JP2014125424A - SiC単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】製造回数毎の種結晶の着液位置についてばらつきを抑制し、再現性よく高品質のSiC単結晶の提供。
【解決手段】支持棒6によって支持されたSiC種結晶を高周波加熱した溶液5に接触させてSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法であって、前記溶液に印加された磁場の存在下、前記支持棒6を降下させて、前記溶液にSiC種結晶を接触させた後、前記磁場の印加を止めてSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法。
【選択図】図1
【解決手段】支持棒6によって支持されたSiC種結晶を高周波加熱した溶液5に接触させてSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法であって、前記溶液に印加された磁場の存在下、前記支持棒6を降下させて、前記溶液にSiC種結晶を接触させた後、前記磁場の印加を止めてSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法。
【選択図】図1
Description
本発明は、溶液法によるSiC単結晶の製造方法に関する。
SiC単結晶は、熱的、化学的に非常に安定であり、機械的強度に優れ、放射線に強く、しかもSi(シリコン)単結晶に比べて高い絶縁破壊電圧、高い熱伝導率などの優れた物性を有し、不純物の添加によってp、n伝導型の電子制御も容易にできるとともに、広い禁制帯幅(4H型の単結晶SiCで約3.3eV、6H型の単結晶SiCで約3.0eV)を有するという特長を備えている。このため、Si単結晶やGaAs(ガリウム砒素)単結晶などの既存の半導体材料では実現できない高温、高周波、耐電圧・耐環境性を実現することが可能であり、次世代の半導体材料として期待が高まっている。
従来、SiC単結晶の代表的な成長方法として気相法と溶液法が知られている。気相法としては、通常、昇華法が用いられる。昇華法では、黒鉛製坩堝内にSiC原料粉末とSiC単結晶である種結晶とを対向させて配置し、坩堝を不活性ガス雰囲気中で加熱して、単結晶をエピタキシャルに成長させる。しかし、この気相法では、坩堝内壁から成長してくる多結晶がSiC単結晶の品質に悪影響を及ぼすことが知られている。
また、溶液法では、例えば原料溶液を入れる坩堝、原料溶液、高周波コイルなどの外部加熱装置、断熱材、昇降可能な種結晶支持部材(例えば、黒鉛棒)および種結晶支持部材の先端に取り付けた種結晶からなる基本的構造を有するSiC単結晶製造装置を用いて、坩堝中、Si融液又はさらに金属を溶解したSi合金融液などのSi含有融液にC(炭素)供給源、例えば黒鉛坩堝からCを溶解させて原料溶液とし、SiC種結晶基板上にSiC単結晶層を溶液析出によって成長させている。
また、溶液法では、例えば原料溶液を入れる坩堝、原料溶液、高周波コイルなどの外部加熱装置、断熱材、昇降可能な種結晶支持部材(例えば、黒鉛棒)および種結晶支持部材の先端に取り付けた種結晶からなる基本的構造を有するSiC単結晶製造装置を用いて、坩堝中、Si融液又はさらに金属を溶解したSi合金融液などのSi含有融液にC(炭素)供給源、例えば黒鉛坩堝からCを溶解させて原料溶液とし、SiC種結晶基板上にSiC単結晶層を溶液析出によって成長させている。
この溶液法によるSiC単結晶の成長法では、原料溶液に種結晶基板近傍の溶液温度が他の部分の溶液温度より低温になるように温度勾配を設けて成長させる方法、又は原料溶液全体を徐冷して成長させる方法のいずれかのSiC単結晶成長法が用いられる。
例えば、特許文献1には、黒鉛るつぼ内のSi融液内に内部から融液面に向けて温度低下する温度勾配を維持しつつSiC単結晶を成長させる方法において、るつぼ内の融液に、るつぼ底部から融液面に向う上向きの縦磁場を印加するSiC単結晶の製造方法が記載されており、具体例として融液面に向う上向きの縦磁場を印加することによりSi融液内の自然対流を抑制してるつぼ下部から種結晶へのCの輸送効率を高め、160μm/時間程度のSiC単結晶成長速度に向上させ得ることが示されている。
