JP2013532071A - 板状部材の加工装置およびその加工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基材上に薄膜層が形成されており、平面が四角形の板状部材において、周縁部の不必要な薄膜層を効率よく除去することができる装置を提供する。
【解決手段】前記板状部材の周縁部が挿入され、該周縁部の不必要な薄膜層を除去するための周縁部加工室と、前記板状部材を移動させるための移動手段を備え、前記周縁部加工室は、天井面が閉止され、対面が開口された中空形状の周縁部加工用飛散防止カバーと、前記周縁部加工用飛散防止カバーの開口面と同じ形状の開口面を有する周縁部加工用吸引カバーと、が連結された構造体である。前記周縁部加工室にはブラスト用加工ノズルが、該ノズルの噴射口が前記周縁部加工用飛散防止カバーの壁面で覆われるように配置されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、基材表面に薄膜層が形成されている板状部材において、周縁部の不必要な薄膜層を除去するための加工装置に関する。

基材の表面に薄膜層を形成する際、基材の周縁部では薄膜層の厚さが内側部に比べ厚くなっていることや、薄膜層が裏面まで到達している場合がある。

例えば、特許文献１において、ケミカルフィルターや有機ＥＬに用いることができる薄膜を、ウェットプロセスの１種である浸漬塗布法により形成した場合に生じる、周縁部への塗布液のタレに起因する薄膜層の厚みの不均一を防ぐための成膜装置が提案されているが、完全に均一な厚さにすることは困難であり、板状部材上に形成する薄膜層の厚さに要求される精度によっては薄膜を形成した後、厚さを均一にするための処理をすることが好ましい。

また、薄膜太陽電池パネル（以降、太陽電池パネルと記載）は、ガラス等の基板の表面に透明電極層、半導体層、金属層などの薄膜を積層させることで形成されている。積層工程は例えば気相反応によっておこなわれるが、その際前記薄膜層が周縁部を介して裏面まで到達している場合がある。太陽電池モジュールは絶縁特性が求められており、ブラスト加工技術を利用して薄膜太陽電池パネルの周縁部の薄膜層を除去する方法が提案されている（特許文献２）。

ブラスト加工技術を用いて周縁部の薄膜層の除去を行う場合、除去に用いた噴射材（研磨材）および切削除去された薄膜層等の粉塵が太陽電池パネル上に残留することがある。前記周縁部の薄膜層の除去を行う方法であって噴射材および粉塵の残留が生じない方法として特許文献３が提案されている。

特開２００８−０００７１８ 特開２０００−１５０９４４ 特開２０１０−０３６３２４

特許文献３では、吸引手段に連結したカバーを太陽電池パネルの被加工面およびその裏面の両面に配置し、前記カバーの両方から研磨材および粉塵を除去するとあるが、被加工面側に発生させる負圧（吸引力）とその裏面側に発生させる負圧のバランス調整が不十分であると、前記噴射材および粉塵を十分に回収することができない。また、前記吸引手段として集塵機が用いられることが実施形態として記載されているが、集塵機の集塵力は経時変化するため（吸引が進行し、濾布へ噴射材および粉塵が堆積することによる）、被加工面側と裏面の吸引バランス調整が非常に困難であり、その結果前記噴射材および粉塵を十分に回収できない恐れがある。

さらに、ブラスト加工ノズルから噴射された噴射材が、太陽電池パネルに衝突して反発（反射）するが、反発した研磨材が例えば前記ノズル等に衝突して反発し再度太陽電池パネルに衝突した結果、前記噴射材によって太陽電池パネルの周縁部以外の箇所が受傷し、太陽電池モジュールの光起電力の低下につながることから、噴射材および前記ブラスト加工によって生じた粉塵（割れ・欠け等で小さくなった噴射材および切削除去された前記薄膜層等）は、前記周縁部以外の部分を受傷させる前に吸引・回収する必要がある。

さらに、ブラスト加工装置においては、ブラスト加工ノズルもしくは、被加工物を移動させることにより全面の加工が行われている。装置の設置コストから被加工物を移動させる方法が多々選択されているが、ブラスト加工ノズルから噴射された噴射材が、被加工物（太陽電池パネル）を移動させるための搬送装置に付着し、付着した噴射材と太陽電池パネルの接触により太陽電池パネルが受傷する場合がある。

本発明は、以上の課題に鑑み、基材表面に薄膜層が形成されている板状部材において、周縁部の不必要な薄膜層が除去された板状部材を得るための加工装置を提供することを目的とする。

なお、本発明における「不必要な薄膜層の除去」とは、特に断り書きがない場合、基材表面より薄膜層を完全に取り除くことばかりでなく、例えば先述（０００３段落に記載）のように薄膜層の形成の際に周縁部と内側部で生じた薄膜層の厚さの不均衡を調節するために薄膜層の表面の一部を取り除くことも含まれる。

本発明は、平面が四角形である板状の基材の前記平面上に薄膜層が形成されている板状部材の周縁部の不必要な薄膜層を除去するための加工装置であって、前記加工装置は、前記板状部材の周縁部が挿入され、該周縁部の不必要な薄膜層を除去するための周縁部加工室と、前記板状部材を前記周縁部加工室に配置されたブラスト加工用ノズルに対して相対的に移動させるための移動手段を備え、前記周縁部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている周縁部加工用飛散防止カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部加工用飛散防止カバーの壁面で覆われるように該飛散防止カバーに配置される周縁部加工用ブラスト加工ノズルと、前記周縁部加工用飛散防止カバーの開口面と同じ形状の開口面を有する周縁部加工用吸引カバーと、両端面が開口され、端面が前記周縁部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された中空形状の周縁部加工用吸引部材と、を備え、前記周縁部用飛散防止カバーの前記開口面と前記周縁部加工用吸引カバーの前記開口面とが連結された構造体を形成し、前記構造体は、前記周縁部を挿入することが可能であり、且つ、前記周縁部を挿入した際に、該加工室の開口端部と前記板状部材の被加工面およびその裏面との間に外気が導入可能な空隙を形成することができる開口部が形成されている。（第１の発明）

また、第１の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材を前記開口部に挿入した際に、前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルを、該板状部材とのなす角度が３０〜７５°となるように配置することができる。（第２の発明）

また、第１の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記開口部の少なくともいずれかの開口端部が外気を導入するための案内部を備えることができる。（第３の発明）

また、第１の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記周縁部加工室を２つ備え、前記周縁部加工室は、水平面にある前記板状部材の平行する被加工辺である２辺の外周面にそれぞれ配置することができる。（第４の発明）

また、第４の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記周縁部加工室を前記被加工辺以外の他の２辺に平行となるようにそれぞれ配置することができる。（第５の発明）

また、第４の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材の被加工辺である周縁部と平行するように該板状部材の内側部を加工する内側部加工室を、平行する被加工辺である周縁部の間に少なくとも１つ以上配置することができる。（第６の発明）

また、第６の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の内側部加工用吸引カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記内側部加工用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される内側部加工用ブラスト加工ノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記内側部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された内側部加工用吸引部材と、を備え、該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置ことができる。（第７の発明）

また、第７の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記内側部加工用吸引部材に対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の後方側に配置されていると共に、前記内側部加工用吸引部材は、該ブラスト加工ノズルに対して、該板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の前方側の上面に配置することができる。（第８の発明）

また、第８の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記板状部材とのなす角度を３０〜７５°となるように配置することができる。（第９の発明）

また、第８の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用吸引カバーの側壁面には、吸引手段に連通した補助吸引部材が配置されており、前記補助吸引部材は、前記内側部ブラスト加工ノズルに対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する移動方向の前方側に位置する該内側部加工用吸引カバーの側壁面に配置することができる。（第１０の発明）

また、第７の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用吸引カバーの開口端部に、外気を導入するための案内部を備えることができる。（第１１の発明）

また、第１または第７の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口および前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口の少なくともいずれかを矩形とすることができる。（第１２、１３の発明）

また、第１２の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルおよび前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの少なくともいずれかは、ブラスト加工ノズル本体と、前記ブラスト加工ノズル本体の内部に圧縮空気を導入するとともに、該ブラスト加工ノズル本体の内部に負圧を発生するための空気ノズルと、前記負圧によりブラスト加工ノズル本体の内部に吸引されると共に、該ブラスト加工ノズル本体内部の混合室にて圧縮空気と混合された噴射材を噴射するめの噴射口を備える噴射部と、を備えることができる。（第１４の発明）

また、第１または第４の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引・回収するための周縁部加工用クリーニング室が少なくとも１つ以上隣接することができる。（第１５の発明）

また、第１５の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工用クリーニング室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の周縁部クリーニング用吸引カバーと、被加工面に圧縮空気を吹き付けて、該被加工面に付着した前記噴射材および前記粉塵を該被加工面から剥離して除去するためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部クリーニング用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される周縁部クリーニング用エアブローノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記周縁部クリーニング用吸引カバーおよび吸引手段に連通された周縁部クリーニング用吸引部材と、を備え、該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置することができる。（第１６の発明）

また、第１６の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工用クリーニング室の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えることができる。（第１７の発明）

また、第６の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引・回収するための内側部加工用クリーニング室を隣接することができる。（第１８の発明）

また、第１８の発明に記載の板状部材の加工装置前記における内側部加工用クリーニング室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の内側部クリーニング用吸引カバーと、被加工面に圧縮空気を吹き付けて、該被加工面に付着した前記噴射材および前記粉塵を該被加工面から剥離して除去するためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記内側部クリーニング用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される内側部クリーニング用エアブローノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記内側部クリーニング用吸引カバーおよび吸引手段に連通された内側部クリーニング用吸引部材と、を備え、該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置することができる。（第１９の発明）

また、第１９の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用クリーニング室の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えることができる。（第２０の発明）

また、第１の発明に記載の板状部材の加工装置において、前記移動手段は、前記板状部材が載置されると共に、該板状部材を加工するために移動させる機構を備えることができる（第２１の発明）。

