JP5591011B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法。 - Google Patents
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Description
図1は、図3のA−A’を通り、基板6に垂直な位置で切断した場合の各工程での切断面を表わす模式的切断面図である。
名称 重量部
EHPE−3150 ダイセル化学(株)製 100
A−187 日本ユニカー(株)製 5
SP−172 旭電化工業(株)製 6
さらに、上記組成物に対して必要に応じて添加剤など適宜添加することが可能である。この溶液を流路パターン5を被覆するように15〜30μmの厚さでコーティングし、第1の層1を設ける。
図2を参照して第2の実施形態を説明する。図2は図1と同様の断面である。
すると、図2(f)に示されるように、第4の層4が除去されることで第2の層2の第2の開口9bとその周囲が露出するとともに、第3の層3に第1の開口9aに対応して第1の吐出口7aが形成される。
2 第2の層
3 第3の層
4 第4の層
6 基板
7 吐出口
Claims (10)
- 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する、第1のエネルギー発生素子及び第2のエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記第1のエネルギー発生素子に対応して、液体を吐出する第1の吐出口が設けられ、前記第2のエネルギー発生素子に対応して、液体を吐出する第2の吐出口が設けられた吐出口部材と、を有し、前記第1のエネルギー発生素子と前記第1の吐出口との距離が前記第2のエネルギー発生素子と前記第2の吐出口との距離より大きい液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記吐出口部材の一部となるための第1の層と、前記吐出口部材の他の部となるための第3の層に行われるエッチング法によるエッチングに対して前記第3の層より耐性を有する第2の層と、前記第3の層と、がこの順に積層された前記基板を用意する工程と、
前記第3の層を前記エッチング法により部分的にエッチングして前記第2の層を露出させる工程と、
露出した前記第2の層の少なくとも一部を除去して前記第1の層の一部を露出させる工程と、
露出した前記第1の層の一部に前記第2の吐出口を形成し、エッチングされずに残った前記第3の層に前記第1の吐出口を形成し、前記第1の層の、前記第1の吐出口に対応する部分を除去することにより、前記吐出口部材を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第1の層と前記第3の層とが樹脂からなり、前記第2の層が金属あるいはシリコン化合物からなり、前記エッチング法がドライエッチング法であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の層と前記第3の層とがシリコン化合物からなり、前記第2の層が金属からなり、前記エッチングをドライエッチング法によって行うことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記シリコン化合物が、シリコンの酸化物またはシリコンの窒化物であることを特徴とする請求項2または3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の層と前記第3の層とが接している部分があることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する、第1のエネルギー発生素子及び第2のエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記第1のエネルギー発生素子に対応して、液体を吐出する第1の吐出口が設けられ、前記第2のエネルギー発生素子に対応して、液体を吐出する第2の吐出口が設けられた吐出口部材と、を有し、前記第1のエネルギー発生素子と前記第1の吐出口との距離が前記第2のエネルギー発生素子と前記第2の吐出口との距離より大きい液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記吐出口部材の一部となるための第1の層と、第2の開口を有する第2の層と、前記吐出口部材の他の部となるための第3の層と、第1の開口を有し前記第3の層を部分的に覆う第4の層と、がこの順に積層された前記基板を用意する工程と、
前記第4の層をマスクとして利用して前記第3の層をエッチングすることにより、前記第1の開口に対応した前記第1の吐出口を前記第3の層に形成するとともに、前記第2の層を露出させる工程と、
前記第2の層をマスクとして利用して前記第1の層をエッチングすることにより前記第2の開口に対応した前記第2の吐出口を前記第1の層に形成するとともに、前記第1の層の、前記第1の吐出口に対応する部分を除去することにより、前記吐出口部材を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第1の層と前記第3の層とが樹脂からなり、前記第2の層が金属あるいはシリコン化合物からなり、前記第1の層と前記第3の層とに行われるエッチング法がそれぞれドライエッチングであることを特徴とする請求項6に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の層と前記第3の層とがシリコン化合物からなり、前記第2の層が金属からなり、前記エッチングをドライエッチング法によって行うことを特徴とする請求項6に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記シリコン化合物が、シリコンの酸化物またはシリコンの窒化物であることを特徴とする請求項7または8に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第3の層は前記第1の層と接する接触部分があり、前記第4の層をマスクとして利用して前記第1の層と前記第3の層とをエッチングして、前記第1の開口から前記第1の吐出口と前記第3の層の前記接触部分と前記第1の層とを貫通する貫通孔を形成することを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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