JP2007212260A - 反射率測定装置、反射率測定方法及び表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】
基板面内の反射特性と散乱特性とを効率良く測定できる反射率測定装置を得る。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる反射率測定装置１００は、被測定物である基板１０１を載置するステージ１０２と、ステージ１０２に載置された基板１０１に対して照明光を照射する第１の照明光源１０３及び第２の照明光源１０５と、これら第１の照明光源１０３及び第２の照明光源１０５から照射された照明光のうち基板１０１で反射された反射光を受光する受光素子を備えた第１の検出器１０４及び第２の検出器１０６とを備えるものであって、第１の照明光源１０３は基板１０１に対して任意の角度で光を照射し、第２の照明光源１０５は基板１０１に対してリング状に光を照射するものである。
【選択図】 図１

Description

本発明は、反射率測定装置、反射率測定方法及び表示パネルの製造方法に関し、特に、基板の反射特性と散乱特性とを測定することができる反射率測定装置、反射率測定方法及び表示パネルの製造方法に関するものである。

現在、表示装置は人と機械とをつなぐインターフェースとして広く使用され、目ざましい進展を果たしている。液晶表示装置は、軽量・薄型・低消費電力などの利点を有することから、携帯情報端末やノートＰＣなどさまざまな用途で使用されている。

近年、外部から入射する光を利用して表示を行う、反射型液晶表示パネルや半透過型液晶表示パネルが広く普及している。このような液晶表示パネルでは、明るく見やすい表示特性を得るために、外光を反射させる反射膜の反射率が高く、かつ入射される外光をある任意の角度に集中して反射させるような散乱特性が求められる。

このため、特許文献１に示されているように、従来の反射型や半透過型の液晶表示パネルでは、反射膜として反射率の高いアルミニウム（Ａｌ）系や銀（Ａｇ）系のメタル膜が用いられている。また、反射膜の下層には凹凸形状が設けられており、上述した所望の散乱特性を得るような構成となっている。

ところで、このような液晶表示パネルは、ガラスなどの絶縁性の基枚上に、フォトリソグラフィプロセスを用いて配線や電極をパターニングすることによって製造される。例えば、４００ｍｍ×５００ｍｍの大きさの基板を用いた場合、画面サイズが２インチの液晶表示パネルであれば、基板１枚あたりに液晶表示パネル用のパターンを約１００個、配置形成して製造することができる。

このようにして製造される液晶表示パネル用のパターンには、プロセス上不可避な反射用のメタル膜の反射率の基板面内分布や反射膜下層の凹凸形状の基板面内分布がある。したがって、基板上に複数配置形成された液晶表示パネル用パターンごとに、反射特性、散乱特性などを測定して合否判定を行う必要がある。このため、検査に要する時間が長く、生産能力を低下させる要因となっていた。

従来、このように基板全体に複数配置形成された液晶表示パネル用のパターンの反射特性を効率良く測定・検査する方法について明確に開示されたものはない。しかし、例えば特許文献２には、測定の目的は本発明とは異なるが、複数の分光反射率測定領域が二次元的に配置された測定対象シートを高速かつ高精度に測定する方法が開示されている。

特許文献２に記載の測定方法は、測定対象シートの座標ごとに分光照明光源とＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラとを用いて反射率を測定することによって、反射率の二次元分布データを取得するものである。しかしながら、測定回数の点からみれば、結局は基板上に配置形成された液晶表示パネルのパターンの数だけ反射特性の測定を繰り返す必要がある。したがって、本発明のような技術分野における効率的な測定方法として適しているといえるものではない。
特開平６−１７５１２６号公報 特開平１０−１２２９６７号公報

従来の反射率測定装置は、１つの照明光源に対してＣＣＤカメラのようなひとつの受光素子でポイント的に単独測定を行い、これを各座標ごとに繰り返し測定を行うことによって基板表面の反射率の二次元分布データを取得するように構成されていた。このため、測定回数が多くなり、測定に長い時間を要するために測定効率が低いという問題点があった。また、散乱特性を得るためには、別途測定が必要となり、測定が煩雑になるという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解決するために考案されたもので、基板面内の反射特性と散乱特性とを効率良く測定できる反射率測定装置及び測定方法を得ることを目的とする。

