JP2013144850A - 蒸発源、蒸発源アセンブリー及び蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一面が開口されたハウジング60と、ハウジング60の内部に位置し、内部に有機物が貯蔵され、一面が開口された貯蔵部20と、貯蔵部20の開口された部分に連結され、蒸着物を噴射するノズル部30と、貯蔵部20とハウジング60との間に介在される加熱部40と、を含む。
【選択図】図8
Description
20 蒸着物質貯蔵部、
30 ノズル部、
40 加熱部、
50 反射板、
60 ハウジング、
100 蒸発源、
250 マスク、
200 基板、
300 チャンバー。
Claims (56)
- 一面が開口されたハウジングと、
前記ハウジングの内部に位置し、内部に有機物が貯蔵され、一面が開口された貯蔵部と、
前記貯蔵部の開口された部分に連結され、蒸着物を噴射するノズル部と、
前記貯蔵部と前記ハウジングとの間に介在される加熱部と、
を含むことを特徴とする蒸発源。 - 前記貯蔵部は、黒鉛よりなることを特徴とする請求項1に記載の蒸発源。
- 前記貯蔵部には、漏洩防止部材がコートされることを特徴とする請求項1または2に記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、前記貯蔵部の内部にコートされたものであることを特徴とする請求項3に記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、前記貯蔵部の外面にコートされたものであることを特徴とする請求項3に記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、ニッケルであることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、タングステン、レニウム、タンタル、モリブデン、ニオブ、バナジウム、ハフニウム、ジルコニウム、チタンのような高融点金属のうちいずれか1つよりなることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、酸化物であることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、炭化物であることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、窒化物であることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記ノズル部は、黒鉛よりなることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記ノズル部には、前記漏洩防止部材がコートされることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、前記ノズル部の内部にコートされたものであることを特徴とする請求項12に記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、前記ノズル部の外面にコートされたものであることを特徴とする請求項12に記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、ニッケルであることを特徴とする請求項12から14のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、タングステン、レニウム、タンタル、モリブデン、ニオブ、バナジウム、ハフニウム、ジルコニウム、チタンのような高融点金属のうちいずれか1つよりなることを特徴とする請求項12から14のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、酸化物であることを特徴とする請求項12から14のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、炭化物であることを特徴とする請求項12から14のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記漏洩防止部材は、窒化物であることを特徴とする請求項12から14のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記ノズル部は、
蒸着物粒子を前記基板上に噴射する蒸着物噴射ノズルと、
前記貯蔵部の蒸着物の飛散を防止する飛散防止膜と、
を含むことを特徴とする請求項1から19のいずれかに記載の蒸発源。 - 請求項1から20のいずれかに記載の蒸発源は、前記ハウジングの内壁に取り付けられる内部熱反射板をさらに含むことを特徴とする。
- 請求項1から21のいずれかに記載の蒸発源は、前記ノズル部の基板方向の外部面に取り付けられる熱遮断板をさらに含むことを特徴とする。
- 請求項1から22のいずれかに記載の蒸発源は、前記加熱部の一側に位置し、前記貯蔵部と前記ハウジングとの間に位置する多数の第1支持手段をさらに含み、前記多数の第1支持手段は、前記貯蔵部及び前記ハウジングの各々の所定部分に接触することを特徴とする。
- 前記多数の第1支持手段は、線状形態、点状形態またはこれらの結合形態よりなることを特徴とする請求項23に記載の蒸発源。
- 前記多数の第1支持手段のうち少なくとも1つの第1支持手段は、前記貯蔵部の一側面の中央部に固定される固定−第1支持手段であることを特徴とする請求項23または24に記載の蒸発源。
- 前記貯蔵部の長手方向に対する中央部に凹凸部が設けられることを特徴とする請求項25に記載の蒸発源。
- 前記固定−第1支持手段は、前記ハウジングの所定部分に拘束されて固定されることを特徴とする請求項25または26に記載の蒸発源。
