JP2013191787A - 半導体レーザアレイおよび半導体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本技術の半導体レーザアレイは、放熱体と、放熱体上に互いに独立して設けられた複数のサブマウントと、2種以上の発振波長を有し、複数のサブマウント上に個別に配置されると共に、互いに電気的に接続された複数の半導体レーザ素子とを備える。
【選択図】図1
Description
(A)放熱体
(B)放熱体上に互いに独立して設けられた複数のサブマウント
(C)2種以上の発振波長を有し、複数のサブマウント上に個別に配置されると共に、互いに電気的に接続された複数の半導体レーザ素子
1.実施の形態
1−1.半導体レーザアレイの構成
1−2.製造方法
2.変形例
3.適用例
(1−1.半導体レーザアレイの構成)
図1は、本開示の一実施の形態に係る半導体レーザアレイ(半導体レーザアレイ1)の全体構成を表したものである。図2は、図1のI−I線における断面構成を表したものである。この半導体レーザアレイ1は、複数の半導体レーザ素子(素子10)を、サブマウント21を介して放熱体(ヒートシンク20)上に一方向に実装したものである。サブマウント21は互いに独立して配設されており、ここでは、1つのサブマウント21上に1つの素子10が配置されている。各素子10は、ここでは直列に接続されている。具体的には、詳細は後述するが、例えば素子10Aの一対の電極の一方(例えばp側電極13)と素子10Bの他方(例えばn側電極14)との間がワイヤ22によって電気的に接続されている(図3参照)。
図7は本変形例に係る半導体レーザアレイ2の全体構成を表したものである。本変形例の半導体レーザアレイ2は、ヒートシンク20上に実装された複数の素子10をそれぞれ並列に接続した点が、上記実施の形態の半導体レーザアレイ1とは異なる。
(適用例1)
図8は、上記実施の形態および変形例における半導体レーザアレイ1,2を用いた半導体レーザ装置100Aの構成を表したものである。この半導体レーザ装置100Aは、例えば上記半導体レーザアレイ1を、ヒートシンク20上における素子10の実装方向に対して直交する方向、即ち1次元状に6個並列に配置したものである。半導体レーザアレイ1は、図9に示したように、例えば、ヒートシンク20の側面、即ち、素子10の実装面に対して直交した面にネジ穴20Aを形成し、ベースプレート101にネジで固定されている。
図10は、上記実施の形態および変形例における半導体レーザアレイ1,2を用いた半導体レーザ装置100Bの構成を表したものである。この半導体レーザ装置100Bは、例えば、上記半導体レーザアレイ1を、ヒートシンク20上における素子の10の実装方向に対して、同一の方向および直交する方向にそれぞれ2次元状に配置したものである。
(1)放熱体と、前記放熱体上に互いに独立して設けられた複数のサブマウントと、2種以上の発振波長を有し、前記複数のサブマウント上に個別に配置されると共に、互いに電気的に接続された複数の半導体レーザ素子とを備えた半導体レーザアレイ。
(2)前記複数の半導体レーザ素子は等間隔に配列されている、前記(1)記載の半導体レーザアレイ。
(3)前記複数の半導体レーザ素子は2mm以上10mm以下の間隔で配置されている、前記(1)または(2)記載の半導体レーザアレイ。
(4)前記複数の半導体レーザ素子は、各素子の波長スペクトルを重ね合わせた際の半値幅が2nm以上である、前記(1)乃至(3)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(5)前記複数の半導体レーザ素子は電気的に直列に接続されている、前記(1)乃至(4)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(6)前記複数の半導体レーザ素子は電気的に並列に接続されている、前記(1)乃至(4)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(7)前記複数の半導体レーザ素子は同一材料系により構成されている、前記(1)乃至(6)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(8)前記半導体レーザ素子はAlGaInP系の材料により構成されている、前記(1)乃至(7)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(9)前記半導体レーザ素子はGaN系の材料により構成されている、前記(7)記載の半導体レーザアレイ。
(10)前記複数の半導体レーザ素子は少なくとも2種以上のストライプ幅を有する、前記(1)乃至(9)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(11)前記複数の半導体レーザ素子は、それぞれ対向する2つの側面に一対の共振器端面を備えると共に、2以上の異なる共振器長を有する、前記(1)乃至(10)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(12)固定するベースプレートを有し、前記放熱体は、前記半導体レーザ素子の実装面とは異なる面で固定されている、前記(1)乃至(11)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(13)固定するベースプレートを有し、前記放熱体は、前記半導体レーザ素子の実装面に対して90°傾いた面で固定されている、前記(1)乃至(11)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(14)前記サブマウントは絶縁性材料により構成されている、前記(1)乃至(13)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
(15)放熱体と、前記放熱体上に互いに独立して設けられた複数のサブマウントと、2種以上の発振波長を有し、前記複数のサブマウント上に個別に配置されると共に、互いに電気的に接続された複数の半導体レーザ素子とを有する半導体レーザアレイを複数備えた半導体レーザ装置。
(16)前記複数の半導体レーザアレイは、前記複数の半導体レーザ素子の配列方向に対して直交する方向に配設されている、前記(15)に記載の半導体レーザアレイ。