本発明の第１の態様にかかる反射率測定装置は、被測定物である基板を載置するステージと、前記ステージに載置された前記基板に対して照明光を照射する照明手段と、前記照明手段から照射された照明光のうち前記基板で反射された反射光を受光する受光素子を備えた検出器とを備える反射率測定装置であって、前記照明手段は、前記基板に対して任意の角度で光を照射する第１の照明光源と、前記基板に対してリング状に光を照射する第２の照明光源とを備えるものである。このような構成とすることによって、基板面内の反射特性と散乱特性とを効率良く測定できる。

本発明の第２の態様にかかる反射率測定装置は、上記の反射率測定装置において、前記検出器は、前記第１の照明光源から照射された照明光のうち前記基板で反射された反射光を受光する、前記基板の一辺に平行に概略帯状に並べられた複数個の第１の受光素子を備え、前記複数個の第１の受光素子により前記基板の一辺に沿った領域の反射光の強度の測定を一度に行い、前記基板の一辺に対して直角の方向に前記基板を順次平行に移動させながら反射光の強度の測定を繰り返し、前記基板の反射光強度の二次元分布を測定するものである。このような構成とすることによって、基板面内の反射光強度の二次元的な分布データを短時間で容易に測定し、簡便に反射特性を得ることができる。

本発明の第３の態様にかかる反射率測定装置は、上記の反射率測定装置において、前記第２の照明光源は、そのリング面が前記基板の表面と概略平行となるように前記基板の直上に配置され、前記検出器は、前記第２の照明光源のさらに直上に配置され、かつリング面の中心と基板表面を垂直に結ぶ線上に配置されている第２の受光素子を備えるものである。このような構成とすることによって、被測定物から垂直に反射する反射光強度を測定し、高精度に散乱特性を測定することが可能となる。

本発明の第４の態様にかかる反射率測定装置は、上記の反射率測定装置において、前記第１の照明手段から前記第１の受光素子までの間に、照明光又は反射光を任意の波長に切り替える波長切換手段を備えるものである。このような構成とすることによって、被測定物の基板の分光反射率を測定することができる。

本発明の第５の態様にかかる反射率測定装置は、上記の反射率測定装置において、前記ステージには、反射率が既知である標準の参照反射板が設置されているものである。このような構成とすることによって、参照反射板と被測定物の反射光強度の違いから被測定物の相対反射率を求めることができる。

本発明の第６の態様にかかる反射率測定方法は、上記の反射率測定方法において、第１の照明光源とリング形状の第２の照明光源とが設けられた照明手段を有する反射率測定装置によって、反射率を測定する測定方法であって、被測定物である基板をステージに載置し、前記第１の照明光源から前記基板に対して任意の入射角で照明光を照射し、前記基板からの反射光の強度を第１の受光素子で測定し、前記第１の照明光源からの照明光が前記基板に入射する位置から、前記第２の照明光源からの照明光が前記基板に入射する位置へとステージを移動し、前記第２の照明光源から前記基板に対して照明光を照射し、前記基板からの反射光の強度を第２の受光素子で測定する。これにより、基板面内の反射特性と散乱特性とを効率良く測定できる。

本発明の第７の態様にかかる反射率測定方法は、上記の反射率測定方法において、前記基板の一辺に平行に概略帯状に並べられた複数個の第１の受光素子により前記基板の一辺に沿った領域の反射光強度の測定を一度に行い、前記基板の一辺に対して直角の方向に、前記基板を前記一辺から対向するもう一方の辺まで順次水平移動させ反射光強度の測定を繰り返し、前記基板の反射率の二次元分布データを測定する。これにより、基板面内の反射光強度の二次元的な分布データを短時間で容易に測定し、簡便に反射特性を得ることができる。

