JP2010067659A - 半導体レーザの検査装置及び検査方法 - Google Patents
半導体レーザの検査装置及び検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 先端に共用の光検出素子を備え、半導体レーザの光学特性(光出力、FFP、偏光比等)を検査することで複数のレーザ光を出力する半導体レーザの検査装置で、複数の対象となる半導体レーザに、独立した指定パルス駆動電流を時分割で供給し、各々の半導体レーザに対応する独立した給電手段と、その各々の給電装置と対応する同期パルス信号供給部と、前記した半導体レーザから出力される複数のレーザ光の光出力を時分割で検出する検出手段とを有し、前記した同期パルス信号供給部及び検出手段と対応して半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定を行う判定手段とを有していることとする。
【選択図】 図1
Description
2 パルス電流ドライバ
3 パルスコントローラ
4 FFPアーム
5 ケーシングボックス
6 モータドライバ
7 駆動モータ
8 Poセンサ
9 エンコーダ
10 FFPアンプ
11 エンコーダカウンター
12 モータコントローラ
13 OPアンプ
14 サンプリングホールド(S/H)回路
15 計測CPU
16 データ処理パソコン
17 A/Dコンバータ
Claims (7)
- 先端に共用の光検出素子を備え、半導体レーザの光学特性(光出力、FFP、偏光比等)を検査することで複数のレーザ光を出力する半導体レーザの検査装置であって、複数の対象となる半導体レーザに、独立した指定パルス駆動電流を時分割で供給し、各々の半導体レーザに対応する独立した給電手段と、その各々の給電装置と対応する同期パルス信号供給部と、前記した半導体レーザから出力される複数のレーザ光の光出力を時分割で検出する検出手段とを有し、前記した同期パルス信号供給部及び検出手段と対応して半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定を行う判定手段とを有していることを特徴とする半導体レーザの検査装置。
- 前記した同期パルス信号供給部は前記した各々独立した指定パルス駆動電流の給電手段と、光出力の検出部に同期パルス信号を供給して、時分割で独立した光出力を半導体レーザごとに独立して検出することを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザの検査装置。
- 前記した複数の独立した給電手段は、半導体レーザごとに接続されたパルス電流を給電するパルス電流ドライバを有し、このパルス電流ドライバは、同期パルス信号供給部(パルスコントローラ)から供給させる同期パルス信号により、レーザ光時分割検出手段(検出回路)と同期を取り、半導体レーザごとに独立して光出力の検出を行なうことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体レーザの検査装置。
- 前記した検出手段(検出回路)は給電手段と同期を取り、前記した共用の光検出素子を用いて複数の検査対象となる半導体レーザから時分割に独立して出力される複数のレーザ光を検出するためのOPアンプとS/H回路を備え、半導体レーザごとに独立して光出力を検出することを特徴とする請求項1、請求項2または請求項3に記載の半導体レーザの検査装置。
- 前記した複数のレーザ光は、波長の異なる通信用レーザ及び赤外線、赤色、青色のレーザ光であり、同一波長の赤外線のみ、赤色のみ、青色のみの場合も含まれる全ての波長であることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3または請求項4に記載の半導体レーザの検査装置。
- 前記した光検出素子は回動するFFPアームに備えられていることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4または請求項5に記載の半導体レーザの検査装置。
- 先端に共用の光検出素子(Poセンサ)を備え、回動するFFPアームを用いた複数のレーザ光を出力する半導体レーザの検査方法に於いて、複数の半導体レーザに複数の独立した給電手段(パルス電流ドライバ)で給電して、これを時分割で検査するための同期パルス信号供給部(パルスコントローラ)で同期させ、時分割で独立して出力される複数の光をOPアンプとS/H回路を有する光出力検出手段(回路)で検出し、対象の半導体レーザが良品であるか不良品であるかを判定手段(計測CPU)で判定することを特徴とする半導体レーザの検査方法。
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JP2008230532A JP2010067659A (ja) | 2008-09-09 | 2008-09-09 | 半導体レーザの検査装置及び検査方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN106324408A (zh) * | 2016-10-10 | 2017-01-11 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 一种用于中高功率连续激光器的烤机工装电路 |
JP2019047117A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法及び発光装置 |
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2008
- 2008-09-09 JP JP2008230532A patent/JP2010067659A/ja active Pending
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