(17)前記複数の半導体レーザアレイは、前記複数の半導体レーザ素子の配列方向と同一の方向および直交する方向にそれぞれ配設されている、前記(15)または(16)に記載の半導体レーザアレイ。
(18)前記複数の半導体レーザアレイの波長スペクトルを重ね合わせた半値幅は4nm以上である、前記(15)乃至(17)のいずれかに記載の半導体レーザアレイ。
Claims (18)
- 放熱体と、
前記放熱体上に互いに独立して設けられた複数のサブマウントと、
2種以上の発振波長を有し、前記複数のサブマウント上に個別に配置されると共に、互いに電気的に接続された複数の半導体レーザ素子と
を備えた半導体レーザアレイ。 - 前記複数の半導体レーザ素子は等間隔に配列されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記複数の半導体レーザ素子は2mm以上10mm以下の間隔で配置されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記複数の半導体レーザ素子は、各素子の波長スペクトルを重ね合わせた際の半値幅が2nm以上である、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記複数の半導体レーザ素子は電気的に直列に接続されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記複数の半導体レーザ素子は電気的に並列に接続されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記複数の半導体レーザ素子は同一材料系により構成されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記半導体レーザ素子はAlGaInP系の材料により構成されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記半導体レーザ素子はGaN系の材料により構成されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記複数の半導体レーザ素子は少なくとも2種以上のストライプ幅を有する、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記複数の半導体レーザ素子は、それぞれ対向する2つの側面に一対の共振器端面を備えると共に、2以上の異なる共振器長を有する、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 固定するベースプレートを有し、前記放熱体は、前記半導体レーザ素子の実装面とは異なる面で固定されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 固定するベースプレートを有し、前記放熱体は、前記半導体レーザ素子の実装面に対して90°傾いた面で固定されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 前記サブマウントは絶縁性材料により構成されている、請求項1に記載の半導体レーザアレイ。
- 半導体レーザアレイを複数備え、前記半導体レーザアレイは、放熱体と、前記放熱体上に互いに独立して設けられた複数のサブマウントと、2種以上の発振波長を有し、前記複数のサブマウント上に個別に配置されると共に、互いに電気的に接続された複数の半導体レーザ素子とを有する
半導体レーザ装置。 - 前記複数の半導体レーザアレイは、前記複数の半導体レーザ素子の配列方向に対して直交する方向に配設されている、請求項15に記載の半導体レーザ装置。
- 前記複数の半導体レーザアレイは、前記複数の半導体レーザ素子の配列方向と同一の方向および直交する方向にそれぞれ配設されている、請求項15に記載の半導体レーザ装置。
- 前記複数の半導体レーザアレイの波長スペクトルを重ね合わせた半値幅は4nm以上である、請求項15に記載の半導体レーザ装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012058213A JP2013191787A (ja) | 2012-03-15 | 2012-03-15 | 半導体レーザアレイおよび半導体レーザ装置 |
CN201310070754XA CN103311806A (zh) | 2012-03-15 | 2013-03-06 | 激光二极管阵列和激光二极管单元 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012058213A JP2013191787A (ja) | 2012-03-15 | 2012-03-15 | 半導体レーザアレイおよび半導体レーザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013191787A true JP2013191787A (ja) | 2013-09-26 |
Family
ID=49136738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012058213A Pending JP2013191787A (ja) | 2012-03-15 | 2012-03-15 | 半導体レーザアレイおよび半導体レーザ装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130243019A1 (ja) |
JP (1) | JP2013191787A (ja) |
CN (1) | CN103311806A (ja) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103311806A (zh) | 2013-09-18 |
US20130243019A1 (en) | 2013-09-19 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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