JP2019047117A - 発光装置の製造方法及び発光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に第1実施形態に係る発光装置200Cの斜視図を示し、図2に図1のII−II線における断面図を示す。また、図3に発光装置200Cにおいて蓋体30及びカバー100等を除いた発光装置200A(光源200A)の斜視図を示し、図4に図3の点線の枠内における拡大図を示す。また、図5に発光装置200Aの上面図を示し、図6に図5の点線の枠内における拡大図を示す。さらに、図7に発光装置200Aに蓋体30を固定した発光装置200B(蓋体付光源200B)の斜視図を示す。なお、本明細書においては、便宜上、基体10に半導体レーザ素子20(以下「LD素子」という。)が固定されているものを「発光装置」という。つまり、LD素子20が固定された光源200A、光源200Aに蓋体30を固定した蓋体付光源200B、及び蓋体付光源200Bにカバー100を固定した発光装置200Cは、それぞれ「発光装置」とすることができるため、統一して「発光装置200」と呼ぶ。
まず、発光装置200を準備する。ここでは、まず、図3〜6に示す発光装置200Aを準備する。発光装置200Aは、第1配線11a、第2配線11b及び第3配線11cを有する基体10と、第1配線11aの上面に配置され、第1配線11a及び第2配線11bと電気的に接続された第1LD素子20aと、第2配線11bの上面に配置され、第2配線11b及び第3配線11cと電気的に接続された第2LD素子20bと、を備える。このとき、第1LD素子20a及び第2LD素子20bは、直列に接続されている。
次に、第1配線11aと第2配線11bを介して第1LD素子20aに電流を流して、第1LD素子20aの特性Xを測定し、第2配線11bと第3配線11cを介して第2LD素子20bに電流を流して、第2LD素子20bの特性Xを測定する。ここで、第1LD素子20aと第2LD素子20bとは同じ特性Xを測定する。第1測定工程では、比較的短い時間、実際に発光装置として駆動する際の電流値よりも高い電流を流す。第3以降のLD素子20c〜20fについても同様に電流を流して特性Xを測定する。
次に、各LD素子20に一定以上の時間電流を流す。ここでは、基体10に実装されたすべてのLD素子20に所定時間閾値電流よりも大きな電流を流す。このように、一定以上の時間ある程度高い電流を流すことにより、LD素子20の経時変化を比較的短い時間で検査しやすくなる。電流を流す時間は、流す電流値によって変えることができる。例えば、1時間以上20時間以下であることが好ましく、5時間以上15時間以下であることがさらに好ましい。前述の下限値以上の時間電流を流すことにより、LD素子の初期不良を検知しやすくなり、前述の上限値以下の時間電流を流すことによりLD素子の劣化を低減することができる。例えば、発光装置が配置される空間の温度を20℃にした状態で14Aのパルス電流を9.5時間程度流す。
次に、第1測定の測定と同様に各LD素子20の特性Xを測定する。具体的には、第1配線11aと第2配線11bを介して第1LD素子20aに電流を流して、第1LD素子20aの特性Xを測定し、第2配線11bと第3配線11cを介して第2LD素子20bに電流を流して、第2LD素子20bの特性Xを測定する。
次に、第1測定で得た特性Xと第2測定で得た特性Xとに基づいて、各LD素子20のそれぞれを評価する。具体的には、第1測定工程で得た第1LD素子20aの特性Xおよび第2測定工程で得た第1LD素子20aの特性X、並びに、第1測定工程で得た第2LD素子20bの特性X及び第2測定工程で得た第2LD素子20bの特性Xに基づいて、各LD素子20を評価する。
本実施形態では、特性Xは、第1測定工程及び第2測定工程それぞれで測定されている。しかし、LD素子20の不良を判定するために用いられる、第2測定工程における特性Xの測定値と比較するための特性Xの基準値があらかじめわかっている場合、第1測定工程を行わなくてもよい。つまり、特性Xの基準値と、第2測定工程における特性Xの測定値とを比較することで、LD素子20の不良を判定することができる。
また、LD素子20の不良を判定するために用いられる、第1測定工程における特性Xの測定値と比較するための特性Xの基準値があらかじめわかっている場合、一定以上の時間電気を流す工程及び第2測定工程を行わなくてもよい。つまり、第1測定工程における特性Xが、経時変化を確認しなくても評価できる場合、一定以上の時間電気を流す工程及び第2測定工程を行わなくてもよい。この場合、特性Xの基準値と、第1測定工程における特性Xの測定値とを比較することで、LD素子20の不良を判定することができる。
次に、蓋体30の上面に、支持部31の貫通している部分を上側で塞ぐように第2透光部90を設ける。第2透光部90は、レンズとしての機能を有し、各LD素子20からのレーザ光が蛍光部111の下面に照射されるように各LD素子20からのレーザ光を屈折させる。第2透光部90を構成する材料としては、BK7等の光学ガラス、又は透過性の樹脂等が挙げられる。第2透光部90の厚みは、例えば、1mm以上5mm以下とすることができる。
11…配線
12…第1枠部
13…第2枠部
20…半導体レーザ素子
30…蓋体
31…支持部
32…接着剤
33…第1透光部
40…光反射部
50…サブマウント
60…導電層
70…保護素子
81、82…ワイヤ
90…第2透光部
100…カバー
110…光学部品
111…蛍光部
112…第1遮光部
113…誘電体多層膜
114…熱伝導部
115…反射防止フィルタ
120…第2遮光部
200、200A、200B、200C…発光装置
Claims (12)
- 第1配線、第2配線及び第3配線を有する基体と、前記基体の上面側に前記第1配線及び前記第2配線に電気的に接続された第1半導体レーザ素子と、前記基体の上面側に前記第2配線及び前記第3配線に電気的に接続された第2半導体レーザ素子と、を備え、前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子が直列に接続された発光装置を準備する工程と、
前記第1配線と前記第2配線を介して前記第1半導体レーザ素子に電流を流して、前記第1半導体レーザ素子の電気的特性及び光学特性の少なくとも一方を含む特性を測定し、前記第2配線と前記第3配線を介して前記第2半導体レーザ素子に電流を流して、前記第2半導体レーザ素子の前記特性を測定する第1測定工程と、
