JP2020082074A - 加圧水洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送する板状の被洗浄体に加圧水を吹き付けて洗浄する方法において、被洗浄体に未洗浄や洗浄不十分な部分が生じないようにできる。
【解決手段】複数の噴出ノズル１７２Ａが直線方向に間隔を置いて配置された棒状のノズルヘッド１７２を有する加圧水噴出棒状ガン１５６を用いて、ノズルヘッド１７２に旋回円運動の偏心揺動をさせながら複数の噴出ノズル１７２Ａから加圧水を噴出させて一定速度で搬送される被洗浄体Ｗに吹き付ける。
【選択図】図８

Description

本発明は加圧水洗浄装置に係り、特に電子機器を構成するフレーム（又はパネル）を洗浄する技術に関する。

電子機器の製造技術分野において、電子機器を構成するフレーム（又はパネル）は、積載保管される際に、傷や埃などの異物等が付かないように電子部品が搭載されるフレームの表面部分に保護テープを貼着することが行われている。そして、フレームの使用時に、フレームから貼着されたテープを剥離した後、フレームを未洗浄や洗浄不十分な部分がないように確実に且つ綺麗に洗浄する。

従来、電子機器関係で使用される洗浄装置としては、例えば特許文献１や特許文献２がある。
特許文献１の洗浄装置は、液晶パネルを洗浄するものであり、洗浄液が溜まった洗浄槽に複数枚の液晶パネルを浸漬させ、洗浄槽内で洗浄液を対流させることにより洗浄する。また、特許文献２の洗浄装置は、リングフレームの洗浄装置であり、洗浄槽内に保持したリングフレームを回転させ、回転するリングフレームに温水をかけたり、回転ブラシを接触させたりして洗浄する。

特開平８−１７９２９３号公報 特開平５−２５３５５２号公報

しかしながら、特許文献１や特許文献２の洗浄装置は、洗浄槽内で被洗浄体を洗浄するバッチ式洗浄であり、電子機器の製造における搬送ラインに組み込んで製造ラインの連続的な流れの中で洗浄する連続式洗浄を行うことができない。

連続式洗浄の方法として、搬送ラインを搬送される被洗浄体に加圧水等の洗浄液を吹き付けることも考えられるが、被洗浄体に未洗浄や洗浄不十分な部分が生じ易い。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、搬送する板状の被洗浄体に加圧水を吹き付けて洗浄する方法において、被洗浄体に未洗浄や洗浄不十分な部分が生じないようにできるので、連続式洗浄を行うことができる加圧水洗浄方法及び加圧水洗浄装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明の加圧水洗浄方法によれば、複数の噴出ノズルが直線方向に間隔を置いて配設された棒状のノズルヘッドに旋回円運動の偏心揺動をさせながら複数の噴出ノズル加圧水を噴出させて一定速度で搬送される被洗浄体に吹き付けるようにしたので、被洗浄体に加圧水を満遍なく吹き付けることができると共に、被洗浄体に衝突する加圧水の衝突軌跡が重なり合う。これにより、加圧水の衝突密度、即ち被洗浄体を洗浄するための洗浄エネルギー密度を高くすることができるので、被洗浄体に未洗浄や洗浄不十分な部分が生じないようにできる。

また、前記目的を達成するために、本発明の装置は、搬送する板状の被洗浄体に加圧水を吹き付けて洗浄する加圧水洗浄装置において、被洗浄体を上ローラと下ローラとで挟持搬送するローラ搬送手段と、ローラ搬送手段のローラ長さ方向の一方端側に設けられ、旋回円運動の偏心揺動動作を行う駆動側偏心揺動機構と、ローラ搬送手段のローラ長さ方向の他方端側に設けられ、旋回円運動の偏心揺動動作を行う従動側偏心揺動機構と、駆動側偏心揺動機構に偏心揺動動作を駆動させるモータと、ローラ搬送手段の上方及び下方の少なくとも一方に配置され、駆動側偏心揺動機構及び従動側偏心揺動機構に両端部が支持されると共にモータの駆動による駆動側偏心揺動機構の偏心揺動を従動側偏心揺動機構に伝達する長尺な揺動板と、駆動側偏心揺動機構に設けられたモータの駆動力を従動側偏心揺動機構に伝達するタイミングベルト機構と、揺動板に搭載され、揺動板の長手方向に間隔を置いて加圧水を噴出する複数の噴出ノズルが配置されたノズルヘッドを有する加圧水噴出棒状ガンと、加圧水洗浄装置を制御する制御手段と、を備え、従動側偏心揺動機構は、駆動側偏心揺動機構に設けられた１つのモータの駆動力が、揺動板を介して伝達される第１の動力伝達ルートとタイミングベルト機構を介して伝達される第２の動力伝達ルートとの２つの動力伝達ルートで伝達されることによって従動的に動くことを特徴とする。

本発明の加圧水洗浄装置は、上記した本発明の加圧水洗浄方法を行う装置として構成したものである。本発明の加圧水洗浄装置によれば、従動側偏心揺動機構は、駆動側偏心揺動機構に設けられた１つのモータの駆動力が、揺動板を介して伝達される第１の動力伝達ルートとタイミングベルト機構を介して伝達される第２の動力伝達ルートとの２つの動力伝達ルートで伝達されることによって従動的に動くように構成されている。このように、1つのモータの駆動力で駆動側偏心揺動機構と従動側偏心揺動機構とを同時に駆動するようにしたので、駆動側偏心揺動機構と従動側偏心揺動機構との揺動偏心動作にズレが生じることがない。

また、１つのモータの駆動力は２つの動力伝達ルートで駆動側偏心揺動機構から従動側偏心揺動機構に伝達されるので、モータのトルクを確実に従動側偏心揺動機構に伝達することができる。これにより、加圧水洗浄装置を始動したり停止したりするときに加圧水洗浄装置をスムーズに始動させたり停止させたりすることができる。

本発明の加圧水洗浄装置において、駆動側偏心揺動機構及び従動側偏心揺動機構は、胴体部に回転自在に支持されたメインスピンドルと、メインスピンドルの先端部にメインスピンドルの軸芯に対して偏心した位置に設けられた偏心スピンドルと、偏心スピンドルに回転自在に支持された偏心揺動部材と、駆動側偏心揺動機構及び従動側偏心揺動機構の少なくとも駆動側偏心揺動機構に設けられ、メインスピンドルの回転ブレを防止するバランスウエイトと、を備えることが好ましい。

これは、駆動側偏心揺動機構及び従動側偏心揺動機構の構造の好ましい一例を示したものであり、このように構成することで加圧水噴出棒状ガンを搭載した揺動板に旋回円運動の偏心揺動動作を行わせることができる。

本発明の加圧水洗浄装置において、揺動板はローラ搬送手段の上方及び下方の両方に配置され、それぞれの揺動板に加圧水噴出棒状ガンが搭載されて、被洗浄体の両面を同時に洗浄することが好ましい。

これにより、被洗浄体の両面に対して加圧水の衝突密度、即ち被洗浄体を洗浄するための洗浄エネルギー密度を高くすることができるので、被洗浄体の両面に未洗浄や洗浄不十分な部分が生じないように同時に洗浄することができる。

本発明の加圧水洗浄装置において、駆動側偏心揺動機構及び従動側偏心揺動機構の偏心量は５ｍｍ〜７ｍｍの範囲であり、揺動板の長手方向の直線揺動ストロークは１０ｍｍ〜１４ｍｍであることが好ましい。

これは、加圧水の衝突密度、即ち被洗浄体を洗浄するための洗浄エネルギー密度を高くするのに好適な偏心揺動の偏心量を示したものである。

本発明の加圧水洗浄装置において、モータはインバータを備えたＤＣサーボモータであり、制御手段は、加圧水洗浄装置の運転開始時にはモータの回転速度を徐々に速くすると共に運転停止時にはモータの回転速度を徐々に遅くすることが好ましい。

このように、モータを、インバータを備えたＤＣサーボモータにすることで、モータの回転速度を高精度に制御することができる。したがって、加圧水洗浄装置を始動するときには、モータをゆっくりした回転速度から始動して所定の回転速度に達するようにでき、停止するときも回転速度を徐々に落とすことができる。

これにより、１つのモータで駆動側偏心揺動機構と従動側偏心揺動機構との両方を同時に駆動する場合であっても加圧水洗浄装置を一層スムーズに始動させたり停止させたりすることができる。

本発明の加圧水洗浄装置において、従動側偏心揺動機構の従動回転状態をセンシングする近接フォトセンサが設けられ、制御手段は近接フォトセンサのセンシング結果に基づいてモータを制御することが好ましい。これにより、従動動作する従動側偏心揺動機構の従動回転状態に異常があれば、制御手段は加圧水洗浄装置を停止できる。

本発明の加圧水洗浄方法及び加圧水洗浄装置によれば、搬送する板状の被洗浄体に加圧水を吹き付けて洗浄する方法において、被洗浄体に未洗浄や洗浄不十分な部分が生じないようにできるので、連続式洗浄を行うことができる。

本発明の加圧水洗浄装置を組み込んだテープ剥離洗浄ラインの各ステーションを説明する説明図 テープ剥離洗浄ラインにおける加圧水洗浄装置の前段に設けたテープ剥離装置でテープ剥離される被貼着体の一例を示した斜視図 テープ剥離装置の全体構成を説明する側面図 テープ剥離装置の主要部分を説明する斜視図 テープ剥離装置における被貼着体搬送手段の磁石手段を説明する斜視図 テープ剥離装置における加圧水噴出ガンを説明する説明図 テープ剥離装置におけるテープ回収手段を説明する説明図 テープ剥離洗浄ラインに組み込んだ本発明の加圧水洗浄装置について説明する説明図 本発明の加圧水洗浄装置の加圧水噴出ガンと偏心揺動機構とを上から見た上面図

