20を有する。例えば、第1測定光L2の波長帯域は、紫外域に含まれる。第1検出部20は、例えば、第1測定光L2を検出可能な任意の分光器を有する。例えば、第1検出部20は、光導波路2に対して第1照射部10と同一側に配置される。
図2は、図1の光導波路2の概略構成を示す模式図である。図2に示すとおり、光導波路2は、金属薄膜3と反対側に位置する表面2aと、表面2aに対して角度θ1で傾斜する反射面2bと、金属薄膜3側に位置する表面2cと、表面2aに対して角度θ2で傾斜する反射面2dと、を有する。
第1照射部10から照射された第1照射光L1は、例えば下方から光導波路2の表面2aに入射し、光導波路2内で反射面2bにより全反射する。第1照射光L1は、光導波路2内で全反射しながら伝搬する。例えば、全反射条件を満たしながら光導波路2に第1照射光L1を導波させるために、反射面2bと表面2aとがなす角度θ1は10度以下である。より具体的には、全反射角θは、スネルの法則に基づいて以下の式1により求められ、例えば、角度θ1は、式1で求められる値以下とする。
Figure 0007264134000001
ここで、n1は、光導波路2の屈折率であり、n2は、光導波路2の外部の屈折率である。
光導波路2の表面2a及び2cには、第1照射光L1に基づく第1エバネッセント波が発生する。なお、図1及び図2において、第1照射光L1が光導波路2内で反射する回数は図示の内容に限定されない。第1照射光L1は、より多くの回数で反射してもよい。
光導波路2の金属薄膜3側の表面2cに発生した第1エバネッセント波は、金属薄膜3の界面に付着した付着物の付着領域にしみ出す。第1エバネッセント波は、金属薄膜3の界面に付着した付着物に吸収される。付着物は、第1エバネッセント波が有する遷移エネルギーにより励起され、化学反応によって分解される。分解された付着物は、試料Sの流れによって洗い流される。
付着物の吸収スペクトルの第1情報を含む、第1照射光L1に基づく第1測定光L2は、光導波路2内で反射面2dにより全反射して光導波路2から出射する。例えば、反射面2dと表面2aとがなす角度θ2は10度以下である。例えば、角度θ1と角度θ2とは互いに同一である。
第1測定光L2は、光導波路2から出射した後、第1検出部20に入射する。なお、図1及び図2において、第1測定光L2が光導波路2内で反射する回数は図示の内容に限定されない。第1測定光L2は、より多くの回数で反射してもよい。
図1に示すとおり、分光分析装置1は、光導波路2に対して金属薄膜3と反対側に配置され、光導波路2と接合されるプリズム4を有する。プリズム4は、例えば、BK-7等の光学ガラスにより半球状に形成される。これに限定されず、プリズム4は、例えば、三角プリズム又は円筒プリズムとして形成されてもよい。例えば、プリズム4は、紫外域における透過率が低いBK-7等の材料により形成されることで、光導波路2を伝搬する紫外光が背景光として試料Sの測定光路に入り込むことを抑制可能である。
分光分析装置1は、第2照射光L3を照射する広帯域光源31を有する。例えば、第2照射光L3の波長帯域は、近赤外域に含まれる。広帯域光源31は、例えば、近赤外域の発光素子を有する光源を含む。本明細書において、「近赤外域」は、例えば、800nm以上2.5μm未満の光の波長領域を含む。
分光分析装置1は、広帯域光源31から照射された第2照射光L3を導く導光部品32を有する。導光部品32は、例えば、光ファイバを含んでもよいし、レンズ及びミラー等の空間光学部品を含んでもよい。分光分析装置1は、導光部品32から出射する第2照射光L3を平行光に調整する光平行化部品33を有する。光平行化部品33は、例えば、レンズ及びミラー等の空間光学部品を含む。
分光分析装置1は、プリズム4から出射した第2測定光L4を集光する集光部品41を有する。集光部品41は、例えば、レンズ及びミラー等の空間光学部品を含む。分光分析装置1は、集光部品41によって集光された第2測定光L4を導く導光部品42を有する。導光部品42は、例えば、光ファイバを含んでもよいし、レンズ及びミラー等の空間光学部品を含んでもよい。分光分析装置1は、導光部品42を伝搬した第2測定光L4を検出する検出器43を有する。例えば、第2測定光L4の波長帯域は、近赤外域に含まれる。検出器43は、例えば、近赤外域の分光素子及び近赤外域の検出素子を有する分光器を含む。
光平行化部品33から出射した第2照射光L3は、光導波路2及び金属薄膜3が接合されたプリズム4に入射する。第2照射光L3は、プリズム4を透過して、例えば斜め下方から光導波路2に入射し、光導波路2と金属薄膜3との間の界面で全反射する。このとき、光導波路2の表面2cには、第2照射光L3に基づく第2エバネッセント波が発生する。
光導波路2の金属薄膜3側の表面2cに発生した第2エバネッセント波は、金属薄膜3上で一方向に流れている試料Sの領域にしみ出す。第2エバネッセント波は、金属薄膜3上で一方向に流れている試料Sに吸収される。
試料Sの吸収スペクトルの第2情報を含む、第2照射光L3に基づく第2測定光L4は、光導波路2及びプリズム4を透過してプリズム4から出射する。第2測定光L4は、プリズム4から出射した後、集光部品41及び導光部品42を介して検出器43に入射する。