前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子に一定以上の時間電流を流す工程と、
前記第1配線と前記第2配線を介して前記第1半導体レーザ素子に電流を流して、前記第1半導体レーザ素子の前記特性を測定し、前記第2配線と前記第3配線を介して前記第2半導体レーザ素子に電流を流して、前記第2半導体レーザ素子の前記特性を測定する第2測定工程と、
前記第1測定工程で得た第1半導体レーザ素子の前記特性及び前記第2測定工程で得た第1半導体レーザ素子の前記特性、並びに、前記第1測定工程で得た第2半導体レーザ素子の前記特性及び第2測定工程で得た第2半導体レーザ素子の前記特性に基づいて、前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子それぞれを評価する工程と、をこの順に備える発光装置の製造方法。 - 第1配線、第2配線及び第3配線を有する基体と、前記基体の上面側に前記第1配線及び前記第2配線に電気的に接続された第1半導体レーザ素子と、前記基体の上面側に前記第2配線及び前記第3配線に電気的に接続された第2半導体レーザ素子と、を備え、前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子が直列に接続された発光装置を準備する工程と、
前記第1配線と前記第2配線を介して前記第1半導体レーザ素子に電流を流して、前記第1半導体レーザ素子の電気的特性及び光学特性の少なくとも一方を含む特性を測定し、前記第2配線と前記第3配線を介して前記第2半導体レーザ素子に電流を流して、前記第2半導体レーザ素子の前記特性を測定する第1測定工程と、
前記第1測定工程で得た第1半導体レーザ素子の前記特性及び前記第1測定工程で得た第2半導体レーザ素子の前記特性に基づいて、前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子それぞれを評価する工程と、をこの順に備える発光装置の製造方法。 - 前記第1測定工程において、前記電気的特性として順方向電圧を測定することを特徴とする請求項1又は2に記載の発光装置の製造方法。
- 前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子はそれぞれ窒化物半導体を含み、
前記発光装置を準備する工程と前記第1測定工程との間において、蓋体を前記基体に固定することにより、前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子が配置される空間を気密空間とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。 - 前記第1測定工程において、前記光学特性としてファーフィールドパターンを測定することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
- 前記一定以上の時間電流を流す工程において、前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子に直列に電流を流すことを特徴とする請求項1又は請求項1を引用する請求項3〜5のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記発光装置を準備する工程において、
第1サブマウントに前記第1半導体レーザ素子が載置された第1レーザ装置及び第2サブマウントに前記第2半導体レーザ素子が載置された第2レーザ装置のそれぞれを、金属ナノ粒子又は金属サブミクロン粒子と有機溶剤とを含む接合材料を介して、前記基体の上面に載置し、
前記第1レーザ装置及び前記第2レーザ装置を押圧せずに、前記接合材料を加熱することにより、前記第1レーザ装置及び前記第2レーザ装置を一括して基体に接合することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。 - 前記発光装置は、前記第2半導体レーザ素子と前記第2配線との間に配置された第2サブマウントをさらに有し、
前記第2配線と前記第2サブマウントとがワイヤで接続されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。 - 第1配線、第2配線及び第3配線を有する基体と、
前記基体の上面側に前記第1配線及び前記第2配線に電気的に接続された第1半導体レーザ素子と、前記基体の上面側に前記第2配線及び前記第3配線に電気的に接続された第2半導体レーザ素子と、
前記基体と組み合わせて構成される空間内に、前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子が配置されるように、前記基体に固定された蓋体と、を備え、
前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子は、直列に接続されており、
前記第1配線の一部、前記第2配線の一部、及び前記第3配線の一部は、前記基体と蓋体とにより構成される空間よりも外側において、前記基体の上面に露出していることを特徴とする発光装置。 - 前記第1半導体レーザ素子及び前記第2半導体レーザ素子はそれぞれ窒化物半導体を含み、
前記基体と蓋体とにより構成される空間は気密空間であることを特徴とする請求項9に記載の発光装置。 - 前記発光装置は、前記第2半導体レーザ素子と前記第2配線との間に配置された第2サブマウントをさらに有し、
前記第2配線と前記第2サブマウントとがワイヤで接続されていることを特徴とする請求項9又は10に記載の発光装置。 - 前記第1半導体レーザ素子は第1サブマウントを介して前記基体の上面側に配置されており、前記第2半導体レーザ素子は第2サブマウントを介して前記基体の上面側に配置されており、前記第1サブマウント及び前記基体、並びに前記第2サブマウント及び前記基体は、それぞれ金属ナノ粒子又は金属サブミクロン粒子により接合されていることを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載の発光装置。
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