JP2014194435A - 光導波路型バイオケミカルセンサチップ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11と、基板11の第1主面11aに形成され、基板11より高屈折率の光導波路層13と、光導波路層13内に光を入射、出射するための一対のグレーティング12と、光導波路層13上にあって、一対のグレーティング12の間に設けられ、導入された測定対象物の量または濃度に応じて光導波路層13内を伝播する光の強度を変化させるセンシング膜15と、基板11の第2主面11bに形成され、センシング膜15に対向する位置に配置され、グレーティング12で反射及び反射回折し基板11内に伝播する基板伝播成分Qを除去する基板伝播成分除去部20とを備えている。
【選択図】図1
Description
分子認識機能及び情報変換機能を有するセンシング膜を備え、光導波路層表面に生じるエバネッセント波を利用した平面光導波路型バイオケミカルセンサが提案されている。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光導波路型バイオケミカルセンサチップ(光導波路型センサ)10を示す断面図である。光導波路型バイオケミカルセンサチップ10は、ガラス(例えば無アルカリガラス)または石英からなる透光性を有する基板11を備えている。基板11の平坦な第1主面11aの両端部付近の領域には、それぞれ一対のグレーティング12が形成されている。これらのグレーティング12は、基板11を構成する材料よりも高い屈折率を有する材料(例えば酸化チタン)で形成されている。グレーティング12は、基板11を透過した光を後述する光導波路層13に入射させ、光導波路層13内で全反射させた後、出射させる機能を有している。
図2は、本発明の第2の実施形態に係る光導波路型バイオケミカルセンサチップ10Aを示す断面図である。図2において、図1と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図3は、本発明の第3の実施形態に係る光導波路型バイオケミカルセンサチップ10Bを示す断面図である。図3において、図1と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
基板と、前記基板の第1主面に形成され、前記基板より高屈折率の光導波路層と、前記光導波路層内に光を入射、出射するための一対のグレーティングと、前記光導波路層上にあって、前記一対のグレーティングの間に設けられ、導入された測定対象物の量または濃度に応じて前記光導波路層内を伝播する光の強度を変化させるセンシング膜と、前記基板の第2主面に形成され、前記センシング膜に対向する位置に配置され、前記グレーティングで反射及び反射回折し前記基板内に伝播する基板伝播成分を除去する基板伝播成分除去部とを備え、前記基板伝播成分除去部は、グレーティングであることを特徴とする。
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の第1主面に形成され、前記基板より高屈折率の光導波路層と、
前記光導波路層内に光を入射、出射するための一対のグレーティングと、
前記光導波路層上にあって、前記一対のグレーティングの間に設けられ、導入された測定対象物の量または濃度に応じて前記光導波路層内を伝播する光の強度を変化させるセンシング膜と、
前記基板の第2主面に形成され、前記センシング膜に対向する位置に配置され、前記グレーティングで反射及び反射回折し前記基板内に伝播する基板伝播成分を除去する基板伝播成分除去部とを備えていることを特徴とする光導波路型センサ。 - 前記基板伝播成分除去部は、吸収、散乱または回折によって、前記基板伝播成分を除去するものであることを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
- 前記基板伝播成分除去部は、前記基板の第2主面が擦りガラス状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
- 前記基板伝播成分除去部は、グレーティングであることを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
- 前記基板伝播成分除去部は、遮光テープ、または黒塗料であることを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
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