JP6395518B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
特許文献1(特表2007−518587号公報)には、吐出口面が、フッ素含有基を有する加水分解性シラン化合物とカチオン重合性基を有する加水分解性シラン化合物との縮合物から得られる硬化物を含む撥液材からなる液体吐出ヘッドが開示されている。
本発明の目的は、製造コストの増加を抑制しつつ、吐出口面が撥液性を有する液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
液体を吐出する吐出口を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基板上に前記吐出口に液体を導く流路となる部分に型材を形成する工程と、
前記基板および前記型材を覆うように、ヒュームドシリカを含み、感光性を有する部材を設ける工程と、
前記部材に対する露光およびベークを行い、前記吐出口を潜像させる工程と、
前記部材の未露光部分を現像して、前記吐出口を形成する工程と、
前記基板を貫通し、前記型材に達する貫通口を形成する工程と、
前記型材を除去する工程と、を有する。
図1に示す液体吐出ヘッド1は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子2が所定のピッチで2列に並んで形成された基板3を有している。基板3には、貫通口である供給路4が、エネルギー発生素子2の2つの列の間に開口されている。基板3の上には、部材5により、各エネルギー発生素子2の上方に配列した吐出口6と、供給路4から各吐出口6に液体を導く流路とが形成されている。また、基板3の両端に端子7が形成されており、端子7と液体吐出ヘッド1が搭載される装置本体とを接続することで、液体吐出ヘッド1が動作する。
液体吐出ヘッド1は、供給路4が形成された面が被記録媒体の記録面に対面するように配置される。そして、供給路4から流路内に充填された液体に、エネルギー発生素子2が発生するエネルギー(例えば、圧力)を加えることにより、エネルギー発生素子2の上方に形成された吐出口6から液体を吐出させる。こうすることで、被記録媒体に記録が行われる。
まず、図2(A)に示すように、エネルギー発生素子2を有する基板3を用意する。基板3の表面の一部は、窒化シリコン8で覆われている。エネルギー発生素子2の上方には、耐キャビテーション膜9が形成されている。
次に、図2(B)に示すように、基板上、具体的には、基板3が露出した部分、耐キャビテーション膜9および窒化シリコン8の一部を覆うように型材10を形成する。型材10は流路となる部分に形成される。
次に、図2(C)に示すように、型材10および窒化シリコン8の上に、ヒュームドシリカを含有する部材5を設ける。部材5は、ヒュームドシリカおよび基材を含み、感光性を有する。基材としては、ヒュームドシリカを添加することによって目的とする撥液性を有する吐出口面を形成できるものであればよく、液体吐出ヘッドの吐出口形成部材用として利用されている各種の樹脂材料から選択して用いることができる。この樹脂材料としては、アクリル樹脂やエポキシ樹脂を用いることが望ましい。なお、部材5の厚さは、5μmから100μmの範囲から選択することが好ましい。そのため、塗布液を用いて部材5を形成する場合には、塗布液に含まれる基材樹脂材料の含量は、30質量%から80質量%であることが好ましい。また、ヒュームドシリカの平均粒子径(一次平均粒子径、数平均)は、吐出口際での発泡特性に影響しない程度の大きさである、1nm以上、20nm以下であることが望ましい。また、ヒュームドシリカの比表面積は、比表面積が大きいほどロータス効果が大きくなるため、90m2/g以上、300m2/g以下であることが望ましい。
部材5中のヒュームドシリカの含有量は、吐出口面に目的とする撥液性(水性インクに対する場合は撥水性)が得られる量とすればよい。部材5中の5質量%以上30質量%以下とすることが好ましい。部材5となる塗布液中では、塗布液に対して10質量%以上50質量%以下とすることが好ましい。
なお、後述するように部材5を複数層の積層構造とする場合には、最表層におけるヒュームドシリカの含有量を上記のように設定することが好ましい。
次に、図2(E)に示すように、露光およびベークにより硬化した部材5に対する酸素プラズマ処理を行い、部材5の表面の一部をエッチングする。酸素プラズマは、ヒュームドシリカをエッチングしないため、部材5の表面の凹凸がヒュームドシリカ粒子の露出部により強調され、より高い撥液性を実現することができる。なお、部材5の表面のエッチングは、より性能を上げるために、等方性エッチングが望ましい。また、部材5の表面から1μm以内の領域にヒュームドシリカが存在することが望ましい。
