JP5777277B2 - 光導波路型バイオケミカルセンサチップ - Google Patents
光導波路型バイオケミカルセンサチップ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5777277B2 JP5777277B2 JP2009270596A JP2009270596A JP5777277B2 JP 5777277 B2 JP5777277 B2 JP 5777277B2 JP 2009270596 A JP2009270596 A JP 2009270596A JP 2009270596 A JP2009270596 A JP 2009270596A JP 5777277 B2 JP5777277 B2 JP 5777277B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- optical waveguide
- propagation component
- waveguide layer
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
分子認識機能及び情報変換機能を有するセンシング膜を備え、光導波路層表面に生じるエバネッセント波を利用した平面光導波路型バイオケミカルセンサが提案されている。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光導波路型バイオケミカルセンサチップ(光導波路型センサ)10を示す断面図である。光導波路型バイオケミカルセンサチップ10は、ガラス(例えば無アルカリガラス)または石英からなる透光性を有する基板11を備えている。基板11の平坦な第1主面11aの両端部付近の領域には、それぞれ一対のグレーティング12が形成されている。これらのグレーティング12は、基板11を構成する材料よりも高い屈折率を有する材料(例えば酸化チタン)で形成されている。グレーティング12は、基板11を透過した光を後述する光導波路層13に入射させ、光導波路層13内で全反射させた後、出射させる機能を有している。
図2は、本発明の第2の実施形態に係る光導波路型バイオケミカルセンサチップ10Aを示す断面図である。図2において、図1と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図3は、本発明の第3の実施形態に係る光導波路型バイオケミカルセンサチップ10Bを示す断面図である。図3において、図1と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の第1主面に形成され、前記基板より高屈折率の光導波路層と、
前記光導波路層内に前記基板の第2主面側から光を入射、出射するための一対のグレーティングと、
前記光導波路層上にあって、前記一対のグレーティングの間に設けられ、導入された測定対象物の量または濃度に応じて前記光導波路層内を伝播する光の強度を変化させるセンシング膜と、
前記第2主面に形成され、前記一対のグレーティングの間に相当する前記基板部分であって前記センシング膜に対向する位置に配置され、前記グレーティングで反射及び反射回折し前記基板内に伝播する基板伝播成分を除去する基板伝播成分除去部とを備えていることを特徴とする光導波路型センサ。 - 前記基板伝播成分除去部は、吸収、散乱または回折によって、前記基板伝播成分を除去するものであることを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
- 前記基板伝播成分除去部は、前記基板の第2主面が擦りガラス状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
- 前記基板伝播成分除去部は、グレーティングであることを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
- 前記基板伝播成分除去部は、遮光テープ、または黒塗料であることを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009270596A JP5777277B2 (ja) | 2009-11-27 | 2009-11-27 | 光導波路型バイオケミカルセンサチップ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009270596A JP5777277B2 (ja) | 2009-11-27 | 2009-11-27 | 光導波路型バイオケミカルセンサチップ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014136219A Division JP2014194435A (ja) | 2014-07-01 | 2014-07-01 | 光導波路型バイオケミカルセンサチップ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011112564A JP2011112564A (ja) | 2011-06-09 |
JP5777277B2 true JP5777277B2 (ja) | 2015-09-09 |
Family
ID=44235000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009270596A Expired - Fee Related JP5777277B2 (ja) | 2009-11-27 | 2009-11-27 | 光導波路型バイオケミカルセンサチップ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5777277B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106248224B (zh) | 2015-06-09 | 2020-04-14 | 松下知识产权经营株式会社 | 光检测装置以及光检测系统 |
CN108169175B (zh) * | 2016-12-08 | 2022-07-26 | 松下知识产权经营株式会社 | 光检测系统 |
CN108168715B (zh) * | 2016-12-08 | 2021-02-19 | 松下知识产权经营株式会社 | 光检测装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3833952B2 (ja) * | 2002-03-07 | 2006-10-18 | 株式会社東芝 | Dnaチップおよびdna検出装置 |
JP4673714B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2011-04-20 | 株式会社東芝 | 光導波路型バイオケミカルセンサチップおよびその製造方法 |
JP4823330B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2011-11-24 | 株式会社東芝 | 光導波路型バイオケミカルセンサチップ及びその測定対象物の測定方法 |
JP4761867B2 (ja) * | 2005-07-26 | 2011-08-31 | 株式会社東芝 | 光学式センサチップ |
JP4846467B2 (ja) * | 2006-06-30 | 2011-12-28 | 株式会社東芝 | 発色反応検出機器及びその製造方法 |
JP5130517B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2013-01-30 | 国立大学法人横浜国立大学 | 光導波路型dnaセンサおよびdna検出方法 |
-
2009
- 2009-11-27 JP JP2009270596A patent/JP5777277B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011112564A (ja) | 2011-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7269308B2 (en) | Optical waveguide type biochemical sensor chip and method of manufacturing the same | |
JP4673714B2 (ja) | 光導波路型バイオケミカルセンサチップおよびその製造方法 | |
JP3816072B2 (ja) | 光導波路型センサおよびそれを用いた測定装置 | |
Punjabi et al. | Evanescent wave absorption based fiber-optic sensor-cascading of bend and tapered geometry for enhanced sensitivity | |
US8920729B2 (en) | Porous membrane waveguide sensors and sensing systems therefrom for detecting biological or chemical targets | |
US8068995B2 (en) | Biosensing apparatus and system | |
US20080037022A1 (en) | Surface Plasmon Resonance Sensor | |
US20080298740A1 (en) | Integrated Optical Waveguide Sensors With Reduced Signal Modulation | |
JPH0627703B2 (ja) | 物質の選択的検出および測定物質内の屈折率変化検知を行なう光学センサ | |
US20130063726A1 (en) | Sensor and a method for characterising a dielectric material | |
EP2962086B1 (en) | Sample plate and analyzing method | |
WO2013129378A1 (ja) | Sprセンサセルおよびsprセンサ | |
JP5777277B2 (ja) | 光導波路型バイオケミカルセンサチップ | |
JP4823330B2 (ja) | 光導波路型バイオケミカルセンサチップ及びその測定対象物の測定方法 | |
JP3968425B2 (ja) | 光導波路への光導入方法及びそれを用いた光導波路分光測定装置 | |
JP2013250185A (ja) | Sprセンサセルおよびsprセンサ | |
JP2014194435A (ja) | 光導波路型バイオケミカルセンサチップ | |
JP2012078185A (ja) | 光導波路型バイオセンサチップおよび光導波路型バイオセンサチップの製造方法 | |
JP5487127B2 (ja) | 測定装置およびセンサチップ | |
JP2004077411A (ja) | 表面プラズモン・センサー及びspr装置 | |
JP2007101241A (ja) | センシング装置 | |
WO2006109408A1 (ja) | 全反射減衰型光学プローブおよびそれを用いた遠紫外分光測定装置 | |
JP2004333250A (ja) | 光学式バイオセンサ | |
JP2016038395A (ja) | 光導波路への光の入射方法 | |
JP2005147891A (ja) | 表面プラズモン共鳴センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130821 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130910 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131111 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131205 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131212 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131219 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131226 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140109 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140116 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140401 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140701 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140819 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20140912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150707 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |