JP7384067B2 - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、信頼性の高い多波長の半導体レーザ装置を提供することを課題とする。
利得領域の体積は、利得領域の幅の変更によって調整可能であり、リッジ幅の変更によれば利得領域の幅が容易かつ精度よく調整できる。
図1は、本発明の半導体レーザ装置の第1実施形態を示す図である。
給電用リードピン105の、ステムキャップ110内に突き出した一端からレーザチップ103_1、103_2にワイヤ106が接続されている。
図2は、サブマウント上のレーザチップを示す図である。
ここでは説明の便宜上、重力方向とは無関係に、図の上方を『上』と称し、図の下方を『下』と称する。
図3は、比較例におけるレーザチップの入出力特性を示すグラフである。
図4は、レーザチップの共振器長を示す表である。
図5は、第1実施形態におけるレーザチップの入出力特性を示すグラフである。
図6は、第2実施形態におけるサブマウント上のレーザチップを示す図である。
図7は、レーザチップにおけるリッジストライプ構造を示す図である。
図7の上段にはレーザチップ103_1、103_2の平面図が示され、下段にはA-A断面図が示されている。
図8は、レーザチップのリッジ幅を示す表である。
次に、本発明の半導体レーザ装置の第3実施形態について説明する。
図9は、第3実施形態のレーザチップにおけるリッジストライプ構造を示す図である。
図9の上段にはレーザチップ103_1、103_2の平面図が示され、下段にはA-A断面図が示されている。
図10は、レーザチップにおける緩和領域の長さを示す表である。
図11は、第3実施形態におけるレーザチップの入出力特性を示すグラフである。
以下、緩和領域131を有する各実施形態について説明する。
図12は、第4実施形態におけるレーザチップの構造を示す図である。
以下の各図では、上段にレーザチップ103_1、103_2の平面図が示され、下段にA-A断面図が示されている。
従って、第4実施形態では、緩和領域131の長さによって第2のレーザチップ103_2の入出力特性が調整され、信頼性の高い半導体レーザ装置100が得られる。
図13は、第5実施形態におけるレーザチップの構造を示す図である。
図14は、第6実施形態におけるレーザチップの構造を示す図である。
図15は、第7実施形態におけるレーザチップの構造を示す図である。
図16は、第8実施形態におけるレーザチップの構造を示す図である。
103_1…第1のレーザチップ、103_2…第2のレーザチップ、
103a…前端、103b…後端、104…サブマウント、104a…電極パターン、
105…給電用リードピン、106…ワイヤ、110…ステムキャップ
121…n型半導体層、122…活性層、123…p型半導体層、124…絶縁層、
125…電極層、126…リッジ溝、127…利得領域、128…閉じ込め範囲、
130…ストライプ領域、131…緩和領域
Claims (8)
- 互いに異なった発振波長を有した複数の半導体レーザ素子が電気的に直列に接続された半導体レーザ装置であって、
前記複数の半導体レーザ素子における利得領域の体積が、発振波長が長いほど小さく、発振波長が短いほど大きくなるように、互いに異なっていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 前記複数の半導体レーザ素子は、レーザ光の進行方向に対して交わる方向における前記利得領域の幅が互いに異なっていることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ装置。
- 前記複数の半導体レーザ素子は、リッジストライプ構造を有し、当該リッジストライプ構造におけるリッジ幅が互いに異なっていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体レーザ装置。
- 前記複数の半導体レーザ素子は、レーザ光の進行方向における前記利得領域の長さが互いに異なっていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体レーザ装置。
- レーザ光の進行方向に対して交わる方向における光閉じ込めが前記半導体レーザ素子の端部で緩んでいる緩和領域の当該進行方向での合計長が、前記利得領域の体積に替えて、あるいは前記利得領域の体積と共に、前記複数の半導体レーザ素子で互いに異なっていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体レーザ装置。
- 前記複数の半導体レーザ素子は、リッジストライプ構造を有し、前記緩和領域ではリッジが存在しないことを特徴とする請求項5に記載の半導体レーザ装置。
- 前記複数の半導体レーザ素子は、リッジストライプ構造を有し、前記緩和領域ではリッジの幅が他の箇所よりも広いことを特徴とする請求項5に記載の半導体レーザ装置。
- 前記複数の半導体レーザ素子は、発振波長が互いに同色の波長帯域に含まれることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の半導体レーザ装置。
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