金属薄膜3の裏面から第2照射光L3が入射する光学系の全反射条件において、第2エバネッセント波の波長と表面プラズモンの波長とが一致するとき、第2エバネッセント波と表面プラズモンとが共鳴して極大な光吸収が生じる。このような全反射条件は、第2照射光L3が金属薄膜3の裏面、すなわち金属薄膜3と光導波路2との間の界面で全反射するための条件を含む。表面プラズモンの共鳴スペクトルは、金属薄膜3上の試料Sの屈折率に依存する。より具体的には、試料Sの屈折率に基づいて、表面プラズモンの共鳴スペクトルの極大吸収波長、すなわちピーク波長又は極大吸収角度はシフトする。同様に、第2照射光L3の金属薄膜3に対する入射角度を変化させることで、表面プラズモンの共鳴スペクトルのピーク波長が波長軸方向に変化する。
したがって、特定の波長域に共鳴スペクトルのピーク波長をシフトさせて共鳴条件における極大光吸収波長と試料Sの吸収スペクトルのピーク波長とを一致させることが可能となる。これにより、試料Sの吸収スペクトルの強度が見かけ上増大し、試料Sに起因する吸収スペクトルの測定感度が向上する。
図3は、図1の分光分析装置1の概略構成に対応するブロック図である。図3を参照しながら、本開示の一実施形態に係る分光分析装置1の構成についてさらに説明する。
分光分析装置1は、上述した第1照射部10及び第1検出部20に加えて、第2照射部30と、第2検出部40と、記憶部50と、入力部60と、出力部70と、制御部80と、を有する。
第2照射部30は、試料Sの領域にしみ出す第2エバネッセント波を発生させる第2照射光L3を金属薄膜3に照射する任意の光学系を有する。例えば、第2照射部30は、上述した、広帯域光源31と、導光部品32と、光平行化部品33と、を有する。
第2検出部40は、第2照射部30によって照射された第2照射光L3に基づく第2測定光L4であって、試料Sの吸収スペクトルの第2情報を含む第2測定光L4を検出する任意の光学系を有する。例えば、第2検出部40は、上述した、集光部品41と、導光部品42と、検出器43と、を有する。
記憶部50は、HDD(Hard Disk Drive)、SSD(Solid State Drive)、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)、ROM(Read-Only Memory)、及びRAM(Random Access Memory)を含む任意の記憶モジュールを含む。記憶部50は、例えば、主記憶装置、補助記憶装置、又はキャッシュメモリとして機能してもよい。記憶部50は、分光分析装置1の動作に用いられる任意の情報を記憶する。
例えば、記憶部50は、第1検出部20によって検出された第1測定光L2が有する付着物の吸収スペクトルの第1情報を記憶する。例えば、記憶部50は、第2検出部40によって検出された第2測定光L4が有する試料Sの吸収スペクトルの第2情報を記憶する。例えば、記憶部50は、システムプログラム及びアプリケーションプログラム等を記憶してもよい。記憶部50は、分光分析装置1に内蔵されているものに限定されず、USB(Universal Serial Bus)等のデジタル入出力ポートによって接続されている外付け型の記憶モジュールを含んでもよい。
入力部60は、ユーザの入力操作を受け付けて、ユーザの操作に基づく入力情報を取得する1つ以上の入力インタフェースを含む。例えば、入力部60は、物理キー、静電容量キー、出力部70のディスプレイと一体的に設けられたタッチスクリーン、及び音声入力を受け付けるマイク等を含むが、これらに限定されない。
出力部70は、ユーザに対して情報を出力する1つ以上の出力インタフェースを含む。例えば、出力部70は、情報を画像で出力するディスプレイ、又は情報を音声で出力するスピーカ等であるが、これらに限定されない。
制御部80は、1つ以上のプロセッサを含む。一実施形態において「プロセッサ」は、汎用のプロセッサ、又は特定の処理に特化した専用のプロセッサであるが、これらに限定されない。制御部80は、分光分析装置1を構成する各構成部と通信可能に接続され、分光分析装置1全体の動作を制御する。
例えば、制御部80は、第1照射部10を制御して、金属薄膜3の界面に付着した付着物を分解するための第1照射光L1を照射させる。例えば、制御部80は、金属薄膜3の界面に付着した付着物の吸収スペクトルの第1情報を第1検出部20から取得する。
例えば、制御部80は、第2照射部30を制御して、金属薄膜3上で一方向に流れている試料Sの状態を分光分析するための第2照射光L3を照射させる。例えば、制御部80は、金属薄膜3上で一方向に流れている試料Sの吸収スペクトルの第2情報を第2検出部40から取得する。
例えば、制御部80は、取得された第1情報及び第2情報を、記憶部50に格納する。例えば、制御部80は、取得された第1情報及び第2情報を、出力部70によりユーザに対して出力してもよい。すなわち、制御部80は、取得された第1情報に基づいて、金属薄膜3の界面に付着した付着物の吸収スペクトルを出力部70により表示してもよい。制御部80は、取得された第2情報に基づいて、金属薄膜3上で一方向に流れている試料Sの吸収スペクトルを出力部70により表示してもよい。
例えば、制御部80は、第1検出部20から取得された第1情報に基づいて、金属薄膜3の界面に付着した付着物の吸収スペクトルのピーク強度を算出する。例えば、制御部80は、第2検出部40から取得された第2情報に基づいて、金属薄膜3上で一方向に流れている試料Sの状態を分析する。例えば、制御部80は、算出又は分析されたこれらの情報を、出力部70によりユーザに対して出力してもよい。
