JPH04336964A

JPH04336964A - 微粉体噴射装置

Info

Publication number: JPH04336964A
Application number: JP3133330A
Authority: JP
Inventors: Takashi Yoshikawa; 隆吉川; Shigeo Kobayashi; 繁雄小林
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1991-05-10
Filing date: 1991-05-10
Publication date: 1992-11-25
Also published as: US5323561A; KR100230030B1; KR920021738A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、処理対象物（以下、「
ワーク」と言う。）に微粉体を噴射することで該ワーク
に所定の加工処理を行なう微粉体噴射装置に係り、装置
全体の小型化を図ることができる新規な微粉体噴射装置
を提供しようとするものである。

【０００２】

【従来の技術】ワークに金属や無機物等から成る微粉体
を高圧空気の圧力を利用して噴射することによりブラス
ト処理を行なう装置として微粉体噴射装置があり、例え
ば、回路基板の微小なブラインドホール又はスルーホー
ルの形成等に使用される。

【０００３】このような微粉体噴射装置は、ワークが載
置されるワーク台と、該ワーク台上のワークに向けて微
粉体を噴射する噴射ノズルと、上記ワーク台を移動させ
るワーク台移動手段等を備え、また、ワークにはブラス
ト処理を行なう部分以外の領域に予めマスキングを施し
ておき、このようなワークをＸ−Ｙ方向に移動させると
ともに噴射ノズルにより微粉体を噴射することで、ワー
クの所定の部分にブラスト処理を行なうようになってい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の微粉体噴射装置にあっては、噴射ノズルを固定
し、ワーク台をＸ−Ｙ方向に移動させるものであるため
、微粉体噴射装置の平面面積はワーク台に載置するワー
クの平面面積の略４倍近い大きさが必要であり、装置が
大型化してしまっていたとう問題があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明微粉体噴
射装置は、上記課題を解決するために、ワーク台をＸ方
向に移動させると共に噴射ノズルをＹ方向に移動してワ
ークに対する所定の加工処理を行なうようにしたもので
ある。

【０００６】

【作用】従って、本発明微粉体噴射装置によれば、ワー
ク台の移動は、Ｘ方向のみでかつワークのＸ方向の長さ
分だけ行なえば良く、よって、微粉体噴射装置の平面面
積を小さくすることができ、微粉体噴射装置の小型化を
図ることができる。

【０００７】

【実施例】以下に、本発明微粉体噴射装置の詳細を添付
図面に示した実施例に従って説明する。

【０００８】尚、図示した実施例は、本発明を基板に対
してブラスト処理を行なって基板に微小なスルーホール
やブラインドホールを形成する微粉体噴射装置１に適用
したものである。

【０００９】２は後述するワーク台や噴射ノズルが移動
自在に配置される筐体であり、板金材料により形成され
、その内部空間３は外部に対して略密閉されている。

【００１０】該筐体２は左右方向（図１における左方へ
向う方向を左側とし、右方へ向う方向を右側とする。ま
た、同図に向って手前側、即ち、紙面側を前方とし、紙
背側を後方とする。以下の説明において向きを示すとき
はこの方向によるものとする。）に長く、かつ、下方に
開口した筐体主部４と該筐体主部４の下面開口を覆う下
板部５等から成る。

【００１１】筐体主部４の前側壁６はその上半部が前下
がりに傾斜され、その下半部は垂直で、該下半部にはそ
の大きさよりひと回り小さい大きさの作業口６ａが形成
されており、該作業口６ａは扉７により開閉自在にされ
ている。

【００１２】筐体２の下板部５は比較的扁平で、かつ、
上方が開口した逆四角錐形の略漏斗状を為すように形成
され、その底頂部には円筒状をしたホース接続口５ａが
形成されており、このような下板部５の上方開口が筐体
主部４の下面開口に略突き合わさるように設けられてい
る。

【００１３】尚、筐体主部４の左側壁８はその下端部が
内側に引っ込むように前方から見て略クランク状に屈曲
されている。

【００１４】９は微粉体噴射装置１の機枠であり、上記
筐体２は機枠９の前部に支持されている。

【００１５】１０、１０は後述するワーク台を移動自在
に支持するためのガイド軸であり、筐体２の内部の下板
部５寄りの位置に左右方向へ互いに平行に延びるように
配置され、その両端部は筐体２の左側壁８及び右側壁１
１の下端部に取着された軸固定部材１２、１２、・・・
を介して両側壁８、１１に支持されている。

