JP2014056865A - 基板保持部材及びそれを備えた基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wの左右周縁から基板Wの中央下部に向かって基板Wの周縁を流下し、基板Wの周縁と保持部21との間に滞留した液滴LQは、傾斜液滴誘導部29によって吸い取られるように誘導されて除去される。したがって、基板Wの周縁と保持部21との間に液滴LQが滞留するのを防止できるので、乾燥の短時間化を図ることができるとともに、乾燥不良を防止することができる。
【選択図】図5
Description
すなわち、従来の装置は、基板の面方向から見た場合、基板の左右周縁から基板の中央下部に向かって基板の周縁を流下してきた液滴が、外側の周縁と基板保持部材の外側面との間に滞留しやすい。したがって、この液溜まりが乾燥しづらく、乾燥に長時間を要する上に、特に基板の左右周縁に乾燥不良が生じやすいという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板の周縁を当接して保持する基板保持部材において、基板の厚みより狭い溝底部と、この溝底部から上方へ向かって開いた一対の傾斜面とを備えた保持溝を有する保持部と、前記保持部の側面に形成され、前記一対の傾斜面の各々から下方に向かって形成された液滴誘導部と、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例1に係る基板保持部材を備えた基板処理装置の概略構成を示す縦断面図であり、図2は、リフタの概略構成を示す正面図である。
図7は、実施例2に係る基板保持部材の一部を拡大して示した側面図である。なお、上述した実施例1の基板保持部材19と共通する構成については同符号を付すことで詳細な説明については省略する。
図8は、実施例3に係る基板保持部材の一部を拡大して示した側面図である。なお、上述した実施例1の基板保持部材19と共通する構成については同符号を付すことで詳細な説明については省略する。
図9は、実施例4に係る基板保持部材の一部を拡大して示した斜視図である。なお、上述した実施例1の基板保持部材19と共通する構成については同符号を付すことで詳細な説明については省略する。
図10は、実施例5に係る基板保持部材の一部を拡大して示した斜視図である。なお、この実施例5は上述した実施例1を変形したものであり、実施例1の基板保持部材19と共通する構成については同符号を付すことで詳細な説明については省略する。
基板Wを保持したリフタ5が処理液内の処理位置から乾燥位置へ上昇された際に、基板Wの表面または裏面と第1の傾斜面との間に処理液が滞留したとしても、滞留した液滴LQは、副液滴誘導部40によって下側の傾斜液滴誘導部29の端部に誘導され、あるいは副液滴誘導部42によって溝底部液滴誘導部35に誘導されて除去される。したがって、基板Wの表面または裏面と保持部21との間に液滴LQが滞留するのを防止できるので、乾燥のさらなる短時間化を図ることができるとともに、乾燥不良を防止することができる。
1 … 基板処理装置
3 … 処理槽
5 … リフタ
7 … 背板
9 … 基板保持部
11 … 中央保持部
13 … 左側保持部
15 … 右側保持部
19 … 基板保持部材
21 … 保持部
23 … 溝底部
25 … 第1の傾斜面
27 … 第2の傾斜面
29 … 傾斜液滴誘導部
33 … 縦方向液滴誘導部
35 … 溝底部液滴誘導部
40 … 副液滴誘導部
42 … 副液滴誘導部
Claims (10)
- 基板の周縁を当接して保持する基板保持部材において、
基板の厚みより狭い溝底部と、この溝底部から上方へ向かって開いた一対の傾斜面とを備えた保持溝を有する保持部と、
前記保持部の側面に形成され、前記一対の傾斜面の各々から下方に向かって形成された液滴誘導部と、
を備えていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1に記載の基板保持部材において、
前記液滴誘導部は、前記一対の傾斜面と基板の周縁とが接触する位置を含む上部から形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1または2に記載の基板保持部材において、
前記保持部の側面に形成され、前記溝底部から下方に向かって形成された溝底部液滴誘導部をさらに備えていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板保持部材において、
前記液滴誘導部の下部に接続され、下方に向かって縦方向に延出された縦方向液滴誘導部をさらに備えていることを特徴とする基板保持部材。
を特徴とする基板保持部材。 - 請求項1から4のいずれかに記載の基板保持部材において、
前記一対の傾斜面において下方に向かって前記保持部の側面に至る副液滴誘導部をさらに備えたことを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板保持部材において、
前記液滴誘導部と、前記溝底部液滴誘導部と、前記縦方向液滴誘導部と、前記副液滴誘導部の少なくともいずれかは、前記保持部に凹状の溝で形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項6に記載の基板保持部材において、
前記凹状の溝は、下方ほど幅広に形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1から7のいずれかに記載の基板保持部材において、
前記液滴誘導部と、前記溝底部液滴誘導部と、前記縦方向液滴誘導部の少なくともいずれかは、前記保持部に凸状の突起で形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1から6のいずれかに記載の基板保持部材において、
前記液滴誘導部は、高さ方向にて離間して複数個形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 基板を処理する基板処理装置において、
処理液を貯留し、基板を収容する処理槽と、
前記処理槽に付設され、前記処理槽の内部にあたる処理位置と、前記処理槽の上方にあたる待機位置とにわたって昇降するリフタと、
前記リフタの下部に水平姿勢で設けられた基板保持部材とを備え、
前記基板保持部材は、
基板の厚みより狭い溝底部と、この溝底部から上方へ向かって開いた一対の傾斜面とを備えた保持溝を有する保持部と、
前記保持部の側面に形成され、前記一対の傾斜面の各々から下方に向かって形成された液滴誘導部と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。
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