本発明の第８の態様にかかる反射率測定方法は、上記の反射率測定方法において、前記第２の照明光源から前記基板に対して照明光を照射し、前記基板からの反射光を測定した後に、前記基板と前記第２の照明光源との距離を変化させ、前記第２の照明光源から前記基板に照射する照明光の実効的な入射角度を変化させ、前記基板からの反射光強度を測定する。これにより、簡便に被測定物の散乱特性を測定することができる。

本発明の第９の態様にかかる反射率測定方法は、上記の反射率測定方法において、前記第２の受光素子での測定を省略する。このように、散乱特性の測定を行わない場合にも本発明は適用可能である。

本発明の第１０の態様にかかる反射率測定方法は、上記の反射率測定方法において、前記第１の受光素子での測定を省略する。このように、反射特性の測定を行わない場合にも本発明は適用可能である。

本発明の第１１の態様にかかる表示パネルの製造方法は、基板に表示パネル用のパターンを形成し、上記いずれかの反射率測定方法により前記パターンの検査を行う。これにより、基板上に形成されたパターンの反射特性を測定し、良品、不良品を短時間で検査することが可能となり、生産性向上させることができる。

本発明の第１２の態様にかかる表示パネルの製造方法は、上記いずれかの反射率測定方法により表示パネル用のパターンの検査を行う表示パネルの製造方法であって、前記基板に複数の表示パネル用のパターンを形成し、前記第１の照明光源から光を照射し、前記パターンの良否判定を行い、前記判定結果に基づいて、良品判定されたパターンに対して前記第２の照明光源から光を照射し、パターンの検査を行う。これにより、効率よく液晶表示パネル用のパターンの合否判定ができ、生産性向上させることができる。

基板面内の反射特性と散乱特性とを効率良く測定できる反射率測定装置及び測定方法を得る。

以下に、本発明を適用可能な実施の形態について図を用いて説明する。以下の説明は、本発明の実施形態を説明するものであり、本発明が以下の実施形態に限定されるものではない。説明の明確化のため、以下の記載は、適宜、省略及び簡略化がなされている。

実施の形態１．
本発明の実施の形態１にかかる反射率測定装置について、図１を参照して説明する。図１は、実施の形態１にかかる反射率測定装置１００の構成の一例を示す図である。ここでは、矩形状の基板１を測定する場合について説明する。図１に示すように、本実施の形態にかかる反射率測定装置１００は、ステージ１０２、第１の照明光源１０３、第１の検出器１０４、第２の照明光源１０５、第２の検出器１０６などを備えている。

本実施の形態において、第１の照明光源１０３と第１の検出器１０４とが、基板１０１の反射特性を測定する反射測定部１０７である。また、第２の照明光源１０５と第２の検出器１０６とが、基板１０１の散乱特性を測定する散乱測定部１０８である。すなわち、本実施の形態にかかる反射率測定装置１００は、反射測定部１０７と散乱測定部１０８の双方を同一装置（ユニット）に兼ね備え、反射特性の測定と散乱特性の測定とが可能となる装置である。

ステージ１０２には、被測定物である基板１０１が載置される。ステージ１０２は、マニピュレータなどの移動手段により、Ｘ−Ｙ方向（水平方向）に、任意に設定されたステッピング幅で移動可能に設けられている。また、ステージ１０２は、Ｚ方向（垂直方向）にも移動可能に設けられている。また、ステージ１０２には、図示しない反射率が既知である標準の参照反射板（以下、標準白色板とする）が設置されている。これにより、参照反射板と基板１０１との反射光強度の違いから被測定物の相対反射率を求めることができる。