【００１６】１３は基板１４が着脱自在に載置されるワ
ーク台であり、上記ガイド軸１０、１０に移動自在に支
持された移動ベースと該移動ベースに着脱自在に支持さ
れるワークテーブル等から成る。

【００１７】尚、筐体主部４の左右方向の長さはワーク
台１３の左右幅の略２．５倍の長さになっており、また
、その前後幅がワーク台１３の前後幅より稍大きくされ
ている。

【００１８】１５は移動ベースであり、上方から見て左
右方向へ長い長方形状をしており、かつ、上面が開口し
た比較的薄い箱形をしており、その底面板１６は左右両
端部１６ａ、１６ａが水平に、また、その他の部分１６
ｂが扁平な略四角錐状を為すようにそれぞれ形成される
と共にその底頂部から突出したホース接続口１６ｃを有
している。

【００１９】そして、上記左右両端部１６ａ、１６ａの
前後両端部には上下方向へ延びる位置決めピン１７、１
７、・・・が上方に向って突設されており、該位置決め
ピン１７、１７、・・・の下部１７ａ、１７ａ、・・・
はその上部１７ｂ、１７ｂ、・・・より大径に形成され
ている。

【００２０】１８、１８は上記底面板１６の下面の左右
方向における略中心であってその前後両端部に固定され
たリニアガイド、例えばリニアボールベアリングであり
、これらリニアガイド１８、１８に前記ガイド軸１０、
１０が各別に挿通され、これにより、移動ベース１５が
ガイド軸１０、１０にその軸方向、即ち、左右方向へ移
動自在に支持される。

【００２１】１９、１９、・・・はガイド軸１０、１０
を覆うように設けられた蛇腹ホース（図１及び図６にの
み示してある。）であり、その一端部はガイド軸１０、
１０の端部が支持された前記軸固定部材１２、１２、・
・・の筐体２の内側に突出した筒状の外ケースに、また
、他端部は移動ベース１５の底面板に固定されたリニア
ガイド１８、１８の軸方向にそれぞれ延びる筒状の外ケ
ースにそれぞれ外嵌状に固定されており、これにより、
ガイド軸１０、１０の外周面及びリニアガイド１８、１
８のガイド軸挿通孔が露出されず、これらを微粉体の付
着から保護している。

【００２２】２０はワーク台１３のワークテーブルであ
り、移動ベース１５の平面形状の外形よりひと回り小さ
い外形を有する長方形の平板状をしており、その４つの
隅角部の下面には位置決め穴２０ａ、２０ａ、・・・が
形成されている。

【００２３】このようなワークテーブル２０はその位置
決め穴２０ａ、２０ａ、・・・に移動ベース１５の前記
位置決めピン１７、１７、・・・の上部１７ｂ、１７ｂ
、・・・を挿通し、かつ、該位置決め穴２０ａ、２０ａ
、・・・の下側の開口縁部を位置決めピン１７、１７、
・・・の下部１７ａ、１７ａ、・・・上に載置すること
によって移動ベース１５の内側に水平方向及び上下方向
で位置決めが為された状態で支持される。

【００２４】２１ａ、２１ｂはワークテーブル２０の上
面の前側部及び左側部に位置された基板押えであり、ワ
ークテーブル２０に設けられた支持軸２２、２２（図６
参照）に各内側縁部が略上下方向へ回動するように支持
されると共に該支持軸２２、２２に外嵌された図示しな
いトーションバネによって各内側縁部がワークテーブル
２０の上面に弾接するように回動力が付勢されている。

【００２５】２１ｃはワークテーブル２０の上面に前後
方向に移動自在に設けられた基板押えであり、その前側
縁には前方及び下方に開口する切欠２１ｄがその左右幅
の全幅に亘って形成されている。

【００２６】そして、ワークテーブル２０への基板１４
の保持は、基板１４の後側縁を上記後側の基板押え２１
ｃの切欠２１ｄに係合すると共に、基板１４の左側縁及
び前側縁を左側の基板押え２１ｂ及び前側の基板押え２
１ａのそれぞれの内側縁とワークテーブル２０の上面と
でそれぞれ挟持することにより為される。