また、特許文献2には、るつぼ内の融液に、不純物が添加された種結晶を着液させ、前記種結晶を引き上げることにより単結晶半導体を製造する単結晶半導体の製造方法において、融液に磁場を印加する工程と、種結晶に融液を着液させる工程と、種結晶が融液に着液した後に、ネッキング処理を行うことなく単結晶半導体を引き上げる工程とを含む単結晶半導体の製造方法が記載されており、具体例として種結晶に融液を着液させる40分以上前から融液に磁場を印加しておき、シリコン単結晶の成長が終了するまで磁場を印加し続けて単結晶シリコン半導体を得た例が示されている。
特許文献3には、シリコンを装入した石英るつぼを加熱し、石英るつぼの内部に500ガウス以上の磁場を印加してシリコンを融解させるステップと、石英るつぼの内部に500ガウス未満の磁場を印加し、融解されたシリコンから単結晶シリコンインゴットを成長させるステップとを含むシリコンインゴット成長方法が記載されている。
特許文献4には、Si−Cr融液にCを溶解させたSi−Cr−C溶液からSiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる方法において、Si−Cr−C溶液に直流磁場を印加する単結晶の製造方法が記載されており、具体例として磁場コイルを高周波加熱コイルの外側に配置したSiC単結晶の成長装置を用いて10〜20時間程度の成長時間、磁場の印加条件下にSiC単結晶を成長させて270μm/時間程度のSiC単結晶成長速度が達成された例、および磁場の方向は限定されないことが示されている。
特許文献5には、溶液法SiC単結晶製造装置を用いるSiC単結晶の製造方法であって、支持部の少なくとも一部として、坩堝を支える方向の熱伝導率(TCV)と前記方向に垂直な方向の熱伝導率(TCH)との間にTCH>TCVの関係を有する部材から構成された伝熱異方性支持部を用いる、高周波加熱により溶液を加熱して多結晶の発生を抑制し得るSiC単結晶製造方法が記載されている。
しかし、これらの従来技術によれば、溶液の加熱に一般的に用いられる高周波加熱による液面微振動のため、製造回数毎に種結晶の着液位置にばらつきが生じ、再現性よく高品質のSiC単結晶を得ることが困難であった。
従って、本発明は、製造回数毎の種結晶の着液位置についてばらつきを抑制し、再現性よく高品質のSiC単結晶を得ることを目的とする。
従って、本発明は、製造回数毎の種結晶の着液位置についてばらつきを抑制し、再現性よく高品質のSiC単結晶を得ることを目的とする。
本発明は、支持棒によって支持されたSiC種結晶上を高周波加熱した溶液に接触させてSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法であって、前記溶液に印加された磁場の存在下、前記支持棒を降下させて、前記溶液にSiC種結晶を接触させた後、前記磁場の印加を止めてSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法に関する。
本発明によれば、製造回数毎の種結晶の着液位置についてばらつきを抑制し、再現性よく高品質のSiC単結晶を得ることが可能である。
特に、本発明において、以下の実施態様を挙げることができる。
1)前記磁場が、前記溶液にSiC種結晶を接触させるまでの0.5分間以上で10分間以内印加される前記の製造方法。
2)前記磁場が、前記接触後1分間以内に印加を止められる前記の製造方法。
3)前記磁場の印加を止める制御が前記溶液とSiC種結晶との接触によって生じる電気的信号に基いて行われる前記の製造方法。
4)前記磁場の方向が、溶液面から坩堝底部に向う下向きである前記の製造方法。
5)前記磁場の強度が0.1T(テスラ、1T=104G(ガウス))以上である前記の製造方法。
6)前記SiC単結晶の成長が、前記溶液にSiC種結晶を接触させた後、支持棒の降下を止めて、支持棒を引き上げながら行われる前記の製造方法。
