JP2020075200A - ドライアイス洗浄装置 - Google Patents
ドライアイス洗浄装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020075200A JP2020075200A JP2018208281A JP2018208281A JP2020075200A JP 2020075200 A JP2020075200 A JP 2020075200A JP 2018208281 A JP2018208281 A JP 2018208281A JP 2018208281 A JP2018208281 A JP 2018208281A JP 2020075200 A JP2020075200 A JP 2020075200A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- cleaning
- dry ice
- handling means
- cleaning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 186
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 90
- 235000011089 carbon dioxide Nutrition 0.000 title claims abstract description 90
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 132
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 34
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 34
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 26
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 16
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 14
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 11
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 9
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 9
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
図1は、ドライアイス洗浄装置10の構成を示す斜視図である。また、図2は、ドライアイス洗浄装置10から保護ケース等を取り除いた状態を示す斜視図である。図1および図2に示すように、示すドライアイス洗浄装置10は、基部20と、上部筐体30と、洗浄機構40と、吸引機構50と、ベルトコンベア装置60と、把持ロボット70と、制御ユニット80を主要な構成要素としている。
基部20は、ドライアイス洗浄装置10を支持する基礎となる部分であり、複数のフレーム21と、それら複数のフレーム21の間に存在する支持板22とを有している。複数のフレーム21は、たとえばアルミフレームのような長尺状の部材である。また、支持板22は、複数のフレーム21で区画された部位に取り付けられる板状の部材である。なお、基部20の上面側に位置する支持板22(支持板22aとする)は、必要に応じて適宜打ち抜かれた打ち抜き部分22bが存在している。そのような支持板22aの打ち抜き部分22bを介して、洗浄機構40と吸引機構50とが連通する構成となっている。
上部筐体30は、ドライアイス洗浄を行う際の作業室32を、外部から隔離する部分であり、また一定の部材を支持する部分である。この上部筐体30は、複数のフレーム31と、それら複数のフレーム31の間に存在する隔離板(図示省略)とを有している。フレーム31は、上述のフレーム21と同様に長尺状の部材であり、また隔離板は上述した支持板22と同様に複数のフレーム31で区画された部位に取り付けられる板状の部材である。なお、ドライアイス洗浄装置10には、フレーム31と隔離板(図示省略)とによって、外部から離隔された作業室32が形成される。したがって、作業室32内で噴射されたドライアイス粉末や飛散した塵埃が、外部に飛散してしまうのを防止可能となっている。
また、洗浄機構40は、洗浄対象であるワークWにドライアイス粒子を噴射させて、ワークWに付着している汚れや塵埃等の付着物を除去する機構である。この洗浄機構40は、洗浄機本体41と、連結ホース42と、噴射ノズル43と、ノズル押さえ部材44と、噴射ボックス45とを備えている。
図3は、噴射ノズル43、噴射ボックス45および下側の吸引機構50の位置関係を示す図である。図3に示すように、吸引機構50は、打ち抜き部分22bの下方側に配置されている。この吸引機構50は、吸引機本体51と、排気ダクト52とを備えている。
また、ベルトコンベア装置60は、ワークWを搬送する部分である。図4は、ベルトコンベア装置60を拡大して示す図である。本実施の形態では、ベルトコンベア装置60は、一対設けられている。以下の説明では、図1および図4においてY1側(一方側)に位置するベルトコンベア装置60をベルトコンベア装置60Aと称呼し、Y2側(他方側)に位置するベルトコンベア装置60をベルトコンベア装置60Bと称呼する。しかしながら、ベルトコンベア装置60Aとベルトコンベア装置60Bを区別する必要がない場合には、単にベルトコンベア装置60と称呼する。なお、ベルトコンベア装置60Aは供給搬送手段に対応し、ベルトコンベア装置60Bは排出搬送手段に対応する。