例えば、制御部80は、第1検出部20から取得された第1情報に基づいて、金属薄膜3の界面に付着した付着物の吸収スペクトルのピークがスペクトル強度に関する閾値に達したか否かを判定する。例えば、制御部80は、閾値に達したと判定すると、第1照射光L1の照射強度を第1照射部10により変動させる。本明細書において、「閾値」は、例えば入力部60を用いたユーザの入力操作に基づく入力情報により適宜定められたスペクトル強度に関する値を含んでもよいし、製品として分光分析装置1を製造するときの初期設定により予め定められたスペクトル強度に関する値を含んでもよい。
例えば、制御部80は、吸収スペクトルのピークが高くなることで閾値に達したと判定すると、第1照射光L1の照射強度を第1照射部10により増大させてもよい。逆に、制御部80は、吸収スペクトルのピークが低くなることで閾値に達したと判定すると、第1照射光L1の照射強度を第1照射部10により減少させてもよい。
図4は、図1の分光分析装置1の動作の第1例を説明するためのフローチャートである。図4を参照しながら、分光分析装置1の動作の第1例について主に説明する。分光分析装置1の動作の第1例では、金属薄膜3の界面に付着した付着物の吸収スペクトルのピークが高くなることで閾値に達する場合を想定する。以下と同様の説明が、吸収スペクトルのピークが低くなることで閾値に達する場合にも当てはまる。
ステップS100では、分光分析装置1は、分光分析の対象となる試料Sが接触する金属薄膜3の界面に付着した付着物が分解する遷移エネルギーを有する第1照射光L1を第1照射部10により照射する。例えば、制御部80は、第1照射部10を制御して、第1照射光L1を第1照射強度で照射させる。本明細書において、「第1照射強度」は、例えば、金属薄膜3の界面に付着した付着物の吸収スペクトルの第1情報を制御部80が取得するために必要となる第1照射光L1の最低強度以上であって、第1照射光L1の伝搬に伴う光導波路2の劣化が十分に抑制される程度の照射強度を含む。
ステップS101では、分光分析装置1は、ステップS100において照射された第1照射光L1を光導波路2に伝搬させ、かつ金属薄膜3の界面に付着した付着物の付着領域にしみ出す第1照射光L1に基づく第1エバネッセント波を光導波路2の表面2cに発生させる。
ステップS102では、分光分析装置1は、ステップS100において照射された第1照射光L1に基づく、光導波路2から出射する第1測定光L2であって、付着物の吸収スペクトルの第1情報を含む第1測定光L2を第1検出部20により検出する。
ステップS103では、分光分析装置1は、金属薄膜3の界面に付着した付着物の吸収スペクトルの第1情報を、ステップS102において第1検出部20により検出された第1測定光L2に基づいて取得する。
ステップS104では、分光分析装置1は、ステップS103において第1検出部20から取得された第1情報に基づいて、金属薄膜3の界面に付着した付着物の吸収スペクトルのピークがスペクトル強度に関する閾値に達したか否かを判定する。分光分析装置1は、閾値に達したと判定すると、ステップS105の処理を実行する。分光分析装置1は、閾値に達していないと判定すると、ステップS100の処理を再度実行する。
ステップS105では、分光分析装置1は、ステップS104において閾値に達したと判定すると、第1照射光L1の照射強度を第1照射部10により増大させる。例えば、制御部80は、第1照射部10を制御して、第1照射光L1を第2照射強度で照射させる。本明細書において、「第2照射強度」は、例えば、第1照射部10が照射可能な第1照射光L1の最大強度以下であって、金属薄膜3の界面に付着した付着物を効率的に分解できる程度の照射強度を含む。第2照射強度は、第1照射強度よりも十分に大きい。
図5は、図1の分光分析装置1の動作の第2例を説明するためのフローチャートである。図5を参照しながら、分光分析装置1の動作の第2例について主に説明する。
ステップS200では、分光分析装置1は、金属薄膜3上で一方向に流れている試料Sの状態を分光分析するための第2照射光L3を第2照射部30により照射する。
ステップS201では、分光分析装置1は、ステップS200において照射された第2照射光L3を光導波路2と金属薄膜3との間の界面において全反射させ、試料Sの領域にしみ出す第2エバネッセント波を発生させる。
ステップS202では、分光分析装置1は、ステップS200において照射された第2照射光L3に基づく、プリズム4から出射する第2測定光L4であって、試料Sの吸収スペクトルの第2情報を含む第2測定光L4を第2検出部40により検出する。
ステップS203では、分光分析装置1は、金属薄膜3上で一方向に流れている試料Sの吸収スペクトルの第2情報を、ステップS202において第2検出部40により検出された第2測定光L4に基づいて取得する。
ステップS204では、分光分析装置1は、ステップS203において第2検出部40から取得された第2情報に基づいて、金属薄膜3上で一方向に流れている試料Sの状態を分析する。
