JP5646922B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
(技術の課題)
次に、技術の課題について、図7ないし図9を用いて説明する。図7は、技術の課題を説明するための検査装置10´の保持機構13´および透過照明機構14´の構成を示す説明図である。この検査装置10´は、実施例1の検査装置10に対して、保持ステージ34´に透過ステージ35が設けられておらず、かつ透過照明機構14´(その照射機構部16´)の用い方およびその機能が異なるものとされた例である。検査装置10´は、基本的な構成は上記した検査装置10と同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
(透過照明機構14および透過ステージ35による作用)
検査装置10では、透過照明機構14における照射機構部16(その出射部53)が、保持ステージ34から離れた位置(保持ステージ34の外方)から当該保持ステージ34に吸着保持された検査対象物(各半導体素子44)を照射する構成としている(図5等参照)。このため、保持ステージ34と照射機構部16(その出射部53)とを、透過光軸Paに直交する方向に相対的に移動させても、保持ステージ34と照射機構部16(その出射部53)とが干渉することはない(図10参照)。このため、図10に示すように、照射機構部16の出射部53に筐体53aが設けられていることに拘らず、光学素子53bから出射された透過光で、透過光軸Paに直交する方向で見て保持ステージ34の内周壁面に至る位置まで照射することができるので、保持ステージ34においてテープ42を吸着保持する先端部34aの内方の全領域(符号Sa参照)に透過光を照射することができる。このため、保持ステージ34の内方を全域に渡って有効検査領域Saとすることができ、当該内方領域を最大限に利用することができる。
さらに、実施例3では、押圧機構81の押圧腕部83が、検査対象ワーク40の環状部材43を上方(観察光学系側)から押圧する構成とされていたが、テープ42を押圧するものであってもよく、上記した実施例3の構成に限定されるものではない。
11 (観察光学系としての)観察機構
12 反射照明機構
14 透過照明機構
24 (観察光学系としての)撮像カメラ
34、34A 保持ステージ
34a (テープの保持位置となる)先端部
35 (透過部材としての)透過ステージ
35a (平坦面としての)上端面
37 (位置調整機構としての)Z軸螺合部材
38 (位置調整機構としての)直交軸螺合部材
42 テープ
43 環状部材
44 (検査対象物としての)半導体素子
51 透過用光源
53 出射部
71 (位置調整機構としての)Z軸調整機構
81 押圧機構
Fp 観察面
Oa 観察光軸
Pa 透過光軸
Claims (7)
- 観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、検査対象物が貼付されるテープを保持する環状部材の内側で前記透過照明機構側から前記テープを保持可能な筒状の保持ステージと、を備える検査装置であって、
前記透過照明機構は、光源から導光された透過光を前記保持ステージの外方から前記観察面へ向けて出射する出射部を有し、
前記保持ステージは、前記観察光学系側に前記観察面に沿う平面を規定する平坦面が設けられた板状を呈しかつ前記出射部から出射された透過光の透過を許す透過部材と、前記保持ステージに対して観察光軸方向に関する位置調整可能に前記透過部材を保持する位置調整機構と、を有し、
さらに、前記透過部材の外方位置において前記テープを観察光軸方向の前記出射部側に押圧する押圧機構を備えることを特徴とする検査装置。 - 観察光軸方向に関する位置調整とは、観察光軸方向での位置および観察光軸方向に対する傾斜であることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記位置調整機構は、観察光軸方向で見て、前記平坦面を前記保持ステージにおける前記テープの保持位置よりも前記観察光学系側とするように前記透過部材を位置させることが可能とされていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 前記押圧機構は、前記保持ステージの外方位置で前記環状部材を押圧することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記押圧機構は、前記保持ステージにおいて、前記透過部材を取り巻くように該透過部材と前記テープを保持する箇所との間を吸引することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記出射部は、前記透過部材へと所定のスポット領域で透過光を入射させるべく、導光した透過光の拡散を低減する集光光学部材を有することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記集光光学部材は、透過光軸に直交する断面で見た光量分布を均一化する機能も有するロッドインテグレータ光学部材であることを特徴とする請求項6に記載の検査装置。
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DE19819492A1 (de) * | 1998-04-30 | 1999-11-11 | Leica Microsystems | Meßgerät zur Vermessung von Strukturen auf einem transparenten Substrat |
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DE102004029212B4 (de) * | 2004-06-16 | 2006-07-13 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Auf- und/oder Durchlichtinspektion von Mikrostrukturen im IR |
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JP2006162427A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Toshiba Corp | Ledチップの検査方法及びledチップの検査装置 |
JP2007033202A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP3831744B1 (ja) * | 2005-09-20 | 2006-10-11 | 株式会社モリテックス | 基板検査用照明装置 |
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JP2008139794A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Keyence Corp | 蛍光顕微鏡、蛍光顕微鏡の操作方法、蛍光顕微鏡操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
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JP4224863B2 (ja) * | 2007-02-02 | 2009-02-18 | レーザーテック株式会社 | 検査装置及び検査方法、並びにパターン基板の製造方法 |
DE102007000980A1 (de) * | 2007-11-07 | 2009-05-14 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Verfahren zum Bestimmen der Kennlinie einer Kamera einer Inspektionsmaschine |
JP2009175035A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Topcon Corp | 検査方法及び検査装置 |
JP2009180601A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Nippon Avionics Co Ltd | パターン検査方法および装置 |
JP2010107254A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Ledチップ検査装置、ledチップ検査方法 |
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