7)前記原料溶液の温度が1800〜2100℃の範囲内である前記の製造方法。
1)前記磁場が、前記溶液にSiC種結晶を接触させるまでの0.5分間以上で10分間以内印加される前記の製造方法。
2)前記磁場が、前記接触後1分間以内に印加を止められる前記の製造方法。
3)前記磁場の印加を止める制御が前記溶液とSiC種結晶との接触によって生じる電気的信号に基いて行われる前記の製造方法。
4)前記磁場の方向が、溶液面から坩堝底部に向う下向きである前記の製造方法。
5)前記磁場の強度が0.1T(テスラ、1T=104G(ガウス))以上である前記の製造方法。
6)前記SiC単結晶の成長が、前記溶液にSiC種結晶を接触させた後、支持棒の降下を止めて、支持棒を引き上げながら行われる前記の製造方法。
7)前記原料溶液の温度が1800〜2100℃の範囲内である前記の製造方法。
以下、図面を参照して本発明を詳述する。
本発明の実施態様の溶液法によるSiC単結晶の製造方法は、図1に示すように、SiC単結晶成長装置1において、黒鉛製支持棒6によって支持されたSiC種結晶7を高周波加熱した溶液に接触させてSiC単結晶を成長させるに際に、前記溶液5に磁場コイル8によって印加された磁場(図示せず)の存在下、前記支持棒6を降下させて、前記溶液5にSiC種結晶7を接触させた後、前記磁場の印加を止めてSiC単結晶9を成長させる方法によって行われる。
前記の高周波加熱は、黒鉛坩堝2の周囲を断熱材3を介して取り巻く高周波加熱コイル4によって行われる。
また、前記の実施態様の製造方法において、前記坩堝2は、底部に備えられた動力(図示せず)によって、前記支持棒6の回転方向とは逆方向に回転されてもよい。
本発明の実施態様の溶液法によるSiC単結晶の製造方法は、図1に示すように、SiC単結晶成長装置1において、黒鉛製支持棒6によって支持されたSiC種結晶7を高周波加熱した溶液に接触させてSiC単結晶を成長させるに際に、前記溶液5に磁場コイル8によって印加された磁場(図示せず)の存在下、前記支持棒6を降下させて、前記溶液5にSiC種結晶7を接触させた後、前記磁場の印加を止めてSiC単結晶9を成長させる方法によって行われる。
前記の高周波加熱は、黒鉛坩堝2の周囲を断熱材3を介して取り巻く高周波加熱コイル4によって行われる。
また、前記の実施態様の製造方法において、前記坩堝2は、底部に備えられた動力(図示せず)によって、前記支持棒6の回転方向とは逆方向に回転されてもよい。
前記の磁場の印加を止める制御方法は、前記溶液5と降下する前記支持棒6の下端に支持されたSiC種結晶7との接触によって生じる電気的信号、例えば検知した電流に基いて行うことができる。つまり、磁場を印加するための磁場コイル8に加える電流を前記の電気的信号に基いて停止乃至は低減することによって磁場の印加を止め得る。
また、本発明の実施態様の溶液法によるSiC単結晶の製造方法において、前記磁場の印加は、好適には前記溶液に予め予測されるSiC種結晶を接触させるまでの特定時間、通常は0.5分以上で、好適には10分以内、さらに好ましくは5分間以内、さらに好ましくは2分間以内行われる。
また、前記の方法において、前記接触がされた後、好ましくは1分間以内、さらに好ましくは30秒間以内に前記磁場の印加が止められる。前記接触後に磁場を印加する時間が長すぎても効果は増大せず、却って溶液の均一混合が妨げられるので好ましくない。
前記の磁場の印加を止める工程は、磁場の印加を完全に止めるだけでなく印加される磁場の強度を印加時の5分の1以下、例えば10分の1以下に低減することによって、好適には磁場の印加を完全に止めることによって行われ得る。
また、本発明の実施態様の溶液法によるSiC単結晶の製造方法において、前記磁場の印加は、好適には前記溶液に予め予測されるSiC種結晶を接触させるまでの特定時間、通常は0.5分以上で、好適には10分以内、さらに好ましくは5分間以内、さらに好ましくは2分間以内行われる。
また、前記の方法において、前記接触がされた後、好ましくは1分間以内、さらに好ましくは30秒間以内に前記磁場の印加が止められる。前記接触後に磁場を印加する時間が長すぎても効果は増大せず、却って溶液の均一混合が妨げられるので好ましくない。