また、第１、４、６、１５、１９、２１の発明のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材の被加工辺である周縁部を加工後、該板状部材を略９０°旋回させるための手段を備えることができる。（第２２の発明）

また、第１、４、６、１５、１９、２１の発明のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材の周縁部を加工する領域へ該板状部材を搬送する搬入手段を備え、前記搬入手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラを備えることができる。（第２３の発明）

また、第２３の発明に記載の板状部材の加工装置前記搬入手段は、搬送された前記板状部材の停止位置を設定するための停止位置設定手段を備えることができる（第２４の発明）。

また、第２４の発明に記載の板状部材の加工装置における前記停止位置設定手段は、搬送方向側の停止位置を設定するための搬送方向側設定手段を備え、前記搬送方向側設定手段は、前記搬送方向と直交するように、円柱状の搬送方向側設定部材を少なくとも１つ以上配置することができる（第２５の発明）。

また、第２５の発明に記載の板状部材の加工装置における前記停止位置設定手段は、搬送方向側に直交する側の停止位置を設定するための加工辺側設定手段を備え、前記加工辺側設定手段は円柱状の加工辺側設定部材を少なくとも１つ以上配置することができる（第２６の発明）。

また、第２３の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材の周縁部を加工した後に該部材を加工領域外へ搬送する搬出手段を備え、前記搬出手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラを備えることができる（第２７の発明）。

また、第１、４、６、１５、１９、２１の発明のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置であって、それにより加工される前記板状部材を、ガラス等の透光性基材の平面上に透明電極層や、光半導体層や金属層等の薄膜太陽電池パネルを形成するのに必要な薄膜層が積層された薄膜太陽電池パネルとすることができる。（第２８の発明）

第１、４、６、１５、１９、２１のいずれか１つの発明に記載の板状部材の加工方法は、前記空隙に被加工物である板状部材の周縁部を挿入する工程と、前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルより噴射材を噴射する工程と、該噴射材より被加工物表面の不必要な薄膜層を切削除去する工程と、該噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引手段により吸引する工程と、を備えることができる。（第２９の発明）

第２９の発明に記載の板状部材の加工方法であって、前記板状部材を挿入する方向に該板状部材方向を移動することで最初の被加工辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、最初の被加工辺の加工が完了した後に該板状部材を略９０°回転させると共に該被加工物を加工開始位置に移動する工程と、該板状部材を前記挿入する方向に移動することで最初の被加工辺に隣接する辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、を備える。（第３０の発明）

前記周縁部加工室に挿入された被加工物（平面が四角形である板状の基材の前記平面上に薄膜層が形成されている板状部材）の周縁部に向けて前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルから噴射材を噴射することで、被加工物の不必要な薄膜層がブラスト加工により除去される。その際、前記噴射材および除去された薄膜層等のブラスト加工で生じた粉塵（以降、単に「粉塵」と記す）は、前記周縁部加工用飛散防止カバーおよび前記周縁部加工用吸引カバーにより該周縁部加工室の外部に飛散することがなく、また該吸引カバーに連通された吸引手段により吸引され、回収される。また、該周縁部加工室の前記開口部の開口端部と被加工物とによって形成された空隙により、被加工面側およびその裏面側の開口端部と被加工物とが接触することなく、外気を導入しながら効率よく前記噴射材および前記粉塵の吸引および回収をおこなうことができる（第１、２９の発明）。また、該ブラスト加工ノズルを被加工物に対し、３０〜７５°の角度をなし、かつ該ブラスト加工ノズルの噴射口が被加工物の周縁部側に向くように配置することで、該ブラスト加工ノズルより噴射された噴射材の吸引手段への移動が促進されると共に、噴射材による被加工物の加工されていない内側の受傷を防ぐことができる（第２の発明）。

前記周縁部加工室を、被加工物の平行する２辺（被加工辺）に配置し、移動手段によって被加工物を前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルに対して相対的に移動させることで、同時に前記２辺の加工を行うことができる。前記移動手段は、前記周縁部加工室を移動させても、被加工物を移動させてもどちらでもよいが、被加工物を移動させる構造とすることで、装置を簡略化することができる（第２１の発明）。また、該周縁部加工室は、前記被加工辺に直交する辺に対し、平行となるように（すなわち、該ブラスト加工ノズルの噴射口の中心点同士を結んだ仮想線（図１７参照）が平行となるように）配置してもよい（第４、５の発明）。また、前記被加工辺を加工後、被加工物を該ブラスト加工ノズルに対し９０°回転させた後に同様の加工をおこなうことで、４辺の周縁部を加工することができる（第２２、３０の発明）。

大型の板状部材を切断して、周縁部が除去された板状部材を複数枚得る場合、予め大型の板状部材の外周部および切断後の板状部材の外周部となる箇所（内側部）の薄膜層を除去した後に切断するという手段を用いることができる。このように、内側部を加工する必要がある場合は、平行する前記被加工辺の間には、内側部の不必要な薄膜層を除去するための内側部加工室を配置することができる。前記内側部加工用ブラスト加工ノズルより噴射された噴射材により不必要な薄膜層が除去され、また前記噴射材および粉塵は、前記内側部加工用吸引カバーにより該内側部加工室の外部に飛散することなく、また該吸引カバーに連通された吸引手段により吸引され、回収される。また、該吸引カバーの開口端部と被加工物との間に形成された空隙により、前記開口端部と被加工物が接触することなく、外気を導入しながら効率よく前記噴射材および前記粉塵の吸引・回収をおこなうことができる（第６、７の発明）。また、前記内側部加工用吸引部材を被加工物の相対的な移動方向の前方の上方に配置し、該ノズルを後方に配置することで、該ノズルより噴射され該部材に衝突、または残留した噴射材は該吸引部材の直下近傍を通過することとなり、該噴射材を効率よく吸引および回収をおこなうことができる（第８の発明）。さらに、該ノズルを被加工物に対し３０°〜７５°の角度をなすように配置し、前記前方の壁面に前記補助吸引部材を配置するとより効果的である（第９、１０の発明）。

前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルおよび前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口を矩形（幅Ｘ_Ｗ≧長さＸ_Ｌ）とすることで、噴射口が円形状の場合に比べ、一度に広い面積の加工が可能である。さらに、被加工物の移動方向を該噴射口の長さ方向とすることで、一度により広い幅の加工が可能である（第１２、１３の発明）。また、該ノズルを、第１４の発明に記載の構造とすることで、複雑な付帯設備を必要とせず連続した加工が可能となる。

前記周縁部加工室を通過した被加工物に噴射材および粉塵が残留した場合、ノズルより圧縮空気を吹き付けることで被加工物より剥離することができる（エアブロー）。前記周縁部クリーニング用エアブローノズルを備える前記周縁部加工用クリーニング室を前記周縁部加工室に隣接させることで、該エアブローノズルより噴射された圧縮空気により前記噴射材および前記粉塵を前記被加工物より剥離することができ、剥離された前記噴射材および前記粉塵は、前記周縁部クリーニング用吸引カバーにより該クリーニング室の外部に飛散することなく、また該吸引カバーに連通された吸引手段により吸引され、回収される。また、該吸引カバーの開口端部と被加工物との間に形成された空隙により、前記開口端部と被加工物が接触することなく、外気を導入しながら効率よく前記噴射材および前記粉塵の吸引・回収をおこなうことができる（第１５、１６の発明）。

同様に、前記内側部加工室を通過した被加工物に噴射材および粉塵が残留した場合、前記内側部加工用クリーニング室を前記内側部加工室に隣接させることで、前記噴射材および前記粉塵を被加工物より剥離させると共に、該クリーニング室外へ飛散させることなく吸引・回収することができる（第１８、１９の発明）。

前記周縁部加工室、前記内側部加工室、前記周縁部加工用クリーニング室、前記内側部加工用クリーニング室、の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えることで、外気の導入がスムーズになり、結果として前記噴射材および切削除去された薄膜等の粉塵の吸引手段への移動を促進し、効率よく吸引および回収をおこなうことができる（第３、１１、１７、２０の発明）。

前記周縁部加工室および前記内側部加工室により加工を行う領域へ被加工物を搬送する搬入手段および加工後の被加工物を前記領域より外部へ被加工物を搬送する搬出手段を有することで、自動的に連続して被加工物の加工を行うことができる。被加工物を搬送する前記搬入手段および前記搬出手段は、搬送ローラを介して搬送する構造とすると、簡単な構造で被加工物を搬送することができる。万一前記搬送ローラに噴射材や粉塵が付着していた場合、被加工物を搬送する際に前記噴射材および前記粉塵により被加工物が受傷するおそれがある。被加工物と接触する前記搬送ローラの材質を、独立気泡構造をもつウレタン樹脂製とすることで、被加工物を傷つけることなく搬送することができる（第２３、第２７の発明）。また、前記搬送手段に、搬送された板状部材の停止位置を設定するための停止位置設定手段を配置することで、連続して安定した加工を行うことができる（第２４の発明）。前記停止位置設定手段は第２５、２６の発明に記載のように配置することが好ましい。

前記板状部材の加工装置によって、ガラス等の透光性基材の表面に太陽電池パネルを形成するのに必要な薄膜層が積層された薄膜太陽電池パネルの周縁部および内側部の不必要な薄膜層を除去することで、前記薄膜層の積層面と該積層面の裏面との絶縁性が確保された薄膜太陽電池パネルを得ることができる（第２８の発明）。