以下添付図面に従って、本発明に係る加圧水洗浄方法及び加圧水洗浄装置の好ましい実施の形態について詳述する。

図１は、本発明の加圧水洗浄装置が組み込まれたテープ剥離洗浄ラインの各ステーションを説明する説明図である。

図１に示すように、テープ剥離洗浄ライン１０は、供給ステーション１２と、テープ剥離ステーション１４と、検査ステーション１６と、本発明の加圧水洗浄装置を組み込んだ洗浄ステーション１８と、乾燥ステーション２０と、収納ステーション２２と、の各ステーションで構成される。そして、供給ステーション１２から収納ステーション２２まで被貼着体Ｗ（図２参照）を連続搬送する搬送ライン２４が設けられている。

供給ステーション１２では、積載されたテープ剥離前の被貼着体Ｗをテープ剥離ステーション１４に供給する。被貼着体Ｗの供給手段としては、例えば積層状に積載された被貼着体Ｗ（テープＴが貼着されたもの）を一枚ずつ吸盤２６Ａに吸着してテープ剥離ステーション１４に供給する供給ロボット２６を使用することができる（図３参照）。

テープ剥離ステーション１４は、テープ剥離装置２８を有し、「被貼着体ＷのテープＴに加圧水を吹き付けてテープＴを被貼着体Ｗから剥離する」テープ剥離方法を行う。

検査ステーション１６では、例えば図示しない撮像手段（ＣＣＤカメラ等）により被貼着体Ｗの表面を撮像し、撮像結果を解析することによって被貼着体ＷからテープＴが剥離されたことをチェックする。そして、テープ剥離が不完全な被貼着体Ｗは上記した搬送ライン２４から除去される。

洗浄ステーション１８は、被貼着体Ｗの裏面を洗浄する本発明の実施の形態の加圧水洗浄装置３０（図８参照）を有し、テープ剥離後の被貼着体Ｗの裏面を洗浄する。

乾燥ステーション２０では、裏面洗浄した後の被貼着体Ｗを乾燥する。被貼着体Ｗの品質に悪影響のない乾燥方法であればどのような乾燥でもよいが、例えば熱風乾燥を好適に使用することができる。

収納ステーション２２では、乾燥後の被貼着体Ｗを一枚ずつ受け取り、例えば図示しないラックに積載収納する。被貼着体Ｗの収納手段としては、供給ロボット２６と同様な回収ロボット（図示せず）を使用することができる。即ち、回収ロボットは、搬送ライン２４の終点位置に搬送された被貼着体Ｗを一枚ずつ吸盤に吸着して収納ステーション２２に運びラック内に収納する。

搬送ライン２４は、被貼着体Ｗを連続搬送できればよく、各ステーションの搬送方式が同じであることを意味しない。

なお、本発明は加圧水洗浄方法及び加圧水洗浄装置に関するものであるが、加圧水洗浄装置３０の前段に設けられているテープ剥離装置２８について先ず説明した後に、本発明の実施の形態の加圧水洗浄装置３０について説明する。

［テープ剥離装置］
テープ剥離装置２８でテープ剥離される被貼着体Ｗは、被貼着体Ｗの少なくとも裏面が磁石に吸着可能な材質で形成されていることが前提であり、形状としては板状であることが好ましい。

図２は、本実施の形態において、テープ剥離装置２８でテープ剥離される被貼着体Ｗの一例を示した斜視図である。

図２に示すように、テープＴが貼着された被貼着体Ｗは、中央に四角い開口Ｈを有する四角い薄板状のフレームＦとして形成され、電気部品が搭載される表面の開口側部分に四角い形状になるようにテープＴ（例えば保護テープ）が貼着されている。図２において、矢印Ａは被貼着体Ｗが搬送される方向を示し、ＷＡは搬送方向から見た被貼着体Ｗの側辺を示す。

磁石に吸着可能な材質の被貼着体Ｗとしては、例えばフェライト系ステンレスやマルテンサイト系ステンレス（ＪＩＳ４００番台）を使用できる。

図３は、テープ剥離装置２８の全体構成を説明する側面図であり、図４は主要部分の斜視図である。

図３及び図４に示すように、テープ剥離装置２８は、主として被貼着体ＷのテープＴに加圧水を吹き付けてテープＴを被貼着体Ｗから剥離するテープ剥離部３２と、テープ剥離前の被貼着体Ｗをテープ剥離部３２に搬入し、テープ剥離後の被貼着体Ｗをテープ剥離部３２から搬出する被貼着体搬送手段３４と、テープ剥離装置２８を制御する制御手段３５（図1参照）と、で構成される。

テープ剥離部３２及び被貼着体搬送手段３４は装置フレーム３６に設けられる。また、本実施の形態では、テープ剥離洗浄ライン１０の全体を制御する制御手段３５でテープ剥離装置２８も制御する例で説明するが、テープ剥離装置２８の専用の制御手段を設けてもよい。

なお、図３及び図４において、被貼着体搬送手段３４による被貼着体Ｗの搬送方向をＹ軸方向、水平面上でＹ軸方向に直交する方向をＸ軸方向、高さ方向をＺ軸方向として説明する。

（被貼着体搬送手段）
被貼着体搬送手段３４は、主として、磁石に吸着しにくい材質で水平方向に配設された長尺な板であって、被貼着体Ｗが載置されると共にテープ剥離部３２が板の上方側に配設された載置板３８と、被貼着体Ｗが載置板３８に載置される際に載置板３８の幅方向（Ｘ軸方向）に対する被貼着体の幅方向（Ｘ軸方向）の位置決めを行う位置決め手段４０と、載置板３８の下方側に設けられ、載置板３８に載置された被貼着体Ｗの裏面を載置板３８を介して吸着及び脱着する磁石手段４２と、載置板３８の下方側に設けられ、磁石手段４２を載置板３８の長手方向（Ｙ軸方向）において往復移動させる往復移動手段４４と、被貼着体Ｗを載置板３８の終点位置である送出位置から検査ステーション１６に送出する送出手段４５と、で構成される。

また、制御手段３５が磁石手段４２の吸着及び脱着のタイミング及び往復移動手段４４の往復タイミングを制御する。

図３及び図４に示すように、載置板３８は磁石に吸着しにくい材質で水平方向に配設された長尺な四角板で形成され、載置板３８の上方側と下方側との間で水等の液体の通過はない。載置板３８は４隅が装置フレーム３６の床面３６Ａに立設された４本の支柱３７，３７…に支持される。

磁石に吸着しにくい（全く吸着しない場合も含む）材質の載置板３８としては、例えばオーステナイト系ステンレス（ＪＩＳ３００番台）を使用することができる。

そして、載置板３８に載置された被貼着体Ｗの裏面を載置板３８を介して磁石手段４２で吸着した状態で、往復移動手段４４により磁石手段４２を被貼着体Ｗの搬送方向である載置板３８の長手方向（Ｙ軸方向）に移動させる。これにより、被貼着体Ｗは磁石手段４２の移動に伴って載置板３８の上を滑るようにＹ軸方向に移動するので、被貼着体Ｗをテープ剥離部３２に搬入したり、テープ剥離部３２から搬出したりすることができる。

このように、被貼着体搬送手段３４は、被貼着体Ｗが載置板３８の上を滑ることにより、被貼着体Ｗを移動させる搬送方式なので、載置板３８の上面（被貼着体Ｗが載置される面）には多数の半球体状の微小突起４６，４６…が形成されている。これにより、被貼着体Ｗの裏面と載置板３８の上面との接触面積が小さくなり滑り摩擦を小さくできるので、被貼着体Ｗをスムーズに搬送することができる。

載置板３８の上面に形成される半球体状の微小突起４６の大きさ（半球体の直径）は、被貼着体Ｗの滑り摩擦を小さくできること、被貼着体Ｗを磁石手段４２で載置板３８を介して吸着できること、載置板３８の上面に水が溜まりにくいこと等の条件を満足するように設計することが好ましく、例えば直径が１０〜２０ｍｍ程度が適当である。

載置板３８に載置される被貼着体Ｗは、位置決め手段４０によって載置板３８の幅方向（Ｘ軸方向）に対する被貼着体Ｗの幅方向（Ｘ軸方向）の位置決めが行われる。位置決めを行う理由については後記するテープ剥離部３２で説明する。

図３及び図４に示すように、位置決め手段４０は、主として被貼着体Ｗを搬送するベルトコンベア４８と、ベルトコンベア４８で搬送される被貼着体Ｗの両側辺ＷＡ，ＷＡ（図２参照）に当接して回転する複数のガイドローラ５０，５０…と、ベルトコンベア４８を上下動させる上下動手段５２と、で構成される。ベルトコンベア４８及びガイドローラ５０は装置フレーム３６の内部に設けられた支持フレーム５４に設けられ、装置フレーム３６の床面３６Ａに立設された上下動手段５２に支持フレーム５４が支持される。