【００２７】尚、後側基板押え２１ｃを前後方向に移動
することにより種々の大きさの基板１４を保持すること
ができるようになっている。

【００２８】また、ワークテーブル２０に対する基板１
４の装着及び取出は前記扉７を開いてワークテーブル２
０を移動ベース１５から取り外した状態で行なう。

【００２９】２３、２３は移動ベース１５の底面板１６
のうち左右両端部１６ａ、１６ａの下面の略中央部に固
定されたワイヤ固定部材であり、左右方向へ貫通した挿
通孔２３ａ、２３ａが形成されると共に、その下面と上
記挿通孔２３ａ、２３ａとの間に螺孔２３ｂ、２３ｂが
形成されている。

【００３０】２４、２４は筐体２の左右両側壁８、１１
の下端部のうち上記ワイヤ固定部材２３、２３と対向し
た位置に形成された孔であり、該孔２４、２４はワイヤ
挿通孔２５、２５を有するシール部材２６、２６によっ
て閉塞されている。

【００３１】２７は筐体２の右側壁１１の外面に固定さ
れたプーリ取付板であり、その上面の前端部左端にガイ
ドプーリ２８が回転自在に支持されると共に、その右端
部後端の下面にギヤドモータ２９が固定され、該モータ
２９の出力軸に駆動プーリ３０が固定されていて、該駆
動プーリ３０はプーリ取付板２７の上面であって上記ガ
イドプーリ２８と同じ高さに位置している。

【００３２】３１及び３２は筐体２の左側壁８に固定さ
れたプーリ取付板２７´（図３にのみ示してある。）に
回転自在に支持されたガイドプーリであり、これらガイ
ドプーリ３１、３２は互いに前後方向へ稍離間して配置
されている。

【００３３】そして、これらガイドプーリ２８、３１、
３２及び駆動プーリ３０は上記ワイヤ挿通孔２５、２５
と同じ高さに位置されている。

【００３４】３３は連結ワイヤであり、該連結ワイヤ３
３はその両端部がワーク台１３に取着された前記ワイヤ
固定部材２３、２３に各別に固定されることでワーク台
１３を介して無端状にされると共に、その半分余りの部
分は前記シール部材２６、２６のワイヤ挿通孔２５、２
５を通って外筐２外へ導出されてガイドプーリ２８、３
１、３２及び駆動プーリ３０に巻き付けられる。

【００３５】また、連結ワイヤ３３の両端部はワイヤ固
定部材２３、２３の挿通孔２３ａ、２３ａに挿入される
と共にその螺孔２３ｂ、２３ｂに螺合された止メネジ３
４、３４によってワイヤ固定部材２３、２３に固定され
る。

【００３６】そして、モータ２９が回転すると、駆動プ
ーリ３０が回転方向に応じた方向へ連結ワイヤ３３を送
って該連結ワイヤ３３を走行させるので、これにより、
ワーク台１３が左右方向へ移動される。

【００３７】このようなワーク台１３の移動は図１に実
線で示す初期位置と同図に２点鎖線で示す処理完了位置
との間で行なわれる。

【００３８】尚、連結ワイヤ３３には図示しないテンシ
ョナーによって常に適度な張力が与えられている。

【００３９】前記シール部材２６、２６はそれぞれ２つ
のハーフから成るハウジング３５と該ハウジング３５内
に位置されたパッキンとから成る（図５参照）。

【００４０】尚、図５には左側のシール部材２６を示す
が、右側のシール部材２６もこれと同じ形状及び構造を
している。

【００４１】ハウジング３５は略円板状で一側面の中央
部が外方に突出するように形成された外側ハーフ３６と
略円板状で外側ハーフ３６よりも一回り小さい内側ハー
フ３７とから成る。

【００４２】外側ハーフ３６の突出部３８は側壁８に形
成された孔２４に略ぴったり内嵌される外径をしており
、また、外側ハーフ３６の中心部には軸方向に貫通した
孔３９が形成されている。

【００４３】孔３９はその軸方向における内側の略半分
の部分３９ａが外側の略半分の部分３９ｂよりも大径に
形成されている。

【００４４】内側ハーフ３７の外径は上記外側ハーフ３
６の突出部３８の外径と同じでその中心部には板厚方向
に貫通する孔３７ａが形成されていて、該孔３７ａは外
側ハーフ３６の孔３９のうち内側半分の部分３９ａより
も稍小さくされている。