以上のような一実施形態に係る分光分析装置1によれば、試料Sの分光分析に係る測定の効率が向上する。例えば、分光分析装置1は、光導波路2の表面2cにおいて、付着物の付着領域にしみ出す第1照射光L1に基づく第1エバネッセント波が発生することで、金属薄膜3の界面に付着した付着物を分解できる。例えば、分光分析装置1は、金属薄膜3の界面に吸着又は堆積したタンパク質等の高分子有機物を分解して脱離させることが可能となる。分解された付着物は、金属薄膜3に接触する試料Sの流れによって洗い流される。以上により、分光分析装置1は、従来技術において必要とされていた、ふき取り、界面活性剤による洗浄、及び表面研磨等を含む洗浄処理を省略可能とする。これにより、分光分析装置1は、試料Sの分光分析に係る測定を連続的に行うことができる。
仮に、試料Sが金属薄膜3上の所定領域にとどまっているような場合であっても、第1照射光L1によって分解された付着物をふき取ったり、又は吸い取ったりする単純な作業のみが必要とされ、界面活性剤による洗浄及び表面研磨等の複雑な作業は不要となる。したがって、分光分析装置1は、試料Sの分光分析に係る測定を停止して洗浄処理が実行される間の時間を最小限に抑えることが可能となり、試料Sの分光分析に係る測定の効率を向上させることが可能である。
以上のように試料Sの分光分析に係る測定の効率が向上することで、従来技術と比較して測定時間が短縮化される。加えて、従来技術と比較して分光分析装置1の保守又は管理に必要となるコストが低減可能である。さらに、分光分析装置1では、金属薄膜3の界面に付着した付着物が容易に除去され、付着物による測定不良が容易に回避される。したがって、測定に関する長期安定性が向上し、分光分析装置1の製品としての信頼性も向上する。
光導波路2に入射した第1照射光L1が光導波路2内で全反射しながら伝搬するように全反射する反射面2bを光導波路2が有することで、光導波路2内を伝搬する第1照射光L1の、光導波路2の外部、例えばプリズム4への入射が抑制可能である。これにより、例えば、第2検出部40に関わる光路への第1照射光L1の混入が抑制され、第1照射光L1のクロストークが抑制される。したがって、第2検出部40を用いた試料Sの分光測定において、第1照射光L1に基づくノイズが低減される。加えて、例えば、第1照射光L1に基づくソラリゼーション等によるプリズム4の劣化が抑制される。同様に、例えばプリズム4における光導波路2側の表面に形成されている第2照射光L3に対する反射防止膜の第1照射光L1に基づく劣化が抑制される。
光導波路2が反射面2bを有することで、第1照射部10から照射された第1照射光L1のほぼ全てを光導波路2に結合させることが可能となる。「光導波路2に結合させる」とは、第1照射光L1を光導波路2内で全反射させながら導波させることを意味する。例えば、第1照射光L1が図1における左方から光導波路2に結合するような他の場合と比較して、第1照射光L1を光導波路2に入射させるための光学系に関する設計自由度が向上する。したがって、第1照射光L1の光導波路2に対する結合損失を低減させることが他の場合と比較して容易になる。
分光分析装置1は、付着物の吸収スペクトルの第1情報を含む第1測定光L2を検出する第1検出部20を有することで、当該吸収スペクトルの変化を識別可能である。これにより、分光分析装置1は、当該吸収スペクトルの変化に基づいて付着物の付着を検知し、適切なタイミングで第1照射光L1に基づく付着物の分解処理を実行することができる。加えて、分光分析装置1は、当該吸収スペクトルの変化に基づいて、第1照射光L1による付着物の分解が確実に達成されているか否かを容易に検知可能である。
同様に、ユーザは、例えば出力部70に表示された当該吸収スペクトルの様子から、その変化を把握可能である。これにより、ユーザは、当該吸収スペクトルの変化に基づいて付着物の付着を把握し、適切なタイミングで第1照射光L1に基づく付着物の分解処理を分光分析装置1に実行させることができる。加えて、ユーザは、当該吸収スペクトルの変化に基づいて、第1照射光L1による付着物の分解が確実に達成されているか否かを容易に確認可能である。
分光分析装置1は、閾値に達したと判定すると第1照射光L1の照射強度を第1照射部10により変動させることで、例えば、付着物の量が多い段階と少ない段階とに分けて第1照射光L1の照射強度を適切に制御可能である。例えば、分光分析装置1は、付着物の量が多い段階では、付着物の効率的な分解を可能にする高強度の第1照射光L1を照射しつつ、付着物の量が少ない段階では、光導波路2の劣化を抑制可能とする必要最小限の強度で第1照射光L1を照射することができる。
分光分析装置1は、吸収スペクトルのピークが高くなることで閾値に達したと判定すると、第1照射光L1の照射強度を第1照射部10により増大させることで、付着物の量が少ない段階では光導波路2の劣化を抑制可能としつつ、付着物の量が多くなった段階では付着物の効率的な分解を可能にする。したがって、例えば、高強度の第1照射光L1を光導波路2に常時伝搬させるような場合と比較して、光導波路2の光学特性がより長期にわたって安定的に維持され、分光分析装置1の製品としての信頼性も長期にわたり維持される。
第1照射光L1及び第1測定光L2のそれぞれの波長帯域が紫外域に含まれることで、例えばタンパク質等の高分子有機物を分解するために必要となる遷移エネルギーが十分に得られる。加えて、X線等のさらに短波長の光に比べて、光導波路2における第1照射光L1の伝搬に伴って生じる金属薄膜3の劣化が抑制される。また、例えば近赤外線としての第2照射光L3に比べて波長が十分に短くなるので、第1エバネッセント波がしみ出す領域が金属薄膜3の界面近傍により限定される。したがって、分光分析装置1は、試料Sに関連する情報が第1測定光L2に含まれることを抑制して、付着物の吸収スペクトルの第1情報を第1測定光L2に基づいて精度良く取得することができる。