ベルトコンベア４８は、載置板３８の両側にＹ軸方向に平行走行する一対の無端状ベルト５６，５６を有する。一対の無端状ベルト５６，５６は、支持フレーム５４に回転自在に支持された複数の搬送用ローラ５８に掛け渡される。これにより、載置板３８と平行な搬送部分を有するベルトコンベア４８が形成される。そして、複数の搬送用ローラ５８の１つを回転駆動することで一対の無端状ベルト５６，５６を回動し、被貼着体Ｗを搬送する。ベルトコンベア４８の駆動は制御手段３５によって制御される。

複数のガイドローラ５０は、ベルトコンベア４８の両側にＹ軸方向に等間隔で配置され、ベルトコンベア４８で搬送される被貼着体Ｗの両側辺ＷＡ，ＷＡに当接して回転する。これにより、被貼着体Ｗの搬送をガイドすると共に搬送先である載置板３８の幅方向に対する被貼着体Ｗの幅方向の位置決めを行う。

上下動手段５２は、ベルトコンベア４８及びガイドローラ５０が設けられた支持フレーム５４を上下動させる。そして、ベルトコンベア４８が載置板３８の上方に位置する待機位置と、一対の無端状ベルト５６と載置板３８との高さが同じになる被貼着体Ｗの受け渡し位置との間で上下動する。上下動手段５２としては、例えば図３に示すようにシリンダ装置を使用することができる。上下動手段５２は制御手段３５によって制御される。これにより、載置板３８の幅方向に対する被貼着体Ｗの幅方向の位置決めをした状態で、被貼着体Ｗをベルトコンベア４８から載置板３８に受け渡すことができる。

図５は、被貼着体搬送手段３４の磁石手段４２を説明する斜視図である。

図５に示すように、磁石手段４２は、主として、載置板３８の下方に載置板３８の面と平行な面を有して設けられた板状の磁石保持板６０と、磁石保持板６０の載置板３８側に配設された複数の永久磁石６２，６２…（図５では４個）と、磁石保持板６０を昇降させることによって載置板３８に載置された被貼着体Ｗの裏面を載置板３８を介して吸着及び脱着する昇降手段６４と、で構成される。

図５に示すように、矩形板状の磁石保持板６０の４角からＸ軸方向に張り出した張り出し板６０Ａ，６０Ａ…に永久磁石６２，６２…がそれぞれ固定され、合計４個固定される。４個の永久磁石６２の吸着面６２Ａは面一になるように形成されていると共に４個の永久磁石６２の吸着面６２Ａは磁石保持板６０の上面６０Ｂから僅かに（例えば１〜２ｍｍ程度）突出させることが好ましい。これにより、４個の永久磁石６２の吸着面６２Ａが載置板３８の裏面に均等に当接すると共に、磁石手段４２を載置板３８の長手方向（Ｙ軸方向）に移動させたときに、磁石保持板６０の上面６０Ｂと載置板３８の下面とが擦れない。したがって、載置板３８に対する磁石手段４２の移動をスムーズに行うことができる。

なお、本実施の形態では、磁石保持板６０の４隅に永久磁石６２をそれぞれ設けたが、永久磁石６２の配置位置や数は特に限定されない。要は載置板３８に載置された被貼着体Ｗの裏面を載置板３８を介して確実に吸着できればよい。

更には、磁石保持板６０の４隅の張り出し板６０ＡのＹ軸方向の間には、Ｙ軸方向に回転自在に支持された補助ローラ６８が合計４個設けられる。即ち、磁石保持板６０の幅方向（Ｘ軸方向）両側に２個ずつ補助ローラ６８が設けられる。

これにより、載置板３８に載置された被貼着体Ｗの裏面を載置板３８を介して吸着したときに、４個の永久磁石６２と一緒に４個の補助ローラ６８が載置板３８の裏面に当接する。そして、磁石手段４２を載置板３８の長手方向（Ｙ軸方向）に移動させたときに、補助ローラ６８が載置板３８の裏面を載置板３８の長手方向（Ｙ軸方向）に回転走行するので、磁石手段４２の移動を一層スムーズに行うことができる。

なお、補助ローラ６８を合計で４個設けたが、補助ローラ６８の配置位置や数は特に限定されない。要は補助ローラ６８によって磁石手段４２の移動をスムーズに行えればよい。

また、図５に示すように、昇降手段６４としては、磁石保持板６０を載置板３８に対して接離（接近及び離間）できるものであればどのようなものでもよいが、ピストンロッド６４ＡがＺ軸方向に伸縮するシリンダ装置を好適に使用できる。

昇降手段６４としてシリンダ装置を使用した場合、ピストンロッド６４Ａの先端と磁石保持板６０とは球体継手７０で連結されていることが好ましい。これにより、ピストンロッド６４Ａの先端に磁石保持板６０を首振り自在に支持することができる。したがって、ピストンロッド６４Ａの伸縮方向が載置板３８に対して完全に直交していなくても、磁石保持板６０を上昇させて永久磁石６２の吸着面６２Ａを載置板３８の裏面に当接させたときに、磁石保持板６０は載置板３８の裏面の向きに倣って首振りする。この結果、４個の永久磁石６２の吸着面６２Ａを載置板３８の裏面に確実に当接させることができるので、載置板３８に載置された被貼着体Ｗを４個の永久磁石６２で確実且つ均等に吸着することができる。

往復移動手段４４は、磁石手段４２を載置板３８の長手方向（Ｙ軸方向）に精度良く往復移動できればどのような手段でもよいが、ボールネジ方式の往復移動手段を好適に使用できる。

図３及び図４に示すように、ボールネジ方式の往復移動手段４４は、主として、ボールネジ７２と、ボールネジ７２を正逆回転するサーボモータ７４と、ボールネジ７２に螺合するナット部材７６と、ナット部材７６がスライド自在に支持されるレール７８とで構成される。

即ち、載置板３８の下方で装置フレーム３６の床面３６Ａに、載置板３８と平行（Ｙ軸方向に平行）に長尺な基台８０が設けられる。この基台８０上にレール７８がＹ軸方向に敷設され、レール７８上にはリニアガイド８２を介してナット部材７６がスライド自在に支持される。また、ナット部材７６には磁石手段４２の昇降手段６４を搭載する搭載台８４が設けられる。ナット部材７６には、Ｙ軸方向に配設されたボールネジ７２が螺合し、ボールネジ７２の両端部は基台８０の両端部に配設された一対の軸受８６，８６に支持される。また、ボールネジ７２の一端は一方の軸受８６を貫通して基台８０に固設されたサーボモータ７４に連結される。

これにより、サーボモータ７４の正逆回転によって、ナット部材７６はレール７８上を往復移動するので、ナット部材７６に搭載台８４を介して搭載された磁石手段４２がＹ軸方向に往復移動する。したがって、載置板３８に載置された被貼着体Ｗの裏面を、載置板３８を介して磁石手段４２の４つの永久磁石６２で吸着した状態で被貼着体Ｗをテープ剥離部３２に搬入、搬出することができる。

被貼着体Ｗを載置板３８上で搬送する搬送速度としては、テープ剥離の効率化及び被貼着体Ｗの搬送精度を考慮すると１０〜３０ｍ／分の範囲が好ましい。ここで、搬送精度とは、被貼着体Ｗの搬送中に被貼着体Ｗと永久磁石６２との間で吸着ズレがない状態で搬送できることをいう。

搭載台８４に搭載される磁石手段４２は１基でもよいが、載置板３８の長手方向（Ｙ軸方向）に長い長尺な搭載台８４として、長手方向の両端部にそれぞれ磁石手段４２（４２Ａ、４２Ｂ）を設けることが好ましい。即ち、ナット部材７６の往復動作によって、位置決め手段４０から載置板３８に被貼着体Ｗを受け渡す受け渡し位置とテープ剥離部３２との間で往復する搬入用磁石手段４２Ａと、テープ剥離部３２と載置板３８の終端部位置との間で往復する搬出用磁石手段４２Ｂと、の２基設けることが好ましい。これにより、テープ剥離部３２に対する被貼着体Ｗの搬入と搬出とを同時に行うことができるので、テープ剥離のタクト時間を短くすることができる。

送出手段４５は、上記した位置決め手段４０からガイドローラ５０を除いた以外は同様の構造に形成される。即ち、平行な一対の無端状ベルト５６，５６が複数の搬送用ローラ５８に掛け渡されてベルトコンベア４８が形成され、ベルトコンベア４８が支持フレーム５４に支持される。そして、支持フレーム５４を上下動手段５２で上下動することで、載置板３８の下方に位置するベルトコンベア４８を載置板３８の高さまで上昇させ、載置板３８に載置された被貼着体Ｗの両端部を一対の無端状ベルト５６で掬うように受け取る。そして、受け取った被貼着体Ｗを検査ステーション１６に搬送する。

なお、送出手段４５は上記構造に限定するものではなく、テープ剥離ステーション１４から検査ステーション１６に被貼着体Ｗを送出できればよい。

（テープ剥離部）
図３及び図４に示すように、テープ剥離部３２は、主として、加圧水を噴出する加圧水噴出ガン８８と、加圧水噴出ガン８８から噴出される加圧水の飛散を防止すると共に被貼着体Ｗの搬入口９０と搬出口９２とが形成され、載置板３８を底面としたチャンバー９４と、チャンバー９４の下方にチャンバー９４に連通して設けられ、被貼着体Ｗから剥離されたテープを加圧水噴出ガン８８から噴出された加圧水と共に回収するテープ回収手段９６（図７参照）と、で構成される。

なお、図３及び図４には、図を分かり易くする関係からテープ回収手段９６は省略して図示しており、図７にテープ回収手段９６を示した。また、図６に加圧水噴出ガン８８を示す。