【００４５】４０は略リング状をしたパッキンであり、
該パッキン４０の外径は上記大径部３９ａの内径と略同
じで、また、内径は連結ワイヤ３３の線径よりも稍小さ
く形成されていて、このようなパッキン４０は外側ハー
フ３６の大径部３９ａ内に内嵌状に位置された後内側ハ
ーフ３７を外側ハーフ３６の大径部３９ａを覆うように
重ね合わせて外側ハーフ３６にネジ止メすることにより
ハウジング３５内に位置されて、外側ハーフ３６の孔３
９、パッキン４０の孔４０ａ及び内側ハーフ３７の孔３
７ａにより前記ワイヤ挿通孔２５が形成される。

【００４６】そして、上述のように一体化された外側ハ
ーフ３６、内側ハーフ３７及びパッキン４０は、側壁８
、１１の孔２４、２４にその外方から内側ハーフ３７及
び外側ハーフ３６の突出部３８が内嵌されて、外側ハー
フ３６の突出部３８以外の部分が側壁８又は１１にネジ
止メされて筐体２に取着される。

【００４７】４１は微粉体が貯留された微粉体供給タン
ク（図１に一部のみ示してある。）、４２は混合タンク
であり、これら微粉体供給タンク４１及び混合タンク４
２は筐体２の上面壁４３の上面に固定され、混合タンク
４２は上面壁４３の左右方向における略中央に位置され
ている。

【００４８】そして、混合タンク４２からはフレキシブ
ルな送風チューブ４４が延び、該送風チューブ４４は、
途中、上面壁４３に形成された孔４３ａに取着された円
筒状のシール部材４５の孔を挿通されて筐体２の内部に
導入されており、その先端部は噴射ノズル４６のノズル
部４７と接続されている。

【００４９】尚、混合タンク４２には微粉体供給タンク
４１から微粉体が随時補給されることで常時適当な量の
微粉体が貯留されると共に、図示しないエアコンプレッ
サから高圧空気が供給され、その高圧空気と混合された
微粉体は送風チューブ４４内を圧送されて噴射ノズル４
６に供給される。

【００５０】噴射ノズル４６は、上記ノズル部４７と、
該ノズル部４７を覆うノズルカバーと該ノズルカバーに
固定された２つの連結子等から成る。

【００５１】ノズル部４７は下面が開口した縦長の箱状
をしており、その前後幅が比較的小さく、また、その左
右幅は下半部がそれが上半部のそれより稍大きくなるよ
うに形成されており、その下端開口４７ａには左右方向
に長いノズルチップ４８が取着されており、該ノズルチ
ップ４８の下端４８ａは前後幅が狭められた吹出口にな
っている。

【００５２】そして、ノズル部４７の上端壁にはノズル
部４７の内部と連通された円管状のチューブ接続口４９
が突設され、このチューブ接続口４９に上記送風チュー
ブ４４の先端部が接続されており、従って、送風チュー
ブ４４内を圧送されて来た微粉体はノズル部４７の内部
を経てノズルチップ４８の吹出口４８ａから下方に向っ
て噴出され、その噴出は左右方向へのある程度の長さを
有する帯状に行なわれる。

【００５３】５０、５０はノズル部４７の前側壁に固定
されたナット部材であり、その軸心が前後方向を向く状
態で互いに左右方向へ離間して配置されている。

【００５４】５１はノズルカバーであり、ノズル部４７
より略ひと回り大きく、かつ、下面が開口した箱状をし
ており、その前側壁には上下方向に長い２つの長孔５１
ａ、５１ａが互いに平行に延びるように形成され、ノズ
ル部４７はこのようなノズルカバー５１内に配置される
と共に、上記長孔５１ａ、５１ａに外側から挿通された
ネジ５２、５２の先端部がノズル部４７のナット部材５
０、５０に螺合され、ネジ５２、５２を締め付けること
によりナット部材５０、５０とネジ５２、５２の頭部と
の間に長孔５１ａ、５１ａの側縁部が挟持されて、ノズ
ル部４７がノズルカバー５１に支持される。

【００５５】また、ノズル部４７のノズルカバー５１に
対する上下方向の位置はネジ５２、５２をゆるめた状態
で調整することができる。

【００５６】尚、ノズル部４７のチューブ接続口４９は
ノズルカバー５１の上面壁に形成された孔５１ａを通し
て上方へ突出されている。

【００５７】５３、５３はノズルカバー５１の上端面の
左右両端部に固定された連結子であり、前後方向へ延び
る取付孔５３ａ、５３ａが形成されていて、該取付孔５
３ａ、５３ａに後述するノズル駆動部の摺動軸が内嵌固
定される。