ここで、図２を参照して、反射測定部１０７の構成について説明する。図２は、反射測定部１０７の構成の一例を示す図である。図２に示すように、反射測定部１０７は、第１の照明光源１０３、第１の検出器１０４を備えている。ステージ１０２の上部には、第１の照明光源１０３と第１の検出器１０４とが配置される。第１の照明光源１０３は、基板１０１の一辺に沿った領域に対して任意の入射角度θでライン状に照明光を照射する。第１の照明光源１０３としては、例えば、キセノンランプなどを用いることが可能である。

第１の照明光源１０３からの基板１０１に対する光の入射角度θは、図２破線で示すように、第１の照明光源１０３の角度を変化させることによって変えることができる。又は、ステージ１をＺ方向（垂直方向）に移動させることによって、第１の照明光源１０３からの基板１０１に対する光の入射角度θを変えるようにすることも可能である。

第１の検出器１０４は、第１の照明光源１０３から基板１０１に対して照射した光の基板１０１からの反射光を受光し、反射光強度を測定する。第１の検出器１０４には、基板１０１の一辺に沿って概略帯状に配置された複数の受光素子（不図示）が設けられている。すなわち、第１の検出器１０４には、基板１０１の一辺に沿った領域の反射光を一度に受光するように、複数の受光素子が配置される。また、第１の検出器１０４には、複数の受光素子によって受光した反射光の強度を測定する測定部が設けられている。

図３に、このような検出器１０４と基板１０１、ステージ１０２、第１の照明光源１０３の配置関係を示す。図３に示すように、基板１０１の一辺に平行に複数の受光素子が配列するように検出器１０４が配置される。ステージ１０２が図３中白抜き矢印で示す方向に移動することによって、ステージ１０２上に載置された基板１０１も図３中白抜き矢印で示す方向に移動する。これにより、基板１０１は、直線的に並べられた第１の検出器１０４の受光素子の配列方向と直角方向に水平移動する。すなわち、検出器１０４と基板１０１の表面との距離を一定に保ったまま、基板１０１の一辺に対して直角方向に基板１０１を載置したステージ１０２が移動する。そして、ステージ１０２を順次基板１０１の表面に対して平行移動させ、反射光強度の測定を繰り返すことにより、基板１０１の反射光強度の二次元分布データを測定することができる。この第１の検出器１０４において測定した反射光強度の二次元分布データに基づいて、基板１０１の反射率の二次元分布データを短時間で容易に得ることができる。

次に、図４を参照して、散乱測定部１０８の構成について説明する。図４は、散乱測定部１０８の構成の一例を示す図である。散乱測定部１０８は、基板１０１に対して照射される第２の照明光源１０５からのリング状の照明光が、基板１０１から垂直に反射される反射光の強度の測定を行い、散乱特性を測定する。

散乱測定部１０８は、第２の照明光源１０５、第２の検出器１０６を備えている。第２の照明光源１０５は、基板１０１に対してリング状の光を照射する。第２の照明光源としては、例えば、第２の照明光源１０５としてキセノンランプ及び光ファイバを用いることができる。キセノンランプからの光を複数本の光ファイバに入射させる。そして、複数本の光ファイバの光出射面をリング状に配置する。これにより、リング状に光を照射する照明光源を得ることができる。

図４に示すように、第２の照明光源１０５は、そのリング面が基板１０１の表面と概略平行となるように、基板１０１の直上に配置される。また、第２の照明光源１０５から照射される光は、リング面の中心と基板１０１表面と垂直に結んだ線が基板１０１の表面と交わる位置に照射される。この第２の照明光源１０５により光が照射される基板１０１の領域が、被測定領域Ｐとなる。すなわち、リング面の中心を通り、基板１０１の表面に垂直な直線と、基板１０１との交点が照射領域Ｐとなる。また、第２の検出器１０６は、第２の照明光源１０５の中心に対応する位置に配置する。