また、把持ロボット70は、ワークWを把持しつつ搬送する部分である。本実施の形態では、把持ロボット70は一対設けられている。以下の説明では、図1および図2においてY1側(一方側)に位置する把持ロボット70を把持ロボット70Aと称呼し、Y2側(他方側)に位置する把持ロボット70を把持ロボット70Bと称呼する。しかしながら、把持ロボット70Aと把持ロボット70Bを区別する必要がない場合には、単に把持ロボット70と称呼する。また、把持ロボット70Aの各構成要素には、必要に応じてアルファベット「A」を付して説明し、把持ロボット70Bの各構成要素には、必要に応じてアルファベット「B」を付して説明する。しかしながら、特に必要がない場合には、これらアルファベット「A」、「B」は省略する。
図6は、本実施の形態のドライアイス洗浄装置10における、制御的な構成を示す図である。図6に示すように、ドライアイス洗浄装置10は、制御ユニット80を備えている。なお、制御ユニット80は、制御手段に対応する。制御ユニット80は、たとえば、主制御部81と、洗浄制御部82と、吸引制御部83と、コンベア制御部84と、ロボット制御部85とを有している。これらのうち、主制御部81は、ドライアイス洗浄装置10の全体的な動作の制御を行う。洗浄制御部82は、主制御部81からの制御指令に基づいて洗浄機構40の圧送手段46の作動を司る。吸引制御部83は、主制御部81からの制御指令に基づいて吸引機構50の吸引機本体51の作動を司る。コンベア制御部84は、主制御部81からの制御指令に基づいてベルトコンベア装置60のモータ64の作動を司る。ロボット制御部85は、主制御部81からの制御指令に基づいて把持ロボット70の駆動源74の作動を司る。
以上のような構成を有するドライアイス洗浄装置10の動作フローについて、図7に基づいて以下に説明する。なお、以下の説明では、ワークWは直方体形状であり、洗浄面が6面存在するものとして説明する。
まず、一方の把持ロボット70AへのワークWの搬入動作を実行する。具体的には、制御ユニット80は、モータ64Aを作動させ、幅狭ベルト62Aを駆動させてワークWを下流側(X2側)へと送り込む。そして、検出センサ68AでワークWを検出すると、制御ユニット80はモータ64Aの作動を停止させる。その後に、制御ユニット80は、把持ロボット70の駆動源74を作動させて、チャック部73によってワークWを把持させる。なお、このとき、他方の把持ロボット70Bは、動作待機となっている。
次に、一方の把持ロボット70Aでは、ワークWの半分(3面)の洗浄を行う(第1回目の洗浄)。具体的には、制御ユニット80は、洗浄機本体41の圧送手段46を作動させて、噴射ノズル43から圧縮空気と共にドライアイス粒子をワークWに向けて噴射する。その状態で、制御ユニット80は、駆動源74の作動により多関節ロボット部72を作動させて、ワークWを移動させ、またワークWの向きを変えながら、ドライアイス粒子をワークWに噴射してワークWの洗浄を行う。そして、6面存在するワークWの表面のうち、半分である3面の洗浄を行う。なお、このときも、他方の把持ロボット70Bは、動作待機となっている。
一方の把持ロボット70Aで、ステップS2におけるワークWの洗浄が終了すると、一方の把持ロボット70Aは、ワークWを他方の把持ロボット70Bに受け渡す。具体的には、制御ユニット80は、一方の把持ロボット70Aと他方の把持ロボット70Bの作動を制御して、一方の把持ロボット70Aのチャック部73Aと、他方の把持ロボット70Bのチャック部73Bとを近接させる。そして、チャック部73AでのワークWの保持を解除すると共に、チャック部73BがワークWを保持するように、その作動を制御する。
次に、一方の把持ロボット70Aは、新たなワークWの搬入動作を実行する。なお、このとき、一方の把持ロボット70Aは、ステップS1で説明したのと同様の動作を実行するため、動作の詳細についての説明は省略する。
次に、一方の把持ロボット70Aでは、ワークWの半分(3面)の洗浄を行う。なお、このとき、一方の把持ロボット70Aは、ステップS2で説明したのと同様の動作を実行するため、動作の詳細についての説明は省略する。
次に、制御ユニット80は、ワークWの洗浄処理を終了するか否かを判定する。具体的には、ワークWの予定洗浄枚数に到達した場合、または検出センサ68AによってワークWが検出されない状態が所定時間継続した場合等のような、一定の終了条件を満たした場合には、制御ユニット80は、ワークWの洗浄処理を終了すると判断する。そして、ドライアイス洗浄装置10の全体的な作動を停止したり、ドライアイス洗浄装置10を作動待機状態とする。一方、制御ユニット80が、上述した一定の終了条件を満たしていないと判断した場合には、再びステップS3に戻り、ワークWの洗浄処理を継続する。
[10.効果について]
以上のような構成のドライアイス洗浄装置10によると、ドライアイス粒子を含む圧縮エアをワークWに噴射する噴射ノズル43を備え、噴射ノズル43から圧縮エアをワークWに噴射することで、ワークWから付着物を除去する洗浄機構40A(第1洗浄機構)および洗浄機構40B(第2洗浄機構)を備える。また、ワークWから除去された付着物および圧縮エアを吸引して外部に排出する吸引機構50A(第1吸引機構)および吸引機構50B(第2吸引機構)を備える。また、ワークWを把持するチャック部73と、チャック部73の噴射ノズル43に対する位置および向きを変更してワークWを圧縮エアが噴射される部位に移動させる多関節ロボット部72(アーム部)とを備える把持ロボット70A(第1ハンドリング手段)および把持ロボット70B(第2ハンドリング手段)を備える。また、圧縮エアを噴射させた状態でワークWの位置および向きを変更することで付着物をワークWから除去するように、少なくとも把持ロボット70A(第1ハンドリング手段)および把持ロボット70B(第2ハンドリング手段)のそれぞれの多関節ロボット部72(アーム部)の作動を制御する制御ユニット80(制御手段)と、を備える。
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
