JP3831744B1 - 基板検査用照明装置 - Google Patents
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Abstract
検査基板に照射する照明光を点光源照明と面光源照明に切り換える液晶散乱板を小型化すると同時に、万一破損してもその破片が検査基板上に落下しないようにし、さらに、点光源照明としたときに非散乱光を照射して明るい回折輝線が得られるようにする。
【解決手段】
液晶散乱板(4)をフレネルレンズ(3)より光源装置(2)側で、且つ、照明光束の断面形状が検査基板(K)と等しいか又は検査基板(K)より大きくなる位置に配し、その液晶散乱板(4)に光源装置(2)から照射された非散乱光を入射させることにより、点光源照明となる非散乱光と面光源照明となる散乱光を検査基板(K)に選択的に照射させるようにした。
【選択図】図1
Description
また、点光源光により検査基板表面に回折輝線が生じ、検査基板の光軸に対する傾きを変えながら回折輝線を移動させ、その輝線上で、回路パターンの断線・ショートの有無、レジスト膜の剥がれや除去不良の有無などが検査される。
さらに、面光源照明により、検査基板の表面に形成されたレジスト膜の膜厚のムラや、表層に形成されたITOの不良の有無などが検査される。
しかし、液晶散乱板56は大型化すればするほどコストが嵩み、またガラス製であるため、割れ易くなるという問題があり、万一割れた場合には、その破片が検査基板57上に落下して製品と成るべき基板57が傷だらけになって廃棄処分しなければならないという無駄を生ずる。
したがって、図4と同程度の大きさの検査基板27に照明光を照射しようとすると、図4と同程度の大きさの液晶散乱板56が必要になるだけでなく、反射鏡53及びフレネルレンズ61が図4に示す光学系に用いたものよりもより大型化し、結局、液晶散乱板56を小型化することはできず、液晶散乱板56が割れたときの問題点も解決できない。
そして、光強度の低下を抑えるために、フレネルレンズ55や61の収束角を大きくすれば、その分、各レンズ55及び61は大型化し、光源51として大光量のものを用いれば、設備費、ランニングコストが嵩み、光源51の熱の影響で散乱板52の寿命が短くなる。
また、散乱板52を用いることにより、点光源照明を検査基板57に照射したときの回折輝線がハッキリせず、ぼんやりとして見ずらくなるという問題もあった。
散乱板52を用いないときは照明光の配光特性のピークが急峻になり、液晶散乱板56を透明にして点光源照明を発散させて検査基板57全体に照射したときに、検査基板57上では光軸から離れるにしたがって光強度が著しく低下するため検査基板57の周縁部が暗くなり、検査精度が低下するという問題を生ずる。
このとき、液晶散乱板は、照明光束の断面形状が検査基板と等しいか又は検査基板より大きい位置に配されているので、液晶散乱板を検査基板と等しい大きさまで小型化することができる。
液晶散乱板の大きさとして検査基板の大きさが確保されていれば、液晶散乱板を不透明にして面光源照明としたときでもその像が検査基板全体に写り込むので、検査基板の一部にのみ液晶散乱板の像が写り込むことによる照明光のムラが生じることもない。
また、液晶散乱板をフレネルレンズより光源装置側に配しているので、フレネルレンズの上方に液晶散乱板をレイアウトすることができ、したがって、万一液晶散乱板が割れたときでも、液晶散乱板より大きいフレネルレンズの上に破片が落ちるので、検査基板に直接落下することを防止できる。
また、液晶散乱板を不透明にして面光源照明としたときでも、元の光強度が高いので、光量がダウンすることなく、したがって、フレネルレンズの収束角を大きくする必要がないので、同じサイズの検査基板に照明光を照射するのであれば、フレネルレンズも小型化できる。
この場合に、光源装置の光出射部に、照明光束を検査基板の形状に整形すると共に、光分布を均一化させる均一化整形レンズ装置を装着すれば、非散乱光を照射させたときの検査基板上における光強度分布がフラットになるので、光軸から離れた周縁部の照度が低下せず、見難くならないという効果もある。
均一化整形レンズ装置8は、検査基板Kと縦横比の等しい方形断面を有する角柱状のロッドインテグレータ9と、そのロッドインテグレータ9から出射された照明光の照射角度を可変調整するバリフォーカルレンズ10とを備えている。
ロッドインテグレータ9に光が入射されると、内部で全反射を繰り返し、出射端では光分布が均一される。本例のロッドインテグレータ9は、非散乱光の検査基板K上におけるユニフォーミティが70〜100%になるように設計されている。
ユニフォーミティUは、照明光を照射したときの最大光量Pmaxと最小光量Pminから、次式で定義される。
U={1−(Pmax−Pmin)/(Pmax+Pmin)}×100(%)
最大光量Pmaxと最小光量Pminが等しければユニフォーミティは100%であり理想的な光源といえるが、現実には光分布の強弱を避けることはできない。