チャンバー９４は、上面と下面とが開口された四角筒状に形成され、被貼着体Ｗが搬入される正面下部と搬出される背面下部にコ字形状の切り欠きが形成される。そして、チャンバー９４の下面開口が載置板３８の長手方向の中央部で閉塞される。これにより、上面が開口された箱型のチャンバー９４が形成されると共に、被貼着体Ｗの搬入口９０と搬出口９２が形成される。そして、チャンバー９４の内部に加圧水噴出ガン８８のノズルヘッド９８（図６参照）が設けられ、チャンバー９４により加圧水噴出ガン８８から噴出される加圧水の飛散を防止する。

チャンバー９４における被貼着体Ｗの搬入口９０と搬出口９２には、それぞれ上下動して開閉するシャッター（図示せず）を設けることが好ましい。シャッターの駆動手段については例えばシリンダ装置を使用することができる。また、シャッターの駆動は制御手段３５により制御される。即ち、被貼着体Ｗのテープ剥離部３２への搬入時及び搬出時はシャッターを開き、加圧水噴出ガン８８から加圧水が噴出されて被貼着体Ｗのテープ剥離時はシャッターが閉じられる。これにより、加圧水噴出ガン８８から噴出される加圧水の飛散を一層確実に防止できる。

また、加圧水噴出ガン８８は、載置板３８の長手方向（Ｙ軸方向）と幅方向（Ｘ軸方向）に移動可能なＸ−Ｙ移動機構１００に支持される。即ち、装置フレーム３６のＹ軸方向に平行な一対の上梁１０２，１０２にＹ軸アクチュエータ１０４とＹ軸レール１０６とが固定され、Ｙ軸アクチュエータ１０４とＹ軸レール１０６とを跨いてＸ軸アクチュエータ１０８がスライド自在に支持される。これにより、Ｘ−Ｙ移動機構１００が形成される。

また、Ｘ軸アクチュエータ１０８にスライダー１１０がスライド自在に支持され、スライダー１１０にホルダー１１２を介して加圧水噴出ガン８８が保持される。

そして、被貼着体Ｗがテープ剥離部３２のチャンバー内９４に搬入され、載置板３８上のテープ剥離位置に停止した後、加圧水噴出ガン８８は被貼着体Ｗの幅方向（Ｘ軸方向）と長さ方向（Ｙ軸方向）とに移動しながら加圧水を被貼着体Ｗに向けて噴出させてテープＴに吹き付ける。これにより、被貼着体Ｗに貼着されたテープＴを剥離する。

加圧水噴出ガン８８をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる移動プログラムは、チャンバー９４内における被貼着体Ｗのテープ剥離位置及び被貼着体Ｗに貼着されたテープＴの貼着位置に応じて予め制御手段３５にプログラミングされている。したがって、テープ剥離位置である被貼着体Ｗの停止位置（Ｙ軸方向位置）及び被貼着体Ｗの幅方向位置（Ｘ軸方向位置）は加圧水噴出ガン８８の移動プログラムに対応して正確に位置決めすることが必要になる。特に、図２の被貼着体Ｗのように、四角いフレームの開口側部分にのみ四角いリング状のテープＴが貼着されている場合、テープ剥離を行うには被貼着体ＷのテープＴのある領域に加圧水を集中的に吹き付けることが必要になる。

この場合、停止位置については、制御手段３５が被貼着体搬送手段３４を制御して搬入用磁石手段４２Ａ停止位置を制御すればよい。しかし、上記したように被貼着体搬送手段３４は載置板３８を介して磁石手段４２で被貼着体Ｗの裏面を吸着した状態でテープ剥離部３２に搬入する方法であり、幅方向位置については被貼着体Ｗを搬入用磁石手段４２Ａに吸着した時点で決定してしまう。したがって、被貼着体Ｗを磁石手段４２で吸着したときに移動プログラムに対する被貼着体Ｗの幅方向（Ｘ軸方向）にズレがあると、テープ剥離部３２でのテープ剥離性能に悪影響がでることが懸念される。

この対策として、被貼着体搬送手段３４では、被貼着体Ｗを磁石手段４２で吸着する前に、上記した位置決め手段４０によって被貼着体Ｗを載置板３８に受け渡す際に載置板３８に対する被貼着体Ｗの幅方向位置がテープ剥離部３２での幅方向位置になるように予め位置決めするようにした。これにより、テープ剥離性能を向上できる。

なお、上記した供給ステーション１２の供給ロボット２６（図２参照）に、載置板３８の幅方向に対する被貼着体Ｗの幅方向の位置決めを行う機能を持たせた場合には、被貼着体搬送手段３４の位置決め手段４０を省略することができる。また、被貼着体搬送手段３４にＹ軸方向への移動機能に加えてＸ軸方向への移動機能を持たせることで位置決め手段４０を省略することができる。しかし、これらの方法は構造が複雑になり装置コストが高くなる。

図６は、加圧水噴出ガン８８を説明する説明図である。
図６の（Ａ）に示すように、加圧水噴出ガン８８は、主として加圧水を噴出するノズルヘッド９８と、ノズルヘッド９８を揺動回転させる揺動回転機構１１４と、で構成される。

ここで揺動回転とは、ノズルヘッド９８が軸芯を中心とした回転運動（自転）と、ノズルヘッド９８の軸芯が円周軌跡を描いて移動（揺動）する円周運動（公転）との２つの運動を組み合わせた複合回転運動を行うことを言う。

図６の（Ａ）に示すように、加圧水噴出ガン８８を保持するホルダー１１２は箱型に形成され、ホルダー１１２内部に揺動回転機構１１４と揺動回転機構１１４に回転動力を付与するモータ１１６とが設けられる。また、ホルダー１１２の一方端側の上面と下面とには、上面開口１１８と下面開口１２０とが形成される。

揺動回転機構１１４は、ホルダー１１２内部の上面開口１１８位置に軸受部材１２２が固設され、軸受部材１２２に中空なスピンドル１２４が縦向きに回転自在に支持される。そして、スピンドル１２４の上端にロータリジョイント１２６を介して加圧水配管１２８の下端が連結されると共に上端に加圧水ホース１３０（耐圧ホース）が連結される。これにより、スピンドル１２４が回転しても、加圧水配管１２８や加圧水ホース１３０は回転しない。

また、加圧水ホース１３０は、図示しない加圧水供給手段（例えば超高圧プランジャーポンプ）が連結され、加圧水噴出ガン８８のノズルヘッド９８には高圧な加圧水が供給されて被貼着体Ｗに吹き付けられる。加圧水噴出ガン８８から噴出される加圧水の水圧力としては、３０〜１００ＭＰａの範囲が好ましく、３０〜５０ＭＰａの範囲がより好ましい。加圧水噴出ガン８８から噴出される加圧水の水量としては、１５〜２５リットル／分の範囲が好ましい。また、ノズルヘッド９８のノズル噴出口１３２が形成される噴出面９８Ａと被貼着体の距離は２０〜３０ｍｍの範囲が好ましい。

また、中空なスピンドル１２４の下端にスピンドル１２４と同じ回転軸芯Ｌ１を有する円板状の中空な偏心板１３４の上面中心が固設される。これにより、スピンドル１２４と偏心板１３４とは連通し、加圧水の流路が形成される。また、偏心板１３４の側面にバランスウエイト１３６が設けられる。

一方、偏心板１３４の下面であってスピンドル１２４の回転軸芯Ｌ１に対して偏心した偏心軸芯Ｌ２の位置に、ノズルヘッド９８のノズル配管１３８の上端が固設されると共に、ノズル配管１３８の軸芯が偏心軸芯Ｌ２に一致する。これにより、ノズルヘッド９８はノズル配管１３８、中空な偏心板１３４、中空なスピンドル１２４、加圧水配管１２８、及び加圧水ホース１３０を介して加圧水供給手段に連結される。

また、軸受部材１２２から突出したスピンドル１２４の下端部にプーリ１４０が設けられる。一方、ホルダー１１２内部には軸受部材１２２と並列してモータ１１６が下向きに固設され、モータ回転軸１１６Ａにプーリ１４２が設けられる。そして、モータ１１６のプーリ１４２とスピンドル１２４のプーリ１４０との間にタイミングベルト１４４が掛け渡される。

これにより、モータ１１６を駆動するとスピンドル１２４が回転し、偏心板１３４を介してノズルヘッド９８が偏心回転するので、ノズルヘッド９８は回転運動と円周運動との２つの運動を組み合わせた複合回転運動である揺動回転を行う。

また、図６の（Ｂ）に示すように、揺動回転を行うノズルヘッド９８は円筒状に形成され、噴出面９８Ａに複数のノズル噴出口１３２，１３２…を有する。本実施の形態では９個のノズル噴出口１３２を格子状に配置した。

このように、ノズルヘッド９８が揺動回転することにより、回転（自転）だけの場合に比べて加圧水噴出ガン８８から噴出されて被貼着体Ｗに衝突する加圧水の衝突軌跡が重なり合うので、加圧水の衝突密度を高くすることができる。更には、揺動回転するノズルヘッド９８に複数のノズル噴出口１３２を形成することで、加圧水の衝突密度を一層高くすることができる。これにより、被貼着体ＷのテープＴを剥離する剥離力が大きくなる。

（回収手段）
図７は、テープ回収手段９６を説明する説明図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）側面図である。なお、被貼着体搬送手段３４や加圧水噴出ガン８８等は図示していない。