なお、本明細書における「平面が四角形の板状部材」とは、例えば平面が正方形または長方形である板状部材を指し、また製造上の誤差を有するものも含まれる。

実施形態における周縁部加工室を示す説明図である。図１（Ａ）は正面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）におけるＡ−Ａ方向矢視図（平面図）、図１（Ｃ）は構成を示す模式図である 実施形態における周縁部加工室を示す説明図である。図２（Ａ）は被加工物を挿入した際の平面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）におけるＡ−Ａ線断面、図２（Ｃ）は図２（Ｂ）における開口端部の拡大図である。 実施形態における周縁部加工用ブラスト加工ノズルの配置状態を示す説明図である。図３（Ａ）は被加工物に対して９０°で配置した場合を示す模式図、図３（Ｂ）は被加工物に対してθａの角度で傾けて配置した場合を示す模式図である。 実施形態における周縁部加工室の案内部を示す説明図である。図４（Ａ）は平面図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）におけるＡ−Ａ線断面図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）における開口端部の拡大図である。 実施形態における内側部加工室を示す説明図である。図５（Ａ）は正面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）におけるＡ−Ａ線矢視図（平面図）、図５（Ｃ）は図５（Ａ）におけるＢ−Ｂ線矢視図（右側面図）、図５（Ｄ）は図５（Ｃ）における開口端部の拡大図である。 実施形態における内側部加工用ブラスト加工ノズルの配置状態を示す説明図である。図６（Ａ）は被加工物に対して９０°で配置した場合の模式図、図６（Ｂ）は被加工物に対したθｂの角度で傾けて配置した場合を示す模式図、図６（Ｃ）は内側部加工用ブラスト加工ノズルの配置例を示す模式図である。 実施形態における内側部加工室における補助吸引手段を示す説明図である。図７（Ａ）は平面図、図７（Ｂ）は図７（Ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。 実施形態における内側部加工室における案内部を示す説明図である。図８（Ａ）は平面図、図８（Ｂ）は図８（Ａ）におけるＡ−Ａ線断面図、図８（Ｃ）は図８（Ｂ）における開口端部の拡大図である。 実施形態における周縁部加工用クリーニング室を示す説明図である。図９（Ａ）は正面図、図９（Ｂ）は図９（Ａ）におけるＡ−Ａ線矢視図（平面図）、図９（Ｃ）は図９（Ｂ）におけるＢ−Ｂ線断面図、図９（Ｄ）は図９（Ｃ）における開口端部の拡大図である。 実施形態における周縁部加工用クリーニング室の案内部を示す説明図である。図１０（Ａ）は正面図、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）におけるＡ−Ａ線断面図、図１０（Ｃ）は図１０（Ｂ）における開口端部の拡大図である。 実施形態における周縁部加工室および内側部加工室にクリーニング室を隣接した状態を示す説明図である。図１１（Ａ）は周縁部加工室に周縁部加工用クリーニング室を隣接した状態を示す模式図（周縁部加工ユニット）、図１１（Ｂ）は内側部加工室に内側部加工用クリーニング室を隣接した状態を示す模式図（内側部加工ユニット）である。 実施形態におけるブラスト加工ノズルを示す説明図である。図１２（Ａ）は正面図、図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）におけるＡ−Ａ線矢視図、図１２（Ｃ）は図１２（Ａ）におけるＢ−Ｂ線矢視図、図１２（Ｄ）は図１２（Ａ）におけるＣ−Ｃ線断面図である。 実施形態におけるブラスト加工ノズルの噴射口（開口部）と被加工物との位置関係を示す説明図である。図１３（Ａ）（Ｂ）は被加工物の被加工辺以外の平行する２辺の上方にブラスト加工ノズル（周縁部加工用）を配置した模式図、図１３（Ｃ）（Ｄ）は１対のブラスト加工ノズル（周縁部加工用）の中心にブラスト加工ノズル（内側部加工用）を１つ配置した模式図である。 実施形態における実施形態の装置構成を示す説明図である。図１４（Ａ）は正面図、図１４（Ｂ）は図１４（Ａ）におけるＡ−Ａ線断面図、図１４（Ｃ）は図１４（Ａ）におけるＢ−Ｂ線矢視図、図１４（Ｄ）は図１４（Ｂ）におけるＣ−Ｃ線断面図である。 実施形態における実施形態の加工工程を示す説明図である。 実施例を説明するための説明図である。

以下、板状部材を薄膜太陽電池パネルとし、この薄膜太陽電池パネルの加工を例に、本発明を実施するための一例を示す。薄膜太陽電池パネルは、前述の通り薄膜層が形成されている面とその裏面との絶縁性を確保するため、周縁部の薄膜層がガラス等の基材から完全に除去されている必要がある。本実施形態では、ガラス基材に薄膜層が形成された大型の薄膜太陽電池パネルを切断し、４辺の周縁部の薄膜層が除去されている４枚の小型の薄膜太陽電池パネルを得る方法について説明する。なお、本発明の加工装置は本実施形態の構成に限られず、必要に応じ適宜変更することができる。また、説明における前後左右方向は特に断りのない限り図における方向を示す。

本実施形態における加工装置（０１）は、被加工物（Ｗ）の周縁部および内側部を加工するための加工ユニット（６０）と、被加工物（Ｗ）を搬送させるための搬送ユニット（５０）と、前記加工ユニット（６０）および搬送ユニット（５０）を覆うハウジング（７０）と、で構成される。前記加工ユニット（６０）は、被加工物（Ｗ）の周縁部を加工するための周縁部加工室（１０）と、被加工物（Ｗ）の内側部を加工するための内側部加工室（３０）と、必要に応じて前記周縁部加工室（１０）に隣接される周縁部加工用クリーニング室（以降、「クリーニング室Ｅ」と記す）（６２）および内側部加工室に隣接される内側部加工用クリーニング室（以降、「クリーニング室Ｉ」と記す）（６７）と、を含む。

（周縁部加工室）
周縁部加工室（１０）の構成について、図を用いて説明する。周縁部加工室（１０）は、一定した四角形の横断面を持ち、天井面が閉止されている中空形状の飛散防止カバー（周縁部加工用（以降、「飛散防止カバーＡ」と記す）（１１）と、前記飛散防止カバーＡと同じ横断面を連続して有すると共に、下方（底部）に向かって横断面の面積が連続的に減少し（逆四角錐形状）、かつ両端が開口されている中空形状の吸引カバー（周縁部加工用）（以降、「吸引カバーＡ」と記す）（１２）と、前記飛散防止カバーＡと前記吸引カバーＡとを連結させるための連結部材（以降、「連結部材Ａ」と記す）（１４）と、ブラスト加工を行う為のブラスト加工ノズル（周縁部加工用）（以降、「ノズルＡ」と記す）（１５）と、吸引手段と前記吸引カバーＡとを連結させるための吸引部材（周縁部加工用）（以降、「吸引部材Ａ」（１３）と、にて構成される（図１参照）。

飛散防止カバーＡ（１１）および吸引カバーＡ（１２）を連結させる位置には、それぞれ同形状のフランジ部（１１ａ）、（１２ａ）が配置されている（本実施形態ではコ字形状）。フランジ部（１１ａ）、（１２ａ）は共に同じ形状であり、かつ該フランジ部と同形状の連結部材Ａ（１４）を介して前記飛散防止カバーＡ（１１）と前記吸引カバーＢ（１２）とを連結することで、該飛散防止カバーＡと該吸引カバーＢとは、内部が連続した空間を形成すると共に、飛散防止カバーＡ（１１）と吸引カバーＡ（１２）間の一部（一端）に空隙（ＳＡ）が得られる。該空隙（ＳＡ）は、太陽電池パネル（以降、「被加工物」と記す）（Ｗ）の周縁部（被加工辺）を挿入することができると共に、通過できる形状でなくてはならない。また、空隙（ＳＡ）には、被加工物（Ｗ）が挿入された際に、飛散防止カバーＡ（１１）および吸引カバーＡ（１２）の開口端部（１１ｂ）、（１２ｂ）と被加工物（Ｗ）との間の空隙（ｓa１）、（ｓa２）を十分に確保できるようにする（図１および図２参照。図２（Ｃ）における破線は外気が導入される様子を示す）。図２（Ａ）の様に挿入された被加工物を前記ノズルＡに対し相対的に同図上下方向に移動させることで被加工辺である周縁部が加工される。

吸引カバーＡ（１２）は底部に吸引部材Ａ（１３）が配置されている。前記吸引部材Ａ（１３）は両端が開口された中空形状であり、一端が吸引カバーＡ（１２）の底部側の開口面に連結され、他端がダクト（周縁部加工用）（図示せず）を介して吸引手段（図示せず）（本実施形態では集塵装置）に連結されている。すなわち、飛散防止カバーＡ（１１）と吸引カバーＡ（１２）とが形成する空間と、該吸引手段が形成する空間とは、連通された空間となっている。

飛散防止カバーＡ（１１）の天井面には、ノズルＡが配置されている。すなわち、飛散防止カバーＡ（１１）によって該ノズルＡ（１１）の噴射口（１５ａ）が覆われている。ノズルＡ（１５）の被加工物（Ｗ）に対する角度（θａ）は垂直でもよいが、前記噴射口（１５ａ）が被加工物（Ｗ）の周縁部方向を向くように、３０〜７５°の範囲で傾けることが好ましい。前記噴射口（１５ａ）より被加工物（Ｗ）にむけて噴射された後、被加工物（Ｗ）に衝突した噴射材および噴射材と衝突することで切削除去された薄膜層等の粉塵（以降、単に「粉塵」と記す）は上方に舞い上がる。一方、被加工物（Ｗ）の下部、すなわち吸引カバー（１２）側では、吸引部材（１３）に連結された吸引手段により空隙（ｓａ１）（ｓａ２）より外気を導入しながら吸引を行っているので、該噴射材および該粉塵は、吸引カバー（１２）側へと移動し、吸引部材（１３）を介して吸引手段によって回収される。特に噴射材は、被加工物（Ｗ）に衝突して反射した噴射材が飛散防止カバーＡ（１１）内部の天井面または側壁面部に衝突した後反射し、再び被加工物（Ｗ）に衝突するおそれがあるが、ノズルＡ（１５）を先述のように被加工物（Ｗ）の周縁部の方向に向くように傾けることで、ノズルＡ（１５）より噴射された噴射材は下方、すなわち吸引部材Ａ（１３）へ向かうことが促進される気流が生じるので、飛散防止カバー（１１）の天井面および側壁面へ衝突しないため反射することがなく、噴射材によって被加工物（Ｗ）が受傷するのを防ぐことができる（図３参照）。ノズルＡ（１５）と被加工物（Ｗ）のなす角度θａが小さすぎると薄膜層を切削する力が得られず、θａが大きすぎるとノズルＡ（１５）を傾けた事による、噴射材および粉塵が吸引部材Ａ（１３）へ向かうことが促進される効果が十分に得られない。また、ノズルＡ（１５）の噴射口（１５ａ）の形状を矩形形状（幅Ｘ_Ｗ≧長さＸ_Ｌ）とし、該噴射口（１５ａ）の長手方向が被加工辺と直交するようにノズルＡ（１５）を配置した（図１３（Ａ）参照）。