また、第２の照明光源１０５と被測定領域Ｐを結ぶ線と、リング面の中心と被測定領域Ｐとを結ぶ線がなす角を第２の照明光源１０５から照射される照明光の基板１０１に対する入射角度φとする。この第２の照明光源１０５の入射角度φは、第２の照明光源１０５をＺ方向（垂直方向）に移動させることによって変えることができる。すなわち、第２の照明光源１０５と基板１０１との距離を変化させることによって、第２の照明光源１０５から照射される照明光の基板１０１に対する入射角φは変化する。例えば、図４に示すように、第２の照明光源１０５を図４中破線で示す位置から実線で示す位置へと移動させることにより、第２の照明光源１０５と基板１０１との距離を短くし、第２の照明光源１０５の入射角度φを入射角度φ'へと変えることができる。又は、ステージ１をＺ方向（垂直方向）に移動させることによって、第２の照明光源１０５と基板１０１との距離を短くし、第２の照明光源１０５からの基板１０１に対する光の入射角度φを入射角度φ'へと変えるようにすることも可能である。

図４に示すように、第２の検出器１０６は、第２の照明光源１０５の直上に配置されている。すなわち、下から基板１０１、第２の照明光源１０５、第２の検出器１０６の順で配置される。また、第２の検出器１０６は、第２の照明光源１０５のリング面の中心と、基板１０１の表面を垂直に結ぶ線上に配置されている。すなわち、第２の検出器１０６は、リング面の中心を通り、基板１０１の表面に垂直な直線上に配置される。

第２の検出器１０６は、第２の照明光源１０５からのリング状の照明光の基板１０１からの散乱光を受光し、散乱特性を測定する。第２の検出器１０６としては、ＣＣＤカメラなどを用いることができる。ＣＣＤカメラは固有の視野角があり、取付け高さが決まればそれによって基板１０１上の測定部分が決まる。したがって、視野角を拡大・縮小したいときは、レンズなどの光学系をＣＣＤカメラ前に置いて必要な視野角が得られるようにしてもよい。

ここで、上記の反射率測定装置１００を用いて、基板１０１の反射特性及び散乱特性の測定を行ったときの測定方法について説明する。まず、基板１の反射特性測定を行う。具体的には、最初に、この基板１０１をステージ１０２上に載置する。

そして、反射測定部１０７の初期位置にステージ１０２を移動させる。その後、第１の照明光源１０３から基板１０１に対して照明光を照射し、基板１０１からの反射光を第１の検出器１０４により受光する。これを、基板１０１の一辺から、この一辺に対向する辺まで、同様に第１の照明光源１０３から基板１０１に対して照明光を照射し、基板１０１からの反射光を第１の検出器１０４により受光する。これにより、基板面内の反射光強度の二次元的な分布データを短時間で容易に測定することができる。この反射光強度分布とあらかじめ測定しておいた標準白色板の反射光強度分布から、基板１０１の反射率の２次元分布を得ることができ、簡便に反射特性を測定することが可能である。

このとき、第１の照明光源１０３から照射する照明光は、ある所定の波長に切り換え、分光させたものとする。例えば、照明光源１０３と検出器１０４との間にバンドパスフィルタなどの波長切換手段を配置することで実現できる。測定は１種類の波長で実施してもよいし、またより詳しくは複数の波長を用いて実施してもよい。これにより、より高精度に反射光強度の測定を行うことができる。

次に、散乱特性測定を行う。基板１０１上の被測定領域Ｐに第２の照明光源１０５が配置されるよう、ステージ１０２を移動させる。すなわち、被測定領域Ｐが、リング形状の第２の照明光源１０５の直下となる位置に配置される。そして、第２の照明光源１０５から照明光を照射し、被測定領域Ｐからの反射光を第２の検出器１０６により受光し、散乱特性を測定する。これにより、別途散乱特性の測定を行う必要なく、基板１０１の反射特性と散乱特性測定を同一の装置により行うことができる。

さらに散乱特性を詳しく調べる為に、ステージ１０２を傾けて測定してもよい。これにより、さらに細かな散乱特性を調べることができる。

実施の形態２．
実施の形態２では、被測定物として、液晶表示パネル用の複数のパターンがマトリクス状に形成された基板１０１を測定する場合について説明する。反射率測定装置１００は、上述した図１に示すものを用いる。したがって、反射率測定装置１００の構成は、図１と同様であり、重複説明は省略する。