図７に示すように、テープ回収手段９６は、主として、テープ回収用ガン１４６と、貯留タンク１４８と、載置板３８に開口された回収用開口１５０と、回収用開口１５０と貯留タンク１４８とを繋ぐダクト１５２とで構成される。

テープ回収用ガン１４６は、チャンバー９４の左右の側板９４Ａ，９４Ａのうち、載置板３８に開口された回収用開口１５０とは逆の側板９４Ａに設けられる。テープ回収用ガン１４６は、Ｙ軸方向に一定の間隔を置いて支持された複数（図７では６個）の噴出ノズル１４６Ａ、１４６Ａ…で構成され、噴出ノズル１４６Ａは図示しない加圧水供給手段（例えば超高圧プランジャーポンプ）に接続される。また、複数の噴出ノズル１４６Ａは載置板３８の上面に沿い且つ回収用開口１５０に向けて加圧水をＸ軸方向に噴出する。テープ回収用ガン１４６から噴出する加圧水の水圧力は、テープ剥離する加圧水噴出ガン８８の水圧力よりも小さくてもよい。

貯留タンク１４８は、回収されたテープＴを貯留タンク１４８から排出する開閉自在な排出扉１４８Ａと、貯留タンク１４８に溜まった加圧水を貯留タンク１４８から排出する排出管１４８Ｂを有する。これにより、加圧水噴出ガン８８によって被貼着体Ｗから剥離されたテープＴをテープ回収用ガン１４６から噴出された加圧水と共一緒に回収用開口１５０からダクト１５２を介して貯留タンク１４８に回収することができる。貯留タンク１４８に溜まる加圧水は、加圧水噴出ガン８８からの加圧水とテープ回収用ガン１４６からの加圧水の両方が溜まる。
また、テープ回収手段９６にエアブローノズル１５４を設けることがより好ましい。

図７に示すように、チャンバー９４の搬入口９０が形成された正面板９４Ｂ及び搬出口９２が形成された背面板の両方には、複数（図７では２個）のエアブローノズル１５４，１５４…が設けられる。エアブローノズル１５４は載置板３８の上面に沿ってエアーをＹ軸方向にブローする。これにより、被貼着体Ｗから剥離されたテープＴがエアブローノズル１５４からのエアーによって舞い上がり被貼着体Ｗから離れ易くなる。したがって、テープ回収用ガン１４６と併用することで、テープＴの回収作業が容易になる。また、テープ回収用ガン１４６でテープＴを回収した後にエアブローノズル１５４を用いることで、被貼着体Ｗの上面に付着した水を除去（水切り）することもできる。

図７では、チャンバー９４の搬入口９０が形成された正面板及び搬出口９２が形成された背面板の両方にエアブローノズル１５４を設けたが、何れか一方であってもよい。

なお、テープ回収手段９６の構成要素として、テープ回収用ガン１４６及びエアブローノズル１５４を設けたが、テープ剥離時に使用することもできる。即ち、加圧水噴出ガン８８は加圧水を被貼着体Ｗに対して垂直（直交）する方向から吹き付けるのに対して、テープ回収用ガン１４６は加圧水を被貼着体Ｗの表面に沿って吹き付ける。これにより、加圧水噴出ガン８８とテープ回収用ガン１４６とを同時に使用したり、交互に使用したりすることでテープ剥離性能を向上できる。また、エアブローノズル１５４は加圧水とは異なるテープ剥離作用を生じさせるので、加圧水噴出ガン８８とテープ回収用ガン１４６とエアブローノズル１５４を併用することでテープ剥離性能を向上できる。
次に、上記の如く構成されたテープ剥離装置２８を用いたテープ剥離方法を説明する。

［テープ剥離方法］
テープ剥離装置２８の各機器の動作制御は制御手段３５によって行われる。
本実施の形態では、磁石手段４２は搬入用磁石手段４２Ａと搬出用磁石手段４２Ｂとの２基の場合で説明する。

供給ステーション１２に積載されたテープ剥離前の被貼着体Ｗは、供給ロボット２６によってテープ剥離装置２８の位置決め手段４０に一枚ずつ吸着搬送される。即ち、供給ロボット２６は、被貼着体Ｗの上面を吸着して位置決め手段４０のベルトコンベア４８に設けた一対の無端状ベルト５６に被貼着体Ｗを架け渡す。そして、被貼着体Ｗは、被貼着体Ｗの幅方向（Ｘ軸方向）の両側辺ＷＡをガイドローラ５０でガイドされながら無端状ベルト５６で受け渡し位置まで搬送される。この搬送によって、テープ剥離部３２におけるテープ剥離位置の被貼着体Ｗの幅方向位置（Ｘ軸方向位置）を位置決めする（位置決めステップ）。

次に、位置決め手段４０のベルトコンベア４８が上下動手段５２によって載置板３８の位置まで下降する。これにより、被貼着体Ｗをベルトコンベア４８から載置板３８に載置する。そして、搬入用磁石手段４２Ａの磁石保持板６０が昇降手段６４によって上昇して、磁石保持板６０を載置板３８の裏面に当接させる。これにより、載置板３８に載置された被貼着体Ｗの裏面を、載置板３８を介して４個の永久磁石６２に吸着する（吸着ステップ）。

次に、被貼着体Ｗを吸着した磁石保持板６０が往復移動手段４４によって載置板３８の長手方向（Ｙ軸方向）に移動してテープ剥離部３２のテープ剥離位置で停止する。これにより、被貼着体Ｗを載置板３８上で滑らせてテープ剥離部３２のチャンバー９４内に搬入する（搬入ステップ）。

なお、最初のテープ剥離動作では、搬出用磁石手段４２Ｂは被貼着体Ｗを吸着しない状態でテープ剥離部３２から載置板３８の送出位置まで移動する。あるいは、最初のテープ剥離動作のときだけ、作業者が手作業でテープ剥離した被貼着体Ｗを搬出用磁石手段４２Ｂに吸着させておいてもよい。

次に、テープ剥離部３２に搬入された被貼着体Ｗを搬出用磁石手段４２Ｂの永久磁石６２に吸着したまま、加圧水噴出ガン８８を移動プログラムによってＸ―Ｙ軸方向に移動させつつ、被貼着体ＷのテープＴが貼着された領域に加圧水を吹き付けてテープＴを剥離する（テープ剥離ステップ）。これにより、従来の接着剤付着の問題を解決でき、しかも被貼着体Ｗに貼着されたテープＴを確実に且つ綺麗に剥離することができる。

なお、テープ剥離装置２８では、加圧水によって被貼着体ＷからのテープＴの剥離を行うだけでなく、加圧水によってテープ剥離後の被貼着体Ｗの表面（テープＴが剥離された面）の洗浄も行うことができる。

次に、テープ回収用ガン１４６から加圧水を噴出して被貼着体Ｗから剥離されたテープＴを加圧水と共に回収用開口１５０からダクト１５２を介して貯留タンク１４８へ送る。これにより、被貼着体Ｗから剥離されたテープＴを回収する（回収ステップ）。この回収ステップにおいて、エアブローノズル１５４から被貼着体Ｗにエアーを吹き付けることでテープ回収を補助したり、被貼着体Ｗに付着した水滴を排除したりすることができる。

テープ剥離後、搬入用磁石手段４２Ａは、昇降手段６４よって下降する。これにより、搬入用磁石手段４２Ａは被貼着体Ｗを脱着する。そして、往復移動手段４４によって、搬入用磁石手段４２Ａが載置板３８のテープ剥離位置から受け渡し位置まで戻ると共に、搬出用磁石手段４２Ｂが送出位置からテープ剥離位置に戻る。

受け渡し位置に戻った搬入用磁石手段４２Ａは、位置決め手段４０によって載置板３８に受け渡された次の被貼着体Ｗを吸着する。一方、テープ剥離位置に戻った搬出用磁石手段４２Ｂは、テープ剥離部３２においてテープ剥離された最初の被貼着体Ｗを吸着する。そして、往復移動手段４４によって、搬入用磁石手段４２Ａが載置板３８の受け渡し位置からテープ剥離位置まで移動すると共に、搬出用磁石手段４２Ｂがテープ剥離位置から送出位置に移動する。

これにより、搬入用磁石手段４２Ａは被貼着体Ｗを次々にテープ剥離部３２に搬入し、搬出用磁石手段４２Ｂはテープが剥離された被貼着体Ｗを次々に送出位置に搬送することができる。

このように、テープ剥離方法は、高圧な加圧水を使用するため、テープ剥離装置２８を構成する駆動系の機器類、例えば被貼着体搬送手段３４に加圧水がかかったり、加圧水が入り込んだりすると、機器類が故障する危険がある。

したがって、被貼着体搬送手段３４として例えばローラコンベアを使用すると、軸受部分やローラコンベアに動力を伝える動力伝達部に加圧水が入り込み易くなり故障の原因となる。これにより、頻繁にメンテナンスを行う必要がある。

これに対して、テープ剥離装置２８の被貼着体搬送手段３４では、載置板３８によって加圧水が噴出される載置板３８の上方側領域と、磁石手段４２、上下動手段５２、往復移動手段４４等の駆動系の機器類が配設される載置板３８の下方側領域とを仕切って区画した。そして、載置板３８に載置された被貼着体Ｗの裏面を載置板３８を介して磁石手段４２で吸着し、往復移動手段４４によって磁石手段４２を移動させることによって、載置板３８上に被貼着体Ｗを滑らして搬送する搬送構造を採用した。即ち、加圧水が噴出される載置板３８の上方側領域には、被貼着体搬送手段３４の駆動系を配置する必要のない構造とした。これにより、加圧水が駆動系の機器類にかからないようにした。