【００５８】５４は噴射ノズル４６を支持し、かつ、そ
れを前後方向へ移動させるためのノズル駆動部（図４及
び図１０参照。）である。

【００５９】５５はノズル駆動部５４の支持ベースであ
り、前記機枠９のうち筐体２の後側の部分に取着され、
水平な底部５６と該底部５６の前端部から立ち上げられ
た立上壁５７等から成る。

【００６０】そして、筐体２の背面壁５８の略中央部に
はその左右方向に適宜離間した位置に２つの孔５８ａ、
５８ａ（図面では一方のもののみ示してある。）が形成
され、これら孔５８ａ、５８ａは挿通孔５９ａ、５９ａ
が形成されたシール部材５９、５９によって各別に閉塞
されている。

【００６１】また、前記支持ベース５５の立上壁５７の
うち上記孔５８ａ、５８ａと各別に対向した位置には挿
通孔５７ａ、５７ａ（これも図１０に一方のもののみ示
してある。）が形成されている。

【００６２】上記立上壁５７の背面には２つのリニアガ
イド６０、６０（一方のもののみ示してある。）がその
摺動軸挿通孔６０ａ、６０ａが上記挿通孔５７ａ、５７
ａと各別に同軸となるように取着されている。

【００６３】６１、６１は円柱状をした摺動軸であり、
上記リニアガイド６０、６０の摺動軸挿通孔６０ａ、６
０ａ、立上壁５７の挿通孔５７ａ、５７ａ及びシール部
材５９、５９の挿通孔５９ａ、５９ａに摺動自在に挿通
されると共にその前端部は噴射ノズル４６の連結子５３
、５３に形成された取付孔５３ａ、５３ａに内嵌された
状態で該連結子５３、５３に固定されている。

【００６４】これにより、噴射ノズル４６はワーク台１
３の移動軌跡より稍上側に位置した状態で摺動軸６１、
６１を介してリニアガイド６０、６０に前後方向、即ち
、ワーク台１３の移動方向と直交する方向へ移動自在に
支持される。

【００６５】６２及び６２´はカウンタープーリであり
、前記支持ベース５５の底部５６の後端部及び立上壁５
７の中間部に突設された支持部材６３、６３´に回転自
在に支持され、これら２つのカウンタープーリ６２と６
２´との間に無端状のタイミングベルト６４が架け渡さ
れている。

【００６６】尚、上記２つのカウンタープーリ６２、６
２´の一方は図示しないモータにより回転され、それに
よりタイミングベルト６４が走行されるようになってい
る。

【００６７】６５はタイミングベルト６４に固定された
連結体であり、該連結体６５に摺動軸６１、６１の後端
部が固定され、従って、タイミングベルト６４が走行さ
れると連結体６５が摺動軸６１、６１と一体的に前後方
向へ移動される。

【００６８】尚、噴射ノズル４６は図４に実線で示す後
退位置と同図に２点鎖線で示す前進位置との間を移動さ
れるようになっている。

【００６９】６６は支持ベース５５に支持された補助ガ
イド軸であり、前後方向へ延び、上記連結体６５の上端
部がこの補助ガイド軸６６に摺動自在に支持されており
、これによって、摺動軸６１、６１及びこれに固定され
た噴射ノズル４６の姿勢が安定に保持される。

【００７０】しかして、このような微粉体噴射装置１に
よる基板１４に対するブラスト処理は、例えば、次のよ
うに行なわれる。

【００７１】先ず、基板１４をワーク台１３に上記した
ようにして載置支持する。

【００７２】この基板１４の支持は、前記したように、
ワーク台１３のワークテーブル２０を移動ベース１５か
ら取り外して行ない、該ワークテーブル２０に基板１４
を支持した後ワークテーブル２０を移動ベース１５に装
着し、作業口６ａを扉７によって閉塞して、筐体２の内
部を外部に対して略密閉状にする。

【００７３】そして、処理開始指令が為されると、ワー
ク台１３が初期位置から処理完了位置へ向けて移動し、
ワーク台１３上の基板１４の右端部が噴射ノズル４６の
移動軌跡と対向した位置に来たところでワーク台１３の
移動が停止する。