前記の磁場の印加を止める工程は、磁場の印加を完全に止めるだけでなく印加される磁場の強度を印加時の5分の1以下、例えば10分の1以下に低減することによって、好適には磁場の印加を完全に止めることによって行われ得る。
前記の予め予測されるSiC種結晶を接触させるまでの特定時間とは、SiC単結晶成長装置内の坩堝の溶液上の空間に停止している支持棒が降下して種結晶が液面に達するまでの距離と降下速度とから逆算して求められる時間を意味する。例えば、支持棒の停止位置から液面までの距離と支持棒の降下速度とから種結晶が溶液に接触(着液)するまで仮に20分間を要する場合、着液時点から逆算して着液までの一定時間、好適には0.5分以上で、10分以内、特に5分以内、その中でも2分以内、磁場を印加することがより好ましい。
前記の方法において、前記磁場の方向は、縦磁場(上向き又は下向きの磁場)であれば特に制限はないが、好適には溶液面から坩堝底部に向う下向きであり得て、また前記磁場は好適には0.1T以上、特に0.15T以上の強度であり得る。前記の磁場の強度は小さすぎると磁場印加の効果が低減し好ましくなく、上限はないが過度に大きくてもコスト的にまた不必要な電力消費を要し不利となる。
なお、前記の溶液に磁場を印加することによる効果は、電気伝導性を持つ液体金属内の対流が均一磁場によって抑制されて液面振動が抑制されることであり、一般的に知られている(H.A.Chedzey等 Nature210(1966)933)。
なお、前記の溶液に磁場を印加することによる効果は、電気伝導性を持つ液体金属内の対流が均一磁場によって抑制されて液面振動が抑制されることであり、一般的に知られている(H.A.Chedzey等 Nature210(1966)933)。
従来のSiC単結晶成長法においては、原料溶液の高温加熱に伴い溶液表面に生じる振動および/又は温度分布の不均一さに起因する単結晶表面の均一性の低下、例えば成長した結晶表面に溶媒の巻き込みの発生などが生じていた。このため、単結晶成長中の単結晶表面に生じる溶媒の巻き込みの発生などによる均一性の低下を抑制し得る単結晶の成長法が求められていたのである。
また、SiC単結晶を成長させる場合、図2に示すように、SiC種結晶成長後にSiC単結晶成長装置内の坩堝の表面と溶液との相互作用によって形成される液面の屈曲であるメニスカスが生じる。このメニスカスは、支持棒を引き上げることによりSiC種結晶を引き上げた高さによって、図3に示すように、成長結晶の拡大角が規定される。従来技術によれば、高周波加熱による液面微振動のために製造回数毎の着液位置のばらつきが大きく、成長結晶の拡大角が定まらなかったのである。
また、SiC単結晶を成長させる場合、図2に示すように、SiC種結晶成長後にSiC単結晶成長装置内の坩堝の表面と溶液との相互作用によって形成される液面の屈曲であるメニスカスが生じる。このメニスカスは、支持棒を引き上げることによりSiC種結晶を引き上げた高さによって、図3に示すように、成長結晶の拡大角が規定される。従来技術によれば、高周波加熱による液面微振動のために製造回数毎の着液位置のばらつきが大きく、成長結晶の拡大角が定まらなかったのである。
すなわち、本発明の範囲外の溶液法である前記溶液に磁場を印加しないでSiC単結晶を成長させる方法によるとと、図4〜6に示すように、種結晶と溶液とが接触する着液位置のばらつきおよび成長結晶の拡大角のばらつきが大きく、例えば着液位置の標準偏差σ(mm)が1mm以上、成長結晶拡大角の標準偏差σ(°)が20°以上である。
また、前記溶液に磁場を印加しても、本発明の範囲外の溶液法である前記溶液にSiC種結晶を接触させた後に前記磁場の印加を止めないで引き続き磁場を印加しつつSiC単結晶を成長させる方法によると、図7Bに示すように、単結晶表面に生じる溶媒の巻き込みの発生面積率が大きく、例えば60%以上で、単結晶表面に生じる溶媒の巻き込みの発生を抑制し得ない。