第2照射光L3及び第2測定光L4のそれぞれの波長帯域が近赤外域に含まれることで、分光分析装置1は、例えば分子振動に由来する吸収スペクトルに基づいて、試料Sの状態を分析することができる。
本開示を諸図面及び実施例に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形及び修正を行うことが容易であることに注意されたい。したがって、これらの変形及び修正は本開示の範囲に含まれることに留意されたい。例えば、各構成又は各ステップ等に含まれる機能等は論理的に矛盾しないように再配置可能であり、複数の構成又はステップ等を1つに組み合わせたり、或いは分割したりすることが可能である。
例えば、本開示は、上述した分光分析装置1の各機能を実現する処理内容を記述したプログラム又はプログラムを記録した記憶媒体としても実現し得る。本開示の範囲には、これらも包含されると理解されたい。
例えば、上述した各構成部の形状、配置、向き、及び個数は、上記の説明及び図面における図示の内容に限定されない。各構成部の形状、配置、向き、及び個数は、その機能を実現できるのであれば、任意に構成されてもよい。
図6は、図1の分光分析装置1の変形例を示す模式図である。図6を参照しながら、分光分析装置1の変形例について主に説明する。
例えば、分光分析装置1は、プリズム4と光導波路2との間に配置され、第1照射光L1に対する透過率よりも第2照射光L3に対する透過率が高いフィルタ5をさらに有してもよい。例えば、フィルタ5は、第1照射光L1を透過させず、かつ第2照射光L3を透過させるフィルタを含んでもよい。
例えば、フィルタ5は、プリズム4の光導波路2側の表面に積層された誘電体多層膜により構成されてもよいし、これに代えて又は加えて、プリズム4と光導波路2とを接合する、UV硬化樹脂等を含む接着剤によって構成されてもよい。又は、フィルタ5は、プリズム4における光導波路2側の表面に形成されている第2照射光L3に対する反射防止膜により構成されてもよい。すなわち、当該反射防止膜は、第2照射光L3を反射させず透過させる一方で、第1照射光L1を透過させない。
分光分析装置1がフィルタ5を有することで、光導波路2内を伝搬する第1照射光L1のプリズム4への入射が抑制可能である。これにより、例えば、第2検出部40に関わる光路への第1照射光L1の混入が抑制され、第1照射光L1のクロストークが抑制される。したがって、第2検出部40を用いた試料Sの分光測定において、第1照射光L1に基づくノイズが低減される。加えて、例えば、第1照射光L1に基づくソラリゼーション等によるプリズム4の劣化が抑制される。同様に、例えばプリズム4における光導波路2側の表面に形成されている第2照射光L3に対する反射防止膜の第1照射光L1に基づく劣化が抑制される。
上記では、分光分析装置1は、第1検出部20を有すると説明したが、これに限定されない。分光分析装置1は、第1検出部20に代えて、光導波路2から出射した第1照射光L1を吸収可能な任意の吸収体を有してもよい。又は、分光分析装置1は、第1検出部20を有さずに、光導波路2の反射面2dに設けられた第1照射光L1を吸収可能な任意の吸収体を有してもよい。以上により、第1照射光L1のクロストークが抑制される。
上記では、光導波路2が反射面2bを有し、かつ光導波路2の屈折率がプリズム4の屈折率よりも高いことで、第1照射光L1が全反射により光導波路2内を伝搬すると説明したがこれに限定されない。光導波路2は、コアとクラッドとによって形成される光ファイバであってもよい。このとき、第1照射光L1は、光導波路2の下方から入射するのではなく、図1における左方から光導波路2に入射してもよい。
上記では、第1照射光L1は光導波路2内で反射面2bにより全反射すると説明したが、これに限定されない。例えば、反射面2bが全反射条件を満たしていなくてもよい。この場合、光導波路2の反射面2bには、第1照射光L1を反射させることが可能な金属等の反射膜が接合されていてもよい。
上記では、光導波路2が反射面2dを有し、第1照射光L1が反射面2dで反射して光導波路2の外部に出射すると説明したがこれに限定されない。光導波路2は、反射面2dを有さずに、光導波路2内を伝搬した第1照射光L1を図1における右方に出射させてもよい。
上記では、第1測定光L2は光導波路2内で反射面2dにより全反射すると説明したが、これに限定されない。例えば、反射面2dが全反射条件を満たしていなくてもよい。この場合、光導波路2の反射面2dには、第1測定光L2を反射させることが可能な金属等の反射膜が接合されていてもよい。
上記では、制御部80が閾値に達したか否かを判定すると説明したがこれに限定されない。例えば、出力部70に出力された付着物の吸収スペクトルを確認しながら、ユーザがこのような判定を行ってもよい。また、光導波路2が第1照射光L1に対して十分な耐性を有しているのであれば、制御部80は、第1照射光L1が第2照射強度で常時照射されるように第1照射部10を制御してもよい。
上記では、金属薄膜3は、金、銀、銅、及びアルミニウム等の薄膜を含むと説明したが、これに限定されない。例えば、分光分析装置1は、表面プラズモンが発生する任意の膜を有してもよい。