【００７４】次に、噴射ノズル４６が前進して基板１４
と対向したところから微粉体を噴射しながら前進して、
これにより、基板１４の前後方向へ帯状に延びる一の領
域に対するブラスト処理が行なわれる。

【００７５】そして、噴射ノズル４６が前進位置まで来
るとワーク台１３が処理完了位置へ向けて所定のピッチ
、即ち、噴射ノズル４６の吹出口４８ａの左右幅と略同
じ距離移動する。

【００７６】次に、噴射ノズル４６が微粉体を噴射しな
がら後退位置へ向けて移動し、これにより、別の一の領
域に対するブラスト処理が行なわれる。

【００７７】このようなワーク台１３のピッチ送りと噴
射ノズル４６の移動が繰り返し行なわれることにより、
基板１４の全面に対して微粉体の噴射が行なわれ、この
微粉体の噴射により、予めマスキングされた部分以外の
部分がブラスト処理される。

【００７８】そして、ワーク台１３が処理完了位置まで
来ると、該ワーク台１３は初期位置に戻され、噴射ノズ
ル４６からの微粉体の噴射が停止されると共に噴射ノズ
ル４６が後退位置に戻されてそこで待機される。

【００７９】６７、６７はノズルカバー５１の左右両側
壁から斜め上方へ向って突設されたホース接続管であり
、その孔はノズルカバー５１の内部と連通され、これら
ホース接続管６７、６７に蛇腹状をした回収ホース６８
、６８の一端部が接続され、該回収ホース６８、６８の
他端部は筐体２の上面壁４３を貫通するように設けられ
た管継手６９、６９と接続され、更に、該管継手６９、
６９には図示しない微粉体回収部から延びた吸引ホース
が接続されており、これにより、ノズルカバー５１の内
部が負圧にされている。

【００８０】従って、噴射ノズル４６から噴射されて基
板１４上でバウンドした微粉体の一部はノズルカバー５
１の内部空間−ホース接続管６７、６７−回収ホース６
８、６８−管継手６９、６９−図示しない吸引ホースを
通って微粉体回収部に吸引されて行く。

【００８１】７０は筐体２の後方に配置されたバルブブ
ロックであり、図示しない微粉体回収部と接続され、多
数の粉体バルブ７０ａ、７０ａ、・・・を備えている。

【００８２】７１及び７２は前記回収ホース６８、６８
と同様の回収ホースであり、その一つ７１の一端部は筐
体２の底頂部に位置した前記ホース接続口４ａに、また
、他端部はバルブブロック７０の一の粉体バルブ７０ａ
に各別に接続され、また、もう一つの回収ホース７２の
一端部はワーク台１３の移動ベース１５のホース接続口
１６ｃに、また、他端部は筐体２の下板部５に取着され
た管継手７３に各別に接続され、該管継手７３は図示し
ない接続ホースを介して別の一の粉体バブル７０ａと接
続されている。

【００８３】これにより、ワーク台１３の移動ベース１
５の内部及び筐体２の内部が負圧にされるので、噴射ノ
ズル４６から基板１４に噴射された微粉体のうち前記回
収ホース６８、６８を経て吸引された微粉体以外の微粉
体は、主として、移動ベース１５の内部−回収ホース７
２等を経て微粉体回収部に吸引され、また、ワーク台１
３及びノズルカバー５１の外へ飛散した微粉体は回収ホ
ース７１等を経て微粉体回収部に吸引されて行き、これ
らによって、噴射ノズル４６から基板１４に向けて噴射
された微粉体は残らず微粉体回収部に回収される。

【００８４】

【発明の効果】以上に記載したところから明らかなよう
に、本発明微粉体噴射装置は、加工室内において微粉体
を噴射してワークに所定の加工処理を行なう微粉体噴射
装置であって、ワークを載置するワーク台と、ワークに
微粉体を噴射する噴射ノズルとを備え、上記ワーク台を
Ｘ方向に移動すると共に上記噴射ノズルをＹ方向に移動
するようにして上記所定の加工処理を行なうようにした
ことを特徴とする。

【００８５】従って、本発明微粉体噴射装置によれば、
ワーク台の移動は、Ｘ方向のみでかつワークのＸ方向の
長さ分だけ行なえば良く、よって、微粉体噴射装置の平
面面積を小さくすることができ、微粉体噴射装置の小型
化を図ることができる。