次に、図2(F)に示すように、未露光部分を現像して、吐出口6を形成する。このように、吐出口6は、ヒュームドシリカを含む部材5により形成されている。そのため、吐出口6が配列された吐出口面は、撥液性を有することになる。
次に、部材5の表面を表面保護層により保護し、図2(G)に示すように、供給路4となる、型材10に達する貫通口を基板3に形成した後、表面保護層および型材10を除去する。
上述した処理の後、ダイシングソーなどを用いて基板3を分離切断して、チップ化する。その後、エネルギー発生素子2を駆動させるための電気的接合、液体供給のためのチップタンク部材を接続することで、液体吐出ヘッドの主要部が作製される。
(第1の実施例)
本実施例に係る液体吐出ヘッド1の製造方法は、図2を参照して説明した製造方法と同様である。
本実施例では、型材10として、東京応化工業社製のポジ型レジストODUR1010(商品名)を使用する。ODUR1010を膜厚14μmで塗布した後、ウシオ社製プロキシミティ露光機を用いて露光を行い、型材10を形成する。
部材5に対してキヤノン株式会社製のステッパーを用いて露光を行った後、ベークを行うことで、吐出口6を潜像させる(図2(D))。その後、芝浦メカトロニクス製のドライエッチャーCDE−7−4を用いて、露光およびベークにより硬化した部材5に対して酸素プラズマを行い、部材5を表面側から深さ0.5μmまでを目安にエッチングする(図2(E))。酸素プラズマ処理後、未露光部分を現像することで、吐出口6を形成する(図2(F))。吐出口6の形成後、供給路4となる基板3の貫通口の形成、型材10などの除去が行われて、液体吐出ヘッド1の主要部が作製される。
本発明の第2の実施例においては、吐出口6を形成する部材5を2層で形成している。以下、本実施例に係る液体吐出ヘッド1の作製方法について、図3を参照して説明する。なお、型材10を形成するまでの工程は第1の実施例と同様であるので、説明を省略する。
型材10の形成後、図3(A)に示すように、型材10および窒化シリコン8の上に下層部材11を設け、下層部材11の上に上層部材12を設ける。下層部材11は、液体吐出ヘッドの吐出口形成部材用として利用されているネガ型感光性樹脂であるエポキシ樹脂に光開始剤を混合して調製した塗布液を用いて形成する。
また、液体吐出ヘッドの吐出口形成部材用として利用されているエポキシ樹脂の8質量%の固形分濃度の溶液に、16質量%の固形分に相当するヒュームドシリカ(日本アエロジル社製のR976S(商品名))を混ぜ、溶剤で50%希釈して塗布液を調製する。この塗布液を用いて上層部材12を形成する。こうして得られる上層部材12は撥液性を有している。
型材10および窒化シリコン8の上に、下層部材11形成用の塗布液を塗布し、ベークを行って硬化させる。本実施例では、ベーク後の膜厚が25μmとなるように、下層部材11形成用の塗布液を塗布する。上層部材12は、膜厚が1μmとなるように、上層部材12形成用の塗布液を塗布する。このとき、上層部材12形成用の塗布液が下層部材11を溶かすのを避けるために、スリット塗布を行う。
本実施例においては、ヒュームドシリカを含む上層部材12が最上層に配置され、この上層部材12の硬化物からなる表面が吐出口面となっている。そのため、硬化した部材5の吐出口面は撥液特性を有することになる。
図4は、本発明の第3の実施例に係る液体吐出ヘッド1の製造方法を示す図である。
まず、図4(A)に示すように、基板3の上に、流路壁となる下層部材11を形成する。具体的には、実施例2で用いた塗布液を用いてドライフィルム化された下層部材11を用意し、これを基板3に転写する。本実施例では、下層部材11の膜厚は14μmである。
次に、図4(B)に示すように、流路となる部分が未露光となるように、マスクを介して下層部材11に対して露光を行う。その後、ベークを行うことで、流路を潜像させる。
次に、図4(C)に示すように、下層部材11の上に中層部材13を形成し、中層部材13の上に上層部材12を形成する。中層部材13は、下層部材11よりも感度が10倍低くなるように光開始剤の量を調整して作製する。その後、膜厚が11μmの中層部材13のドライフィルムを実施例2で用いた塗布液を用いて作製し、真空下で下層部材11の上に転写する。その後、中層部材13の上に、上層部材12を実施例2と同様にして塗布法により形成する。