ノズルＡ（１５）は、ノズル本体（１５ｃ）と、前記ブラスト加工ノズル本体の内部に圧縮空気を導入するとともに、該ブラスト加工ノズル本体の内部に負圧を発生するための空気ノズル（１５ｂ）と、前記負圧によりブラスト加工ノズル本体の内部に吸引されると共に、該ブラスト加工ノズル本体内部の混合室にて圧縮空気と混合された噴射材を噴射するめの噴射口（１５ａ）を備える噴射部（１５ｄ）と、を備える構造とした。圧縮空気発生源（図示せず）より発生した圧縮空気を、圧縮空気導入用ホース（周縁部加工用）（図示せず）を介して、前記空気ノズル（１５ｂ）より前記ノズル本体（１５ｃ）の内部に導入することで負圧が発生する。噴射材は、該ノズル本体（１５ｃ）内で発生した負圧によって噴射材貯蔵ホッパー（図示せず）より噴射材供給用ホース（図示せず）を介して該ノズル本体（１５ｃ）内に吸引される。吸引された噴射材は該ノズル本体（１５ｃ）内の混合室（１５ｅ）にて圧縮空気と混合され、固気二相流として噴射口（１５ａ）より噴射される。本実施形態の構造とすることで、安定して長時間加工することができる（図１２参照）。また、薄膜層の硬度が硬く、より強力な加工力が必要な場合は、噴射材を装填した加圧タンク内を加圧することで噴射材を圧縮空気流に投入し、圧縮空気と噴射材の固気二相流としてノズルに圧送して、噴射口より噴射する構造としてもよい。加圧タンクおよびそれに伴う付帯設備が必要となり、本実施形態に比べ装置が大型化するが、噴射材の噴射速度が速くなり、強力な加工力を得ることができる。

飛散防止カバーＡ（１１）および吸引カバーＡ（１２）の開口端部（１１ｂ）、（１２ｂ）では、図２（Ｃ）の破線で示すように前記空隙（ｓａ１）（ｓａ２）より周縁部加工室の内部に外気が導入される。より効率よく外気を導入するために、前記開口端部（１１ｂ）（１２ｂ）には、それぞれ外気を導入するための案内部（１１ｃ）、（１２ｃ）を配置してもよい。案内部を配置することで、圧力損失を低減することができ、効率よく外気を導入することができる。本実施形態では、案内部の形状は内側から外側へ向かうＲ形状とした（図４参照。図４（Ｃ）における破線は外気が導入される様子を示す）。

（内側部加工室）
平行する２辺の前記被加工辺の間に配置される内側部加工室について、図を用いて説明する。内側部加工室（３０）は、連続した四角形の横断面を持ち、天井面が閉止されている中空形状の吸引カバー（内側部加工用）（以降、「吸引カバーＢ」と記す）（３２）と、前記吸引カバーＢと吸引手段とを連結させるための吸引部材（内側部加工用）（以降、「吸引部材Ｂ」と記す）（３３）と、圧縮空気を被加工物（Ｗ）に吹き付けて、被加工物（Ｗ）に付着した噴射材および粉塵を被加工物より剥離させるためのブラスト加工ノズル（内側部加工用）（以降、「ノズルＢ」と記す）（３５）と、によって構成される。両端が開口されている中空形状の前記吸引部材Ｂの一端が前記吸引カバーＢ（３２）の天井面に連結され、他端がダクト（内側部加工用）（図示せず）を介し吸引手段に連結されている。すなわち、該吸引カバーＢ（３２）と該吸引手段とは連通した空間を形成している（図５参照）。

吸引カバーＢ（３２）は、被加工物（Ｗ）の上方に配置され、かつ、前記吸引手段によって吸引を行うための外気を導入するために、被加工物（Ｗ）と、吸引カバーＢ（３２）の開口端部（３２ｂ）間の空隙（ｓｂ２）を十分に確保できるようにする（図５（Ｄ）参照。図中の破線は外気が導入される様子を示す）。また、被加工物（Ｗ）は前述の通りノズルＢ（３５）に対して相対的に移動して加工が行われる。

前記ノズルＢ（３５）は、前記吸引カバーＢ（３２）の天井面に配置されている。すなわち、吸引カバーＢ（３２）によって該ノズルＢ（３５）の噴射口（図示せず）が覆われている。吸引部材Ｂ（３３）とノズルＢ（３５）の位置関係は、被加工物（Ｗ）の移動方向前方側（図５（Ｃ）における矢印方向）に吸引部材Ｂ（３３）を、被加工物（Ｗ）の移動方向に対して該吸引部材Ｂ（３３）の後方にノズルＢ（３５）を配置することが好ましい。さらに、ノズルＢ（３５）の被加工物（Ｗ）に対する角度（θｂ）は垂直でもよいが、ノズルＢ（３５）の噴射口（３５ａ）が被加工物（Ｗ）の移動方向側、すなわち前記吸引部材Ｂ（３３）が配置されている側を向くように、被加工物（Ｗ）に対して３０〜７５°となるように配置するのが好ましい。内側部加工室（３０）による被加工物（Ｗ）の加工では、ノズルＢ（３５）より被加工物にむけて噴射された噴射材が被加工物と衝突することで薄膜層が切削除去される。被加工物（Ｗ）に衝突した噴射材および切削除去された粉塵は上方に舞い上がる。一方、被加工物（Ｗ）の上部では、吸引部材（３３）に連結された吸引手段により空隙（ｓｂ２）より外気を取り込みながら吸引を行っているので、該噴射材および粉塵は、吸引部材（３３）を介して、吸引手段によって回収される。ノズルＢ（３５）の噴射口（３５ａ）が被加工物（Ｗ）の移動方向側に向くように、傾けて設置することで、噴射材が被加工物（Ｗ）に衝突後、吸引部材Ｂ（３３）の方向に向かって反射し、効率よく噴射材を回収することができる。θｂが小さすぎると、開口端部（３２ｂ）における外気の吸引力が噴射材の噴射力を下回るため、周縁部加工室外に噴射材が漏出し、θｂが大きすぎると、先述の効果が十分に得られないばかりか、壁面に衝突し反射した噴射材により、被加工物（Ｗ）が受傷する恐れがある（図６（Ａ）および（Ｂ）参照）。ノズルＢを傾けて配置するために、吸引カバーＢ（３２）は断面が台形をなす箱状とすることで、吸引部材Ｂ（３３）を片側の斜面上に、ノズルＢ（３５）を吸引部材Ｂ（３３）が設けられている側と反対側の斜面上に配置することができる（図６（Ｃ）参照）。

さらに、両端が開口され、一端がダクト（周縁部加工用（補助吸引））（図示せず）を介して吸引手段に連結された中空形状の補助吸引部材（３６）の他端を吸引部材Ｂ（３３）が設置されている側の壁面に配置した。補助吸引部材（３６）の目的は、内側部加工室（３０）内において、噴射材および粉塵が吸引部材に向かう気流の発生を促進させるためである。よって、補助吸引部材（３６）における吸引力は吸引部材Ｂ（３３）における吸引力より小さくてもよい。本実施例では吸引部材Ｂ（３３）の径より十分に小さい径を持つ補助吸引部材（３６）を５個配置した（図７参照）。

前記ノズルＢ（３５）は、被加工物（Ｗ）の薄膜層をブラスト加工によって除去できれば、その形状および構造は特に限定されないが、本実施形態では、前記ノズルＡ（１５）と同じものを使用した。また、ノズルＢ（３５）は噴射口（３５ａ）の長手方向が前記被加工辺に直交するように配置した（図１３（Ｂ）参照）。

吸引カバーＢ（３２）の開口端部（３２ｂ）には、効率よく外気を導入するための案内部（３２ｃ）を配置してもよい。本実施形態では、案内部の形状は前述の周縁部加工室（１０）同様、内側から外側へ向かうＲ形状とした（図８参照。図８（Ｃ）における破線は外気が導入される様子を示す）。

（クリーニング室）
前記周縁部加工室（１０）および前記内側部加工室（３０）により被加工物（Ｗ）を加工後、被加工物（Ｗ）の表面に噴射材および粉塵が付着（残留）している場合等、必要に応じて前記周縁部加工室（１０）および前記内側部加工室（３０）にはクリーニング室（２０）を隣接することができる。クリーニング室は、連続した四角形の横断面を持ち、天井面が閉止されている中空形状の吸引カバー（クリーニング用）（以降、「吸引カバーＣ」と記す）（２２）と、前記吸引カバーＣと吸引手段とを連結させるための吸引部材（クリーニング用）（以降、「吸引部材Ｃ」と記す）（２３）と、圧縮空気を被加工物（Ｗ）に吹き付けて、被加工物（Ｗ）に付着した噴射材および粉塵を被加工物より剥離させるためのエアブローノズル（以降、「ノズルＣ」と記す）（２５）と、によって構成される。両端が開口されている中空形状の前記吸引部材Ｃの一端が前記吸引カバーＣ（２２）の天井面に連結され、他端がダクト（クリーニング用）（図示せず）を介し吸引手段に連結されている。すなわち、該吸引カバーＣ（２２）と該吸引手段とは連通した空間を形成している。なお、周縁部加工室（１０）に隣接されるクリーニング室Ｅ（６２）と内側部加工室に隣接されるクリーニング室Ｉ（６７）は同一の形状でも異なる形状でもどちらでもよいが、本実施例では同一の形状のものを使用した。