これに対して、本発明の実施態様の方法によれば、図4〜6および図7Aに示すように、種結晶と溶液とが接触する着液位置のばらつきが小さく成長結晶拡大角が定まっていて且つ成長結晶表面の溶媒の巻き込み発生面積率が小さく、例えば着液位置のσが0.25mm以下、成長結晶拡大角のσが3°以下、特に2.5°以下であって、成長結晶表面の溶媒の巻き込み発生面積率が10%以下、特に7%以下である。
このように本発明の方法によって、前記接触がされた後、好ましくは1分間以内、さらに好ましくは30秒間以内に前記磁場の印加を止めて結晶成長することによって前記のように単結晶表面に生じる溶媒の巻き込みの発生を抑制することができることは予想外の結果であった。
前記の磁場の印加は、単結晶表面に生じる溶媒の巻き込みの発生面積率を可能な限り少なくするために接触後、直ちに止めることが望ましい。しかし、接触する前に磁場の印加を止めることを避け、一方で前記磁場を印加しそして止める制御を、例えば前記溶液とSiC種結晶との接触によって生じる電気的信号に基いて行う場合、接触後一定時間、例えば1分間以内、特に30秒間以内に行うことが実際的である。
前記の磁場の印加は、単結晶表面に生じる溶媒の巻き込みの発生面積率を可能な限り少なくするために接触後、直ちに止めることが望ましい。しかし、接触する前に磁場の印加を止めることを避け、一方で前記磁場を印加しそして止める制御を、例えば前記溶液とSiC種結晶との接触によって生じる電気的信号に基いて行う場合、接触後一定時間、例えば1分間以内、特に30秒間以内に行うことが実際的である。
本発明においてSiC単結晶を成長させるための原料溶液としては、SiとCとを必須成分とする任意の溶液を挙げることができ、例えば、成長結晶の品質の観点から、原料溶液として前記成分にさらにTiおよび/又はCrを含むものが挙げられる。
前記の原料溶液の温度は、例えば1800〜2100℃の範囲、その中でも1800〜2050℃、特に1850〜2050℃程度であり得る。
前記の原料溶液の温度の制御は、例えば高周波誘導加熱によって加熱し、例えば放射温度計による原料溶液面の温度観察および/又は炭素棒内側に設置した熱電対、例えばW−Re(タングステン/レニューム)熱電対を用いて温度測定を行って求められた測定温度に基いて温度制御装置によって行うことができる。
前記の原料溶液の温度の制御は、例えば高周波誘導加熱によって加熱し、例えば放射温度計による原料溶液面の温度観察および/又は炭素棒内側に設置した熱電対、例えばW−Re(タングステン/レニューム)熱電対を用いて温度測定を行って求められた測定温度に基いて温度制御装置によって行うことができる。
本発明の溶液法によるSiC単結晶の製造方法において、結晶成長条件、例えば黒鉛坩堝の形状、加熱方法、加熱時間、支持棒の降下および上昇速度、昇温速度および冷却速度については溶液法における従来公知の条件の中から最適条件を適宜選択することによって行い得る。
例えば、高周波誘導加熱による加熱時間(原料の仕込みからSiC飽和濃度に達するまでの凡その時間)としては坩堝の大きさにもよるが1〜20時間程度の範囲、例えば5〜15時間程度で、雰囲気としては希ガス、例えばHe、Ne、Arなどの不活性ガスや前記不活性ガスとN2やメタンガスとの混合ガスが挙げられる。
例えば、高周波誘導加熱による加熱時間(原料の仕込みからSiC飽和濃度に達するまでの凡その時間)としては坩堝の大きさにもよるが1〜20時間程度の範囲、例えば5〜15時間程度で、雰囲気としては希ガス、例えばHe、Ne、Arなどの不活性ガスや前記不活性ガスとN2やメタンガスとの混合ガスが挙げられる。
前記の本発明における溶液法によるSiC単結晶の製造方法によって、高温で長時間、例えば5時間以上、種結晶と溶液とが接触する着液位置のばらつきが小さく成長結晶拡大角が定まり、好適には着液位置のσが0.25mm以下、成長結晶の縦断面での結晶成長拡大角のσが3°以下で、且つ成長結晶表面の溶媒の巻き込み発生面積率が小さく、好適には10%以下で、単結晶表面に生じる溶媒の巻き込みの発生を抑制し得て、再現性良く高品質のSiC単結晶を得ることができる。
以下、実施例及び比較例を挙げ、本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