この搬送構造の被貼着体搬送手段３４にすることによって、駆動系の機器類に加圧水がかかったり入り込んだりすることが抑制されるので、故障しにくいと共にメンテナンスを減少できる。

更には、加圧水噴出ガン８８が設けられるテープ剥離部３２に載置板３８を底面とするチャンバー９４を設け、加圧水噴出ガン８８から噴出される加圧水がチャンバー９４の外側に飛散しないようにした。

そして、チャンバー９４の内部に噴出された加圧水は、剥離されたテープＴと共にテープ回収手段９６の貯留タンク１４８に回収されるようにした。これにより、駆動系の機器類に加圧水がかかったり入り込んだりすることを確実に防止できる。

［加圧水洗浄装置］
次に、テープ剥離洗浄ライン１０の洗浄ステーション１８に組み込まれた本発明の実施の形態の加圧水洗浄装置３０について説明する。

なお、本実施の形態の加圧水洗浄装置３０は、テープ剥離洗浄ライン１０の洗浄ステーション１８に組み込まれているので、被洗浄体としてテープを剥離した後の被貼着体Ｗの場合で説明する。ただし、本発明の加圧水洗浄装置３０は、テープ剥離洗浄ライン１０に組み込まずに単独の洗浄装置としても使用することができることは言うまでもない。

図８は、本発明の実施の形態の加圧水洗浄装置３０について説明する説明図である。また、図９は加圧水洗浄装置３０の加圧水噴出棒状ガン１５６と偏心揺動機構１５８とを上から見た上面図である。

図８及び図９に示すように、本発明の実施の形態の加圧水洗浄装置３０は、中空な基台１６０と、基台１６０の上に設けられると共に基台１６０よりも幅（Ｘ軸方向）の狭い洗浄室１６２とからなる装置フレーム１６４に取り付けられる。

加圧水洗浄装置３０は、主として、被貼着体Ｗを上ローラ１６６Ａと下ローラ１６６Ｂとで挟持搬送するローラ搬送手段１６６と、ローラ搬送手段１６６の下方に設けられ、ローラ搬送手段１６６のローラ長さ方向の一方端側に配置された駆動側偏心揺動機構１５８Ａと、ローラ搬送手段１６６のローラ長さ方向の他方端側に配置された従動側偏心揺動機構１５８Ｂと、駆動側偏心揺動機構１５８Ａを駆動して偏心揺動力を偏心回転により付与するモータ１６８と、駆動側偏心揺動機構１５８Ａと従動側偏心揺動機構１５８Ｂとに両端部が支持されると共にモータ１６８の駆動による駆動側偏心揺動機構１５８Ａの偏心揺動を従動側偏心揺動機構１５８Ｂに伝達する長尺な揺動板と、駆動側偏心揺動機構１５８Ａに設けられたモータ１６８の駆動力を従動側偏心揺動機構１５８Ｂに伝達するタイミングベルト機構１５９と、揺動板１７０に搭載され、揺動板１７０の長手方向に間隔を置いて加圧水を噴出する複数の噴出ノズル１７２Ａ，１７２Ａ…が配置された棒状のノズルヘッド１７２を有する加圧水噴出棒状ガン１５６と、加圧水洗浄装置３０を制御する制御手段３５と、で構成される。なお、加圧水洗浄装置３０を制御する専用の制御手段を設けてもよい。

即ち、ローラ搬送手段１６６は、洗浄室１６２の両側壁１６２Ａ，１６２Ａの上部位置に、上ローラ１６６Ａと下ローラ１６６Ｂとがそれぞれの軸受１７４，１７４…を介して回転自在に支持される。また、ローラ搬送手段１６６は、図８の表裏方向であるＹ軸方向に複数配置され、検査ステーション１６でテープ剥離が確認された被貼着体Ｗが洗浄室１６２内を挟持搬送される。

また、駆動側偏心揺動機構１５８Ａ及び従動側偏心揺動機構１５８Ｂは、洗浄室１６２の両側壁１６２Ａの外側に対向し、基台１６０上に配置される。

駆動側偏心揺動機構１５８Ａ及び従動側偏心揺動機構１５８Ｂの構造は、基本的に同様であり、図８の右側に内部が見えるように断面図として描いた駆動側偏心揺動機構１５８Ａで説明する。

駆動側偏心揺動機構１５８Ａは、主として、胴体部１７６に回転自在に支持されたメインスピンドル１７８と、メインスピンドル１７８の先端部にメインスピンドル１７８の軸芯に対して偏心した位置に設けられた偏心スピンドル１８０と、偏心スピンドル１８０に回転自在に支持された偏心揺動部材１８２と、メインスピンドル１７８の回転ブレを防止するバランスウエイト１８４と、で構成される。

即ち、駆動側偏心揺動機構１５８Ａは、筒状の胴体部１７６が基台１６０上に縦向きに支持され、胴体部１７６の上端部と下端部とに一対の軸受１８６，１８６が設けられる。そして、この一対の軸受１８６にメインスピンドル１７８が回転自在に支持される。

メインスピンドル１７８の下端が軸受１８６から突出し、基台１６０上部に形成された開口１８８を介して基台１６０内部に配設されたモータ１６８の回転軸１６８Ａに連結される。また、メインスピンドル１７８の上端が円板状の偏心板１９０の下面中心を支持する。偏心板１９０の上面には、メインスピンドル１７８の軸芯とは偏心した位置に偏心スピンドル１８０が立設される。

そして、偏心スピンドル１８０に上下一対の軸受１９２，１９２を介して筒状の偏心揺動部材１８２が回転自在に支持される。偏心板１９０の側部にはメインスピンドルの回転ブレを防止するバランスウエイト１８４が設けられる。

偏心量（メインスピンドル１７８の軸芯１７８Ａと偏心スピンドル１８０の軸芯１８０Ａとの軸芯距離）が小さい場合には、偏心板１９０を介さずにメインスピンドル１７８に偏心スピンドル１８０を直接設けることも可能である。

なお、従動側偏心揺動機構１５８Ｂは、バランスウエイト１８４を設けることが好ましい態様である点、モータ１６８を有しない点で駆動側偏心揺動機構１５８Ａと相違する。

但し、図８に示すように、従動側偏心揺動機構１５８Ｂのメインスピンドル(図示せず)の下端が軸受（図示せず）から基台１６０上部に形成された開口１８９を介して基台１６０内部に突出している。開口１８９から基台１６０内部に突出した突出部分は後記するタイミングベルト機構１５９の従動側偏心揺動機構１５８Ｂの側のプーリ軸１６３として設けられ、駆動側偏心揺動機構１５８Ａのモータ１６８の回転軸１６８Ａと対応した軸径に形成される。タイミングベルト機構１５９の駆動側偏心揺動機構１５８Ａはモータ１６８の回転軸１６８Ａがプーリ軸を兼用する。

タイミングベルト機構１５９は、駆動側偏心揺動機構１５８Ａとモータ１６８とを連結する回転軸１６８Ａに設けられた駆動側タイミングプーリ１５９Ａと、従動側偏心揺動機構１５８Ｂのプーリ軸１６３に設けられた従動側タイミングプーリ１５９Ｂと、駆動側タイミングプーリ１５９Ａと従動側タイミングプーリ１５９Ｂとの間に掛け渡されたタイミングベルト１５９Ｃと、タイミングベルト１５９Ｃの張力を適正に調整するテンショナープーリ１５９Ｄとで構成される。

そして、揺動板１７０の両端部を駆動側偏心揺動機構１５８Ａの偏心揺動部材１８２と従動側偏心揺動機構１５８Ｂの偏心揺動部材１８２に支持する。即ち、揺動板１７０は洗浄室１６２の両側壁１６２Ａの中央位置に形成された揺動用開口１９４，１９４を貫通してＸ軸方向に配設される。そして、揺動板１７０の両端部が上記したそれぞれの偏心揺動部材１８２，１８２の連結部１８２Ａ、１８２Ａにボルト部材等で連結される。揺動用開口１９４は、揺動板１７０が後記する偏心揺動をしたときに洗浄室１６２の両側壁１６２Ａに当たらない大きさに形成されている。これにより、揺動板１７０を偏心揺動させる偏心揺動機構１５８が構成される。なお、駆動側偏心揺動機構１５８Ａ及び従動側偏心揺動機構１５８Ｂには、偏心揺動部材１８２の偏心揺動を阻害しない形状に形成された防塵用のカバー(図示せず)を設けることが好ましい。

したがって、モータ１６８を回転駆動すると、駆動側偏心揺動機構１５８Ａのメインスピンドル１７８が回転し、偏心板１９０を介して偏心スピンドル１８０が偏心回転する。偏心スピンドル１８０の偏心回転によって、偏心スピンドル１８０に回転自在に支持された偏心揺動部材１８２が偏心揺動を行う。この結果、偏心揺動部材１８２に連結された揺動板１７０も偏心スピンドル１８０の偏心揺動に連動して偏心揺動を行う。更に、揺動板１７０の偏心揺動に連動して従動側偏心揺動機構１５８Ｂの偏心揺動部材１８２が偏心揺動を行う。

