JP2014063746A5 - - Google Patents

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前記課題を解決するため、本発明では、例えば、一次電子ビームを試料に照射することで、前記試料に関する情報を取得する荷電粒子線装置を制御する処理部を有し、前記処理部は、現在の前記一次電子ビームの照射状態を示す図を画像表示部に表示させることを特徴とする。
その他の解決手段については、後記して説明する。

Claims (8)

  1. 一次電子ビームを試料に照射することで、前記試料に関する情報を取得する荷電粒子線装置を制御する処理部
    を有し、
    前記処理部は、
    現在の前記一次電子ビームの照射状態を示す図を画像表示部に表示させる
    ことを特徴とする荷電粒子線装置。
  2. 前記処理部は、
    前記一次電子ビームの照射が開始されると、前記一次電子ビームの照射状態を示す図を前記画像表示部に表示する
    ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線装置。
  3. 前記処理部は、
    前記一次電子ビームの照射状態を示す図とともに、前記荷電粒子線装置における現在の動作状態を示す画面を前記画像表示部に表示する
    ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の荷電粒子線装置。
  4. 前記処理部は、
    前記一次電子ビームの照射状態を示す図とともに、現在の進捗状況を示す画面を前記画像表示部に表示する
    ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の荷電粒子線装置。
  5. 前記処理部は、
    前記一次電子ビームの照射状態を示す図とともに、前記荷電粒子線装置の操作におけるパラメータの設定値に関する情報を前記画像表示部に表示する
    ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の荷電粒子線装置。
  6. 前記一次電子ビームの照射状態を示す図は、それまで表示されていた操作画面を非活性にした上で表示される
    ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の荷電粒子線装置。
  7. 荷電粒子線装置と、前記荷電粒子線装置を制御するコンピュータとを有する試料観察システムであって、
    前記コンピュータは、
    一次電子ビームを試料に照射することで、前記試料に関する情報を取得する荷電粒子線装置を制御する処理部
    を有し、
    前記処理部は、
    現在の前記一次電子ビームの照射状態を示す図を画像表示部に表示させる
    ことを特徴とする試料観察システム。
  8. 荷電粒子線装置を操作するための操作プログラムであって、
    前記操作プログラムは、コンピュータに、
    一次電子ビームを試料に照射することで、前記試料に関する情報を取得する荷電粒子線装置を制御する際に、現在の前記一次電子ビームの照射状態を示す図を画像表示部に表示させる
    ことを特徴とする操作プログラム。
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