上記では、第1照射光L1及び第1測定光L2のそれぞれの波長帯域が紫外域に含まれると説明したが、これに限定されない。これらの波長帯域は、他の波長領域に含まれていてもよい。例えば、これらの波長帯域は、可視域に含まれていてもよい。
上記では、第2照射光L3及び第2測定光L4のそれぞれの波長帯域が近赤外域に含まれると説明したが、これに限定されない。これらの波長帯域は、他の波長領域に含まれていてもよい。例えば、これらの波長帯域は、中赤外域又は可視域に含まれていてもよい。
1 分光分析装置
2 光導波路
2b、2d 反射面
2a、2c 表面
3 金属薄膜(膜)
4 プリズム
5 フィルタ
10 第1照射部
20 第1検出部
30 第2照射部
31 広帯域光源
32 導光部品
33 光平行化部品
40 第2検出部
41 集光部品
42 導光部品
43 検出器
50 記憶部
60 入力部
70 出力部
80 制御部
L1 第1照射光
L2 第1測定光
L3 第2照射光
L4 第2測定光
S 試料
θ1、θ2 角度

Claims (10)

  1. 分光分析の対象となる試料が接触する膜と、
    前記膜の界面に付着した、有機物を含む付着物が分解する遷移エネルギーを有する第1照射光を照射する第1照射部と、
    前記第1照射部から照射された前記第1照射光を伝搬させる光導波路と、
    前記試料の領域にしみ出す第2エバネッセント波を発生させる第2照射光を前記膜に照射する第2照射部と、
    前記第2照射部によって照射された前記第2照射光に基づく第2測定光であって、前記試料の吸収スペクトルの第2情報を含む前記第2測定光を検出する第2検出部と、
    前記第2照射光及び前記第2測定光が透過するプリズムと、
    を備え、
    前記光導波路の表面において、前記付着物の付着領域にしみ出す前記第1照射光に基づく第1エバネッセント波が発生する、
    分光分析装置。
  2. 前記光導波路は、前記光導波路に入射した前記第1照射光が前記光導波路内で全反射しながら伝搬するように全反射する反射面を有する、
    請求項1に記載の分光分析装置。
  3. 前記第1照射部によって照射された前記第1照射光に基づく、前記光導波路から出射する第1測定光であって、前記付着物の吸収スペクトルの第1情報を含む前記第1測定光を検出する第1検出部を備える、
    請求項1又は2に記載の分光分析装置。
  4. 前記第1情報を前記第1検出部から取得する制御部を備え、
    前記制御部は、
    取得された前記第1情報に基づいて、前記吸収スペクトルのピークがスペクトル強度に関する閾値に達したか否かを判定し、
    閾値に達したと判定すると、前記第1照射光の照射強度を前記第1照射部により変動させる、
    請求項3に記載の分光分析装置。
  5. 前記制御部は、前記吸収スペクトルのピークが高くなることで前記閾値に達したと判定すると、前記第1照射光の照射強度を前記第1照射部により増大させる、
    請求項4に記載の分光分析装置。
  6. 前記第1照射光及び前記第1測定光のそれぞれの波長帯域は紫外域に含まれる、
    請求項3乃至5のいずれか1項に記載の分光分析装置。
  7. 記プリズムと前記光導波路との間に配置され、前記第1照射光に対する透過率よりも前記第2照射光に対する透過率が高いフィルタを備える、
    請求項1乃至6のいずれか1項に記載の分光分析装置。
  8. 前記第2照射光及び前記第2測定光のそれぞれの波長帯域は近赤外域に含まれる、
    請求項7に記載の分光分析装置。
  9. 分光分析の対象となる試料が接触する膜と、
    前記膜の界面に付着した、有機物を含む付着物が分解する遷移エネルギーを有する第1照射光を伝搬させる光導波路であって、前記光導波路の表面において、前記付着物の付着領域にしみ出す前記第1照射光に基づく第1エバネッセント波が発生する前記光導波路と、
    前記光導波路に対して前記膜と反対側に配置され、前記試料の領域にしみ出して前記試料に吸収される第2エバネッセント波を発生させる第2照射光が透過するプリズムと、
    を備える、
    光学系。
  10. 分光分析の対象となる試料が接触する膜の界面に付着した、有機物を含む付着物が分解する遷移エネルギーを有する第1照射光を照射するステップと、
    照射された前記第1照射光を光導波路に伝搬させ、かつ前記付着物の付着領域にしみ出す前記第1照射光に基づく第1エバネッセント波を前記光導波路の表面に発生させるステップと、
    前記試料の領域にしみ出す第2エバネッセント波を発生させる第2照射光を、プリズムを透過させて前記膜に照射するステップと、
    照射された前記第2照射光に基づく第2測定光であって、前記試料の吸収スペクトルの第2情報を含む前記第2測定光を、前記プリズムを透過させて検出するステップと、
    を含む、
    方法。
JP2020142851A 2020-08-26 2020-08-26 分光分析装置、光学系、及び方法 Active JP7264134B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020142851A JP7264134B2 (ja) 2020-08-26 2020-08-26 分光分析装置、光学系、及び方法
US17/406,653 US11940326B2 (en) 2020-08-26 2021-08-19 Spectroscopic analysis device, optical system, and method