以下の各例において、SiC単結晶の成長は図1に概略模式図を示す溶液法によるSiC単結晶の製造装置(ボンベ、配管、ガス出口、ガス入口、圧力計、真空ポンプは図示せず)を用いて行った。
以下の各例において、SiC単結晶の成長は図1に概略模式図を示す溶液法によるSiC単結晶の製造装置(ボンベ、配管、ガス出口、ガス入口、圧力計、真空ポンプは図示せず)を用いて行った。
以下の各例において、SiC単結晶成長の評価は以下の項目について以下の測定法により行った。
着液位置:坩堝底からの距離
黒鉛支持棒と坩堝に一定電圧を付加しておいて、種結晶が溶液に着液したと きに電流で検知
結晶拡大角:結晶をダイヤモンドカッターで切断し、縦断面を撮影した写真を目視観察して評価
結晶表面の溶媒の巻き込み:結晶表面の光学顕微鏡写真により評価
着液位置:坩堝底からの距離
黒鉛支持棒と坩堝に一定電圧を付加しておいて、種結晶が溶液に着液したと きに電流で検知
結晶拡大角:結晶をダイヤモンドカッターで切断し、縦断面を撮影した写真を目視観察して評価
結晶表面の溶媒の巻き込み:結晶表面の光学顕微鏡写真により評価
実施例1
黒鉛坩堝にSi次いでCrおよびNiを同時に加えて溶媒:Si−40at%Cr−5at%Ni(Siに対する割合をat%で表示)を調製し、種結晶のSiC(000−1、C面)を黒鉛支持棒の先端に固定し、高周波による黒鉛坩堝誘導加熱方式により設定温度:2000℃に維持した後、黒鉛坩堝からCが溶解してSiC飽和濃度に達したら、黒鉛支持棒を回転させながら降下させ、2分間、0.15Tの磁場(下向き)を印加した後、種結晶を着液させ、着液位置の測定を行った。そして、着液後30秒後に磁場の印加をストップさせ、成長時間5〜20時間で結晶成長させた。
この結晶成長によって、図2に示すようにメニスカスが形成された。
前記の一連の工程を合計回数12回行って、着液位置の平均値とn=12でのσ(mm)を求めた。また、成長結晶の拡大角を4サンプルで測定して、拡大角のn=4でのσ(°)を求めた。
評価結果を他の結果とまとめて図4〜6に示す。
黒鉛坩堝にSi次いでCrおよびNiを同時に加えて溶媒:Si−40at%Cr−5at%Ni(Siに対する割合をat%で表示)を調製し、種結晶のSiC(000−1、C面)を黒鉛支持棒の先端に固定し、高周波による黒鉛坩堝誘導加熱方式により設定温度:2000℃に維持した後、黒鉛坩堝からCが溶解してSiC飽和濃度に達したら、黒鉛支持棒を回転させながら降下させ、2分間、0.15Tの磁場(下向き)を印加した後、種結晶を着液させ、着液位置の測定を行った。そして、着液後30秒後に磁場の印加をストップさせ、成長時間5〜20時間で結晶成長させた。
この結晶成長によって、図2に示すようにメニスカスが形成された。
前記の一連の工程を合計回数12回行って、着液位置の平均値とn=12でのσ(mm)を求めた。また、成長結晶の拡大角を4サンプルで測定して、拡大角のn=4でのσ(°)を求めた。
評価結果を他の結果とまとめて図4〜6に示す。
比較例1
磁場を印加しなかった他は実施例1と同様にして、結晶成長させた。
この結晶成長によって、図2に示すようにメニスカスが形成された。
前記の一連の工程を合計回数14回行って、着液位置の平均値とn=14でのσ(mm)を求めた。また、成長結晶の拡大角を7サンプルで測定して、拡大角のn=7でのσ(°)を求めた。
評価結果を他の結果とまとめて図4〜6に示す。
磁場を印加しなかった他は実施例1と同様にして、結晶成長させた。
この結晶成長によって、図2に示すようにメニスカスが形成された。
前記の一連の工程を合計回数14回行って、着液位置の平均値とn=14でのσ(mm)を求めた。また、成長結晶の拡大角を7サンプルで測定して、拡大角のn=7でのσ(°)を求めた。
評価結果を他の結果とまとめて図4〜6に示す。
実施例2
実施例1と同じ条件で、設定温度:2000℃、黒鉛支持棒を回転させながら降下させ、2分間、0.15Tの磁場(下向き)を印加した後、種結晶を着液させ、着液後30秒後に磁場の印加をストップさせ、成長時間12時間で結晶成長させた。
得られたSiC単結晶表面の光学顕微鏡写真の写しを図7Aに示す。