次に、図4(F)に示すように、芝浦メカトロニクス製のドライエッチャーCDE−7−4を用いて、露光およびベークにより下層部材11、中層部材13および上層部材12が硬化して形成された部材5に対する酸素プラズマを行う。このプラズマ処理により、硬化した部材5の表面を、深さ0.5μmまでを目安にエッチングする。
次に、図4(G)に示すように、未露光部分を現像して、吐出口6および流路を形成する。
次に、硬化した部材5の表面を表面保護材により保護し、図4(H)に示すように、流路と連通し、供給路4となる貫通口を基板3に形成した後、表面保護材を除去する。
上述した処理の後、基板3をダイシングソーなどを用いて分離切断して、チップ化する。その後、エネルギー発生素子2を駆動させるための電気的接合、液体供給のためのチップタンク部材を接続することで、液体吐出ヘッドの主要部1が作製される。
本実施例においては、ヒュームドシリカを含む上層部材12が最上層に配置され、上層部材12の硬化物からなる表面が吐出口面となっている。そのため、硬化した部材5の吐出口面は撥液特性を有することになる。
上述した第1から第3の実施例で説明した作製方法により作成した液体吐出ヘッドの特出特性を確認した結果、液体吐出ヘッドを搭載した記録装置などで必要とされる吐出性能を満たしていることが確認された。
吐出口面が撥液性を有するヒュームドシリカを含んで構成されるため、撥液性を有することになる。また、ヒュームドシリカは、比較的安価であるため、製造コストの増加を抑制しつつ、吐出口面が撥液性を有するようにすることができる。
2 エネルギー発生素子
3 基板
4 供給路
5 部材
6 吐出口
7 端子
8 窒化シリコン
9 耐キャビテーション膜
10 型材
11 下層部材
12 上層部材
13 中層部材
Claims (5)
- 液体を吐出する吐出口を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基板上の前記吐出口に液体を導く流路となる部分に型材を形成する工程と、
前記基板および前記型材を覆うように、ヒュームドシリカを含み、感光性を有する部材を設ける工程と、
前記部材に対する露光およびベークを行い、前記吐出口を潜像させる工程と、
前記部材の未露光部分を現像して、前記吐出口を形成する工程と、
前記基板を貫通し、前記型材に達する貫通口を形成する工程と、
前記型材を除去する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 液体を吐出する吐出口を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基板上の前記吐出口に液体を導く流路となる部分に型材を形成する工程と、
前記基板および前記型材を覆うように、感光性を有する下層部材を設ける工程と、
前記下層部材の上に、ヒュームドシリカを含む上層部材を設ける工程と、
前記下層部材および前記上層部材に対する露光およびベークを行い、前記吐出口を潜像させる工程と、
前記下層部材および前記上層部材の未露光部分を現像して、前記吐出口を形成する工程と、
前記基板を貫通し、前記型材に達する貫通口を形成する工程と、
前記型材を除去する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 液体を吐出する吐出口を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基板上の前記吐出口に前記液体を導く流路となる部分に、感光性を有する下層部材を形成する工程と、
前記下層部材に対する露光およびベークを行い、前記流路を潜像させる工程と、
前記下層部材の上に、感光性を有する中層部材を形成する工程と、
前記中層部材の上に、ヒュームドシリカを含む上層部材を設ける工程と、
前記中層部材および前記上層部材に対する露光およびベークを行い、前記吐出口を潜像させる工程と、
前記下層部材、前記中層部材および前記上層部材の未露光部分を現像して、前記流路および前記吐出口を形成する工程と、
前記基板を貫通し、前記流路に連通する貫通口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記露光およびベークにより硬化した部材に対して、酸素プラズマによるエッチングを行う工程を有する請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ヒュームドシリカは、平均粒子径が20nm以下であり、比表面積が90m2/g以上である請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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