また、前記ノズルＣ（２５）は、前記吸引カバーＣ（２２）の天井面に配置されている。すなわち、吸引カバーＣ（２２）によって該ノズル（２５）の噴射口（図示せず）が覆われている。前記吸引部材Ｃ（２３）およびノズルＣ（２５）の位置関係、および設置角度等は特に規定されず、運転条件に合わせて適宜変更が可能である。例えば、吸引カバーＣ（２２）の天井部には、被加工物（Ｗ）の移動方向前方側に吸引部材Ｃ（２３）、被加工物（Ｗ）の移動方向に対して該吸引部材Ｃ（２３）の後方にノズルＣ（２５）を配置してもよい。本実施例では、ノズルＣ（２５）は、吸引カバーＣ（２２）の天井部の中心になるように設置し、ノズルＣ（２５）を挟んで、被加工物（Ｗ）の移動方向前方側及び後方側に各々吸引部材Ｃ（２３）を設置した（図９参照）。

吸引カバーＣ（２２）は、被加工物（Ｗ）の上方に配置され、かつ、前記吸引手段によって吸引を行うための外気を導入するために、被加工物（Ｗ）と、吸引カバーＣ（２２）の開口端部（２２ｂ）間の空隙（ｓｂ２）を十分に確保できるようにする。圧縮空気供給源より発生した圧縮空気を、圧縮空気供給源およびノズルＣ（２５）に連結された圧縮空気導入用ホース（周縁部クリーニング用）（図示せず）を介してノズルＣ（２５）に導入し、これをノズルＣ（２５）の噴射口より被加工物（Ｗ）に吹き付けることにより、噴射材および粉塵が被加工物から脱離させる。脱離された噴射材および粉塵は空隙（ｓｃ１）により外気を取り込みながら、吸引部材Ｃ（２３）を介して吸引手段により吸引され回収される（図９参照。図９（Ｄ）における破線は外気が導入される様子を示す）。吸引カバーＣ（２２）の開口端部（２２ｂ）には、効率よく外気を導入するための案内部（３２ｃ）を配置してもよい。本実施形態では、案内部の形状は前述の周縁部加工室（１０）および内側部加工室（３０）同様、内側から外側へ向かうＲ形状とした（図１０参照。図１０（Ｃ）における破線は外気が導入される様子を示す）。

噴射材および粉塵が強固に付着している場合、例えば前記噴射材および前記粉塵の帯電を除去する等の付着力を弱める手段（若干の水分、静電除去材、イオンまたはラジカル、等）を圧縮空気と共に噴射してもよいし、超音波エアブローを用いてもよい。また、前記噴射口の形状は矩形や円形等、特に限定されず、適宜選択することができる。

（加工ユニット）
加工ユニット（６０）は、図１１に平行する２辺の被加工辺を加工するための１対の周縁部加工室（１０）および前記周縁部加工室（１０）に連結部材（周縁部加工用）（以降、「連結部材Ｅ」と記す）（６１ｃ）を介してそれぞれ隣接されたクリーニング室Ｅ（６２）からなる周縁部加工ユニット（６１）と、前記周縁部加工室の間に配置された内側部加工室（３０）および前記内側部加工室（３０）に連結部材（内側部加工用）（以降、「連結部材Ｉ」と記す）（６６ｃ）を介して隣接されたクリーニング室Ｉ（６７）からなる内側部加工ユニット（６６）と、によって構成される。内側部加工ユニット（６６）は、必要に応じて複数台配置してもよく、あるいは配置しなくてもよい。また、前述の通り被加工物（Ｗ）はノズルＡ（１５）およびノズルＢ（３５）に対して相対的に移動するため、前記クリーニング室Ｅ（６２）およびクリーニング室Ｉ（６７）は被加工物のノズルＡ（１５）およびノズルＢ（３５）に対する相対的な移動方向の前方側外壁面または前方側と後方側の外壁面両方に配置してもよく、あるいは配置しなくてもよい。本実施形態では、図１１に示すように一台の内側部加工室（３０）を配置し、またクリーニング室Ｅ（６２）およびクリーニング室Ｉ（６７）をそれぞれ前記移動方向前方側（同図における矢印方向）に配置した。

１対の周縁部加工室（１０）は、ノズルＡ（１５）の噴射口（１５ａ）の中心を結んだ仮想線（ｉ）が被加工辺（図１３（Ａ）における網掛け部）以外の平行する水平面上の辺に対し平行に配置すると、加工時間が最も短くなり好ましいが、被加工物（Ｗ）の大きさおよび加工装置（０１）の形状により平行、非平行のいずれをも適宜選択することができる。また、内側部加工室（３０）は周縁部である被加工辺の間に配置されていればよく、ノズルＢ（３５）の噴射口（３５ａ）の中心が前記仮想線（ｉ）上に配置されていなくてもよい（図１３（Ｂ）参照）。

（搬送ユニット）
搬送ユニットは、被加工物（Ｗ）を移送手段（５２）の位置まで搬送し、また加工が完了した被加工物（Ｗ）をハウジング（７０）の外部へ搬送するための搬送手段（５１）と、前記加工ユニット（６０）により被加工物（Ｗ）を加工するために移動させる為の移送手段（５２）と、で構成される。なお、加工が完了した被加工物（Ｗ）をハウジング（７１）の外部へ搬送するための搬出手段（５１Ｂ）は、被加工物（Ｗ）を移送手段（５２）の位置まで搬送するための搬入手段（５１Ａ）と兼ねてもよいが、本実施形態では、搬入手段（５１Ａ）と搬出手段（５１Ｂ）をそれぞれ配置した搬送手段（５１）とした。

搬入手段（５１Ａ）は、被加工物（Ｗ）が載置されて、該被加工物（Ｗ）の搬送を行う為の搬送ローラ（５１ａ）と、前記搬送ローラ（５１ａ）の軸心を貫通すると共に、該搬送ローラ（５１ａ）を保持するためのシャフト（５１ｂ）と、前記シャフト（５１ｂ）に連結され、該搬送ローラ（５１ａ）を駆動させるための駆動手段（図示せず）と、によって構成される。また、隣接する前記搬送ローラ（５１ａ）は千鳥状になるように配置されている。これは、被加工物（Ｗ）の搬送時に、仮に蛇行させる力が働いた場合に、搬送方向への搬送力を適切に伝達し修正するためである。

搬入手段（５１Ａ）に載置された被加工物（Ｗ）は、搬送ローラと接触している。また、前記駆動手段（本実施形態ではモータ）は駆動伝達手段（本実施形態ではプーリおよびベルト）を介して前記シャフトと連結されている。該駆動手段を駆動させることによって前記シャフト（５１ｂ）および搬送ローラ（５１ａ）が回転することで被加工物（Ｗ）が搬送される。搬送された被加工物（Ｗ）を所定の位置で停止させるために、停止位置設定手段が配置されている。停止位置設定手段は、被加工物（Ｗ）の搬送方向側（図１４（Ｂ）における右方向）に配置された、搬送方向側設定手段と、図１４（Ｂ）の上下方向側に配置された、加工辺側設定手段と、で構成される。本実施形態では、搬送方向側設定手段は円柱形状の２つの搬送方向側部材（以降、「設定部材Ａ」と記す）（５３ａ）を、該設定部材Ａ（５３ａ）の軸心同士を結んだ仮想線（ｉａ）が搬送方向（図１４（Ｂ）における右方向）に対し垂直となるように配置した。搬送された被加工物（Ｗ）は、前記設定部材Ａ（５３ａ）の円弧面と衝突することで停止するため、前記設定部材Ａ（５３ａ）の配置位置によって搬送された被加工物（Ｗ）の搬送方向側の停止位置が設定される。また、加工辺側設定手段は、上下方向のそれぞれの辺に対して、円柱形状の加工辺側設定部材（以降、「設定部材Ｂ」と記す）（５３ｂ）が各少なくとも１つ配置されている。設定部材Ｂ（５３ｂ）はそれぞれ駆動手段（図示せず）に連結されており、該駆動手段により設定部材Ｂ（５３ｂ）は被加工物（Ｗ）の方向に移動し、設定部材Ｂ（５３ｂ）の円弧面と被加工物（Ｗ）の該辺とが接触し、被加工物（Ｗ）が移動することで、搬送方向に対して垂直方向の位置が設定される。なお、前記設定部材Ａ（５３ａ）および前記設定部材Ｂ（５３ｂ）をローラとすることで、被加工物（Ｗ）との衝突する点が操作毎に異なるために、接触点が集中的に摩耗することを防ぐことができる。本実施形態では、前記設定部材Ａ（５３ａ）は被加工物（Ｗ）の搬送方向側の辺に対して２つ配置されており、前記設定部材Ｂ（５３ｂ）は被加工物（Ｗ）の上下方向のそれぞれの辺に１つずつ配置されている。必要に応じて設置する個数を変更（例えば前記設定部材Ｂ（５３ｂ）を被加工辺に対してそれぞれ２つずつ、該位置決め部材の軸心同士を結んだ仮想線が該辺に対して平行となるように配置）してもよい。また、必要に応じて停止位置設定手段を配置しなくてもよいし、加工辺側設定手段をいずれか１方の辺に対して配置してもよい。また、前記搬送方向側設定手段は、前記設定部材Ａ（５３ａ）と他の部材とを組み合わせてもよく、前記加工辺側設定手段は、前記設定部材Ｂ（５３ｂ）と他の部材とを組み合わせてもよい。