写真から、溶媒の巻き込み発生面積率は6.9%である。
実施例1と同じ条件で、設定温度:2000℃、黒鉛支持棒を回転させながら降下させ、2分間、0.15Tの磁場(下向き)を印加した後、種結晶を着液させ、着液後30秒後に磁場の印加をストップさせ、成長時間12時間で結晶成長させた。
得られたSiC単結晶表面の光学顕微鏡写真の写しを図7Aに示す。
写真から、溶媒の巻き込み発生面積率は6.9%である。
比較例2
着液後も磁場の印加を止めないで引き続き磁場を印加して結晶成長を行った他は実施例2と同様にして、結晶成長させた。
得られたSiC単結晶表面の光学顕微鏡写真の写しを図7Bに示す。
写真から、溶媒の巻き込み発生面積率は64%である。
着液後も磁場の印加を止めないで引き続き磁場を印加して結晶成長を行った他は実施例2と同様にして、結晶成長させた。
得られたSiC単結晶表面の光学顕微鏡写真の写しを図7Bに示す。
写真から、溶媒の巻き込み発生面積率は64%である。
図4〜6と図7Aと図7Bとの比較から、実施例では着液位置のσが0.23mmで成長結晶の縦断面での拡大角のσが2.05°であるのに対して、比較例1では着液位置のσが1.05mmで拡大角のσが26.8°であった。また、実施例では、成長結晶表面の溶媒の巻き込み発生面積率が6.9%であるのに対して、比較例2では溶媒の巻き込み発生面積率が64%であった。このように本発明によれば、着液位置のばらつきが小さく拡大角が定まっていて、単結晶表面に生じる溶媒の巻き込みの発生が顕著に抑制され得ることが確認された。
本発明の方法によれば、製造回数毎のSiC単結晶成長のばらつきおよび単結晶表面に生じる溶媒の巻き込みの発生を抑制して次世代の半導体材料として期待されるSiC単結晶を製造することが可能となる。
1 本発明の実施態様に用いられるSiC単結晶成長装置
2 黒鉛坩堝
3 断熱材
4 高周波加熱コイル
5 原料溶液
6 黒鉛製支持棒
7 SiC種結晶
8 磁場コイル
9 着液位置
10 黒鉛支持棒の回転方向
11 黒鉛坩堝の回転方向
2 黒鉛坩堝
3 断熱材
4 高周波加熱コイル
5 原料溶液
6 黒鉛製支持棒
7 SiC種結晶
8 磁場コイル
9 着液位置
10 黒鉛支持棒の回転方向
11 黒鉛坩堝の回転方向
Claims (8)
- 支持棒によって支持されたSiC種結晶を高周波加熱した溶液に接触させてSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法であって、前記溶液に印加された磁場の存在下、前記支持棒を降下させて、前記溶液にSiC種結晶を接触させた後、前記磁場の印加を止めてSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法。
- 前記磁場が、前記溶液にSiC種結晶を接触させるまでの0.5分間以上で10分間以内印加される請求項1に記載の製造方法。
- 前記磁場が、前記接触後1分間以内に印加を止められる請求項1又は2に記載の製造方法。
- 前記磁場の印加を止める制御が前記溶液とSiC種結晶との接触によって生じる電気的信号に基いて行われる請求項1〜3のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記磁場の方向が、溶液面から坩堝底部に向う下向きである請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記磁場の強度が0.1T以上である請求項1〜5のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記SiC単結晶の成長が、前記溶液にSiC種結晶を接触させた後、支持棒の降下を止めて、支持棒を引き上げながら行われる請求項1〜6のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記原料溶液の温度が1800〜2100℃の範囲内である請求項1〜7のいずれか1項に記載の製造方法。
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