JP2014073679A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. 液体を吐出する吐出口が形成された吐出口形成部材と、該吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子を第一の面側に有する基板と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   （１）支持体と、第一の層と、第二の層と、をこの順に有するフィルムを用意する工程と、
   （２）前記フィルムを、前記第二の層が前記第一の面と対向するように配置し、該フィルムから前記支持体を剥離する工程と、
   （３）前記第二の層に前記吐出口を形成する工程と、
   （４）前記第一の層の少なくとも一部を前記第二の層上から除去する工程と、
   を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
2. 前記第二の層が感光性樹脂を含有した第一の感光性樹脂層である請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第二の層を露光処理することにより前記吐出口の潜像パターンを形成し、現像液を用いて前記潜像パターンを現像処理することにより前記吐出口を形成するとともに、前記現像液により前記第一の層の少なくとも一部を前記第二の層上から除去する請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記工程（２）の前に、前記基板の前記第一の面の上に第二の感光性樹脂層を配置してパターニングすることにより、前記吐出口に連通する液体流路の側壁を構成する流路壁形成部材を形成する工程を有し、
   前記工程（２）において、前記第一の感光性樹脂層が前記流路壁形成部材に接するように前記フィルムを配置する請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
5. 前記工程（２）の前に、前記基板の前記第一の面の上に第二の感光性樹脂層を配置し、該第二の感光性樹脂層を露光処理して前記吐出口に連通する液体流路の潜像パターンを形成する工程を有し、
   前記工程（２）において、前記第一の感光性樹脂層が前記露光処理後の前記第二の感光性樹脂層に接するように前記フィルムを配置し、
   前記工程（４）において、現像液によって前記吐出口の潜像パターンと前記液体流路の潜像パターンを現像して前記吐出口と前記液体流路を形成する請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
6. 前記第一の層は、５〜１５０ＣＰの粘度の溶液が前記支持体上にスピンコート法によって塗布されて形成される請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
7. 前記第一の層は、０．５〜１０μｍの厚さで前記支持体上に形成される請求項１乃至６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
8. 前記第一の層は、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、又はウレタン樹脂を含む請求項１乃至７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
9. 前記第一の層は、フッ素系含有化合物を含む請求項１乃至８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
10. 前記フッ素系含有化合物が有機フッ素系界面活性剤である請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
11. 前記有機フッ素系界面活性剤が、パーフルオロアルキルエステル、パーフルオロアルキルエーテル、パーフルオロオクタンスルホン酸、又はパーフルオロオクタン酸である請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
12. 前記第一の層は、樹脂を、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、テトラハイドロフラン、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、又はキシレンに溶解した溶液を用いて形成される請求項１乃至１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
13. 前記支持体は、ポリエチレンテレフタラート、ポリイミド、又はポリアミドである請求項１乃至１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
14. 前記第二の層は、前記第一の層の上にカーテンコート法によって形成される請求項１乃至１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
15. 前記第一の感光性樹脂層の光感度は前記第二の感光性樹脂層の光感度よりも高い請求項５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
16. 前記第二の感光性樹脂層の光感度を１とした場合、前記第一の感光性樹脂層の光感度が３以上である請求項１５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
17. 前記第一の層は前記吐出口の潜像パターンを形成する前記露光処理によって不溶化されない請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
18. 前記工程（４）では、前記第一の層のうち、少なくとも前記第二の層の前記吐出口を形成する領域とは異なる領域の上にある第一の層を除去する、請求項１乃至１７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
19. 前記工程（４）では、前記第二の層の上にある全ての前記第一の層を除去する、請求項１乃至１８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。