これにより、駆動側偏心揺動機構１５８Ａに設けられた１つのモータ１６８の駆動力が、揺動板１７０を介して従動側偏心揺動機構１５８Ｂに伝達される第１の動力伝達ルート１７１Ａが構築される。

また、モータ１６８を回転駆動すると、駆動側タイミングプーリ１５９Ａが回転すると同時にタイミングベルト１５９Ｃを介して従動側タイミングプーリ１５９Ｂが回転する。この結果、従動側偏心揺動機構１５８Ｂのメインスピンドル１７８（図示せず）が回転し、偏心板１９０を介して偏心スピンドル１８０（図示せず）が偏心回転する。従動側偏心揺動機構１５８Ｂの偏心スピンドル１８０（図示せず）の偏心回転によって、偏心スピンドル１８０に回転自在に支持された従動側の偏心揺動部材１８２が偏心揺動を行う。

これにより、駆動側偏心揺動機構１５８Ａに設けられた１つのモータ１６８の駆動力が、タイミングベルト機構１５９を介して従動側偏心揺動機構１５８Ｂに伝達される第２の動力伝達ルート１７１Ｂが構築される。

即ち、本発明における従動側偏心揺動機構１５８Ｂは、駆動側偏心揺動機構１５８Ａに設けられた１つのモータ１６８の駆動力が、揺動板１７０を介して伝達される第１の動力伝達ルート１７１Ａとタイミングベルト機構１５９を介して伝達される第２の動力伝達ルート１７１Ｂとの２つの動力伝達ルート１７１で伝達されることによって従動的に動くことになる。このように１つのモータ１６８で駆動側偏心揺動機構１５８Ａと従動側偏心揺動機構１５８Ｂとの駆動を同期させることにより、駆動側偏心揺動機構１５８Ａと従動側偏心揺動機構１５８Ｂとの偏心回転動作にズレが生じない。また、モータ１６８の駆動力を２つの動力伝達ルート１７１によって従動側偏心揺動機構１５８Ｂに伝達することにより、モータ１６８のトルクを確実に従動側偏心揺動機構１５８Ｂに伝達することができる。

ところで、偏心揺動機構１５８の偏心回転動作を揺動板１７０の偏心揺動動作に変換する機構はクランク機構に近い。したがって、加圧水洗浄装置３０の運転開始時のように偏心揺動機構１５８の動き始めにおいて、揺動板１７０の停止状態（駆動側偏心揺動機構と従動側偏心揺動機構とに対する揺動板１７０の姿勢）によっては、揺動板１７０が偏心揺動機構１５８の偏心回転動作を阻害する抵抗力となる。

これにより、加圧水洗浄装置３０の運転開始時に偏心揺動機構１５８の偏心回転動作がスムーズに動作開始されない恐れがある。このことは、加圧水洗浄装置３０の運転停止時に偏心揺動機構１５８の偏心回転動作を停止する場合も同様である。

この対策として、従動側偏心揺動機構１５８Ｂの側にも更にモータ（図示せず）を設けて、駆動側偏心揺動機構１５８Ａのモータ１６８と同期させ、駆動側偏心揺動機構１５８Ａと従動側偏心揺動機構１５８Ｂとの両方に同時にモータ１６８の駆動力を付与することで、上記の抵抗力があっても偏心揺動機構１５８をスムーズに動作開始したり動作停止したりできるようにする方法が考えられる。

しかし、駆動側偏心揺動機構１５８Ａと従動側偏心揺動機構１５８Ｂとをそれぞれのモータで駆動したときに完全にモータ同士を同期することは難しく、同期ズレ等によってスムーズな偏心回転が阻害されたり、偏心揺動機構１５８に無理な力が加わり故障の原因になったりし易い。

本発明では、上記抵抗力に対する対策として上述の如く、従動側偏心揺動機構１５８Ｂは、駆動側偏心揺動機構１５８Ａに設けられた１つのモータ１６８の駆動力が、揺動板１７０を介して伝達される第１の動力伝達ルート１７１Ａとタイミングベルト機構１５９を介して伝達される第２の動力伝達ルート１７１Ｂとの２つの動力伝達ルート１７１で伝達されることによって従動的に動くようにした。

これにより、駆動側偏心揺動機構１５８Ａと従動側偏心揺動機構１５８Ｂとの偏心回転動作のズレをなくすことができるだけでなく、モータ１６８のトルクが従動側偏心揺動機構１５８Ｂに確実に伝達されるので、上記の抵抗力があっても偏心揺動機構１５８をスムーズに動作開始したり動作停止したりできる。

したがって、加圧水洗浄装置３０の運転開始及び運転停止をスムーズに行うことができる。

また、加圧水洗浄装置３０の運転開始及び運転停止をスムーズに行うには、モータ１６８はインバータを備えたＤＣサーボモータとすることが好ましい。そして、制御手段３５は加圧水洗浄装置３０の運転開始時にはモータ１６８の回転速度を徐々に速くすると共に運転停止時にはモータ１６８の回転速度を徐々に遅くする。このように、モータ１６８を、インバータを備えたＤＣサーボモータにすることで、モータ１６８の回転速度を高精度に制御することができる。したがって、制御手段３５はモータ１６８の回転速度を制御して、偏心揺動機構１５８をスロースタート及びスローダウンすることで、偏心揺動機構１５８をスムーズに動作開始したり動作停止したりできる。

これにより、１つのモータ１６８で駆動側偏心揺動機構１５８Ａと従動側偏心揺動機構１５８Ｂとの両方を同時に駆動する場合であっても、加圧水洗浄装置３０を一層スムーズに始動させたり停止させたりすることができる。

また、図８に示すように、従動側偏心揺動機構１５８Ｂの従動回転状態をセンシングする近接フォトセンサ１７５を設けることが好ましい。近接フォトセンサ１７５で検出する検出対象としては従動側偏心揺動機構１５８Ｂにもバランスウエイト１８４を設けて、バランスウエイト１８４の動きを検出することが好ましい。そして、制御手段３５は近接フォトセンサ１７５の検出結果に基づいてモータ１６８（インバータを備えたＤＣサーボモータを含む）を制御する。例えば、モータ１６８を駆動してもバランスウエイト１８４が動かなかったり、不自然な動き（振動等）があったりする場合、制御手段３５は偏心揺動機構１５８の偏心回転異常と判断してモータ１６８を停止する。これにより、偏心揺動機構１５８に無理な力が加わることがないので、故障を防止できる。

駆動側偏心揺動機構１５８Ａ及び従動側偏心揺動機構１５８Ｂの偏心量（メインスピンドル１７８の軸芯１７８Ａと偏心スピンドル１８０の軸芯１８０Ａとの軸芯距離）は５ｍｍ〜７ｍｍの範囲であり、揺動板１７０の長手方向の直線揺動ストロークは１０ｍｍ〜１４ｍｍであることが好ましい。これにより、加圧水の衝突密度、即ち被洗浄体を洗浄するための洗浄エネルギー密度を高くすることができる。

また、図８に示すように、洗浄室１６２において、揺動板１７０の下方空間は加圧水噴出棒状ガン１５６から加圧水を噴出して被貼着体Ｗの裏面を洗浄した汚水を貯留する貯留部１６２Ｂになっている。そして、洗浄室１６２の両側壁１６２Ａのうちの貯留部１６２Ｂを形成する一方の側板下部には、貯留部１６２Ｂに溜まった汚水を排出する排出ホース１９６が連結される。

加圧水噴出棒状ガン１５６は、棒状のノズルヘッド１７２が連結板１９８，１９８…を介して揺動板１７０の上に固定される。ノズルヘッド１７２の長さは、被貼着体Ｗの幅（Ｘ軸方向）よりも少し長く形成され、両端部に加圧水をノズルヘッド１７２内に供給する一対の加圧水供給口２００，２００が形成される。そして、一対の加圧水供給口２００に耐圧な加圧水ホース２０２が連結される。ノズルヘッド１７２の長手方向であって一対の加圧水供給口２００の間には、複数の噴出ノズル１７２Ａ、１７２Ａが等間隔で直線的に配置されている。本実施の形態では２４個の噴出ノズル１７２Ａを設けたが、この数に限定するものではない。

そして、ノズルヘッド１７２に供給された加圧水は複数の噴出ノズル１７２Ａから上向きに噴出され、ローラ搬送手段１６６で挟持搬送される被貼着体Ｗの裏面（下面）に吹き付けられる。

次に、上記の如く構成された本発明の実施の形態の加圧水洗浄装置３０を用いた本発明の加圧水洗浄方法を説明する。

［加圧水洗浄方法］
加圧水洗浄装置３０の各機器の動作制御は制御手段３５によって行われる。
検査ステーション１６において、テープ剥離が確認された被貼着体Ｗは、洗浄室１６２内をローラ搬送手段１６６によって一定速度で搬送される。

一方、加圧水噴出棒状ガン１５６のノズルヘッド１７２の複数の噴出ノズル１７２Ａから加圧水を噴出して、搬送される被貼着体Ｗの裏面に向けて加圧水を吹き付けると共に、モータ１６８を駆動して偏心揺動機構１５８を動作させる。

これにより、揺動板１７０に搭載された加圧水噴出棒状ガン１５６は、旋回円運動の偏心揺動を行いながら加圧水噴出棒状ガン１５６から加圧水を噴出させて一定速度で搬送される被貼着体Ｗの裏面に加圧水を吹き付ける。

