JP2013239591A - ウエーハのレーザー加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハのレーザー加工方法は集光スポットの重なり率が95%以下になるようにレーザー光線を分割予定ラインに沿って照射して第一のレーザー加工溝を形成する第一加工溝形成ステップを含んでいる。ウエーハのレーザー加工方法は集光スポットの重なり率が97%以上になるようにレーザー光線を第一のレーザー加工溝に沿って照射し第一のレーザー加工溝の底部に第二のレーザー加工溝を形成する第二加工溝形成ステップを含んでいる。
【選択図】図8
Description
図1は、実施形態に係るウエーハのレーザー加工方法を行うレーザー加工装置の構成例を示す図である。図2は、実施形態に係るウエーハのレーザー加工方法によりレーザー加工が施されるウエーハなどの斜視図である。図3は、実施形態に係るウエーハのレーザー加工方法によりレーザー加工が施されるウエーハが環状フレームに保持された斜視図である。図4は、実施形態に係るレーザー加工装置の集光スポットを楕円形にしたレーザー光線照射手段の説明図である。図5は、実施形態に係るレーザー加工装置の集光スポットを円形にしたレーザー光線照射手段の説明図である。図6は、実施形態に係るウエーハのレーザー加工方法の第一加工溝形成ステップを示すウエーハの断面図である。図7は、実施形態に係るウエーハのレーザー加工方法の第二加工溝形成ステップを示すウエーハの断面図である。図8は、実施形態に係るウエーハのレーザー加工方法のフローである。図9は、実施形態に係るウエーハのレーザー加工方法の集光スポットの重なり率を示す図である。
重なり率(%)=((MA−l)/MA)×100・・・式1
D デバイス
DB2 デブリ
L レーザー光線
S レーザー加工溝
S1 第一のレーザー加工溝
S2 第二のレーザー加工溝
D1 第一のレーザー加工溝の深さ
D2 第二のレーザー加工溝の深さ
R 分割予定ライン
W ウエーハ
WS 表面
ST3 第一加工溝形成ステップ
ST4 第二加工溝形成ステップ
Claims (2)
- 複数の分割予定ラインによって格子状に区画されたデバイスが表面に形成されたウエーハに、パルス発振のレーザー光線を該分割予定ラインに沿って照射し、レーザー加工溝を形成するウエーハのレーザー加工方法であって、
該ウエーハに集光される集光スポットの重なり率が95%以下になるように該レーザー光線を該分割予定ラインに沿って照射し、第一のレーザー加工溝を形成する第一加工溝形成ステップと、
該ウエーハに集光される集光スポットの重なり率が97%以上になるように該レーザー光線を該第一のレーザー加工溝に沿って照射し、該第一のレーザー加工溝の底部に第二のレーザー加工溝を形成する第二加工溝形成ステップと、を少なくとも含んで構成され、
該第一のレーザー加工溝の深さより第二のレーザー加工溝の深さの方が深く、
該第二加工溝形成ステップで発生したデブリが該第一のレーザー加工溝内に付着して該ウエーハの表面に突出しないウエーハのレーザー加工方法。 - 前記レーザー光線は、前記集光スポットが楕円形に形成され、該集光スポットの長尺側が前記分割予定ラインに沿って照射され、
前記第一加工溝形成ステップより前記第二加工溝形成ステップの方が、該レーザー光線の該集光スポットの長尺側の長さが長い、請求項1記載のウエーハのレーザー加工方法。
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