Claims (7)
- ワークに付着している付着物を除去するドライアイス洗浄装置であって、
ドライアイス粒子を含む圧縮エアを前記ワークに噴射する噴射ノズルを備え、該噴射ノズルから前記圧縮エアを前記ワークに噴射することで、前記ワークから付着物を除去する第1洗浄機構および第2洗浄機構と、
前記ワークから除去された前記付着物および前記圧縮エアを吸引して外部に排出する第1吸引機構および第2吸引機構と、
前記ワークを把持するチャック部と、前記チャック部の前記噴射ノズルに対する位置および向きを変更して前記ワークを前記圧縮エアが噴射される部位に移動させるアーム部とを備える第1ハンドリング手段および第2ハンドリング手段と、
前記圧縮エアを噴射させた状態で前記ワークの位置および向きを変更することで前記付着物を前記ワークから除去するように、少なくとも前記第1ハンドリング手段および前記第2ハンドリング手段のそれぞれの前記アーム部の作動を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記第1洗浄機構の作動状態で前記第1ハンドリング手段が前記ワークを把持した状態でその作動を制御することで前記ワークの第1回目の洗浄を実行し、
前記制御手段は、前記第1回目の洗浄の後に、前記第1ハンドリング手段および前記第2ハンドリング手段の作動を制御することで、前記ワークの洗浄済みの部位を前記第2ハンドリング手段に把持させるように前記ワークを受け渡し、
その受け渡しの後に、前記制御手段は、前記第2洗浄機構の作動状態で前記第2ハンドリング手段が前記ワークを把持した状態でその作動を制御することで前記ワークの第2回目の洗浄を実行する、
ことを特徴とするドライアイス洗浄装置。 - 請求項1記載のドライアイス洗浄装置であって、
前記制御手段は、前記ワークの外面のうちの半分の面を前記第1回目の洗浄で洗浄するように前記第1ハンドリング手段の作動を制御すると共に、
前記ワークを前記第1ハンドリング手段から前記第2ハンドリング手段に受け渡した後に、前記制御手段は、前記ワークの外面のうちの残り半分の面を前記第2回目の洗浄で洗浄するように前記第2ハンドリング手段の作動を制御する、
ことを特徴とするドライアイス洗浄装置。 - 請求項1または2記載のドライアイス洗浄装置であって、
前記制御手段の制御に基づいて、前記ワークを前記第1ハンドリング手段に向けて供給する供給搬送手段と、
前記第2洗浄機構での洗浄が終了した前記ワークを前記第2ハンドリング手段から受け渡されて、前記制御手段での制御に基づいて前記ワークを外部に排出する排出搬送手段と、
を備えることを特徴とするドライアイス洗浄装置。 - 請求項3記載のドライアイス洗浄装置であって、
前記供給搬送手段は搬送ベルトを備えると共に、
前記供給搬送手段における前記ワークの搬送方向の下流側の端部は、ストッパ板と対向して設けられていて、
前記ストッパ板には、前記ワークが衝突すると共に、その衝突状態で前記ワークが前記搬送ベルトから突出する、
ことを特徴とするドライアイス洗浄装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のドライアイス洗浄装置であって、
前記ワークを一時的に載置する仮置き台を備え、
前記制御手段は、前記第1ハンドリング手段および前記第2ハンドリング手段のいずれかが作動しないときに、単独制御モードを実施すると共に、
前記単独制御モードでは、前記第1ハンドリング手段および前記第2ハンドリング手段のいずれかを作動させて、前記ワークの第1回目の洗浄を実行した後に、前記ワークを前記仮置き台に載置し、その後に、前記ワークのうち洗浄済みの部位を把持して、前記ワークの第2回目の洗浄を実行する、
ことを特徴とするドライアイス洗浄装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のドライアイス洗浄装置であって、
前記第1吸引機構および前記第2吸引機構は、それぞれ前記第1洗浄機構および前記第2洗浄機構から噴射される前記圧縮エアの噴射方向に配置されている、
ことを特徴とするドライアイス洗浄装置。 - 請求項6記載のドライアイス洗浄装置であって、
前記噴射ノズルは、前記第1ハンドリング手段および前記第2ハンドリング手段と対向する部位が開口している開口部を備える噴射ボックスで覆われている、
ことを特徴とするドライアイス洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018208281A JP6756956B2 (ja) | 2018-11-05 | 2018-11-05 | ドライアイス洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018208281A JP6756956B2 (ja) | 2018-11-05 | 2018-11-05 | ドライアイス洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020075200A true JP2020075200A (ja) | 2020-05-21 |
JP6756956B2 JP6756956B2 (ja) | 2020-09-16 |
Family
ID=70723159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018208281A Active JP6756956B2 (ja) | 2018-11-05 | 2018-11-05 | ドライアイス洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6756956B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115616856A (zh) * | 2022-12-19 | 2023-01-17 | 深圳仕上电子科技有限公司 | 一种掩模板清洗工艺 |