このように、加圧水噴出棒状ガン１５６を揺動板１７０に搭載することによって、加圧水噴出棒状ガン１５６は旋回円運動の偏心揺動を行いながら直線方向に間隔を置いて配設された複数の噴出ノズル１７２Ａから被貼着体Ｗの裏面に加圧水を吹き付ける。

これにより、加圧水噴出棒状ガン１５６が偏心揺動することによって、被貼着体Ｗの裏面に加圧水を満遍なく吹き付けることができる。また、複数の噴出ノズル１７２Ａから噴出されて被貼着体Ｗに衝突する加圧水の衝突軌跡が重なり合うので、加圧水の衝突密度、即ち洗浄のための洗浄エネルギー密度を高くすることができる。したがって、加圧水噴出棒状ガン１５６が静置状態にある場合や直線的な揺動だけの場合に比べて被貼着体Ｗを洗浄する効果を飛躍的に向上できる。

また、本発明の加圧水洗浄装置は、搬送ライン２４に組み込むことができるので、例えば電子機器の連続製造ラインに設ける洗浄装置として好適である。

なお、本実施の形態の加圧水洗浄装置３０は、被貼着体Ｗの裏面を洗浄する装置として構成したため、ローラ搬送手段１６６の下方にのみ加圧水噴出棒状ガン１５６と偏心揺動機構１５８とを配置したが、ローラ搬送手段１６６の下方と上方の両方に設ければ、被貼着体Ｗの両面を一度に洗浄することができる。

被貼着体Ｗの両面を洗浄する加圧水洗浄装置の構成については図示しないが、駆動側偏心揺動機構１５８Ａの偏心スピンドル１８０と偏心揺動部材１８２、及び従動側偏心揺動機構１５８Ｂの偏心スピンドル１８０と偏心揺動部材１８２を、ローラ搬送手段１６６の上方まで延設し、一対の偏心揺動部材１８２の上端部にローラ搬送手段１６６の上方に配置した揺動板１７０の両端を連結する。この場合、ローラ搬送手段１６６の上方に配置した揺動板１７０と下方に配置した揺動板１７０とは平行になるようにする。そして、ローラ搬送手段１６６の上方に配置した揺動板１７０には、加圧水噴出棒状ガン１５６を下向きにして搭載すればよい。

１０…テープ剥離洗浄ライン、１２…供給ステーション、１４…テープ剥離ステーション、１６…検査ステーション、１８…洗浄ステーション、２０…乾燥ステーション、２２…収納ステーション、２４…搬送ライン、２６…供給ロボット、２６Ａ…吸盤、２８…テープ剥離装置、３０…加圧水洗浄装置、３２…テープ剥離部、３４…被貼着体搬送手段、３５…制御手段、３６…装置フレーム、３６Ａ…床面、３７…支柱、３８…載置板、４０…位置決め手段、４２…磁石手段、４４…往復移動手段、４５…送出手段、４６…微小突起、４８…ベルトコンベア、５０…ガイドローラ、５２…上下動手段、５４…支持フレーム、５６…無端状ベルト、５８…搬送用ローラ、６０…磁石保持板、６０Ａ…張り出し板、６０Ｂ…上面、６２…永久磁石、６２Ａ…吸着面、６４…昇降手段、６４Ａ…ピストンロッド、６８…補助ローラ、７０…球体継手、７２…ボールネジ、７４…サーボモータ、７６…ナット部材、７８…レール、８０…基台、８２…リニアガイド、８４…搭載台、８６…軸受、８８…加圧水噴出ガン、９０…搬入口、９２…搬出口、９４…チャンバー、９６…テープ回収手段、９８…ノズルヘッド、１００…Ｘ−Ｙ移動機構、１０２…上梁、１０４…Ｙ軸アクチュエータ、１０６…Ｙ軸レール、１０８…Ｘ軸アクチュエータ、１１０…スライダー、１１２…ホルダー、１１４…揺動回転機構、１１６…モータ、１１６Ａ…モータ回転軸、１１８…上面開口、１２０…下面開口、１２２…軸受部材、１２４…スピンドル、１２６…ロータリジョイント、１２８…加圧水配管、１３０…加圧水ホース、１３２…ノズル噴出口、１３４…偏心板、１３６…バランスウエイト、１３８…ノズル配管、１４０…プーリ、１４２…プーリ、１４４…タイミングベルト、１４６…テープ回収用ガン、１４６Ａ…噴出ノズル、１４８…貯留タンク、１４８Ａ…排出扉、１４８Ｂ…排出管、１５０…回収用開口、１５２…ダクト、１５４…エアブローノズル、１５６…加圧水噴出棒状ガン、１５８…偏心揺動機構、１５８Ａ…駆動側偏心揺動機構、１５８Ｂ…従動側偏心揺動機構、１５９…タイミングベルト機構、１５９Ａ…駆動側タイミングプーリ、１５９Ｂ…従動側タイミングプーリ、１５９Ｃ…タイミングベルト、１５９Ｄ…テンショナープーリ、１６０…基台、１６２…洗浄室、１６２Ａ…両側壁、１６３…プーリ軸、１６４…装置フレーム、１６６…ローラ搬送手段、１６６Ａ…上ローラ、１６６Ｂ…下ローラ、１６８…モータ、１７０…揺動板、１７１…２つの動力伝達ルート、１７１Ａ…第１の動力伝達ルート、１７１Ｂ…第２の動力伝達ルート、１７２…ノズルヘッド、１７２Ａ…噴出ノズル、１７４…軸受、１７５…近接フォトセンサ、１７６…胴体部、１７８…メインスピンドル、１７８Ａ…メインスピンドル軸芯、１８０…偏心スピンドル、１８２…偏心揺動部材、１８４…バランスウエイト、１８６…軸受、１８８…開口、１９０…偏心板、１９２…軸受、１９４…揺動用開口、１９６…排出ホース、２００…加圧水供給口、２０２…加圧水ホース、Ｗ…被貼着体、ＷＡ…被貼着体の側辺、Ｔ…テープ、Ｈ…被貼着体の開口、Ｆ…フレーム

Claims (6)

1. 搬送する板状の被洗浄体に加圧水を吹き付けて洗浄する加圧水洗浄装置において、
   前記被洗浄体を上ローラと下ローラとで挟持搬送するローラ搬送手段と、
   前記ローラ搬送手段のローラ長さ方向の一方端側に設けられ、旋回円運動の偏心揺動動作を行う駆動側偏心揺動機構と、
   前記ローラ搬送手段のローラ長さ方向の他方端側に設けられ、旋回円運動の偏心揺動動作を行う従動側偏心揺動機構と、
   前記駆動側偏心揺動機構に偏心揺動動作を駆動させるモータと、
   前記ローラ搬送手段の上方及び下方の少なくとも一方に配置され、前記駆動側偏心揺動機構及び前記従動側偏心揺動機構に両端部が支持されると共に前記モータの駆動による前記駆動側偏心揺動機構の偏心揺動を前記従動側偏心揺動機構に伝達する長尺な揺動板と、
   前記駆動側偏心揺動機構に設けられた前記モータの駆動力を前記従動側偏心揺動機構に伝達するタイミングベルト機構と、
   前記揺動板に搭載され、前記揺動板の長手方向に間隔を置いて加圧水を噴出する複数の噴出ノズルが配置されたノズルヘッドを有する加圧水噴出棒状ガンと、
   前記加圧水洗浄装置を制御する制御手段と、を備え、
   前記従動側偏心揺動機構は、前記駆動側偏心揺動機構に設けられた１つの前記モータの駆動力が、前記揺動板を介して伝達される第１の動力伝達ルートと前記タイミングベルト機構を介して伝達される第２の動力伝達ルートとの２つの動力伝達ルートで伝達されることによって従動的に動くことを特徴とする加圧水洗浄装置。
2. 前記駆動側偏心揺動機構及び前記従動側偏心揺動機構は、
   胴体部に回転自在に支持されたメインスピンドルと、
   前記メインスピンドルの先端部に前記メインスピンドルの軸芯に対して偏心した位置に設けられた偏心スピンドルと、
   前記偏心スピンドルに回転自在に支持された偏心揺動部材と、
   前記駆動側偏心揺動機構及び前記従動側偏心揺動機構の少なくとも前記駆動側偏心揺動機構に設けられ、前記メインスピンドルの回転ブレを防止するバランスウエイトと、を備える請求項１に記載の加圧水洗浄装置。
3. 前記揺動板は前記ローラ搬送手段の上方及び下方の両方に配置され、それぞれの前記揺動板に前記加圧水噴出棒状ガンが搭載されて、前記被洗浄体の両面を同時に洗浄する請求項１又は２に記載の加圧水洗浄装置。
4. 前記駆動側偏心揺動機構及び前記従動側偏心揺動機構の偏心量は５ｍｍ〜７ｍｍの範囲であり、前記揺動板の前記長手方向の直線揺動ストロークは１０ｍｍ〜１４ｍｍである請求項１から３の何れか１項に記載の加圧水洗浄装置。
5. 前記モータはインバータを備えたＤＣサーボモータであり、
   前記制御手段は、前記加圧水洗浄装置の運転開始時には前記モータの回転速度を徐々に速くすると共に運転停止時には前記モータの回転速度を徐々に遅くする請求項１から４の何れか１項に記載の加圧水洗浄装置。
6. 前記従動側偏心揺動機構の従動回転状態をセンシングする近接フォトセンサが設けられ、
   前記制御手段は前記近接フォトセンサのセンシング結果に基づいて前記モータを制御する請求項１から５の何れか１項に記載の加圧水洗浄装置。