しかし、ユニフォーミティが70%未満に低下すると、非散乱光を検査基板Kに照射させたときに、光軸上の明るさと周縁部の明るさの差が大きくなり過ぎ、目視による場合も画像処理による場合も検査精度が低下するのに対し、70%以上であればそのような問題が生じなかったため、ユニフォーミティU≧70%としている。
例えば、図1の基板検査用照明装置1において照射角度が約25°であった場合において、図3に示すように1辺の長さが約1.8倍の検査基板Kを検査するための基板検査用照明装置11においては、検査基板Kの大きさに応じてフレネルレンズ12や液晶散乱板13も大きなものが用いられているため、同じ照射角度では検査基板K全体に光を照射させることができない。
この場合、従来の光源装置ではフレネルレンズ3までの距離を長くせざるを得ないため、光強度の減衰が著しいが、本例では、バリフォーカルレンズ10により照射角度を約25°から例えば約45°に広げることにより最適な照射角度に設定することができる。
このように、フレネルレンズ3までの距離を一定に維持したまま照射角度を調整できるので、光強度の減衰が少なく、仕様が異なる照明装置1,11を設計するたびごとに光源装置2を設計し直す面倒もない。
そして、フレネルレンズ3の光源装置2側には、検査基板Kに照射する照明光を液晶散乱板4で点光源照明と面光源照明に切り換える照明光切換手段15が配されている。
液晶散乱板4は、光源装置2から広がりながらフレネルレンズ3に入射され、そのフレネルレンズ3により収束化又は平行化されて検査基板Kの全面に照射される照明光束の光路中に、フレネルレンズ3より光源装置2側で、且つ、その照明光束の断面形状が検査基板Kと等しいか又は検査基板Kより大きくなる位置hに配されると共に、その照明光束が透過する大きさに形成されている。
また、液晶散乱板4は検査基板Kと等しい大きさが確保されているので、液晶散乱板4を不透明にして面光源照明としたときでもその像が検査基板K全体をカバーするので、検査基板K上に照明光のムラが生じない。
検査基板Kが基板検査用照明装置1の下まで搬送されてくると、その検査目的に応じて、照明光切換手段15により点光源照明及び面光源照明を選択する。
点光源照明による検査を行う場合は、光源装置2を点灯させた状態で液晶散乱板4を透明にすれば、光源装置2からの非散乱光が反射鏡14で反射されて液晶散乱板4をそのまま透過してフレネルレンズ3まで発散して進行し、フレネルレンズ3で収束化されて検査基板Kに照射される。
このとき、点光源照明として非散乱光がライトガイド7から出射されて、均一化整形レンズ装置8のロッドインテグレータ9及びバリフォーカルレンズ10により所定の照射角度で発散されて、検査基板Kの全体に照射され、これにより、検査基板K上の塵埃その他のパーティクルなどの異物の付着の有無、ピンホールの有無、オーバーコートの下層の不均一性、さらには下層に形成されたITO(透明電極)の不良の有無などを検査することができる。
また、ロッドインテグレータ9により光分布が均一化されて検査基板K上における光強度分布がフラットになるので、光軸Xから離れた周縁部の照度が低下せず、見難くならないという効果もある。
また、液晶散乱板4は、照明光束の断面形状が検査基板Kと等しいかまたは検査基板Kより大きくなる位置に配されているので、検査基板Kと等しい大きさまで小型化することができる。
すなわち、液晶散乱板4は検査基板Kの大きさが確保され、液晶散乱板4を不透明にして面光源照明としたときでも、液晶散乱板4の像が検査基板Kの全体に均一に写り込むこととなり、検査基板Kの一部にのみ液晶散乱板4が写り込むことがなく、したがって検査基板K上で照明光のムラを生じることもない。
2 光源装置
X 照明光軸
3 フレネルレンズ
K 検査基板
4 液晶散乱板
8 均一化整形レンズ装置
15 照明光切換手段
Claims (3)
- 照明光として非散乱光を発散させて照射する光源装置から検査基板に至る照明光軸上に、その照明光を検査基板全体に照射するように光を収束化又は平行化するフレネルレンズと、電圧制御により透明と不透明を切り換え、透明時に点光源照明を検査基板に照射させ、不透明時に面光源照明を検査基板に照射させる液晶散乱板を備えて成る基板検査用照明装置において、
前記液晶散乱板は、フレネルレンズより光源装置側で、照明光束の断面形状が検査基板と等しいか又は検査基板より大きくなる位置に配されると共に、その照明光束が透過する大きさに形成され、
該液晶散乱板に前記光源装置から照射された非散乱光を入射させることにより、点光源照明となる非散乱光と面光源照明となる散乱光を検査基板に選択的に照射させる照明光切換手段を備えたことを特徴とする基板検査用照明装置。 - 前記光源装置の光出射部に、照明光束を検査基板の形状に整形すると共に、光分布を均一化させる均一化整形レンズ装置が装着されて成る請求項1記載の基板検査用照明装置。
- 前記均一化整形レンズ装置が、照射角可変のバリフォーカルレンズを備えた請求項2記載の基板検査用照明装置。
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