EP21193094.6A EP3961191B1 (en) 2020-08-26 2021-08-25 Spectroscopic analysis device, optical system, and spectroscopic method
CN202110987862.8A CN114112947A (zh) 2020-08-26 2021-08-26 光谱分析设备、光学系统及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020142851A JP7264134B2 (ja) 2020-08-26 2020-08-26 分光分析装置、光学系、及び方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022038377A JP2022038377A (ja) 2022-03-10
JP7264134B2 true JP7264134B2 (ja) 2023-04-25

Family

ID=77499763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020142851A Active JP7264134B2 (ja) 2020-08-26 2020-08-26 分光分析装置、光学系、及び方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11940326B2 (ja)
EP (1) EP3961191B1 (ja)
JP (1) JP7264134B2 (ja)
CN (1) CN114112947A (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023200655A1 (en) * 2022-04-13 2023-10-19 Schlumberger Technology Corporation Apparatus and method for measuring a sample

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103376244A (zh) 2012-04-18 2013-10-30 中国科学院电子学研究所 表面等离子体共振芯片及应用该芯片的传感器
JP2014035311A (ja) 2012-08-10 2014-02-24 Shimadzu Corp ガス濃度測定装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05302887A (ja) * 1992-04-24 1993-11-16 Omron Corp 汚れ検知方法並びに汚れ検知装置及び速度検出装置
JP2000146836A (ja) * 1998-11-12 2000-05-26 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> エバネセント波の透過現象を利用する屈折率測定法およびその測定装置
JP4209747B2 (ja) 2003-08-29 2009-01-14 大日本印刷株式会社 スラブ型光導波路を利用したスペクトル測定方法
US7247813B2 (en) * 2004-10-13 2007-07-24 Advanced Lcd Technologies Development Center Co., Ltd. Crystallization apparatus using pulsed laser beam
CA2614556A1 (en) * 2005-07-08 2007-01-18 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Photonic crystal biosensor fabrication method
CN101726462B (zh) * 2005-09-29 2013-01-23 株式会社东芝 光波导型生物化学传感器芯片及其制造方法
US20090087924A1 (en) 2007-09-29 2009-04-02 Magdalena Bynum Microfluidic reverse affinity-blot device
JP2009128012A (ja) 2007-11-19 2009-06-11 Konica Minolta Holdings Inc 分析素子チップ及びこの分析素子チップを用いた表面プラズモン共鳴蛍光分析装置
KR101052504B1 (ko) * 2008-11-27 2011-08-01 한국과학기술연구원 고 분해능 표면 플라즈몬 공진 센서 및 그것을 이용한 센서시스템
JP2012063321A (ja) * 2010-09-17 2012-03-29 Hamamatsu Photonics Kk 反射率測定装置、反射率測定方法、膜厚測定装置及び膜厚測定方法
GB2517955B (en) * 2013-09-05 2016-06-08 Nat Univ Chung Cheng Optical waveguide particle plasmon resonance sensing system
CN106338840B (zh) * 2016-08-26 2019-07-05 复旦大学 一种表面波场增强可调谐的全内反射光学激发装置
