JP6545077B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)基板の第一の面に液体吐出エネルギー発生素子を備え、前記第一の面から該第一の面に対向する第二の面に貫通する貫通穴を有する基板を準備する工程と、
(2)支持体上にドライフィルムを形成する工程と、
(3)前記基板の第一の面に、前記支持体上に形成した前記ドライフィルムを貼り合わせる工程と、
(4)充填材を前記基板の第二の面から前記貫通穴に導入し、前記ドライフィルムに接する充填材を配置する工程と、
(5)前記充填材が前記ドライフィルムに接した状態で、前記支持体を前記ドライフィルムから剥離する工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法である。
次に、図2を参照して、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例を説明する。図2は、図1の液体吐出ヘッドにおけるA−A’線に沿った断面図を示す。
次に、図3を参照して、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例を説明する。図3は、図1の液体吐出ヘッドにおけるA−A’線に沿った断面図を示す。
図4に示す工程に従い、液体吐出ヘッドを製造した。
まず、図4(a)に示すように、第一の面21にTaSiNからなる液体吐出エネルギー発生素子2を有する基板1を準備した。基板1としては、シリコンの(100)基板を用いた。なお、基板1は、SiNで形成された保護膜(不図示)を有する。基板1に、第一の面21から第二の面22に貫通する液体供給口3を、RIE(リアクティブイオンエッチング)方式にてボッシュプロセスで形成した。
図3に示す工程に従い、液体吐出ヘッドを製造した。
本実施例において、図3(a)に係る工程は、実施例1の図4(a)に係る工程と同様に実施した。
2:液体吐出エネルギー発生素子
3:貫通穴(液体供給口)
4:支持体
5:ドライフィルム
6:充填材
7:液体流路となるパターン(第1のパターン)
8:樹脂層
9:液体吐出口となるパターン(第2のパターン)
10:液体流路
11:液体吐出口
12:流路形成部材
13:バンプ
21:第一の面
22:第二の面
Claims (10)
- (1)基板の第一の面に液体吐出エネルギー発生素子を備え、前記第一の面から該第一の面に対向する第二の面に貫通する貫通穴を有する基板を準備する工程と、
(2)支持体上にドライフィルムを形成する工程と、
(3)前記基板の第一の面に、前記支持体上に形成した前記ドライフィルムを貼り合わせる工程と、
(4)充填材を前記基板の第二の面から前記貫通穴に導入し、前記ドライフィルムに接する充填材を配置する工程と、
(5)前記充填材が前記ドライフィルムに接した状態で、前記支持体を前記ドライフィルムから剥離する工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記工程(4)において、前記基板の第二の面を上面にして充填材を導入する、請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記充填材が非感光性樹脂で形成される、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記非感光性樹脂の軟化温度が、前記工程(4)の後、前記工程(5)までの間における最大プロセス温度よりも高い、請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(4)において導入する充填材が、前記ドライフィルムを溶解する有機溶媒を含まない、請求項3または4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記充填材を構成する材料の屈折率と、前記ドライフィルムを構成する樹脂の屈折率との差が0.1以下である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- さらに、
(6)前記ドライフィルムに液体流路となる第1のパターンを画定する工程と、
(7)前記第1のパターンを含むドライフィルム上に、樹脂層を形成する工程と、
(8)前記樹脂層に液体吐出口となる第2のパターンを画定する工程と、
(9)前記第1及び第2のパターンを除去して、液体流路及び該液体流路に連通する液体吐出口を有する流路形成部材を形成する工程と、
を有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - さらに、
(6)前記ドライフィルムの一部を露光し、露光部の前記ドライフィルムを除去することにより、液体流路となる第1のパターンを形成する工程と、
(7)前記第1のパターン上及び前記基板の第一の面上に、樹脂層を形成する工程と、
(8)前記樹脂層に液体吐出口となる第2のパターンを画定する工程と、
(9)前記第1及び第2のパターンを除去して、液体流路及び該液体流路に連通する液体吐出口を有する流路形成部材を形成する工程と、
を有する請求項1〜6のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記工程(5)の後に、さらに前記充填材を除去する工程を有する請求項1〜8のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(9)と同時に前記充填材を除去する工程を実施する請求項7または8に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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JP2015208984A JP6545077B2 (ja) | 2015-10-23 | 2015-10-23 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
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JP2017080924A JP2017080924A (ja) | 2017-05-18 |
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