CN116274177A (zh) * | 2023-04-06 | 2023-06-23 | 广东合晟新能源科技有限公司 | 干冰清洗机及清洗方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001341053A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-11 | Nippon Steel Corp | アルミダイカストの仕上げ方法及び装置 |
JP2003103226A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-08 | Keihin Corp | 洗浄装置 |
JP2018153748A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 新東工業株式会社 | 付着物除去方法 |
-
2018
- 2018-11-05 JP JP2018208281A patent/JP6756956B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001341053A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-11 | Nippon Steel Corp | アルミダイカストの仕上げ方法及び装置 |
JP2003103226A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-08 | Keihin Corp | 洗浄装置 |
JP2018153748A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 新東工業株式会社 | 付着物除去方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115616856A (zh) * | 2022-12-19 | 2023-01-17 | 深圳仕上电子科技有限公司 | 一种掩模板清洗工艺 |
CN116274177A (zh) * | 2023-04-06 | 2023-06-23 | 广东合晟新能源科技有限公司 | 干冰清洗机及清洗方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6756956B2 (ja) | 2020-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5812003B2 (ja) | 板状部材の加工装置およびその加工方法 | |
JP6618724B2 (ja) | 工作機械、ワーク清掃方法 | |
JP2021519222A (ja) | 廃棄物選別ガントリロボット | |
JP4881123B2 (ja) | 実装機およびその部品清掃方法 | |
US11192152B2 (en) | Cleaning apparatus and method of cleaning and drying an object | |
KR20160119065A (ko) | 로봇 핸드, 로봇, 및 로봇 셀 | |
WO2009071274A1 (en) | Robotic cell for loading and unloading cutting tools | |
JP2020075200A (ja) | ドライアイス洗浄装置 | |
KR102608681B1 (ko) | 클리닝 헤드 및 청소 방법 | |
JP2002016124A (ja) | ウェーハ搬送アーム機構 | |
JP2020082074A (ja) | 加圧水洗浄装置 | |
JP5721089B1 (ja) | 仮設機材洗浄装置 | |
JP5184291B2 (ja) | 除塵システム | |
JP6715326B2 (ja) | 実装ヘッド及び実装装置 | |
JP5389473B2 (ja) | スピンナ洗浄装置 | |
JP5538971B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP5573748B2 (ja) | 基板位置検出センサの清掃治具及び清掃方法 | |
TWI468257B (zh) | A lapping apparatus, a grinding method, and a manufacturing method of a sheet-like member | |
JP6579594B1 (ja) | テープ剥離装置 | |
JP4256510B2 (ja) | サンドブラスト加工における被加工物のクリーニングユニット | |
JP7634432B2 (ja) | 搬送機構 | |
CN117203020A (zh) | 工具输送装置 | |
CN112847162A (zh) | 一种工业机器人自动化喷砂及回收装置 | |
JP2016149447A (ja) | 洗浄ガン | |
JP7356368B2 (ja) | 基板乾燥装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181210 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20190131 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200630 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200720 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6756956 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |