JP5080214B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
また、ガラス基板の側端面に積極的にエッチング液を衝突させることによって、エッチング処理時間を短縮できるとともに、発生するガラス屑の剥離を促進させることができる。
また、ガラス基板の側端面に積極的にエッチング液を所定の角度に傾斜させて衝突させることによって、エッチング処理時間を短縮できるとともに、発生するガラス屑の剥離を促進させることができる。さらに、それらのガラス屑をスムーズに排出させることができる。
<1.1.構成および機能>
図1は、第1の実施の形態における基板処理装置1の概略上面図である。
次に、基板処理装置1の動作について、図1ないし3を参照しつつ説明する。
基板処理装置1では、フラップ部406が疎水性樹脂で形成されているため、エッチング液を供給しているときには、フラップ部406とガラス基板90の間において、液面が安定したメニスカスを形成し、エッチング液が開口部403内に維持される。したがって、エッチング液が外部に漏れるのを抑制できるため、効率的にガラス基板90の側端面のエッチング処理を行うことができる。
<2.1.構成および機能>
第1の実施の形態では、2方向へ延びる搬送ローラ群20,21と、受渡部3を設けた搬送機構について説明したが、ガラス基板90の側端面をエッチング処理するための搬送機構は、これに限られるものではない。
次に、基板処理装置1aの動作について図5を参照しつつ説明する。
以上のように、本実施の形態では、搬送ロボット7を備えることによって、ガラス基板90の搬送機構のスペースを省略できる。したがって、基板処理装置1aの載置スペースを削減できる。
上記の実施の形態では、ガラス基板90の側端面をエッチング処理する処理部が二箇所に分けて設けられていたが、もちろんこれに限られるものではなく、処理部が一箇所であってもよい。
第3の実施の形態では、所定の支持機構によって支持されたガラス基板90の4つの辺(端縁)のそれぞれに対して、各本体部401,402,411,412を備えていたが、処理部を1つとする基板処理装置の構成はこれに限られるものではない。
<5.1.構成および機能>
第1および第2の実施の形態では、処理部において処理するガラス基板90の数が一枚毎であったが、基板処理装置を所定の構成とすることで、複数のガラス基板90を同時にエッチング処理することも可能である。
次に、基板処理装置1dの動作について図8を参照しつつ説明する。
本実施の形態における基板処理装置1dでは、一度に複数のガラス基板90を処理することができるため、処理効率を向上させることができる。また、製品間の品質の差を小さくすることができる。
第4の実施の形態では、ガラス基板90を一枚ずつ処理する構成であったが、もちろん所定の構成とすることで、一度に複数のガラス基板90を処理することも可能である。
上記の実施の形態では、例えば本体部401において、開口部403の上方に設けられた供給口からガラス基板90の側端部に向けてエッチング液等が供給されるが、本体部の構造はこれに限られるものではない。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
20,21,22 搬送ローラ群
3 受渡部
40,41,42,42a,43,43a 処理部
401,402,411,412,421,422,431,432,441,442,451,461,462 本体部
403,453 開口部
404,454 供給口
405,455 排出口
406 フラップ部
447 回転支持部
5 送給部
50 薬液送給部
51 純水送給部
52 熱風送給部
501,511,521 バルブ
6 回収部
60 使用済薬液収容部
61 純水廃棄部
62 排気部
601,611,621 バルブ
7 搬送ロボット
7a 多段式搬送ロボット
8 制御部
90 ガラス基板
Claims (13)
- ガラス基板の側端面をエッチング処理する基板処理装置であって、
ガラス基板の端縁部が遊挿されたときに当該ガラス基板の側端面および端縁部表裏面を覆う開口部が設けられた本体部と、
ガラス基板の端縁部が遊挿された前記開口部の内側に所定のエッチング液を供給する薬液供給手段と、
前記薬液供給手段によって前記開口部に供給された所定のエッチング液を回収する薬液回収手段と、
を備え、
前記薬液供給手段は、
前記開口部に形設され、前記開口部にガラス基板の端縁部を遊挿したときの当該ガラス基板の側端面と略平行の面に対して、30度以上60度以下の所定の角度に傾斜して前記エッチング液を前記開口部に供給する供給口を有し、
前記薬液回収手段は、
前記開口部に形設され、前記開口部にガラス基板の端縁部を遊挿したときの当該ガラス基板の側端面と略平行の面に対して30度以上60度以下の所定の角度に傾斜して前記エッチング液を前記開口部から回収する排出口を有しており、
前記供給口および前記排出口は、前記開口部の内部であって、かつ、前記開口部にガラス基板の端縁部が遊挿されたときの前記ガラス基板の側端面の位置よりも内側に相対向して形設されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記本体部に付設され、前記開口部に遊挿されたガラス基板の表面および裏面と対向する面に疎水性部材を形設したフラップ部をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置であって、
前記本体部の開口部内側の内壁面に、親水性部材を形設していることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記供給口は、前記開口部の内側であって、水平に支持されたガラス基板の端縁部が前記開口部に遊挿されたときの当該ガラス基板の上面側に形設され、
前記排出口は、前記開口部の内側であって、当該ガラス基板の下面側に形設されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置であって、
少なくともガラス基板の端縁部が前記開口部に遊挿されるときに、前記開口部の内側に前記所定のエッチング液を供給しつつ前記開口部から前記所定のエッチング液を回収するように前記薬液供給手段と前記薬液回収手段とを制御する制御手段をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
エッチング処理するガラス基板の形状が角型であり、前記ガラス基板を第1方向に搬送する第1搬送手段をさらに備え、
前記本体部は、
前記第1搬送手段によって搬送されるガラス基板の前記第1方向と略平行の端縁に沿って配置されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置であって、
前記第1方向と略直角に交わる第2方向に沿って搬送する第2搬送手段と、
前記第1搬送手段によって搬送されるガラス基板を前記第2搬送手段に受け渡す受渡手段と、
をさらに備え、
前記本体部が、前記第2手段によって搬送されるガラス基板の前記第2方向と略平行の端縁に沿ってさらに配置されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
エッチング処理するガラス基板の形状が角型であり、
前記本体部は、
第1方向と平行の前記ガラス基板の端縁と、前記第1方向に略直角に交わる第2方向と平行の前記ガラス基板の端縁とに沿ってそれぞれ配置されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
ガラス基板を支持しつつ回転させる回転手段をさらに備え、
前記本体部は、
前記回転手段によって支持されるガラス基板の端縁に沿って配置されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
エッチング処理するガラス基板の形状が角型であり、
前記本体部を前記ガラス基板の第1方向に沿って配置しつつ多段に積層した第1処理部と、
前記本体部を前記第1方向と略直角に交わる前記ガラス基板の第2方向に沿って配置しつつ多段に積層した第2処理部と、
前記第1処理部と前記第2処理部との間で、前記ガラス基板を鉛直方向に沿って多段に支持しつつ搬送可能な多段式搬送手段と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
ガラス基板を多段に支持しつつ回転させる多段式回転手段と、
前記多段式回転手段によって支持された前記ガラス基板の端面に沿って前記本体部を多段に積層した第3処理部と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし11のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記所定のエッチング液は、
フッ化アンモニウム、バッファードフッ酸、界面活性剤を含むフッ酸の群から選ばれる液体であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし12のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記薬液供給手段は、前記供給口に接続され、前記所定のエッチング液を送給する薬液送給手段を含み、
前記薬液回収手段は、前記排出口に接続され、使用済みの前記所定のエッチング液を収容する使用済薬液収容手段を含み、
前記供給口に接続され純水を送給する純水送給手段と、
前記供給口に接続され熱風を送給する熱風送給手段と、
前記供給口の接続先を前記薬液送給手段、前記純水送給手段または前記熱風送給手段に切り換える第1切換手段と、
前記排出口に接続され前記開口部から使用済みの前記純水を廃棄する純水廃棄手段と、
前記排出口に接続され前記開口部の内部の気体を排気する排気手段と、
前記排出口の接続先を前記薬液収容手段、前記純水廃棄手段または前記排気手段に切り換える第2切換手段と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。
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