【００８６】また、請求項２に記載の発明によれば、加
工室内における噴射ノズルに微粉体を供給する供給系を
フレキシブルチューブにしたので、噴射ノズルのＹ方向
の移動を容易に行なうことができる。

【００８７】また、請求項３に記載の発明によれば、噴
射ノズルの高さ調節を可能にしたので、噴射ノズルとワ
ークとの間の距離を適宜に設定することができ、ワーク
に対して適切な加工処理を行なうことができる。

【００８８】また、請求項４に記載に発明によれば、ス
ライド軸を蛇腹状の筒体で覆ったので、スライド機構、
即ち、スライド軸とリニアガイドに微粉体が付着又は侵
入することがなくスライド軸とリニアガイドとの摺動面
が摩耗されることを防止し、スライド機構のガタによる
機能低下を防止することができる。

【００８９】また、請求項５に記載の発明によれば、ワ
ーク台の駆動部及び噴射ノズルの駆動部を加工室外に設
けたので、駆動部に微粉体が付着又は侵入することがな
く駆動部の耐久性を低下させることなく安定したワーク
台及び噴射ノズルの移動を行なうことができる。

【００９０】また、請求項６に記載の発明によれば、ワ
ーク台とワーク台の駆動部とをワイヤーにて接続したの
で、加工室を覆う筐体にはワイヤーが挿通される挿通孔
のみを形成すれば良く、従って、加工室の密閉性を容易
に維持することができる。

【００９１】尚、前記実施例において示した具体的な形
状ないし構成は、本発明の実施に当たってのほんの一例
を示したものにすぎず、これらによって本発明の技術的
範囲が限定的に解釈されてはならない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明微粉体噴射装置の実施の一例を示すもの
で、筐体を一部切り欠いて示す要部の正面図である。

【図２】微粉体噴射装置の要部を筐体の一部を切り欠い
て示す斜視図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。

【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。

【図５】筐体のワイヤ挿通孔におけるシール部を拡大し
て示す垂直断面図である。

【図６】ワーク台を含む要部の拡大平面図である。

【図７】ワーク台を移動ベースとワークテーブルに分離
して示す拡大斜視図である。

【図８】図６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う拡大断面図
である。

【図９】噴射ノズルの一部を切り欠いて示す拡大斜視図
である。

【図１０】噴射ノズルの駆動部を拡大し、かつ、一部を
切り欠いて示す側面図である。

【符号の説明】

１　　微粉体噴射装置３　　加工室１０　　スライド軸１３　　ワーク台１４　　ワーク１９　　蛇腹状の筒体２８、２９、３０、３１、３２、３３　　ワーク台の駆
動部３３　　ワイヤ４４　　フレキシブルチューブ４６　　噴射ノズル５１ａ、５２　　ノズル高調整機構５４　　噴射ノズルの駆動部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　加工室内において微粉体を噴射してワ
ークに所定の加工処理を行なう微粉体噴射装置であって
、ワークを載置するワーク台と、ワークに微粉体を噴射
する噴射ノズルとを備え、上記ワーク台を直線方向（以
下、「Ｘ方向」という。）に移動すると共に上記噴射ノ
ズルをワーク台の移動方向と直交する方向（以下、「Ｙ
方向」という。）に移動するようにして上記所定の加工
処理を行なうようにしたことを特徴とする微粉体噴射装
置。
【請求項２】　　加工室内における噴射ノズルに微粉体
を供給する供給系をフレキシブルチューブにしたことを
特徴とする請求項１に記載した微粉体噴射装置。
【請求項３】　　ワークに微粉体を噴射する噴射ノズル
のワークに対する高さを可変とするノズル高調整機構を
備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載し
た微粉体噴射装置。
【請求項４】　　ワーク台を摺動自在に支持するスライ
ド軸を蛇腹状の筒体で覆ったことを特徴とする請求項１
、請求項２又は請求項３に記載した微粉体噴射装置。
【請求項５】　　Ｘ方向に移動するワーク台の駆動部及
びＹ方向に移動する噴射ノズルの駆動部を加工室外に設
けたことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３又
は請求項４に記載した微粉体噴射装置。
【請求項６】　　ワーク台と該ワーク台の駆動部とをワ
イヤで接続したことを特徴とする請求項１、請求項２、
請求項３、請求項４又は請求項５に記載した微粉体噴射
装置。