図５に、基板１０１の構成を示す。図５に示すように、基板１０１には液晶表示パネル用のパターン１０９が二次元的にマトリクス配置されている。図５に示すように、ある基板１０１の角を基準点１１０として、例えば、横方向をＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、・・・とアルファベット順に、縦方向を１、２、３、４、・・・と番号をつけて、この二つの組み合わせにより、パターン１０９のアドレスが設定されている。

反射率測定装置１００に設けられるステージ１０２は、Ｘ−Ｙ方向（水平方向）に任意に設定されたステッピング幅で移動可能に設けられている。ステッピング幅は、基板１０１に形成された液晶表示パネル用のパターン箇所に応じて設定される。

ここで、このような基板１０１の反射特性及び散乱特性を、上述の反射率測定装置１００を用いて測定する測定方法について、図６を参照して説明する。ここで説明する測定方法は、反射型もしくは半透過型液晶表示パネル製造工程の一部である。すなわち、この測定方法は、最終的に基板から切り出されて完成した液晶表示パネルの状態ではなく、基板上に液晶表示パネルのパターンが複数個配置形成された基板１０１の状態のままで、基板上に形成された反射膜の反射特性及び散乱特性を測定し、良品、不良品を検査する工程において用いられる。

図６は、上述の反射率測定装置１００を用いて反射特性及び散乱特性を測定する測定方法を説明するフローチャートである。まず、基板１の反射特性の測定を行う（ステップＳ１０１）。具体的には、まず、この基板１０１をステージ１０２上に載置する。このとき、基板１０１の基準点１１０が、ステージ１０２の原点となるようにする。

そして、反射測定部１０７の初期位置にステージ１０２を移動させる。このとき、第１の検出器１０４の各受光素子は、基板１０１上に形成されたＡ列のパターン１０９に沿って配置される。その後、第１の照明光源１０３から基板１０１に対して照明光をライン状に照射し、基板１０１からの反射光を第１の検出器１０４により受光する。すなわち、Ａ列に属する１〜９までのパターン１０９の反射光強度の測定を一括して行う。

次に、基板１０１上のＢ列のパターン１０９が第１の検出器１０４に対応する位置となるように、ステージ１０２を移動させる。そして、同様に第１の照明光源１０３から基板１０１に対して照明光を照射し、基板１０１からの反射光を第１の検出器１０４により受光する。すなわち、Ｂ列に属する１〜９までのパターン１０９の反射特性の測定を一括して行う。これらの動作を、Ａ〜Ｉ列まで繰り返すことにより、基板１０１全体の反射特性の測定をおこなう。これにより、基板面内の反射光強度の二次元的な分布データを短時間で容易に測定することができる。

このとき、第１の照明光源１０３から照射する照明光は、ある所定の波長に分光させたものとする。測定は１種類の波長で実施してもよいし、またより詳しくは複数の波長を用いて実施してもよい。これにより、より高精度に反射特性の測定を行うことができる。

そして、測定した反射光強度により各パターン１０９の合否判定を行う（ステップＳ１０２）。具体的には、ステップＳ１０１による測定結果と、あらかじめ測定しておいた標準サンプルの反射光強度とを比較して合否判定をおこなう。例えば、本実施の形態では、標準サンプルの反射強度１に対して、測定結果が０．８未満のパターン１０９をＮＧとする（ステップＳ１０３）。また、測定結果が０．８以上のパターン１０９をＯＫと判定する。これにより、基板１０１上には、ＮＧと判定されたパターン１０９とＯＫと判定されたパターン１０９とが混在することとなる。