また、搬出手段（５１Ｂ）は、前記停止位置設定手段が配置されていない以外は、前記搬入手段（５１Ａ）と同じ構造とした。

被加工物（Ｗ）を搬入手段（５１Ａ）および搬出手段（５１Ｂ）によって搬送する際、搬送ローラ（５１ａ）の材質によっては、被加工物（Ｗ）の接触面が受傷することがある。例えば、大気中の埃が搬送ローラ（５１ａ）に噛み込み、それが原因で受傷する。また、搬送手段Ｂ（５１Ｂ）は、加工によって被加工物（Ｗ）に噴射材および粉塵が残留していた場合、これらが搬送ローラ（５１ａ）に噛み込み、同様に受傷する。この受傷を防ぐには、搬送ローラ（５１ａ）の材質は、独立気泡構造を持つ発泡ウレタンであることが好ましい。たとえ、埃や噴射材などの硬質の異物が噛み込んだ場合でも、緩衝材として有効に働くため、被加工物（Ｗ）が受傷することを防ぐことができる。

前述の通り、ノズルＡ（１５）およびノズルＢ（３５）に対して、相対的に被加工物（Ｗ）を移動させることで、連続した範囲を加工することができる。相対的な移動は、周縁部加工室（１０）、周縁部加工ユニット（２０）、内側部加工室（３０）、内側部加工ユニット（４０）を移動させてもよいが、被加工物（Ｗ）を移動させる方が、装置が簡略でき、より好ましい。本実施形態では、移送手段（５２）より、被加工物（Ｗ）を移動させた。

本実施形態における移送手段（５２）は、被加工物（Ｗ）を載置するためのテーブル（５２ａ）と、被加工物の高さ方向の位置決めをするための位置決め手段（以降、「位置決め手段」と記す）（５２ｂ）と、被加工物（Ｗ）を、その平面の中心点を中心に９０°旋回させるための旋回手段（５２ｃ）と、被加工物（Ｗ）を連続して加工するために移送手段（５２）自身を移動させる移動手段（５２ｄ）と、で構成されている。また、前記テーブル（５２ａ）は載置された被加工物（Ｗ）を固定するための固定手段（図示せず）が配置されている。

（加工装置）
図１４に示すように、加工ユニット（６０）と、搬送ユニット（５０）と、ハウジング（７０）と、を配置し、加工装置（０１）を構成した。なお、同図においてダクトおよびホースは便宜上省略した。周縁部加工ユニット（６１）は、連結部材Ｅ（６１ｃ）に連結されたアーム（周縁部加工用）（以降、「アームＥ」と記す）（６１ａ）を介して位置合わせ手段（６５）に連結されている。位置合わせ手段（６５）により、周縁部加工ユニット（６１）は、被加工物（Ｗ）の大きさおよび動作に合わせて図１４（Ｃ）における左右方向に移動し、位置を調整することができる。また、内側部加工ユニット（６２）は、連結部材Ｉ（６６ｃ）を介して位置合わせ手段（６５）に連結されている。

図１４（Ｂ）において、被加工物（Ｗ）は左から右に移動する。搬送ユニット（５０）は、同図の左側から順に搬送手段Ａ（５１Ａ）、移送手段（５２）、搬送手段Ｂ（５１Ｂ）の順に配置され且つその中心点が一直線上になるように配置されている。また、搬送手段Ａ（５１Ａ）、移送手段（５２）、搬送手段Ｂ（５１Ｂ）の中心線を結んだ線上に、前記仮想線（ｉ）の中心とノズルＢの噴射口（３５ａ）の中心点が位置するように、加工ユニット（６０）が配置されている。

ハウジング（７０）は、加工ユニット（６０）、移送手段（５２）の全体、および搬入手段Ａ（５１Ａ）、搬出手段Ｂ（５１Ｂ）を覆うように形成されている。また、被加工物（Ｗ）をハウジング内へ挿入するための開口部（７１ａ）および排出を行うための開口部（図示せず）を有している。

（加工方法）
本実施形態における加工装置（０１）を用いて太陽電池パネルの薄膜層を除去する加工を行う方法について、図１５を用いて説明する。なお、図１５において、網掛け部は、加工によって薄膜層が除去された箇所である。

制御手段（図示せず）に、各種加工条件（被加工物（Ｗ）の寸法、被加工物（Ｗ）の移動速度、噴射材の噴射圧力、加工パターン（加工幅、内側部の加工の有無、等）、等）を入力する。入力された被加工物（Ｗ）の寸法に合わせて被加工物（Ｗ）の平行する２辺が、周縁部加工室（１０）の開口部（ＳＡ）を通過するように位置合わせ手段（６５）によって周縁部加工ユニット間の距離が設定される。被加工物（Ｗ）を搬入手段（５１Ａ）に載置し、被加工物（Ｗ）を、ハウジング（７０）の開口部（７０ａ）より、ハウジング（７０）の内部に搬入される。搬入された被加工物（Ｗ）の、被加工辺（図１４（Ｂ）の上下の辺）に直交する搬送方向側の辺は設定部材Ａ（５３ａ）の円弧面に衝突し、その位置で停止する。その後、駆動手段に連結された設定部材Ｂ（５３ｂ）がそれぞれ被加工辺に向かって移動し、所定の位置まで被加工物（Ｗ）を図１４（Ｂ）における上下方向に移動させる。以上の動作により、被加工物（Ｗ）は搬入手段（５１Ａ）により移送手段（５２）上に搬送される（この位置を、以降「加工開始位置」と記す）。移送手段（５２）上に搬送された被加工物（Ｗ）は、テーブル（５２ａ）に配置された前記固定手段（例えば吸引吸着装置や、摩擦係数が高いパッド）によって移送手段（５２）上に固定される。その後、位置決め手段（５２ｂ）により被加工物（Ｗ）を上昇させることで搬送手段Ａ（５１Ａ）との接触を解除すると共に、前記開口部（ＳＡ）に被加工物（Ｗ）が通過でき、かつ、被加工物（Ｗ）と周縁部加工ユニット（６１）間の空隙および被加工物（Ｗ）と内側部加工ユニット（６６）間の空隙が十分に確保されるように、位置決め手段（５２ｂ）により、高さ方向の位置（図１４（Ｄ）における上下方向）が設定される。

ノズルＡ（１５）およびノズルＢ（３５）の噴射口（１５ａ）（３５ａ）より噴射材を噴射すると同時に、周縁部加工室（１０）と、内側部加工室（３０）と、クリーニング室Ａ（６２）と、クリーニング室Ｂ（６７）と、にそれぞれ連結された吸引手段を稼働させる（吸引手段の台数は特に規定されない）。その後、移送手段（５２）によって、被加工物（Ｗ）を図１４（Ｂ）および図１５（Ａ）における左側から右側に移動させノズルＡ（１５）およびノズルＢ（３５）の直下を通過させることで、ノズルＡ（１５）およびノズルＢ（３５）より噴射された噴射材は被加工物（Ｗ）と衝突し、この衝突により薄膜層が切削除去される。また、前記噴射材および粉塵は、吸引部材Ａ（１３）および吸引部材Ｂ（３３）を介し、吸引手段により吸引・回収される。周縁部加工室（１０）に挿入された被加工物（Ｗ）が周縁部加工ユニット（２０）および内側部加工ユニット（４０）を完全に通過することで、被加工物（Ｗ）の平行する２辺の周縁部および内側部の加工が完了する（この位置を以降「加工完了位置」と記す）（図１５（Ａ）および図１５（Ｂ）参照）。

位置合わせ手段（６５）により、周縁部加工ユニット（２０）をその間の距離を広げる方向に移動させる。この距離は、被加工物（Ｗ）の対角線の長さより十分に長くする。その後、旋回手段（５２ｃ）によって被加工物を９０°旋回させると同時に、移送手段（５２）によって、被加工物（Ｗ）を加工開始位置に移動させる。移動後、周縁部加工ユニット（２０）間の距離を位置合わせ手段（６１）により前述の入力された加工条件に従って設定する（図１５（Ｃ）参照）。その後、移送手段（５２）によって、被加工物（Ｗ）を同様に図中左側から右側に移動させ、加工完了位置に移動させることで、残りの２辺の周縁部および内側部の中心部の加工が完了する（図１５（Ｄ）参照）。

位置決め手段（５２ｂ）が下降することにより加工が完了した被加工物（Ｗ）は、被加工物（Ｗ）は搬出手段（５１Ｂ）上に置かれる。そして、搬出手段（５１Ｂ）によりハウジング（７０）の開口部を通りハウジング（７０）の外部に向けて搬送（搬出）される。得られた被加工物（Ｗ）を、公知の手段で切断し、周縁部が加工された複数個（図１５では４枚）の被加工物（Ｗｃ）が得られる（図１５（Ｅ）参照）。得られた被加工物（Ｗｃ）の周縁部は薄膜層が除去され、基材（ガラス）が表面に露出している。

（変更例）
噴射された噴射材および粉塵が、周縁部加工室（１０）および内側部加工室（３０）に連結された吸引手段によって十分に吸引できる場合は、クリーニング室Ａ（６２）およびクリーニング室Ｂ（６７）を設けなくてもよく、すなわち、周縁部加工室（１０）および内側部加工室（３０）のみで加工することができる。また、クリーニング室Ａ（６２）またはクリーニング室Ｂ（６７）のいずれか一方を使用してもよい。

周縁部のみを加工する場合は、内側部加工室（３０）を配置しなくてもよく、あるいは、内側部加工室（３０）を配置した場合においては、前記ノズルＢ（３５）から噴射材を噴射しなくてもよい。

内側部加工室（３０）は、複数台配置することができる。内側部加工室（３０）を複数台配置し、前記のような加工を行うことでより小さく被加工物（Ｗ）を分割することができる。例えば、内側部加工室を２台配置すると、被加工物（Ｗ）より９枚の被加工物（ｗ）を得ることができる。