- 前記ハウジングは、前記多数の第1支持手段に各々連結される第2支持手段をさらに含むことを特徴とする請求項23から27のいずれかに記載の蒸発源。
- 前記多数の第1支持手段のうち中央に配置される第1支持手段は、前記第2支持手段に互いに拘束されて固定されることを特徴とする請求項28に記載の蒸発源。
- 前記第2支持手段は、両側面部にトレンチが形成され、前記トレンチを介して挿入されて組み立てられる内部熱反射板をさらに含むことを特徴とする請求項28または29に記載の蒸発源。
- 前記多数の第1支持手段は、前記ノズル部を支持する支持手段をさらに含むことを特徴とする請求項23から30のいずれかに記載の蒸発源。
- 請求項23に記載の蒸発源と、
該蒸発源を少なくとも1つまたは2つ以上を収納する外部ハウジングと、を含むことを特徴とする蒸発源アセンブリー。 - 請求項32に記載の蒸発源アセンブリーは、前記蒸発源と前記外部ハウジングとの間に位置し、前記外部ハウジングに前記蒸発源を連結して支持する多数の第3支持手段を含むことを特徴とする。
- 前記多数の第3支持手段は、前記蒸発源の所定部分に接触することを特徴とする請求項33に記載の蒸発源アセンブリー。
- 前記多数の第3支持手段は、前記蒸発源の長手方向に対する中央部に固定される固定−第3支持手段を含むことを特徴とする請求項33または34に記載の蒸発源アセンブリー。
- 一面が開口されたハウジングと、
前記ハウジングの内部に位置し、内部に蒸着物が貯蔵され、一面が開口された貯蔵部と、
前記貯蔵部の開口された部分に連結され、蒸着物粒子を基板上に噴射する噴射ノズルと、
前記貯蔵部の蒸着物の飛散を防止する飛散防止膜と、を含むノズル部と、
前記貯蔵部と前記ハウジングとの間に介在される加熱部と、
前記ハウジングの内壁に設けられ、前記加熱部からの熱を前記貯蔵部に反射する熱反射板と、
前記ノズル部の基板方向の外部面に取り付けられる熱遮断板と、
を含むことを特徴とする蒸着装置。 - 前記ハウジングは、1〜5mmの厚みを有することを特徴とする請求項36に記載の蒸着装置。
- 前記貯蔵部は、1〜5mmの厚みを有することを特徴とする請求項36または37に記載の蒸着装置。
- 前記貯蔵部は、黒鉛よりなることを特徴とする請求項36から38のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記貯蔵部には、漏洩防止部材がコートされることを特徴とする請求項36から39のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、前記貯蔵部の内部にコートされたものであることを特徴とする請求項40に記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、前記貯蔵部の外面にコートされたものであることを特徴とする請求項40に記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、ニッケルであることを特徴とする請求項40から42のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、タングステン、レニウム、タンタル、モリブデン、ニオブ、バナジウム、ハフニウム、ジルコニウム、チタンのような高融点金属のうちいずれか1つよりなることを特徴とする請求項40から42のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、酸化物であることを特徴とする請求項40から42のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、炭化物であることを特徴とする請求項40から42のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、窒化物であることを特徴とする請求項40から42のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記ノズル部は、黒鉛よりなることを特徴とする請求項36から47のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記ノズル部には、前記漏洩防止部材がコートされることを特徴とする請求項48に記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、前記ノズル部の内部にコートされたものであることを特徴とする請求項49に記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、前記ノズル部の外面にコートされたものであることを特徴とする請求項49に記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、ニッケルであることを特徴とする請求項49から51のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材はタングステン、レニウム、タンタル、モリブデン、ニオブ、バナジウム、ハフニウム、ジルコニウム、チタンのような高融点金属のうちいずれか1つよりなることを特徴とする請求項49から51のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、酸化物であることを特徴とする請求項49から51のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、炭化物であることを特徴とする請求項49から51のいずれかに記載の蒸着装置。
- 前記漏洩防止部材は、窒化物であることを特徴とする請求項49から51のいずれかに記載の蒸着装置。
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