次に、反射特性測定においてＯＫと判定されたパターン１０９を対象として、散乱特性測定を行う（ステップＳ１０４）。基板１０１上のパターン１０９のうちＯＫ判定パターン１０９上に第２の照明光源１０５が配置されるよう、ステージ１０２を移動させる。すなわち、ＯＫ判定パターン１０９が、リング形状の第２の照明光源１０５の直下となる位置に配置される。そして、第２の照明光源１０５のから照明光を照射し、ＯＫ判定パターンからの反射光を第２の検出器１０６により受光する。この測定は、ＯＫ判定された全ての対象パターン１０９に対して実施される。

そして、この散乱特性の測定結果により製品規格に対しての合否判定が実施される（ステップＳ１０５）。これにより、所定の合否判定基準を満たさなかったパターン１０９はＮＧ判定され（ステップＳ１０６）、合否判定基準をクリアしたパターン１０９のみがＯＫ判定される（ステップＳ１０７）。

さらに散乱特性を詳しく調べる為に、ステージ１０２を傾けて測定してもよい。これにより、さらに細かな散乱特性を調べることができる。

このように、高い反射率と良好な散乱特性が求められる反射型もしくは半透過型液晶表示パネル製造工程において、画素表示部の反射特性及び散乱特性を効率良く短時間で測定し検査することができるようになるので、明るく表示品質の高い反射型もしくは半透過型液晶表示パネルを効率良く製造することが可能となる。

また、最終的に基板から切り出されて完成した液晶表示パネルの状態ではなく、基板上に液晶表示パネルのパターンが複数個配置形成された状態のままで、反射膜の反射特性及び散乱特性を測定し、良品、不良品を短時間で検査することが可能となる。このため、反射表示不良品が発生した場合の製造コストを最小限に抑えることが可能となる。

また、反射光強度の測定結果での合否判定によりまず第１の選別を行い、この第１の選別をクリアしたＯＫ品のみを最終的な散乱特性の測定対象とすることができる。このため、効率よく液晶表示パネル用のパターン１０９の合否判定ができる。したがって、パターン１０９の検査時間が短縮できることにより、生産性を向上させることができる。

なお、本実施の形態においては、第２の照明光源１０５からの入射角を１条件としたが、２条件以上としてもよい。すなわち、ＯＫ判定パターン１０９の散乱特性を測定した後に、ステージ１０２をＺ方向に移動させる。つまり、第２の照明光源１０５と基板１０１間の距離を変化させて、再度同様に散乱特性測定を行うことも可能である。これにより、より詳細な測定結果を得ることができるため、より細かな合否判定を行うことができる。

また、製品規格が散乱特性に重点がなく、任意の角度θでの反射光強度のみで設定される場合には、散乱特性測定を省略してもよい。すなわち、反射特性測定の結果のみでパターン１０９の合否判定を行うこともできる。

さらには、反射特性測定を省略して、散乱特性のみを測定してもよい。これから得られる結果の任意の角度φの反射光強度により反射光強度の合否判定をおこなってもよい。また、反射特性測定でＮＧとなったパターンの散乱特性を測定することにより、ＮＧパターンの散乱特性の解析を行うこともできる。

このように、本実施の形態にかかる反射率測定装置１００は、反射測定部１０７と散乱測定部１０８とを同一装置（ユニット）に兼ね備えている。このため、基板面内の反射光強度の二次元的な分布データを短時間で容易に測定し、反射特製を測定することができるとともに、散乱特性を効率良く測定できる反射率測定装置、反射率測定方法及び表示パネルの製造方法を得ることができる。

本発明にかかる反射率測定装置の構成の一例を示す図である。 本発明にかかる反射測定部の構成の一例を示す図である。 本発明にかかる第１の検出器と基板との配置関係を示す図である。 本発明にかかる散乱測定部の構成の一例を示す図である。 本発明にかかる基板の構成の一例を示す図である。 本発明にかかる反射率測定方法を示すフローチャートである。

符号の説明

１０１ 基板
１０２ ステージ
１０３ 第１の照明光源
１０４ 第１の検出器
１０５ 第２照明光源
１０６ 第２の検出器
１０７ 反射測定部
１０８ 散乱測定部
１０９ パターン
１１０ 基準点