クリーニング室（２０）は、被加工物（Ｗ）の相対的な移動方向前方側に吸引部材Ｃ（２３）を、その反対側にノズルＣ（２５）を配置してもよい。また、その際はノズルＣ（２５）の噴射口が該被加工物（Ｗ）の移動方向前方側に向くように配置することが好ましい。該ノズルＣ（２５）より噴射された圧縮空気は、該被加工物に衝突後反射するが、傾けて配置されていることで該吸引部材Ｃ（２３）に向かう。すなわち、反射した圧縮空気の気流には、被加工物（Ｗ）より脱離した噴射材および粉塵が含まれており、これらの噴射材および粉塵を効率よく吸引・回収することができる。該被加工物（Ｗ）と該ノズルＣ（２５）のなす角度は３０〜７５°であることが好ましい。角度が小さすぎると、吸引カバーＸ（２２）の開口端部（２２ｂ）における外気の吸引力が圧縮空気の噴射力を下回るため、周縁部加工室外に噴射材および粉塵が漏出し、角度が大きすぎると、先述の効果が十分に得られない。

本実施形態における加工において、被加工物（Ｗ）を９０°旋回させる前の加工時（図１５（Ａ））または９０°旋回させた後の加工時（図１５（Ｄ））のいずれかの加工で、ノズルＢ（３５）から噴射材を噴射すればよい。例えば、本実施例のように、内側部加工ユニット（４０）を１台使用して正方形の被加工物（Ｗ）の加工をおこなった場合、正方形の被加工物（Ｗ）より長方形の被加工物（ｗ）を２枚得ることができる。また、前述と同様に、目的となる被加工物（ｗ）の寸法に合わせて内側部加工室または内側部加工ユニットを複数台設置することができる。

平行する２辺の周縁部を加工後、前記加工終了位置にて被加工物（Ｗ）を反転後、移送手段（５２）によって加工開始位置まで移送させて残りの２辺を加工してもよい。すなわち、移送手段（５２）の往復運動によって加工を行うことができる。ただし、その際は、残りの２辺を加工する際は被加工物（Ｗ）の移動方向は逆方向となるので、クリーニング室Ａ（２１）およびクリーニング室Ｂ（４１）を周縁部加工室（１０）および内側部加工室（３０）に隣接させる場合は、反転前の移動方向前方側と反転後の移動方向前方側の双方に設置する必要がある。また、この際、搬送装置Ａ（５１Ａ）が被加工物（Ｗ）の挿入・排出を兼ねることができる。

加工物（Ｗ）をテーブル（５２ａ）に固定後、加工ユニット（６０）を移動させて加工を行ってもよい。

ハウジングは、加工ユニット（６０）、移送手段（５２）の全体、および搬入装置（５１Ａ）、搬出装置（５１Ｂ）の全体を覆う必要はなく、前記加工開始位置と前記加工終了位置の間等、一部のみを覆ってもよい。また、加工ユニットから噴射材および粉塵の漏出がなく、また周辺雰囲気の埃等が被加工物（Ｗ）および前記ローラ（５１ｂ）に付着するおそれがない場合は、ハウジングを配置しなくてもよい。

本実施形態では、被加工物（Ｗ）の平行する２辺を同時に加工するために２台の周縁部加工室（１０）を配置したが、１台のみ配置して加工を行ってもよい。

前記実施形態の加工装置を用いて、１１００×１４００ｍｍの薄膜太陽電池パネルの４辺の周縁部の薄膜層の除去（除去幅は１１ｍｍ）を行った（周縁部の薄膜層のみを除去するため、ノズルＢ（３５）から噴射材は噴射しなかった）。ノズルＡから噴射圧力０．６ＭＰａにて噴射材（ＷＡ＃６００）を噴射した。また、薄膜太陽電池パネルの移動速度を２００ｍｍ／ｓとした（実施例１）。また、比較として、下部が吸引手段と連通しているブラスト加工室内に、ブラスト加工ノズルを移送させる手段に連結されたブラスト加工ノズルを１本用い、該ノズルを移送させることで同様の加工を行った。ブラスト加工ノズル、噴射圧力、噴射材は実施例１と同じとし、またブラスト加工ノズルの移動速度は実施例１における薄膜太陽電池パネルの移動速度と同様の２００ｍｍ／ｓとした（比較例１）。評価は、加工時間、加工領域での薄膜層の残留、加工領域以外での薄膜層の受傷の有無について行った。加工領域での評価はＳＥＭ観察によって行い、評価は、残留薄膜層なし：○ 残留薄膜層があるが、残留薄膜層は単独で存在している（加工箇所以外の薄膜層と連続していない）：△ 残留薄膜層があり、かつ加工箇所以外の薄膜層と連続している：×、とした。また、加工領域以外での薄膜層の受傷については、ＳＥＭ観察によって行い、加工領域以外での薄膜層の受傷については、加工境界から１ｍｍ以上の箇所において、受傷なし：◎ 加工境界から２ｍｍ以上の箇所において受傷なし：○、 加工境界から２ｍｍ以上の箇所に受傷あり：×、とした（図２８参照。矢印は傷（一部）を示す）。太陽電池パネルの加工においては、加工箇所以外の薄膜層が受傷することで起電力の低下を招くため、加工境界より１ｍｍ以上の箇所で受傷がないことが望ましいが、実際に太陽電池モジュールとする際は２ｍｍ以上の箇所に受傷がなければ支障がないためである。

実施例１では加工時間が４０秒の加工時間で、薄膜層の残留がなく、また、加工箇所以外での薄膜層の受傷は、加工境界より１ｍｍ以上の箇所では確認されなかった。これに対し、比較例１では、加工時間は９０秒と実施例１の２．２５倍必要であり、また、薄膜層の残留はなかったものの、加工箇所以外での受傷は、加工境界より２ｍｍ以上の箇所でも多くみられた。これは、被加工面に衝突して跳ね返った噴射材および粉塵が、ブラスト加工ノズルおよびその周辺設備（例えば、該ノズルの移送手段）に衝突して反射した結果、該噴射材が加工箇所以外に衝突したことによる。実施例１では、被加工面に衝突した噴射材は、吸引部材（１３）を介して吸引手段により吸引・回収されるため、前述のように受傷が防ぐことができたと考えられる。また、周縁部加工室（１０）内に外気を取り込むための空隙（ｓａ１）（ｓａ２）により、被加工物（Ｗ）と周縁部加工室（１０）が接触することなく、接触による受傷も見受けられなかった。

さらに、本実施形態において、ノズルＢ（３５）からも実施例１と同じ条件にて噴射材（ＷＡ＃６００）を噴射することで、周縁部および、内側部の加工を行った（実施例２）。実施例１と同じ加工時間で、周縁部および内側部の加工を行うことができ、加工箇所での薄膜層の残留はなかった。加工しない箇所での薄膜層の受傷は、周縁部は実施例１と同様加工境界より１ｍｍ以上の箇所で確認されず◎の評価となったが、内側部においては２ｍｍ以上の箇所で受傷は確認されなかったが、１〜２ｍｍの箇所で確認されたことから○の評価となった。これは、被加工面に衝突した噴射材は、吸引部材（３３）を介して吸引手段により吸引・回収されることにより、比較例１に示すような受傷が防ぐことができたと考えられる。しかしながら、周縁部加工室に比べ噴射材および粉塵の吸引部材（３３）への移動が若干スムーズでなかったため、周縁部と内側部の評価に差が出たものと考えられるが、被加工物（Ｗ）の実際の使用に関しては前述の通り問題はない。また、内側部加工室（３０）内に外気を取り込むための空隙（ｓｂ２）により、被加工物（Ｗ）と内側部加工室（３０）が接触することなく、接触による受傷も見受けられなかった。

実施形態では太陽電池パネルの加工について説明したが、板状部材は太陽電池パネルの加工のように薄膜層を完全に除去する基板ばかりでなく、周縁部が厚くなった薄膜層（例えば、湿式プロセスによって形成された薄膜層）の一部を除去して全体の薄膜層の厚さを調整する装置としても使用することができる。

各種基板をエッチングするために、レジスト膜を形成し、エッチング加工後、薬品等によって、該レジスト膜を除去する。しかし、周縁部に該レジスト膜が残留していることがあり、本装置によりこれを除去することができる。

この出願は、日本国で２０１０年６月４日に出願された特願２０１０−１２８５４２に基づいており、その内容は本出願の内容として、その一部を形成する。
また、本発明は本明細書の詳細な説明により更に完全に理解できるであろう。しかしながら、詳細な説明および特定の実施例は、本発明の望ましい実施の形態であり、説明の目的のためにのみ記載されているものである。この詳細な説明から、種々の変更、改変が、当業者にとって明らかだからである。
出願人は、記載された実施の形態のいずれをも公衆に献上する意図はなく、開示された改変、代替案のうち、特許請求の範囲内に文言上含まれないかもしれないものも、均等論下での発明の一部とする。
本明細書あるいは請求の範囲の記載において、名詞及び同様な指示語の使用は、特に指示されない限り、または文脈によって明瞭に否定されない限り、単数および複数の両方を含むものと解釈すべきである。本明細書中で提供されたいずれの例示または例示的な用語（例えば、「等」）の使用も、単に本発明を説明し易くするという意図であるに過ぎず、特に請求の範囲に記載しない限り本発明の範囲に制限を加えるものではない。