JP6708197B2 (ja) * 2017-11-10 2020-06-10 横河電機株式会社 分光分析装置
CN110780466B (zh) * 2019-10-14 2021-04-30 复旦大学 一种强度可电调节的表面倏逝波场的产生装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103376244A (zh) 2012-04-18 2013-10-30 中国科学院电子学研究所 表面等离子体共振芯片及应用该芯片的传感器
JP2014035311A (ja) 2012-08-10 2014-02-24 Shimadzu Corp ガス濃度測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20220065697A1 (en) 2022-03-03
CN114112947A (zh) 2022-03-01
JP2022038377A (ja) 2022-03-10
EP3961191A1 (en) 2022-03-02
US11940326B2 (en) 2024-03-26
EP3961191B1 (en) 2023-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7978331B2 (en) Attenuated total reflection optical probe and apparatus therewith for spectroscopic measurement of aqueous solution
JP2008224240A (ja) 全反射減衰型光学プローブおよびそれを用いた水溶液分光測定装置
US8102533B2 (en) Total reflection illuminated sensor chip
US6992770B2 (en) Sensor utilizing attenuated total reflection
US20190219505A1 (en) Device for analysing a specimen using the goos-hänchen surface plasmon resonance effect
US5416579A (en) Method for determining concentration in a solution using attenuated total reflectance spectrometry
JP4500967B2 (ja) 物質吸着検知方法およびセンサ
JP7264134B2 (ja) 分光分析装置、光学系、及び方法
JP7172959B2 (ja) 分光分析装置及び分光分析方法
US9726606B2 (en) Detection device
JP2007279025A (ja) 全反射減衰型光学プローブおよびそれを用いた水溶液分光測定装置
JP2015532422A (ja) 分析物を検出するための方法
US6788415B2 (en) Turntable measuring apparatus utilizing attenuated total reflection
JP5777277B2 (ja) 光導波路型バイオケミカルセンサチップ
JP2012002817A (ja) 表面プラズモン共鳴センサモジュール及びそれを含むセンシングシステム
JP2023039330A (ja) 分光分析装置
JP2002257722A (ja) 全反射減衰を利用したセンサー
JP2006112807A (ja) 表面プラズモンセンサー
JP2005147891A (ja) 表面プラズモン共鳴センサ
JP6114097B2 (ja) 表面プラズモン増強蛍光測定装置
US10267735B2 (en) Surface plasmon-field enhanced fluorescence detection device
JP2014194435A (ja) 光導波路型バイオケミカルセンサチップ
JP2020106435A (ja) 反射部材の表裏識別方法
CN115684093A (zh) 一种基于色散检测的集成化波长调制型spr检测装置及检测方法
JP2002296176A (ja) 全反射減衰を利用したセンサー

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220216

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221018

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221019

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221212

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230314

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230327

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7264134

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150