Claims (12)

1. 被測定物である基板を載置するステージと、
   前記ステージに載置された前記基板に対して照明光を照射する照明手段と、
   前記照明手段から照射された照明光のうち前記基板で反射された反射光を受光する受光素子を備えた検出器とを備える反射率測定装置であって、
   前記照明手段は、前記基板に対して任意の角度で照明光を照射する第１の照明光源と、
   前記基板に対してリング状に照明光を照射する第２の照明光源とを備える反射率測定装置。
2. 前記検出器は、前記第１の照明光源から照射された照明光のうち前記基板で反射された反射光を受光する、前記基板の一辺に平行に概略帯状に並べられた複数個の第１の受光素子を備え、
   前記複数個の第１の受光素子により前記基板の一辺に沿った領域の反射光の強度の測定を一度に行い、前記基板の一辺に対して直角の方向に前記基板を順次移動させながら反射光の強度の測定を繰り返し、前記基板の反射光強度の二次元分布を測定する請求項１に記載の反射率測定装置。
3. 前記第２の照明光源は、そのリング面が前記基板の表面と概略平行となるように前記基板の直上に配置され、
   前記検出器は、前記第２の照明光源の上に配置され、かつリング面の中心と基板表面を垂直に結ぶ線上に配置されている第２の受光素子を備える請求項１又は２に記載の反射率測定装置。
4. 前記第１の照明手段から前記第１の受光素子までの間に、照明光又は反射光を任意の波長に切り替える波長切換手段を備える請求項１、２又は３に記載の反射率測定装置。
5. 前記ステージには、反射率が既知である標準の参照反射板が設置されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の反射率測定装置。
6. 第１の照明光源とリング形状の第２の照明光源とが設けられた照明手段を有する反射率測定装置によって、反射率を測定する測定方法であって、
   被測定物である基板をステージに載置し、
   前記第１の照明光源から前記基板に対して任意の入射角で照明光を照射し、前記基板からの反射光の強度を第１の受光素子で測定し、
   前記第１の照明光源からの照明光が前記基板に入射する位置から、前記第２の照明光源からの照明光が前記基板に入射する位置へとステージを移動し、
   前記第２の照明光源から前記基板に対して照明光を照射し、前記基板からの反射光の強度を第２の受光素子で測定する反射率測定方法。
7. 前記基板の一辺に平行に概略帯状に並べられた複数個の第１の受光素子により前記基板の一辺に沿った領域の反射光強度の測定を一度に行い、
   前記基板の一辺に対して直角の方向に、前記基板を前記一辺から対向するもう一方の辺まで順次水平移動させ反射光強度の測定を繰り返し、
   前記基板の反射率の二次元分布データを測定する請求項６に記載の反射率測定方法。
8. 前記第２の照明光源から前記基板に対して照明光を照射し、前記基板からの反射光を測定した後に、
   前記基板と前記第２の照明光源との距離を変化させ、前記第２の照明光源から前記基板に照射する照明光の実効的な入射角度を変化させ、前記基板からの反射光強度を測定する請求項６又は７に記載の反射率測定方法。
9. 請求項６又は７において、前記第２の受光素子での測定を省略する反射率測定方法。
10. 請求項６又は８において、前記第１の受光素子での測定を省略する反射率測定方法。
11. 基板に表示パネル用のパターンを形成し、
    請求項６〜１０のいずれかの反射率測定方法により前記パターンの検査を行う表示パネルの製造方法。
12. 請求項６〜８に記載の反射率測定方法によりパターンの検査を行う表示パネルの製造方法であって、
    前記基板に複数の表示パネル用のパターンを形成し、
    前記第１の照明光源から光を照射し、前記パターンの良否判定を行い、
    前記判定結果に基づいて、良品判定されたパターンに対して前記第２の照明光源から光を照射し、パターンの検査を行う表示パネルの製造方法。

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