０１ 加工装置
１０ 周縁部加工室
１１ 飛散防止カバー（周縁部加工用）
１１ａ フランジ部
１１ｂ 開口端部
１１ｃ 案内部
１２ 吸引カバー（周縁部加工用）
１２ａ フランジ部
１２ｂ 開口端部
１２ｃ 案内部
１３ 吸引部材（周縁部加工用）
１４ 連結部材
１５ ブラスト加工用ノズル（周縁部加工用）
１５ａ 噴射口
１５ｂ 空気ノズル
１５ｃ ノズル本体
１５ｄ 噴射部
１５ｅ 混合室
２０ クリーニング室
２２ 吸引カバー（クリーニング用）
２２ｂ 開口端部
２２ｃ 案内部
２３ 吸引部材（クリーニング用）
２５ エアブローノズル
３０ 内側部加工室
３２ 吸引カバー（内側部加工用）
３２ｂ 開口端部
３２ｃ 案内部
３３ 吸引部材（内側部加工用）
３５ ブラスト加工用ノズル（内側部加工用）
３５ａ 噴射口
３６ 補助吸引部材
５１ 搬送手段
５１Ａ 搬入手段
５１Ｂ 搬出手段
５２ａ 搬送ローラ
５２ｂ シャフト
５２ 移送手段
５２ａ テーブル
５２ｂ 位置決め手段
５２ｃ 旋回手段
５２ｄ 移動手段
５３ａ 搬送方向側設定部材
５３ｂ 加工辺側設定部材
６０ 加工ユニット
６１ 周縁部加工ユニット
６１ａ アーム（周縁部加工用）
６１ｃ 連結部材（周縁部加工用）
６２ クリーニング室（周縁部加工用）
６５ 位置合わせ手段
６６ 内側部加工ユニット
６６ａ アーム（内側部加工用）
６６ｃ 連結部材（内側部加工用）
６７ クリーニング室（内側部加工用）
７０ ハウジング
７０ａ 開口部
Ｗ 被加工物
Ｗｃ （切断によって得られた）被加工物
ＳＡ、ｓａ１、ｓａ２、ｓｂ１、ｓｃ１ 空隙
ｉ、ｉａ 仮想線

Claims (30)

1. 平面が長方形または正方形である板状の基材の前記平面上に薄膜層が形成されている板状部材の周縁部の不必要な薄膜層を除去するための加工装置であって、
   前記加工装置は、前記板状部材の周縁部が挿入されるための開口部を備え、該周縁部の不必要な薄膜層を除去するための周縁部加工室と、前記板状部材を前記周縁部加工室に配置されたブラスト加工用ノズルに対して相対的に移動させるための移動手段を備え、
   前記周縁部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている周縁部加工用飛散防止カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部加工用飛散防止カバーの壁面で覆われるように該飛散防止カバーに配置される周縁部加工用ブラスト加工ノズルと、前記周縁部加工用飛散防止カバーの開口面と同じ形状の開口面を有する周縁部加工用吸引カバーと、両端面が開口され、端面が前記周縁部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された中空形状の周縁部加工用吸引部材と、を備え、
   前記周縁部用飛散防止カバーの前記開口面と前記周縁部加工用吸引カバーの前記開口面とが連結され、且つ前記板状部材の周縁部を挿入するための開口部を備えた構造体を形成し、
   前記開口部は、前記板状部材の周縁部を挿入した際に、該開口部の開口上端部と前記板状部材の被加工面との間、および該開口部の開口下端部と前記被加工面の裏面との間に外気が導入可能な空隙を形成できるように形成されていることを特徴とする板状部材の加工装置。
2. 前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルは、前記板状部材を前記開口部に挿入した際に、該板状部材とのなす角度が３０〜７５°となるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の板状部材の加工装置。
3. 前記開口部の少なくともいずれかの開口端部は外気を導入するための案内部を備えることを特徴とする請求項１に記載の板状部材の加工装置。
4. 前記周縁部加工室を２つ備え、
   前記周縁部加工室は、水平面にある前記板状部材の平行する被加工辺である２辺の外周面にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１に記載の板状部材の加工装置。
5. 前記周縁部加工室は、前記被加工辺以外の他の２辺に平行となるようにそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項４に記載の板状部材の加工装置。
6. 前記板状部材の被加工辺である周縁部と平行するように該板状部材の内側部を加工する内側部加工室が、平行する被加工辺である周縁部の間に少なくとも１つ以上配置されていることを特徴とする請求項４に記載の板状部材の加工装置。
7. 前記内側部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の内側部加工用吸引カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記内側部加工用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される内側部加工用ブラスト加工ノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記内側部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された内側部加工用吸引部材と、を備え、
   該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置されていることを特徴とする請求項６に記載の板状部材の加工装置。
8. 前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記内側部加工用吸引部材に対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の後方側に配置されていると共に、
   前記内側部加工用吸引部材は、該ブラスト加工ノズルに対して、該板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の前方側の上面に配置されていることを特徴とする請求項７に記載の板状部材の加工装置。
9. 前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記板状部材とのなす角度が３０〜７５°となるように配置されていることを特徴とする請求項８に記載の板状部材の加工装置。
10. 前記内側部加工用吸引カバーの側壁面には、吸引手段に連通した補助吸引部材が配置されており、
    前記補助吸引部材は、前記内側部ブラスト加工ノズルに対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する移動方向の前方側に位置する該内側部加工用吸引カバーの側壁面に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の板状部材の加工装置。
11. 前記内側部加工用吸引カバーの開口端部は、外気を導入するための案内部を備えていることを特徴とする請求項７に記載の板状部材の加工装置。
12. 前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口が矩形であることを特徴とする請求項１に記載の板状部材の加工装置。
13. 前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口が矩形であることを特徴とする請求項７に記載の板状部材の加工装置。
14. 前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルおよび前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの少なくともいずれかは、ブラスト加工ノズル本体と、前記ブラスト加工ノズル本体の内部に圧縮空気を導入するとともに、該ブラスト加工ノズル本体の内部に負圧を発生するための空気ノズルと、前記負圧によりブラスト加工ノズル本体の内部に吸引されると共に、該ブラスト加工ノズル本体内部の混合室にて圧縮空気と混合された噴射材を噴射するめの噴射口を備える噴射部と、を備えることを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載の板状部材の加工装置。
15. 前記周縁部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引・回収するための周縁部用クリーニング室が少なくとも１つ以上隣接されていることを特徴とする請求項１または請求項４に記載の板状部材の加工装置。
16. 前記周縁部加工用クリーニング室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の周縁部クリーニング用吸引カバーと、被加工面に圧縮空気を吹き付けて、該被加工面に付着した前記噴射材および前記粉塵を該被加工面から剥離して除去するためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部クリーニング用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される周縁部クリーニング用エアブローノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記周縁部クリーニング用吸引カバーおよび吸引手段に連通された周縁部クリーニング用吸引部材と、を備え、
    該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置されていることを特徴とする請求項１５に記載の板状部材の加工装置。
17. 前記周縁部加工用クリーニング室の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えていることを特徴とする請求項１６に記載の板状部材の加工装置。
18. 前記内側部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引・回収するための内側部加工用クリーニング室が隣接されていることを特徴とする請求項６に記載の板状部材の加工装置。
19. 前記内側部加工用クリーニング室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の内側部クリーニング用吸引カバーと、被加工面に圧縮空気を吹き付けて、該被加工面に付着した前記噴射材および前記粉塵を該被加工面から剥離して除去するためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記内側部クリーニング用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される内側部クリーニング用エアブローノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記内側部クリーニング用吸引カバーおよび吸引手段に連通された内側部クリーニング用吸引部材と、を備え、
    該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置されていることを特徴とする請求項１８に記載の板状部材の加工装置。
20. 前記内側部加工用クリーニング室の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えていることを特徴とする請求項１９に記載の板状部材の加工装置。
21. 前記移動手段は、前記板状部材が載置されると共に、該板状部材を加工するために移動させる機構を備えることを特徴とする、請求項１に記載の板状部材の加工装置。
22. 前記板状部材の被加工辺である周縁部を加工後、該板状部材を略９０°旋回させるための手段を備えていることを特徴とする請求項１、４、６、１５、１９、２１のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置。
23. 前記板状部材の周縁部を加工する領域へ該板状部材を搬送する搬入手段を備え、前記搬入手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラを備えることを特徴とする請求項１、４、６、１５、１９、２１のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置。
24. 前記搬入手段は、搬送された前記板状部材の停止位置を設定するための停止位置設定手段を備えることを特徴とする請求項２３に記載の板状部材の加工装置。
25. 前記停止位置設定手段は、搬送方向側の停止位置を設定するための搬送方向側設定手段を備え、
    前記搬送方向側設定手段は、前記搬送方向と直交するように、円柱状の搬送方向側設定部材が少なくとも１つ以上配置されていることを特徴とする請求項２４に記載の板状部材の加工装置。
26. 前記停止位置設定手段は、搬送方向側に直交する側の停止位置を設定するための加工辺側設定手段を備え、
    前記加工辺側設定手段は、円柱状の加工辺側設定部材が少なくとも１つ以上配置されていることを特徴とする請求項２５に記載の板状部材の加工装置。
27. 前記板状部材の周縁部を加工した後に該部材を加工領域外へ搬送する搬出手段を備え、
    前記搬出手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラを備えることを特徴とする請求項２３に記載の板状部材の加工装置。
28. ガラス等の透光性基材の平面上に透明電極層、光半導体層や金属層等の薄膜太陽電池パネルを形成するのに必要な薄膜層が積層された薄膜太陽電池パネルである板状部材を加工することを特徴とする請求項１、４、６、１５、１９、２１のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置。
29. 請求項１、４、６、１５、１９、２１のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置による板状部材の加工方法であって、前記周縁部加工室の開口部に被加工物である板状部材の周縁部を加工開始位置より挿入する工程と、前記周縁部加工用ブラストノズルより噴射材を被加工物に向けて噴射する工程と、該噴射材によって非加工物表面の不必要な薄膜層を切削除去する工程と、該噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引手段の吸引力により周縁部加工用吸引カバー側に移動させて、該吸引手段により吸引する工程と、をそなえることを特徴とする板状部材の加工方法。
30. 前記板状部材を挿入する方向に該板状部材方向を移動することで最初の非加工辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、最初の被加工辺の加工が完了した後に該板状部材を略９０°回転させると共に該被加工物を前記加工開始位置に移動する工程と、該板状部材を前記挿入する方向に移動することで最初の被加工辺に隣接する辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、を備えることを特徴とする請求項２９に記載の板状部材の加工方法。

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